JP2005300553A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005300553A5 JP2005300553A5 JP2005172304A JP2005172304A JP2005300553A5 JP 2005300553 A5 JP2005300553 A5 JP 2005300553A5 JP 2005172304 A JP2005172304 A JP 2005172304A JP 2005172304 A JP2005172304 A JP 2005172304A JP 2005300553 A5 JP2005300553 A5 JP 2005300553A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- inspected
- inspection apparatus
- defect inspection
- illumination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Claims (6)
- 被検査対象物を載置して少なくとも一軸方向に移動可能なステージ手段と、
レーザ光源から出射されたレーザビームを長手方向にはほぼ平行光であるスリット状ビームにして前記ステージ手段に載置された被検査対象物の表面の法線方向に対して所定の傾きを有し、前記スリット状ビームの長手方向に沿った照明方向から前記被検査対象物の表面に照明する照明光学系と、
前記被検査対象物上に存在する回路パターンの少なくとも繰り返しパターンからの回折光パターンを遮光する空間フィルタを有し、前記照明光学系によって照明されたスリット状ビームによって前記被検査対象物上に存在する異物等の欠陥から得られる反射散乱光による像を結像する結像光学系と、
該結像光学系で結像された像を受光して前記ステージの移動と同期して光電変換信号を出力するイメージセンサと、
該イメージセンサから出力された信号に基づいて異物等の欠陥を示す信号を抽出処理する画像処理部とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記イメージセンサをTDIセンサで構成したことを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記照明光学系において、前記スリット状ビームを、シリンドリカルレンズを用いて形成することを特徴とする請求項1又は2記載の欠陥検査装置。
- 前記照明光学系において、前記スリット状ビームの前記長手方向に沿った照明方向を平面上回路パターンの主要な直線群に対して傾けることを特徴とする請求項1又は2記載の欠陥検査装置。
- 前記照明光学系において、前記スリット状ビームが前記照明の入射面に平行な形状であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに一つに記載の欠陥検査装置。
- 前記検出光学系において、光軸を被検査対象基板の法線に対して傾けたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005172304A JP3904581B2 (ja) | 1998-07-28 | 2005-06-13 | 欠陥検査装置およびその方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21305698 | 1998-07-28 | ||
JP2005172304A JP3904581B2 (ja) | 1998-07-28 | 2005-06-13 | 欠陥検査装置およびその方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004146031A Division JP3904565B2 (ja) | 1998-07-28 | 2004-05-17 | 欠陥検査装置およびその方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005300553A JP2005300553A (ja) | 2005-10-27 |
JP2005300553A5 true JP2005300553A5 (ja) | 2006-09-07 |
JP3904581B2 JP3904581B2 (ja) | 2007-04-11 |
Family
ID=35332205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005172304A Expired - Lifetime JP3904581B2 (ja) | 1998-07-28 | 2005-06-13 | 欠陥検査装置およびその方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3904581B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3981696B2 (ja) * | 1998-07-28 | 2007-09-26 | 株式会社日立製作所 | 欠陥検査装置およびその方法 |
JP4996856B2 (ja) | 2006-01-23 | 2012-08-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査装置およびその方法 |
TW200745771A (en) * | 2006-02-17 | 2007-12-16 | Nikon Corp | Adjustment method, substrate processing method, substrate processing apparatus, exposure apparatus, inspection apparatus, measurement and/or inspection system, processing apparatus, computer system, program and information recording medium |
JP4851960B2 (ja) * | 2006-02-24 | 2012-01-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 異物検査方法、および異物検査装置 |
US7664608B2 (en) | 2006-07-14 | 2010-02-16 | Hitachi High-Technologies Corporation | Defect inspection method and apparatus |
JP4928862B2 (ja) | 2006-08-04 | 2012-05-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法及びその装置 |
JP2008020374A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法およびその装置 |
WO2010113228A1 (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 検査装置及び検査方法 |
JP5581343B2 (ja) * | 2012-01-13 | 2014-08-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法およびその装置 |
JP6559601B2 (ja) * | 2016-03-23 | 2019-08-14 | 信越半導体株式会社 | 検出装置及び検出方法 |
KR102014171B1 (ko) * | 2018-08-20 | 2019-08-26 | 케이맥(주) | 유기발광소자의 혼색 불량 검출장치 및 검출방법 |
JP7227198B2 (ja) * | 2020-07-28 | 2023-02-21 | アンリツ株式会社 | 移動端末試験装置、及び移動端末試験方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6129712A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-10 | Hitachi Ltd | 微細パタ−ンの欠陥検出方法及びその装置 |
JP2512093B2 (ja) * | 1988-07-29 | 1996-07-03 | 株式会社日立製作所 | 異物検出装置及び方法 |
JPH0494148A (ja) * | 1990-08-10 | 1992-03-26 | Hitachi Ltd | 異物検出方法およびその装置 |
JPH05218163A (ja) * | 1991-12-11 | 1993-08-27 | Hitachi Ltd | 異物検査方法及びその装置 |
JP2911274B2 (ja) * | 1991-10-31 | 1999-06-23 | 株式会社日立製作所 | 異物検出方法及び装置 |
JPH05281154A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | Toshiba Corp | パターン欠陥検査装置 |
JP3272036B2 (ja) * | 1992-06-15 | 2002-04-08 | アプライド マテリアルズ イスラエル リミテッド | 物体表面の欠陥の光学的検査法とその装置 |
JPH06249791A (ja) * | 1993-02-25 | 1994-09-09 | Hitachi Ltd | 欠陥検査装置 |
JPH06258047A (ja) * | 1993-03-02 | 1994-09-16 | Omron Corp | バンプ検査用データの教示方法 |
JP3435187B2 (ja) * | 1993-05-12 | 2003-08-11 | 株式会社日立製作所 | 欠陥検査方法及びその装置 |
JP3092892B2 (ja) * | 1993-12-27 | 2000-09-25 | シャープ株式会社 | 半導体チップの外観検査方法および装置 |
DE4413831C2 (de) * | 1994-04-20 | 2000-05-31 | Siemens Ag | Verfahren zur Kontrolle von Halbleiterscheiben |
JPH07318504A (ja) * | 1994-05-23 | 1995-12-08 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ウエハの異物検出受光系 |
JP3639636B2 (ja) * | 1995-04-25 | 2005-04-20 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体ウェハの不良解析装置及び不良解析方法 |
JPH09210919A (ja) * | 1996-02-05 | 1997-08-15 | Nikon Corp | 欠陥検査方法 |
JPH09243546A (ja) * | 1996-03-13 | 1997-09-19 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 異物検査装置 |
JP3566589B2 (ja) * | 1998-07-28 | 2004-09-15 | 株式会社日立製作所 | 欠陥検査装置およびその方法 |
-
2005
- 2005-06-13 JP JP2005172304A patent/JP3904581B2/ja not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2005300553A5 (ja) | ||
KR100190312B1 (ko) | 이물검사장치 | |
US7907270B2 (en) | Inspection apparatus and method, and production method for pattern substrates | |
US8416292B2 (en) | Defect inspection apparatus and method | |
CA2842544C (en) | Apparatus and method for inspecting matter and use thereof for sorting recyclable matter | |
WO2007100615A3 (en) | High-sensitivity surface detection system and method | |
KR970003760A (ko) | 이물검사방법 및 장치 | |
JP2006329630A (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP4848942B2 (ja) | ハニカム構造体のクラック検査方法及び検査装置 | |
JP2006201179A5 (ja) | ||
JP6772084B2 (ja) | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 | |
KR20160004099A (ko) | 결함 검사 장치 | |
JP2006220498A (ja) | レンズ検査装置 | |
JP2012026858A (ja) | 円筒容器の内周面検査装置 | |
JP2012502316A5 (ja) | ||
JP5728395B2 (ja) | 円筒内周面検査用光学系及び円筒内周面検査装置 | |
KR20160121716A (ko) | 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치 | |
JP5416929B2 (ja) | 構成部品の表面欠陥を検出する方法および装置 | |
JP2007147441A (ja) | 検査装置 | |
JP2006201015A (ja) | 直線ライン状紫外照明光を用いた検査装置 | |
JPH05149885A (ja) | 管内検査装置 | |
JP2008064656A (ja) | 周縁検査装置 | |
JP2014169988A (ja) | 透過体または反射体の欠陥検査装置 | |
JP2016102776A (ja) | 検査装置、及び検査方法 | |
JP2009222614A (ja) | 表面検査装置 |