JP2022171328A - 印刷システム、印刷装置及び制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】半田の物性又はマスクの状態等に基づく現状の印刷状態を加味して印刷条件を決定でき、印刷不良の発生を抑制できる印刷システムを提供する。【解決手段】基板に半田を印刷する印刷システムであって、所定の開口を有するマスクを介して、基板上に形成された複数の電極にスキージを用いて半田を印刷する印刷装置と、開口のサイズに対する印刷された半田の充填量を示す体積率を検査する検査装置と、検査装置から体積率の検査結果を取得すると共に、印刷装置へ検査結果を送信する管理装置を備え、印刷装置は、検査結果に基づいてスキージのアタック角を変更する。【選択図】図９

Description

本開示は、印刷システム、印刷装置及び制御方法に関する。

印刷装置は、様々な印刷パラメータに従って、印刷を実施する。従来、印刷パラメータを取得する印刷パラメータ取得装置として、基板に半田を印刷するときに使用する部材を特定する印刷条件を取得する取得部と、印刷条件、印刷機の駆動の制御に用いられる印刷パラメータ及び印刷パラメータの信頼度が関連付けられて記憶されているデータベースから、取得部によって取得された印刷条件に対応する印刷条件に関連付けられている印刷パラメータであって信頼度が所定レベル以上の印刷パラメータを出力する出力部と、を備える印刷パラメータ取得装置が知られている（特許文献１参照）。

国際公開第２０２０／２１７５１０号

特許文献１の印刷パラメータ取得装置では、印刷パラメータの信頼度は、基板に印刷された半田の面積の目標値に対する偏差（目標値に対する割合の最大値と最小値の差）によって表すことができる。また、時刻と、基板に印刷された半田の面積の目標値に対する偏差との情報が、データベースに保持されている。印刷パラメータ取得装置は、データベースを参照し、第１の時間帯に第１の基板に印刷された半田の面積の目標値に対する偏差が小さい場合には、第１の時間帯に半田が印刷された第１の基板への印刷品質が良好であると判断可能である。一方、印刷パラメータ取得装置は、第２の時間帯に第２の基板に印刷された半田の面積の目標値に対する偏差が小さい場合には、第２の時間帯に半田が印刷された第２の基板への印刷品質が劣化していると判断可能である。

しかし、特許文献１の印刷パラメータ取得装置は、データベースに保持された過去の実績に基づく印刷パラメータの出力は可能であるが、現状の印刷状態を反映して印刷パラメータを出力することはできない。また、過去に使用していた半田の種別を変更したり半田を長時間放置したりすることで半田の物性が変化した場合には、過去の実績に基づく印刷パラメータを、実際の印刷の場面で使用することができないことがある。したがって、好適な印刷パラメータを選定できずに、印刷不良が生じることがある。また、印刷時に用いるマスクの状態に応じても、現状の印刷状態が変化し得る。例えば、マスクに汚れが溜まっている場合には、印刷された半田の充填量が過大となることがある。

本開示は、半田の物性又はマスクの状態等に基づく現状の印刷状態を加味して印刷条件を決定でき、印刷不良の発生を抑制できる印刷システム、印刷装置及び制御方法を提供する。

本開示の一態様は、基板に半田を印刷する印刷システムであって、所定の開口を有するマスクを介して、前記基板上に形成された複数の電極にスキージを用いて半田を印刷する印刷装置と、前記開口のサイズに対する前記印刷された半田の充填量を示す体積率を検査する検査装置と、前記検査装置から前記体積率の検査結果を取得すると共に、前記印刷装置へ前記検査結果を送信する管理装置を備え、前記印刷装置は、前記検査結果に基づいて前記スキージのアタック角を変更する、印刷システムである。

本開示の一態様は、基板に半田を印刷すると共に、前記印刷された半田について検査を行う検査装置の上流に設けられる印刷装置であって、所定の開口を有するマスクを介して、前記基板上に形成された複数の電極にスキージを用いて半田を印刷する印刷部と、前記検査装置から、前記開口のサイズに対する前記印刷された半田の充填量を示す体積率の検査結果を受信する受信部と、前記検査結果に基づいて前記スキージのアタック角を制御する制御部と、を備える印刷装置、である。

本開示の一態様は、基板に半田を印刷するスキージのアタック角度を制御する制御方法であって、所定の開口を有するマスクを介して、前記基板上に形成された複数の電極に前記スキージを用いて半田を印刷するステップと、前記印刷された半田について検査を行う検査装置から、前記開口のサイズに対する前記印刷された半田の充填量を示す体積率の検査結果を受信するステップと、前記検査結果に基づいて前記スキージのアタック角を制御するステップと、を有する制御方法、である。

本開示によれば、半田の物性又はマスクの状態等に基づく現状の印刷状態を加味して印刷条件を決定でき、印刷不良の発生を抑制できる。

本開示の第１の実施形態における電子部品実装システムの構成例を示す模式図 印刷装置の構造例を示す正面図 マスクを介した基板への半田の印刷及び印刷検査を説明するための図 電子部品実装システムの機能的な構成例を示すブロック図 スキージのアタック角度と半田の充填量との関係の一例を示す模式図 スキージのアタック角度を７０度として半田を基板へ印刷することを示す模式図 スキージのアタック角度を５０度として半田を基板へ印刷することを示す模式図 印刷検査の検査結果のフィードバックの有無に応じた体積率の時間変化を示す図 マスクの開口のサイズを加味した体積率とスキージのアタック角度との相関関係の一例を示す模式図 フィードバック角度の情報を保持するテーブルの一例を示す模式図

以下、適宜図面を参照しながら、実施形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になることを避け、当業者の理解を容易にするためである。尚、添付図面及び以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるものであり、これらにより特許請求の範囲に記載の主題を限定することは意図されていない。

（第１の実施形態）
（印刷システムの構成）
図１は、本開示の第１の実施形態における電子部品実装システム５の構成例を示す模式図である。

電子部品実装システム５は、印刷装置１００、印刷検査装置２００、管理装置３００、作業コンベアＭ３、及び実装装置Ｍ４，Ｍ５を含む構成である。印刷装置１００、印刷検査装置２００、作業コンベアＭ３及び実装装置Ｍ４，Ｍ５は、連結されて電子部品実装ラインを構成し、管理装置３００によって制御される。印刷装置１００、印刷検査装置２００、及び実装装置Ｍ４，Ｍ５の各装置は、通信ネットワークＮＴを介して管理装置３００に接続される。

印刷装置１００は、スクリーン印刷装置であり、基板に形成された電子部品接合用の電極に対してペースト状の半田をスクリーン印刷することにより、電極上に半田を印刷する。印刷検査装置２００は、ＳＰＩ（Solder Paste Inspection）であり、印刷装置１００により半田が印刷された非印刷物（例えば基板）の印刷状態を検査する。

この印刷状態は、例えば、被印刷物の印刷領域に印刷された半田の位置、高さ、面積、体積、位置ずれ、体積率、等の状態を含む。この体積率は、印刷領域のサイズに対する半田の充填量を示す。この印刷領域は、例えば、基板の電極の上面の領域であり、後述する基板の上面に当接するマスクの開口である。

作業コンベアＭ３は、印刷状態が良好と判定された基板を下流の実装装置Ｍ４に搬送する。印刷状態が不良と判断された基板は、作業コンベアＭ３による搬送を停止してオペレータにより取り出される。実装装置Ｍ４，Ｍ５は、電子部品装着装置であり、半田部が形成された基板の電子部品装着位置に電子部品を装着する。

その後、電子部品が装着された基板はリフロー機（図示せず）に送られ、所定の温度プロファイルに従って加熱される。この加熱により半田に含まれる半田粒子が溶融し、電子部品と基板とが半田接合される。管理装置３００は、電子部品実装システム５内の各装置を管理する。管理装置３００は、例えば任意のコンピュータやサーバであってよい。

図２は、印刷装置の構造例を示す正面図である。
図２では、基板の搬送方向（図２の紙面奥行方向）をＸ方向、Ｘ方向と水平面内において直交する方向（図２の左右方向）をＹ方向、水平面に直交する方向（図１の上下方向）をＺ方向と定義する。

印刷装置１００は、印刷制御部１５２を備える。印刷装置１００は、基板搬送機構１０２及びマスク１０４を備える。基板搬送機構１０２は、印刷装置１００の基台上に、Ｘ方向に沿って設置される。基板搬送機構１０２は、印刷制御部１５２によって制御され、上流側から搬入された基板１０３をＸ方向に沿って搬送する。クランパ１４１（図４参照）は、搬送されてきた基板１０３をマスク１０４に対して位置合わせし、所定のクランプ位置で保持する。クランパ１４１は、基板１０３をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向に沿って移動可能である。基板搬送機構１０２は、印刷装置１００による印刷作業が完了した基板１０３を下流側に搬出する。基板１０３は、半田ＳＲ、フラックス、導電性接着剤、銀、又はインク等が転写される被印刷物の１つである。

マスク１０４は、クランプ位置に保持された基板１０３の上方に配置される。マスク１０４は、基板１０３に半田ＳＲ等を印刷（転写）するための複数の開口１０４ｈ（パターン孔）を有する。マスク１０４は、交換可能であり、汚れ等を除去するためにクリーニングすることも可能である。

印刷装置１００は、印刷ヘッド移動機構１０５と、印刷ヘッド移動機構１０５によってＹ方向に沿って移動する印刷ヘッド１０６と、を備える。印刷ヘッド移動機構１０５は、Ｙ方向に沿って延伸する送りねじ１０７と、送りねじ１０７を回転駆動するモータ１０８と、を備える。印刷ヘッド１０６は、マスク１０４の上方に設置される。

印刷ヘッド１０６は、移動ベース１０９を備える。移動ベース１０９は、送りねじ１０７のネジ山と係合するネジ山を有し、送りねじ１０７の回転によってＹ方向に沿って移動する。モータ１０８は、印刷制御部１５２によって制御され、送りねじ１０７を正方向または逆方向に回転駆動する。これにより、移動ベース１０９を備える印刷ヘッド１０６がＹ方向に沿って往復移動する。

印刷ヘッド１０６は、移動ベース１０９の上部にスキージ駆動部１１０を備える。スキージ駆動部１１０には、第１駆動部１１０Ａと第２駆動部１１０ＢとがＹ方向に沿って並設されている。第１駆動部１１０Ａは、下方に延伸する第１昇降軸１１１Ａを昇降駆動するシリンダなどを備える。第２駆動部１１０Ｂは、下方に延伸する第２昇降軸１１１Ｂを昇降駆動するシリンダなどを備える。

第１駆動部１１０Ａは、印刷制御部１５２によって制御され、Ｘ方向に沿って所定の間隔で設けられた２本の第１昇降軸１１１Ａを、同時に昇降させる。第２駆動部１１０Ｂは、印刷制御部１５２によって制御され、２本の第１昇降軸１１１Ａの間隔と同じ間隔でＸ方向に沿って設けられた２本の第２昇降軸１１１Ｂを、同時に昇降させる。このように、スキージ駆動部１１０は、第１昇降軸１１１Ａと第２昇降軸１１１Ｂを個別に昇降させる。

印刷装置１００は、揺動部材１１２を含むリンク機構１２０を備える。第１昇降軸１１１Ａと第２昇降軸１１１Ｂの下端（すなわち、印刷ヘッド１０６の下端）に、リンク機構１２０が接続されている。揺動部材１１２は、第１昇降軸１１１Ａ及び第２昇降軸１１１Ｂの昇降動作によって、Ｘ軸（水平軸）回りに回動する。

印刷装置１００は、スキージ１３０（スキージユニット）を備える。スキージ１３０は、揺動部材１１２の下面に装着される。スキージ１３０は、２枚のブレードを保持する。２枚のブレードは、直線状のエッジを有してＸ方向に沿って延伸する。２枚のブレードは、Ｙ方向に沿って所定の間隔で離間されている。第１昇降軸１１１Ａ側のブレードを第１ブレード１３１Ａとも称し、第２昇降軸１１１Ｂ側のブレードを第２ブレード１３１Ｂと称する。スキージ駆動部１１０は、揺動部材１１２を介して第１昇降軸１１１Ａ及び第２昇降軸１１１Ｂを昇降させることで、スキージ１３０（例えば第１ブレード１３１Ａ又は第２ブレード１３１Ｂ）のアタック角度を調整する。

このように、印刷制御部１５２は、スキージ駆動部１１０を制御することにより、スキージ１３０のＸ軸回りの回転方向の姿勢と高さを制御する。また、印刷制御部１５２は、印刷ヘッド移動機構１０５を制御することにより、印刷ヘッド１０６の下方に装着されたスキージ１３０をＹ方向に沿って往復移動させる。

印刷制御部１５２は、クランプ位置に基板１０３を保持した状態でスキージ１３０を回動させて一方のブレード（図２では、第１ブレード１３１Ａ）をマスク１０４の上面に当接させる。この場合、印刷制御部１５２は、スキージ駆動部１１０を制御することにより、マスク１０４に対するブレードの角度（スキージ１３０のアタック角度とも称する）や印圧を制御してよい。そして、印刷装置１００は、印刷制御部１５２が、スキージ１３０をＹ方向の一方向（図１では、左方向）に向かって移動させながら、印刷ヘッド１０６が、マスク１０４の上面に供給された半田ＳＲ等をマスク１０４の下に配置された基板１０３に、複数の開口１０４ｈ（図３参照）を通じて転写（印刷）する。つまり、印刷ヘッド１０６は、マスク１０４の開口１０４ｈを介して、基板１０３上に形成された複数の電極にスキージ１３０を用いて半田ＳＲを印刷する。

図３は、マスク１０４を介した基板１０３への半田ＳＲの印刷及び印刷検査を説明するための図である。

印刷装置１００は、基板１０３上の印刷部位の情報を予め保持している。印刷部位は、電子部品の端子を基板１０３の電極と半田接合するために、半田ＳＲが印刷されるべき基板１０３上の位置にあり、部品実装位置に対応する。また、印刷部位は、印刷時（マスク１０４と基板１０３との当接時）のマスク１０４の開口１０４ｈの位置に対応する。よって、マスク１０４の開口１０４ｈに半田ＳＲが印刷されることで、印刷部位に半田ＳＲが印刷される。

スクリーン印刷では、まず、印刷制御部１５２が、マスク１０４の下面に基板１０３を当接させ、半田ＳＲが供給されたマスク１０４の上面でスキージ１３０を摺動させることにより、開口１０４ｈ内に半田ＳＲを充填するスキージング動作を行う。次いで、印刷制御部１５２が、スキージング後に基板１０３をマスク１０４の下面から離す版離れ動作を行わせる。これにより、基板１０３の上面の各印刷部位には、開口１０４ｈの内側形状に応じた立体形状の半田ＳＲが印刷される。そして、半田ＳＲが印刷された後の基板１０３を対象として、印刷検査装置２００によって印刷検査が行われる。

スクリーン印刷では、各印刷部位に印刷された半田ＳＲの平面位置や立体形状は、必ずしも開口１０４ｈの位置や内側形状に厳密に合致したものであるとは限らず、各種の要因によってばらつきがある場合がある。

例えば、マスク１０４の開口１０４ｈのサイズ（単に開口サイズとも称する）に応じて、開口１０４ｈ内への半田ＳＲの進入のし易さが異なる。図３では、マスク１０４の開口１０４ｈとして、様々なサイズの開口１０４ｈが示されている。図３では、小開口１０４ｈ１と大開口１０４ｈ２とが示されている。小開口１０４ｈ１は、開口サイズが所定閾値未満の小さな開口である。大開口１０４ｈ２は、開口サイズが所定閾値以上の大きな開口である。

マスク１０４上を摺動するスキージ１３０のアタック角度は、１つの基板１０３の印刷中には変更されない。そのため、マスク１０４が有する小開口１０４ｈ１においても大開口１０４ｈ２においてもスキージ１３０による押圧力は同じであるが、小開口１０４ｈ１よりも大開口１０４ｈ２の方が、半田ＳＲが進入し易い。そのため、小開口１０４ｈ１での半田ＳＲの体積率は、大開口１０４ｈ２での半田ＳＲの体積率よりも大きくなる傾向にある。

また、例えば、基板１０３とマスク１０４との位置合わせが不良である場合には、基板１０３における半田ＳＲの位置ずれを生じ得る。またスキージング動作における充填不良や版離れ動作における版離れ不良などを原因として、印刷量不良を生じ得る。印刷量不良は、半田ＳＲの立体形状が部分的に欠落して印刷量（半田体積）が規定量に満たない「欠け」と、半田ＳＲの印刷量が過大であり印刷範囲からはみ出した「滲み」と、を含む。印刷量不良は、例えば体積率によって示される。

このような印刷された半田ＳＲの位置ずれ又は印刷量不良（例えば印刷量の不足又は過多）等は、電子部品が実装された後のリフローによる半田接合において接合不良の原因となる。そのため、印刷検査装置２００の検査実行部２５３（図４参照）が、実装装置Ｍ４，Ｍ５による電子部品搭載に先立って半田ＳＲの印刷状態を検査し、印刷状態の良否を判定する。そして、印刷検査装置２００は、この良否判定とともに、印刷状態の位置ずれ又は印刷量不良などを示す検査結果のデータを、必要に応じて印刷装置１００へフィードバックする。検査結果のデータは、印刷された半田ＳＲの位置の座標、面積、高さ、又は体積等が含まれてよい。また、検査結果のデータは、所望の印刷部位に対する実際の印刷位置の位置ずれの情報又は体積率の情報等を含んでよい。

印刷検査装置２００は、半田ＳＲの平面的な位置ずれを検査する場合、印刷後の基板１０３をカメラによって平面的に撮像し、得られた画像データを認識処理することにより、印刷形状を示す２次元データを導出し、この２次元データに基づいて半田ＳＲの印刷位置を検査してよい。また、印刷検査装置２００は、この２次元データを印刷部位の高さ方向で積分することで、３次元での半田ＳＲの位置ずれ又は印刷量不足などの検査結果のデータを算出してよい。また、印刷検査装置２００は、３次元測定器によって印刷後の基板１０３を３次元計測し、計測により得られた３次元データに基づいて、半田ＳＲの位置ずれ又は印刷量不良などの検査結果を導出してもよい。３次元測定器は、印刷検査装置２００に設けられてよい。

印刷装置１００の印刷制御部１５２は、検査結果のデータのフィードバックを受け、検査結果のデータ（例えば位置ずれの情報）に基づいて、基板１０３とマスク１０４との相対的な位置を変更するクランパ１４１又は印刷ヘッド１０６の移動を制御してよい。これにより、印刷装置１００は、半田ＳＲの位置ずれを抑制できる。

また、印刷制御部１５２は、検査結果のデータのフィードバックを受け、検査結果のデータ（例えば体積率の情報）に基づいて、スキージ１３０のアタック角度を制御してよい。これにより、印刷装置１００は、マスク１０４の開口１０４ｈに印刷された半田ＳＲの体積率を、開口サイズに応じて異なる所望の範囲に維持できる。

なお、３次元測定器は、印刷後の基板１０３に対して移動させることにより、基板１０３の任意の範囲を対象として３次元形状計測してよい。そして、検査実行部２５３は、基板１０３を３次元測定器によって計測した計測データを処理することにより、基板１０３上に印刷された半田ＳＲの形状や体積を３次元的に検出してよい。なお、半田ＳＲの面積や体積や体積の導出方法は、本実施形態で記載した具体的な方法に限られず、他の公知の方法であってもよい。

図４は、電子部品実装システム５の機能的な構成例を示すブロック図である。

電子部品実装システム５は、印刷装置１００、印刷検査装置２００、並びに、印刷装置１００及び印刷検査装置２００と通信ネットワークＮＴを介して接続された管理装置３００と、を有する。図４では、作業コンベアＭ３及び実装装置Ｍ４，Ｍ５の図示は省略されている。

印刷装置１００は、通信部１５１、印刷制御部１５２、記憶部１５３、クランパ１４１、印刷ヘッド１０６、印刷ヘッド移動機構１０５、スキージ駆動部１１０、及びマスククリーニング機構１４０を備える。印刷装置１００は、表示部１５４、スピーカ１５５、及び操作部１５６を備えてもよい。

通信部１５１は、通信ネットワークＮＴと接続され、印刷制御部１５２及び記憶部１５３等と接続される。通信部１５１は、各種のデータや情報を通信する。印刷制御部１５２は、印刷装置１００の各部による各種処理を統括し、例えば、クランパ１４１、印刷ヘッド１０６、印刷ヘッド移動機構１０５、スキージ駆動部１１０、及びマスククリーニング機構１４０を制御する。マスククリーニング機構１４０は、マスク１０４の下面をクリーニングする。

記憶部１５３は、各種のデータや情報を記憶し、例えば、印刷条件データ１５３ａを記憶する。印刷条件データ１５３ａは、印刷装置１００による印刷条件に係るデータであり、スキージのアタック角度、スキージの印圧、又はスキージ１３０がマスク上を摺動する際の摺動速度等を含んでよい。印刷制御部１５２は、印刷条件データ１５３ａに基づいて、印刷装置１００の各部を制御することにより、マスク１０４を介して作業対象の基板１０３へのスクリーン印刷を実行する。

表示部１５４は、液晶パネルなどのモニタであり、印刷装置１００への操作入力の入力画面などの各種の画面を表示する。表示部３５５は、各種データや情報を表示し、印刷条件又は印刷検査の検査結果等の情報を表示してよい。スピーカ１５５は、各種の音や音声を出力し、例えば、印刷条件、検査結果又は検査結果に基づく情報を音声で出力する。各種の表示や音声出力は、オペレータにより確認されてよい。操作部１５６は、キー、ボタン、又はタッチパネル等で構成され、各種の操作を受け付ける。各種の操作は、オペレータにより行われてよい。

印刷検査装置２００は、通信部２５１、検査制御部２５２、検査実行部２５３、及び記憶部２５４を備える。通信部２５１は、通信ネットワークＮＴと接続され、検査制御部２５２、検査実行部２５３、及び記憶部２５４等と接続される。通信部２５１は、各種のデータや情報を通信する。検査制御部２５２は、印刷検査装置２００の各部による各種処理を統括し、例えば検査実行部２５３を制御する。検査制御部２５２は、例えば、通信部２５１を介して、管理装置３００が保持する後述するガーバーデータ、基板データ、及び実装データを取得し、取得された各データを記憶部２５４に記憶させてよい。

ガーバーデータは、マスク１０４における開口１０４ｈの形状や配置を規定するデータである。ガーバーデータは、マスク１０４における各開口１０４ｈに関する情報を含んでよい。マスク１０４の各開口１０４ｈに関する情報は、マスク１０４における各開口１０４ｈの位置、各開口１０４ｈの高さ、各開口１０４ｈの平面的な面積、各開口サイズ（体積）、各開口１０４ｈの形状、開口１０４ｈの数、その他の開口１０４ｈに関する情報を含んでよい。

基板データは、基板１０３の形状に関するデータ、すなわち電極形成面における電極パターン、レジスト、及びシルクの形状や配置を規定するデータである。実装データは、基板１０３における部品実装点の位置座標など実装動作に関連するデータである。

記憶部２５４は、各種データや情報を記憶し、例えば、検査に係る検査用データ２５４ａを記憶する。検査用データ２５４ａは、検査実行部２５３における撮像時の照明条件、又は良否の判定に適用される判定閾値、等を含む。また、検査用データ２５４ａは、管理装置３００から取得されたガーバーデータ、基板データ、及び実装データを含んでよい。

検査実行部２５３は、検査制御部２５２による制御に従って、検査用データ２５４ａに基づいて、作業対象の基板１０３に対して印刷検査を実行する。この場合、検査実行部２５３は、ガーバーデータ、基板データ、及び実装データの少なくとも１つに基づいて、印刷検査を実行してよい。検査実行部２５３は、印刷検査において、マスク１０４の全ての開口１０４ｈを介して全ての電極に印刷された半田ＳＲの印刷状態を検査してよい。この印刷検査により取得された検査結果のデータは、通信部２５１及び通信ネットワークＮＴを介して、管理装置３００に送信される。

検査実行部２５３は、印刷検査において、印刷装置１００によって印刷が行われた後の基板１０３をカメラによって撮像し、撮像によって取得した画像を認識処理することにより、印刷状態の良否を検査してよい。例えば、検査実行部２５３は、各開口１０４ｈに印刷された各半田ＳＲの充填量（体積）を導出してよい。この場合、検査実行部２５３は、例えば、上述のように印刷された半田ＳＲの２次元データを積分したり、３次元計測器によって半田ＳＲの３次元データを計測したりすることで、印刷された各半田ＳＲの体積を導出してよい。検査実行部２５３は、ガーバーデータに含まれる各開口サイズと、導出された各半田ＳＲの充填量と、に基づいて、各開口１０４ｈに印刷された半田ＳＲの体積率を算出してよい。この体積率は、検査対象の印刷状態の１つである。

管理装置３００は、通信部３５１、管理制御部３５２、記憶部３５３、及び表示部３５５、を備える。通信部３５１は、通信ネットワークＮＴを介して印刷装置１００及び印刷検査装置２００と接続され、これら各装置との間でデータの授受が可能となっている。通信部３５１は、各種データや情報を通信する。例えば、通信部３５１は、印刷検査装置２００から、印刷検査の検査結果のデータを受信する。また、通信部３５１は、管理制御部３５２、記憶部３５３、及び表示部３５５と接続される。

表示部３５５は、液晶パネルなどのモニタであり、管理装置３００への操作入力の入力画面などの各種の画面を表示する。表示部３５５は、各種データや情報を表示する。記憶部３５３は、各種データや情報を記憶し、例えば、ガーバーデータ３５３ａ、基板データ３５３ｂ及び実装データ３５３ｃを記憶する。

管理制御部３５２は、管理装置３００による各種処理を統括する。管理制御部３５２は、例えば、ガーバーデータ、基板データ、及び実装データを、通信部３５１を介して他の装置（例えば印刷検査装置２００）に送信して提供可能である。管理制御部３５２は、例えば、印刷検査装置２００による印刷検査の検査結果のデータを、通信部３５１を介して印刷装置１００に送信する。

なお、各種の制御部（例えば印刷制御部１５２、検査制御部２５２、及び管理制御部３５２）は、プロセッサにより構成される。プロセッサは、例えばＭＰＵ（Micro Processing Unit）、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、又はＤＳＰ（Digital Signal Processor）を含む。各種の制御部は、各種の記憶部（例えば記憶部１５３、記憶部２５４、及び記憶部３５３）に保持されたプログラムを実行することで、各種処理又は制御等を行う。各種の記憶部は、例えばＲＡＭ（Random Access Memory）又はＲＯＭ（Read Only Memory）を含む。各種の記憶部は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）又はＳＳＤ（Solid State Drive）等を含んでもよい。各種の記憶部は、光ディスク又はＳＤカード等を含んでもよい。各種の記憶部は、例えば各種データ、各種情報、又は各種プログラムを記憶する。

次に、印刷検査装置２００による印刷検査の検査結果に基づく印刷条件の調整について説明する。ここでは、主に、検査結果のデータに含まれる体積率に基づくスキージ１３０のアタック角度の調整について説明する。

前述のように、印刷装置１００は、印刷制御部１５２がスキージ駆動部１１０の駆動を制御することで、スキージ１３０のアタック角度を調整可能である。スキージ１３０のアタック角度が小さい程、マスク１０４への半田ＳＲの充填力が大きく、半田ＳＲが印刷される体積率が大きくなる。一方、スキージ１３０のアタック角度が大きい程、マスク１０４への半田ＳＲの充填力が小さく、半田ＳＲが印刷される体積率が小さくなる。

図５は、スキージ１３０のアタック角度と半田ＳＲの充填量との相関関係の一例を示す模式図である。図５に示すように、スキージ１３０のアタック角度の減少に比例して、充填量が大きくなり、体積率も大きくなる。スキージ１３０のアタック角度と充填量とは線形な相関を有する。

図６は、スキージ１３０のアタック角度を７０度としてマスク１０４を介して半田ＳＲを基板１０３へ印刷することを示す模式図である。図７は、スキージ１３０のアタック角度を５０度としてマスク１０４を介して半田ＳＲを基板１０３へ印刷することを示す模式図である。

図６及び図７に示すように、スキージ１３０のアタック角度が７０度の場合よりも５０度の場合の方が、印刷面における充填区間（充填領域）が大きく、充填力が強く、半田ＳＲの体積も大きい。これは、スキージ１３０のアタック角度が５０度の方が、スキージ１３０のアタック角度が小さい分、マスク面において広範囲で半田ＳＲが押圧されて広範囲に充填され、マスク面の近くにスキージ１３０が配置されるためである。また、スキージ１３０のアタック角度が７０度の場合よりも５０度の場合の方が、半田ＳＲのマスク面に対するローリング速度が大きくなる。

図８は、印刷検査の検査結果のフィードバックの有無に応じた体積率の時間変化を示す図である。

例えば、半田ＳＲが開封されてから長時間が経過し、又は、各種部品の取り換えや休憩のために基板１０３上に載置されてから長時間が経過したとする。この場合、半田ＳＲは、時間経過とともに半田ＳＲの粘度が大きくなる。半田ＳＲがチキソ性を有するためである。そのため、スキージ１３０でマスク面に半田ＳＲを押圧しても半田ＳＲが開口１０４ｈに進入し難くなり、印刷される半田ＳＲの体積率が低下する。また、印刷によってマスク１０４の汚れ（例えば半田ＳＲの残存）が増大すると、時間経過とともに、開口１０４ｈに対する半田ＳＲの体積率が大きくなることもあり得る。例えば、印刷後にマスク１０４の下面のクリーニングをせずに印刷し続けた場合、マスク１０４の下面に汚れが残り、滲みが生じて、印刷体積が増大し得る。

印刷検査装置２００の検査実行部２５３は、電子部品実装システム５の動作中（運転中）に、基板１０３を１枚ずつ検査する。そして、通信部２５１が、管理装置３０を経由して印刷装置１００へ又は直接に印刷装置１００へ検査結果のデータを送信することで、印刷装置１００へ検査結果をフィードバックする。

印刷装置１００の印刷制御部１５２は、通信部１５１を介して管理装置３００から又は印刷検査装置２００から、印刷検査の検査結果のデータを取得する。検査結果のデータは、体積率の情報を含む。印刷制御部１５２は、上記の相関情報を参照し、取得された検査結果のデータ（例えば体積率）に基づいて、この体積率が所望の値になるように、例えば一定になるように、スキージ１３０のアタック角度を決定し、決定されたスキージ１３０のアタック角度となるように制御する。なお、所望の体積率の値は、マスク１０４の開口サイズに応じて異なる。

このアタック角度の制御は、検査結果のデータの取得する毎に実施されてよい。検査結果のデータは、基板１０３毎の印刷状態を示すデータとして得られてよい。したがって、例えば、印刷制御部１５２は、基板１０３毎の検査結果のデータとして、時系列で半田ＳＲの体積率が減少した場合、スキージ１３０のアタック角度を小さくし（つまりスキージを倒し）、時系列で半田ＳＲの体積率が増加した場合、スキージ１３０のアタック角度を大きくして（つまりスキージを立てて）よい。このようにして、印刷装置１００は、印刷される半田ＳＲの体積率を安定化させることが可能である。

図８の（Ａ）では、比較例として、印刷検査装置２００による印刷状態の検査結果をフィードバックしない場合を示している。この場合、スキージ１３０のアタック角度は固定されており、スキージ１３０による押圧力は変化しない。図８（Ａ）では、例えば、時間経過に伴って半田ＳＲの粘度が大きくなることで、半田ＳＲが印刷される体積率が低下している。

図８の（Ｂ）では、本実施形態として、印刷検査装置２００による印刷状態の検査結果をフィードバックする場合を示している。この場合、印刷制御部１５２は、検査結果に含まれる体積率が１００％（所望の体積率の値の一例）を挟んで所定範囲内（例えば９０％～１１０％）の体積率である場合、スキージ１３０のアタック角度を変更しない。スキージ１３０のアタック角度を変更しなくても、開口に対する半田ＳＲの充填具合が許容範囲であるためである。なお、所定範囲内が、体積率１００％のみであってもよい。なお、例えば、体積率１００％（ＳＰＩ１００％）とは、半田ＳＲを充填すべき印刷領域（開口１０４ｈ）の体積と同じ体積の半田ＳＲが充填されていて、且つ、版離れした（マスク１０４から基板１０３から離れた）ときに、基板１０３側にこの半田ＳＲが全部残っている状態である。

一方、印刷制御部１５２は、検査結果に含まれる体積率が１００％を挟んで所定範囲外（例えば９０％未満又は１１０％より大きい）の体積率である場合、スキージ１３０のアタック角度を変更する。例えば、図８の（Ｂ）では、体積率が上記の所定範囲の下限値（例えば９０％）未満である場合、スキージ１３０のアタック角度を小さくするよう制御する。これにより、マスク１０４の開口１０４ｈに対する半田ＳＲの充填力が大きくなり、半田ＳＲが印刷される体積率が大きくなることが期待できる。

一方、不図示であるが、体積率が上記の所定範囲の上限値（例えば１１０％）より大きい場合、スキージ１３０のアタック角度を大きくするよう制御する。これにより、マスク１０４の開口１０４ｈに対する半田ＳＲの充填力が小さくなり、半田ＳＲが印刷される体積率が小さくなることが期待できる。

図８の（Ｂ）では、体積率が上記の所定範囲の下限値（例えば９０％）未満である場合に、スキージ１３０のアタック角度を小さくするよう制御することで、スキージ１３０のアタック角度の変更直後には、体積率が１００％に戻ることが示されている。そして、時間経過とともに再度体積率が小さくなるが、再度スキージ１３０のアタック角度を小さくするよう制御することで、再度体積率が１００％に戻ることが示されている。

次に、検査結果のフィードバックに基づくスキージ１３０のアタック角度の制御の詳細について説明する。

図９は、マスク１０４の開口サイズを加味した体積率とスキージ１３０のアタック角度との相関関係の一例を示す模式図である。

図９では、横軸をアタック角度とし縦軸を体積率として、マスク１０４の開口サイズを加味したアタック角度と体積率との相関関係を二次元のマップＭＰで示している。このマップＭＰの情報は、印刷装置１００の記憶部１５３に保持される。印刷装置１００は、半田ＳＲの印刷に用いるアタック角度を所定のアタック角度とし、このアタック角度で半田ＳＲを印刷する。このアタック角度で半田ＳＲが印刷された場合の体積率を含む印刷状態が、印刷検査装置２００によって検査される。よって、印刷に用いられたアタック角度と、このアタック角度に対応して検査により得られた体積率とを、マップＭＰ上にマッピング点としてマッピングすると、二次元平面のマップＭＰ上のいずれかの位置にマッピングされる。

また、上述したように、スキージ１３０のアタック角度が小さい程、半田ＳＲの充填力が大きくなるので体積率が大きくなり、スキージ１３０のアタック角度が大きい程、半田ＳＲの充填力が小さくなるので体積率が小さくなる。また、開口１０４ｈ（小開口１０４ｈ１）のサイズが小さい程、体積率が小さくなり、開口１０４ｈ（大開口１０４ｈ２）のサイズが大きい程、体積率が大きくなる。したがって、アタック角度に対する体積率は、基本的には、アタック角度が小さい程、また、開口サイズが大きい程、体積率が大きくなり、アタック角度が大きい程、また、開口サイズが小さい程、体積率が小さくなる。

よって、開口サイズの最大値を仮定し、開口サイズの最小値を仮定すると、マップＭＰにおいて、開口サイズの最小値を示す直線Ｌ１と、開口サイズの最大値を示す直線Ｌ２と、が得られる。直線Ｌ１は、開口サイズが最小である小開口１０４ｈ１を介して半田ＳＲを印刷する場合のスキージ１３０のアタック角度と体積率との相関を示す線である。直線Ｌ２は、開口サイズが最大である大開口１０４ｈ２を介して半田ＳＲを印刷する場合のスキージ１３０のアタック角度と体積率との相関を示す線である。同様に、開口サイズの平均値を示す直線Ｌ３も得られる。直線Ｌ３は、開口サイズが平均値である開口１０４ｈを介して半田ＳＲを印刷する場合のスキージ１３０のアタック角度と体積率との相関を示す線である。

したがって、印刷に用いられたアタック角度と、このアタック角度に対応して検査により得られた体積率と、に対応するマッピング点は、マップＭＰにおいて、直線Ｌ１と直線Ｌ２とに挟まれた領域であるマッピング範囲ＭＰＡに配置される。図９では、マッピング範囲ＭＰＡは、平行四辺形の形状の範囲である。なお、ここでの開口サイズの最大値、最小値、及び平均値は、印刷装置１００により過去に半田ＳＲが印刷された１つ以上の基板に対応するマスク１０４の開口１０４ｈについての情報であってよい。

マッピング範囲ＭＰＡにおいて、体積率が所定範囲にある範囲が、ＯＫエリアＡ０となる。マッピング範囲ＭＰＡにおいて、ＯＫエリアＡ０の外側に警告エリアＡ１が位置し、更に警告エリアＡ１の外側にＮＧエリアＡ２が位置する。

ＯＫエリアＡ０とは、体積率が所望の状態であり、開口１０４ｈに対して半田ＳＲが好適に印刷されたエリアである。警告エリアＡ１とは、開口１０４ｈに対して半田ＳＲが好適に印刷されておらず、印刷装置１００が、検査結果に含まれる体積率に基づいて電子部品実装システム５の動作を停止させないが、警告情報を出力するエリアである。警告エリアＡ１は、電子部品実装システム５の動作停止が発生しないように、予めＮＧエリアＡ２に入らないように設けられたエリアである。ＮＧエリアＡ２とは、開口１０４ｈに対して半田ＳＲが好適に印刷されておらず、印刷装置１００が、検査結果に含まれる体積率に基づいて電子部品実装システム５の動作を停止させるエリアである。

警告エリアＡ１は、マッピング範囲ＭＰＡにおいて体積率が小さい領域にある警告エリアＡ１１と、マッピング範囲ＭＰＡにおいて体積率が大きい領域にある警告エリアＡ１２と、を含む。ＮＧエリアＡ２は、マッピング範囲ＭＰＡにおいて体積率が小さい領域にあるＮＧエリアＡ２１と、マッピング範囲ＭＰＡにおいて体積率が大きい領域にあるＮＧエリアＡ２２と、を含む。警告エリアＡ１よりもＮＧエリアＡ２の方が、平行四辺形の形状のマッピング範囲ＭＰＡの角部に近い方に位置する。

例えば、ＮＧエリアＡ２１は、マッピング範囲ＭＰＡにおいて、体積率が閾値ｔｈ１未満のエリアである。例えば、警告エリアＡ１１は、マッピング範囲ＭＰＡにおいて、体積率が閾値ｔｈ２（＞ｔｈ１）未満のエリアであり、且つ、ＮＧエリアＡ２１を除外したエリアである。警告エリアＡ１２は、マッピング範囲ＭＰＡにおいて、体積率が閾値ｔｈ３（＞ｔｈ２）より大きいエリアであり、且つ、ＮＧエリアＡ２２を除外したエリアである。例えば、ＮＧエリアＡ２２は、マッピング範囲ＭＰＡにおいて、体積率が閾値ｔｈ４（＞ｔｈ３）より大きいエリアである。例えば、ＯＫエリアＡ０は、マッピング範囲ＭＰＡにおいて、体積率が閾値ｔｈ２以上であり閾値ｔｈ３以下であるエリアである。

図９に示すように、ＯＫエリアＡ０の体積率の下限値である閾値ｔｈ２は、例えば５５％であり、ＯＫエリアＡ０の体積率の上限値である閾値ｔｈ３は、例えば１２５％である。開口サイズの最小値を示す直線Ｌ１と体積率５５％を示す直線との交点は、アタック角度が５８度の点である。つまり、開口サイズが最小の小開口１０４ｈ１へ印刷された半田ＳＲの体積率が５５％となるアタック角度は、約５８度である。また、開口サイズの最大値を示す直線Ｌ２と体積率１２５％を示す直線との交点は、アタック角度が５５度の点である。つまり、開口サイズが最大の大開口１０４ｈ２へ印刷された半田ＳＲの体積率が１２５％となるアタック角度は、約５８度である。よって、アタック角度が約５５度～５８度のうちのいずれかの角度であれば、いずれの開口サイズの開口１０４ｈへ半田を印刷する場合でも、マッピング点がＯＫエリアＡ０内に収まる。そのため、印刷制御部１５２は、例えば、検査結果に含まれる体積率を基に、スキージ１３０のアタック角度が約５５度～５８度のいずれかの角度に近づくようにアタック角度を制御する。

印刷装置１００の印刷制御部１５２は、通信部１５１を介して、フィードバックのデータとして、基板１０３毎に印刷状態の検査結果のデータを受信する。また、印刷制御部１５２は、印刷検査された基板１０３への半田ＳＲの印刷に用いたスキージ１３０のアタック角度の情報を取得する。このアタック角度の情報は、例えば記憶部１５３に保持されている。印刷制御部１５２は、得られたアタック角度及び体積率に対応するマッピング点をマップＭＰ上に配置する。

マッピング点の数は、例えば、半田ＳＲが充填されるマスク１０４の開口１０４ｈの数に応じた数でよく、基板１０３の電極の数に応じた数でよい。マッピング点の数は、例えば基板１０３毎に計数されてよい。例えば、１つの基板１０３上に、半田ＳＲを充填すべき印刷領域が３０００個ある場合、又は、マスク１０４の印刷対象の開口１０４ｈが３０００個ある場合、マップＭＰ上に３０００個のマッピング点が配置される。

マッピング点は、基本的にマッピング範囲ＭＰＡに含まれる。各マッピング点は、ＯＫエリアＡ０に含まれることもあり得るし、警告エリアＡ１に含まれることもあり得るし、ＮＧエリアＡ２に含まれることもあり得る。印刷制御部１５２は、マッピング点が警告エリアＡ１に含まれるか、ＮＧエリアＡ２に含まれるか、又はＯＫエリアＡ０に含まれるかに基づいて、スキージ１３０のアタック角度を決定してよい。また、印刷制御部１５２は、警告エリアＡ１に含まれるマッピング点の数、ＮＧエリアＡ２に含まれるマッピング点の数、又はＯＫエリアＡ０に含まれるマッピング点の数に基づいて、スキージ１３０のアタック角度を決定してよい。また、印刷制御部１５２は、各エリア（ＮＧエリアＡ２、警告エリアＡ１、ＯＫエリアＡ０）に含まれるマッピング点の数の代わりに、マッピング点の全数に対する各エリアに含まれるマッピング点の割合、又はその他のマッピング点に基づく指標によって、スキージ１３０のアタック角度を決定してもよい。そして、印刷制御部１５２は、決定されたスキージ１３０のアタック角度になるように制御する。制御後のアタック角度は、記憶部１５３に保持されてよい。

また、アタック角度を決定することには、アタック角度の変更量を決定することを含んでよい。変更前のアタック角度は既知の角度であるので、印刷制御部１５２は、アタック角度の変更量（後述するフィードバック角度ＦＡ）を決定することで、変更後のアタック角度を決定可能である。

ここで、スキージ１３０のアタック角度の決定例について説明する。

ここでは、小開口１０４ｈ１を介して半田ＳＲが充填された際のアタック角度及び体積率に対応するマッピング点を、小開口マッピング点とする。大開口１０４ｈ２を介して半田ＳＲが充填された際のアタック角度及び体積率に対応するマッピング点を、大開口マッピング点とする。また、小開口マッピング点がマップＭＰのＮＧエリアＡ２１に含まれる数を、小開口マッピング点のＮＧ数Ｎ１とする。大開口マッピング点がマップＭＰのＮＧエリアＡ２２に含まれる数を、大開口マッピング点のＮＧ数Ｎ２とする。小開口マッピング点が警告エリアＡ１１に含まれる数を、小開口マッピング点の警告数Ｗ１とする。大開口マッピング点が警告エリアＡ１２に含まれる数を、大開口マッピング点の警告数Ｗ２とする。

印刷制御部１５２は、小開口マッピング点のＮＧ数Ｎ１と大開口マッピング点のＮＧ数Ｎ２とに基づいて、スキージ１３０のアタック角度を決定してよい。また、印刷制御部１５２は、ＮＧ数Ｎ１及びＮＧ数Ｎ２とともに、小開口マッピング点の警告数Ｗ１と大開口マッピング点の警告数Ｗ２とに基づいて、スキージ１３０のアタック角度を決定してよい。印刷制御部１５２は、スキージ１３０のアタック角度を決定する際、まず角度決定用の中間パラメータ（途中経過のパラメータ）を算出し、中間パラメータに基づいてスキージ１３０のアタック角度を導出してよい。

印刷制御部１５２は、ＮＧ数Ｎ１、ＮＧ数Ｎ２、警告数Ｗ１、及び警告数Ｗ２に基づいてスキージ１３０のアタック角度を決定する場合、例えば以下の式（１）に従って、角度決定用の中間パラメータＷを算出してよい。中間パラメータＷは、基板１０３毎に算出されてよい。
Ｗ＝（Ｎ１×Ａ）＋（Ｗ１×Ｂ）－（Ｎ２×Ｃ）－（Ｗ２×Ｄ） ・・・式（１）
なお、係数ＡはＮＧ数Ｎ１に対する重みづけの係数である。係数Ｂは警告数Ｗ１に対する重みづけの係数である。係数ＣはＮＧ数Ｎ２に対する重みづけの係数である。係数Ｄは警告数Ｗ２に対する重みづけの係数である。

例えば、小開口マッピング点のＮＧ数Ｎ１が６個であり、重みづけの係数Ａが５であるとする。また、小開口マッピング点の警告数Ｗ１が２４個であり、重みづけの係数Ｂが２であるとする。また、大開口マッピング点のＮＧ数Ｎ２が８個であり、重みづけの係数Ｃが３であるとする。また、大開口マッピング点の警告数Ｗ２が２６個であり、重みづけの係数Ｂが１であるとする。この場合、式（１）に従った中間パラメータＷは、以下のような値となる。
Ｗ＝（６個×５）＋（２４個×２）－（８個×３）－（２６個×１）＝＋２８

印刷制御部１５２は、中間パラメータＷに基づいて、フィードバック角度ＦＡを決定してよい。フィードバック角度ＦＡは、現状のスキージ１３０のアタック角度からの角度の変更量を示す。

印刷制御部１５２は、例えば、算出された中間パラメータＷが正の値である場合、中間パラメータＷの絶対値の大きさに応じて、フィードバック角度ＦＡを小さくして、スキージ１３０のアタック角度を小さくしてよい。つまり、この場合、印刷制御部１５２は、変更後のスキージ１３０を変更前の状態よりも寝かせてよい。これにより、現状では体積率が過小である場合でも、半田ＳＲの充填力を増大でき、体積率が大きくなることが期待できる。

また、印刷制御部１５２は、算出された中間パラメータＷが負の値である場合、中間パラメータＷの絶対値の大きさに応じて、フィードバック角度ＦＡを大きくして、スキージ１３０のアタック角度を大きくしてよい。つまり、この場合、印刷制御部１５２は、変更後のスキージ１３０を変更前の状態よりも立たせてもよい。これにより、現状では体積率が過大である場合でも、半田ＳＲの充填力を小さくでき、体積率が小さくなることが期待できる。

印刷制御部１５２は、スキージ１３０のアタック角度のフィードバック用のテーブルＴ１を参照して、中間パラメータＷに基づいてフィードバック角度ＦＡを算出してよい。このテーブルＴ１は、例えば印刷装置１００の記憶部１５３に保持されていてよい。図１０は、フィードバック角度の情報を保持するテーブルＴ１の一例を示す図である。テーブルＴ１では、中間パラメータＷの値の範囲毎に、フィードバック角度ＦＡが予め定められている。印刷制御部１５２は、中間パラメータＷが大きい程、フィードバック角度ＦＡつまりスキージ１３０のアタック角度を小さくし、中間パラメータＷが小さい程、フィードバック角度ＦＡつまりスキージ１３０のアタック角度を大きくする。なお、図１０のテーブルＴ１は一例であり、印刷制御部１５２は、このテーブルＴ１以外の情報に基づいて、フィードバック角度ＦＡを決定してよい。

なお、式（１）において、係数Ａと係数Ｃとは、両方ともＮＧ数に対する重みづけの係数であるが、係数Ａが係数Ｃよりも大きく設定される。同様に、係数Ｂと係数Ｄとは、両方とも警告数に対する重みづけの係数であるが、係数Ａが係数Ｃよりも大きく設定される。これは、小開口１０４ｈ１に対する半田ＳＲの体積率の方が、大開口１０４ｈ２に対する半田ＳＲの体積率よりも、印刷品質の向上のために重要な指標であることを示している。小開口１０４ｈ１で半田ＳＲが過小である場合には、半田ＳＲが足りずに印刷不良となって不良品が生成され易くなる。大開口１０４ｈ２で半田ＳＲの充填量が過大である場合には、ブリッジができやすくなる。なお、半田ＳＲの不足する方が、半田ＳＲが過大である場合よりも生産性が低下する。

また、式（１）において、係数Ａと係数Ｂとは、同じ小開口１０４ｈ１の体積率に対する重みづけの係数であるが、係数Ａが係数Ｂよりも大きく設定される。同様に、係数Ｃと係数Ｄとは、同じ大開口１０４ｈ２の体積率に対する重みづけの係数であるが、係数Ｃが係数Ｄよりも大きく設定される。これは、マッピング点がＮＧとなって電子部品実装システム５が停止する方が、警告情報を単に出力するよりも、生産性の低下に大きく影響することを示している。

電子部品実装システム５は、マップＭＰのＮＧエリアＡ２に、得られたアタック角度及びこのアタック角度で充填した場合の体積率に対応するマッピング点が含まれる場合、印刷不良であると判定し、電子部品実装システム５を停止させる。これにより、電子部品実装システム５のオペレータは、印刷に係る設定を見直したり、古い半田ＳＲの使用を取りやめたり、半田ＳＲが印刷されるマスク１０４を交換したりクリーニングしたりできる。よって、印刷装置１００は、印刷不良の状態で半田ＳＲの印刷が継続されることを抑制できる。一方、システムが停止するので、生産効率は低下する。

また、電子部品実装システム５は、マップＭＰのＮＧエリアＡ２に、得られたアタック角度及びこのアタック角度で充填した場合の体積率に対応するマッピング点が含まれる場合、印刷不良に近い状態であると判定し、電子部品実装システム５を停止させないが、警告情報を出力する。例えば、印刷制御部１５２は、表示部１５４又はスピーカ１５５を介して、警告情報を出力してよい。これにより、オペレータは、体積率に対応するマッピング点がＮＧエリアに近づいており、印刷状態に留意する必要があることを認識でき、例えば印刷エラーとなる前に事前の対応を行うことができる。例えば、体積率が過大であるという警告情報を確認したオペレータが、操作部１５６を介してマスククリーニング機構１４０を駆動して、マスク１０４の下面を清掃することで、体積率が下がるように対応してもよい。一方、オペレータの留意が必要となり、やはり生産効率は低下する。

生産効率の低下に対し、電子部品実装システム５は、印刷状態（例えば体積率）を検査結果としてフィードバックし、検査結果を基に印刷条件（例えばスキージ１３０のアタック角度）を調整できる。この場合、印刷状態（例えば体積率）を所望の状態（例えばマッピング点がＯＫエリアＡ０に含まれる状態）に近づけることができる。

よって、電子部品実装システム５は、フィードバックによりスキージ１３０のアタック角度を調整することで、調整されたアタック角度及びこのアタック角度で充填した場合の体積率に対応するマッピング点がマップＭＰのＮＧエリアＡ２に入ることを抑制でき、電子部品実装システム５の動作が停止する頻度を小さくできる。よって、電子部品実装システム５は、例えばオペレータが、電子部品実装システム５の動作の停止に伴う電子部品実装システム５の確認作業や印刷状態を改善するための作業を実施する頻度を小さくできる。

同様に、電子部品実装システム５は、フィードバックによりスキージ角度を調整することで、調整されたアタック角度及びこのアタック角度で充填した場合の体積率に対応するマッピング点がマップＭＰの警告エリアＡ１に入ることを抑制でき、警告情報の出力頻度を小さくできる。よって、警告情報の出力をオペレータが留意する頻度が減り、オペレータの負担を低減できる。また、電子部品実装システム５は、体積率に対応するマッピング点がＮＧエリアＡ２に含まれることを予備的に防止でき、生産性の低下を一層抑制できる。

また、印刷装置１００は、印刷条件（例えばスキージ１３０のアタック角度）の変更を繰り返すことで、調整後のスキージ角度で印刷された半田ＳＲの体積率が徐々に変化し、体積率に対応するマッピング点が警告エリアＡ１内に含まれ始めた場合、体積率が適正になるように、スキージ１３０のアタック角度を変更する。印刷制御部１５２は、このようなアタック角度の変更を、警告エリアＡ１に含まれ始める毎に実施してよい。よって、印刷装置１００は、体積率は、多少上下しながらも、適正な体積率（例えば体積率１００％）を継続的に維持可能である（図８の（Ｂ）参照）。

また、比較例として、以下のようなことも想定される。

小開口１０４ｈ１（例えば０４０２チップを実装するための開口）に対して半田ＳＲが印刷される体積率は、平均７０％程である。また、大開口１０４ｈ２に対して半田ＳＲが印刷される体積率は、平均１４０％程である。つまり、半田ＳＲが充填される開口サイズに応じて、最適な半田ＳＲの充填量（体積）が異なる。小開口１０４ｈ１での最適な体積率は、大開口１０４ｈ２での最適な体積率よりも小さい。そのため、小開口１０４ｈ１での体積率を１００％にしようとすると、大開口１０４ｈ２での体積率が過大となって滲みが発生し、隣接する複数の大開口１０４ｈ２から半田ＳＲがそれぞれはみ出すことで、ブリッジが多発し得る。逆に、大開口１０４ｈ２での体積率を１００％にしようとすると、小開口１０４ｈ１での体積率が過小となり、半田Ｒの欠けが発生して、電子部品の装着性が不十分となる。また、マスク１０４全体を加味した最適な充填量をフィードバックすることは、開口サイズに応じて最適な充填量が異なるので、困難である。

これに対し、本実施形態の電子部品実装システム５は、例えば、小開口１０４ｈ１での体積率に対応するマッピング点のＮＧ数や警告数、及び、大開口１０４ｈ２での体積率に対応するマッピング点のＮＧ数や警告数、に基づいて、スキージ１３０のアタック角度を調整できる。この場合、調整後のスキージ１３０のアタック角度でマスク１０４の開口１０４ｈを介して印刷された半田ＳＲの体積率に対応するマッピング点が、マップＭＰのＯＫエリアＡ０に収まるように、アタック角度が調整される。よって、電子部品実装システム５は、小開口１０４ｈ１でも大開口ｈ２でも印刷された体積率が所望の範囲に収まるようにでき、つまり開口サイズに依存せずに、開口１０４ｈを介した半田ＳＲの印刷を安定して実施できる。よって、電子部品実装システム５は、電子部品の実装の信頼性も高く維持しつつ、生産性も高く維持できる。

また、電子部品実装システム５は、スキージ１３０のアタック角度を順次調整でき、半田ＳＲの充填量（体積）を適切に調整でき、連続的に良品の生産を実現できる。

次に、本実施形態のバリエーションについて説明する。

本実施形態では、印刷装置１００が、印刷検査の検査結果に基づくスキージ１３０のアタック角度を決定し、そのアタック角度となるように制御することを例示したが、これに限られない。つまり、印刷装置１００以外の装置（例えば管理装置３００）の制御部（例えば管理制御部３５２）が、印刷検査の検査結果に基づくスキージ１３０のアタック角度を決定し、通信部（例えば通信部３５１）を介して、決定されたアタック角度を印刷装置１００に送信してよい。そして、印刷装置１００は、通信部１５１が、決定されたアタック角度を受信し、印刷制御部１５２が、決定されたアタック角度となるように制御してよい。

本実施形態では、印刷された半田ＳＲの体積（例えば体積率）を基に、スキージ１３０のアタック角度を制御することを例示したが、これに限られない。体積の代わりに、面積を用いてもよい。印刷された半田ＳＲの面積（例えば面積率）を基に、スキージ１３０のアタック角度を制御してもよい。この面積率は、例えば、二次元の印刷領域（印刷面）のサイズに対する半田が実際に印刷された二次元の面積を示す。この印刷面は、例えば、基板１０３の電極の上面であり、基板１０３の上面に当接するマスクの開口面でよい。

以上のように、本実施形態の電子部品実装システム５（印刷システムの一例）は、基板１０３に半田ＳＲを印刷するシステムである。電子部品実装システム５は、印刷装置１００と、印刷検査装置２００（検査装置の一例）と、管理装置３００と、を備える。印刷装置１００の印刷ヘッド１０６（印刷部の一例）は、所定の開口１０４ｈを有するマスク１０４を介して、基板１０３上に形成された複数の電極にスキージ１３０を用いて半田ＳＲを印刷する。印刷検査装置２００の検査実行部２５３は、開口１０４ｈのサイズに対する印刷された半田ＳＲの充填量を示す体積率を検査する。管理装置３００の通信部３５１は、印刷検査装置２００から体積率の検査結果を取得すると共に、印刷装置１００へ検査結果を送信する。印刷装置１００は、通信部１５１（受信部の一例）が、印刷検査装置２００から体積率の検査結果を受信し、印刷制御部１５２（制御部の一例）が、検査結果に基づいてスキージ１３０のアタック角を変更する。

半田ＳＲの物性が変化すると、半田ＳＲの粘土が変化し、半田ＳＲの充填力が変化し、所望の印刷状態と実際の体積率等の印刷状態とで乖離が生じ得る。また、マスク１０４上に汚れ等がある場合でも、所望の印刷状態と実際の印刷状態とで乖離が生じ得る。これに対し、印刷装置１００は、実際に印刷された半田ＳＲに対して印刷検査装置２００で検査された体積率の検査結果を例えばリアルタイムにフィードバックとして取得し、スキージ１３０のアタック角度を調整できる。よって、印刷装置１００は、半田の物性又はマスク１０４の状態等に基づく現状の印刷状態を加味して印刷条件を決定でき、印刷不良の発生を抑制できる

また、基板１０３は、複数存在してよい。印刷装置１００は、印刷ヘッド１０６が、開口１０４ｈを介して複数の基板１０３に半田ＳＲを順次印刷し、通信部１５１が、順次印刷された半田ＳＲに対する体積率の検査結果を順次取得し、印刷制御部１５２が、順次取得された検査結果の体積率が時系列で減少した場合、スキージ１３０のアタック角を小さくしてよい。

これにより、印刷装置１００は、マスク１０４の開口１０４ｈに対する半田ＳＲの充填力を大きくでき、体積率を大きくするよう変更できる。よって、印刷装置１００は、例えばマスク１０４の開口１０４ｈに対する半田ＳＲが不足し、半田ＳＲによる部品の実装の信頼性が低下することを抑制できる。

また、基板１０３は、複数存在してよい。印刷装置１００は、印刷ヘッド１０６が、開口１０４ｈを介して複数の基板１０３に半田ＳＲを順次印刷し、通信部１５１が、順次印刷された半田ＳＲに対する体積率の検査結果を順次取得し、印刷制御部１５２が、順次取得された検査結果の体積率が時系列で増大した場合、スキージ１３０のアタック角を大きくしてよい。

これにより、印刷装置１００は、マスク１０４の開口１０４ｈに対する半田ＳＲの充填力を小さくでき、体積率を小さくするよう変更できる。よって、印刷装置１００は、例えば、マスク１０４の開口１０４ｈに対して半田ＳＲの印刷が余剰となり、マスク１０４において隣接する開口１０４ｈに印刷された半田ＳＲとともにブリッジが形成され、実装の信頼性が低下することを抑制できる。

また、マスク１０４は、第１の体積を有する複数の小開口１０４ｈ１（第１の開口の一例）と、第１の体積よりも大きな第２の体積を有する複数の大開口１０４ｈ２（第２の開口の一例）と、を有してよい。印刷検査装置２００は、小開口１０４ｈ１に対して印刷された半田ＳＲの体積率である第１の体積率と、大開口に１０４ｈ２に対して印刷された半田ＳＲの体積率である第２の体積率と、を検査してよい。印刷装置１００の印刷制御部１５２は、複数の小開口１０４ｈ１のうち、第１の体積率が第１の所定範囲（例えばＯＫエリアＡ０と警告エリアＡ１とを含むエリア）の外側（例えばＮＧエリアＡ２）にある小開口１０４ｈ１の数を示す第１の数（例えばＮＧ数Ｎ１）と、複数の大開口１０４ｈ２のうち、第２の体積率が第１の所定範囲の外側にある大開口１０４ｈ２の数を示す第２の数（例えばＮＧ数Ｎ２）と、に基づいて、スキージ１３０のアタック角を変更してよい。

これにより、印刷装置１００は、変更されたアタック角度のスキージ１３０を用いて開口１０４ｈを介して半田ＳＲを印刷した場合、どのような開口サイズの開口１０４ｈであっても、印刷に支障をきたす程に体積率が過小又は過大となることを抑制できる。よって、印刷装置１００は、電子部品実装システム５の運転に影響を与える（例えば停止する）頻度を低減できる。よって、印刷装置１００は、例えばオペレータによる人為的作業を低減でき、システムの稼働効率を向上でき、生産性を向上できる。

また、印刷装置１００の印刷制御部１５２は、複数の小開口１０４ｈ１のうち、第１の体積率が第１の所定範囲に含まれると共に第１の所定範囲よりも狭い第２の所定範囲（例えばＯＫエリアＡ０）の外側（例えば警告エリアＡ１）にある小開口１０４ｈ１の数を示す第３の数（例えば警告数Ｗ１）と、複数の大開口１０４ｈ２のうち、第２の体積率が第１の所定範囲に含まれると共に第２の所定範囲の外側にある大開口１０４ｈ２の数を示す第４の数（例えば警告数Ｗ２）と、に基づいて、スキージ１３０のアタック角を変更してよい。

これにより、変更されたアタック角度のスキージ１３０を用いて開口１０４ｈを介して半田ＳＲを印刷した場合、どのような開口サイズの開口１０４ｈであっても、体積率が過小又は過大となることを一層抑制でき、電子部品実装システム５の運転に影響を与える頻度を更に低減できる。

以上、図面を参照しながら各種の実施形態について説明したが、本開示はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例又は修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本開示の技術的範囲に属するものと了解される。また、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において、上記実施形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。

また、上記実施形態では、プロセッサは、物理的にどのように構成してもよい。また、プログラム可能なプロセッサを用いれば、プログラムの変更により処理内容を変更できるので、プロセッサの設計の自由度を高めることができる。プロセッサは、１つの半導体チップで構成してもよいし、物理的に複数の半導体チップで構成してもよい。複数の半導体チップで構成する場合、上記実施形態の各制御をそれぞれ別の半導体チップで実現してもよい。この場合、それらの複数の半導体チップで１つのプロセッサを構成すると考えることができる。また、プロセッサは、半導体チップと別の機能を有する部材（コンデンサ等）で構成してもよい。また、プロセッサが有する機能とそれ以外の機能とを実現するように、１つの半導体チップを構成してもよい。また、複数のプロセッサが１つのプロセッサで構成されてもよい。

本開示は、半田の物性又はマスクの状態等に基づく現状の印刷状態を加味して印刷条件を決定でき、印刷不良の発生を抑制できる印刷システム、印刷装置及び制御方法等に有用である。

５ 電子部品実装システム
１００ 印刷装置
１０２ 基板搬送機構
１０３ 基板
１０４ マスク
１０４ｈ 開口
１０４ｈ１ 小開口
１０４ｈ２ 大開口
１０５ 印刷ヘッド移動機構
１０６ 印刷ヘッド
１０７ 送りねじ
１０８ モータ
１０９ 移動ベース
１１０ スキージ駆動部
１１０Ａ 第１駆動部
１１０Ｂ 第２駆動部
１１１Ａ 第１昇降軸
１１１Ｂ 第２昇降軸
１１２ 揺動部材
１３０ スキージ
１３１Ａ 第１ブレード
１３１Ｂ 第２ブレード
１４０ マスククリーニング機構
１５１ 通信部
１５２ 印刷制御部
１５３ 記憶部
２００ 印刷検査装置
２５１ 通信部
２５２ 検査制御部
２５３ 検査実行部
２５４ 記憶部
３００ 管理装置
３５１ 通信部
３５２ 管理制御部
３５３ 記憶部
Ｍ３ 作業コンベア
Ｍ４，Ｍ５ 実装装置
ＮＴ 通信ネットワーク
ＳＲ 半田

Claims (11)

1. 基板に半田を印刷する印刷システムであって、
   所定の開口を有するマスクを介して、前記基板上に形成された複数の電極にスキージを用いて半田を印刷する印刷装置と、
   前記開口のサイズに対する前記印刷された半田の充填量を示す体積率を検査する検査装置と、
   前記検査装置から前記体積率の検査結果を取得すると共に、前記印刷装置へ前記検査結果を送信する管理装置を備え、
   前記印刷装置は、前記検査結果に基づいて前記スキージのアタック角を変更する印刷システム。
2. 前記基板は、複数存在し、
   前記印刷装置は、
   前記開口を介して前記複数の基板に半田を順次印刷し、
   順次印刷された半田に対する前記体積率の検査結果を順次取得し、
   順次取得された前記検査結果の体積率が時系列で減少した場合、前記スキージのアタック角を小さくする、
   請求項１に記載の印刷システム。
3. 前記基板は、複数存在し、
   前記印刷装置は、
   前記開口を介して前記複数の基板に半田を順次印刷し、
   順次印刷された半田に対する前記体積率の検査結果を順次取得し、
   順次取得された前記検査結果の体積率が時系列で増大した場合、前記スキージのアタック角を大きくする、
   請求項１に記載の印刷システム。
4. 前記マスクは、第１の体積を有する複数の第１の開口と、前記第１の体積よりも大きな第２の体積を有する複数の第２の開口と、を有し、
   前記検査装置は、前記第１の開口に対して印刷された半田の体積率である第１の体積率と、前記第２の開口に対して印刷された半田の体積率である第２の体積率と、を検査し、
   前記印刷装置は、複数の前記第１の開口のうち、前記第１の体積率が第１の所定範囲の外側にある前記第１の開口の数を示す第１の数と、複数の前記第２の開口のうち、前記第２の体積率が前記第１の所定範囲の外側にある前記第２の開口の数を示す第２の数と、に基づいて、前記スキージのアタック角を変更する、
   請求項１～３のいずれか１項に記載の印刷システム。
5. 前記印刷装置は、複数の前記第１の開口のうち、前記第１の体積率が前記第１の所定範囲に含まれると共に前記第１の所定範囲よりも狭い第２の所定範囲の外側にある前記第１の開口の数を示す第３の数と、複数の前記第２の開口のうち、前記第２の体積率が前記第１の所定範囲に含まれると共に前記第２の所定範囲の外側にある前記第２の開口の数を示す第４の数と、に基づいて、前記スキージのアタック角を変更する、
   請求項４に記載の印刷システム。
6. 基板に半田を印刷すると共に、前記印刷された半田について検査を行う検査装置の上流に設けられる印刷装置であって、
   所定の開口を有するマスクを介して、前記基板上に形成された複数の電極にスキージを用いて半田を印刷する印刷部と、
   前記検査装置から、前記開口のサイズに対する前記印刷された半田の充填量を示す体積率の検査結果を受信する受信部と、
   前記検査結果に基づいて前記スキージのアタック角を制御する制御部と、
   を備える印刷装置。
7. 前記基板は、複数存在し、
   前記印刷部は、前記開口を介して前記複数の基板に半田を順次印刷し、
   前記受信部は、順次印刷された半田に対する前記体積率の検査結果を順次受信し、
   前記制御部は、順次取得された前記検査結果の体積率が時系列で減少した場合、前記スキージのアタック角を小さくする、
   請求項６に記載の印刷装置。
8. 前記基板は、複数存在し、
   前記印刷部は、前記開口を介して前記複数の基板に半田を順次印刷し、
   前記受信部は、順次印刷された半田に対する前記体積率の検査結果を順次受信し、
   前記制御部は、順次取得された前記検査結果の体積率が時系列で増大した場合、前記スキージのアタック角を大きくする、
   請求項６に記載の印刷装置。
9. 前記マスクは、第１の体積を有する複数の第１の開口と、前記第１の体積よりも大きな第２の体積を有する複数の第２の開口と、を有し、
   前記検査装置は、前記第１の開口に対して印刷された半田の体積率である第１の体積率と、前記第２の開口に対して印刷された半田の体積率である第２の体積率と、を検査し、
   前記制御部は、複数の前記第１の開口のうち、前記第１の体積率が第１の所定範囲の外側にある前記第１の開口の数を示す第１の数と、複数の前記第２の開口のうち、前記第２の体積率が前記第１の所定範囲の外側にある前記第２の開口の数を示す第２の数と、に基づいて、前記スキージのアタック角を変更する、
   請求項６～８のいずれか１項に記載の印刷装置。
10. 前記制御部は、複数の前記第１の開口のうち、前記第１の体積率が前記第１の所定範囲に含まれると共に前記第１の所定範囲よりも狭い第２の所定範囲の外側にある前記第１の開口の数を示す第３の数と、複数の前記第２の開口のうち、前記第２の体積率が前記第１の所定範囲に含まれると共に前記第２の所定範囲の外側にある前記第２の開口の数を示す第４の数と、に基づいて、前記スキージのアタック角を変更する、
    請求項９に記載の印刷装置。
11. 基板に半田を印刷するスキージのアタック角度を制御する制御方法であって、
    所定の開口を有するマスクを介して、前記基板上に形成された複数の電極に前記スキージを用いて半田を印刷するステップと、
    前記印刷された半田について検査を行う検査装置から、前記開口のサイズに対する前記印刷された半田の充填量を示す体積率の検査結果を受信するステップと、
    前記検査結果に基づいて前記スキージのアタック角を制御するステップと、
    を有する制御方法。

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