KR970003760A - 이물검사방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 검사대상표면에 존재하는 이물을 검출하기 위한 이물검사방법 및 장치에 관한 것으로서, 이물로부터의 검출광의 광강도를 향상시켜, 이물과 노이즈와의 판별비를 크게해서 고정밀도의 이물검출을 행할 수 있는 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 검사대상(1)의 검사면(1a)에 대해서 S편광이 되는 빔(13)을 상기 검사대상(1)의 검사면(1a)에 대해서 거의 평행한 축이 광축이 되도록 조사하고, 검사면(1a)과 이루는 각이 예각이고, 또한 상기 빔의 광축과의 차각ø이 30°이내가 되는 광축에서, 상기 빔에 의해서 발생하는 반사광 및 산란광중의 검사면(1a)에 대해서 P편광이 되는 성분(18)을 이물로서 검출하는 것을 특징으로 한다.

Description

이물검사방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예를 표시한 구성도.

Claims (11)

  1. 검사대상의 검사면에 대해서 S편광이 되는 빔을 상기 검사대상의 검사면에 대해서 거의 평행, 또는 작은 각도를 가지고 교차하는 축이 광축이 되도록 조사하고, 검사면과 이루는 각이 예각이고, 또한 상기 빔의 광축과의 차각이 30°이내가 되는 광축에서 상기 빔에 의해서 발생하는 반사광 및 산란광중의 검사면에 대해서 P편광이 되는 성분을 이물로서 검출하는 것을 특징으로 하는 이물검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 검사대상이 패턴부착기판이고, 반사광 및 산란광중의 P편광성분의 광량의 비교에 의해 이물을 검출하는 것을 특징으로 하는 이물검사방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, S편광이 되는 빔의 광축과 검사대상의 검사면과 이루는 각을 1°~ 5°로 하는 것을 특징으로 하는 이물검사방법.
  4. 제1항, 제2항 또는 제3항에 있어서, 검사대상의 검사면과 이루는 각이 60°이하가 되는 광축에서 검출하는 것을 특징으로 하는 이물검사방법.
  5. 제4항에 있어서, 검사대상의 검사면과 이루는 각이 40°이하가 되는 광축에서 검출하는 것을 특징으로 하는 이물검사방법.
  6. 제1항, 제2항, 제3항, 제4항 또는 제5항에 있어서, 검출쪽광축상에 배치한 공간필터에 의해서 검사대상의 주기패턴을 제거하는 것을 특징으로 하는 이물검사방법.
  7. 제1항, 제2항, 제3항, 제4항, 제5항 또는 제6항에 있어서, 검출쪽광축에서, 초점거리f 또한 개구직경D의 대물렌즈와, 대물렌즈의 주평면으로부터 거리 L의 위치에 주평면이 배치되고 개구직경이 D-2A+AL/f 이상(단, A는 광전변환소자의 검출폭과 대물렌즈, 결상렌즈와의 배율관계에 의해 결정되는 검사영역)이 되도록 설정된 결상렌즈로 이루어진 광학계를 사용해서, 반사광 및 산란광중의 검사면에 대해서 P편광이 되는 성분을 이물로서 광전변환소자에 의해서 검출하는 것을 특징으로 하는 이물검사방법.
  8. 제1항, 제2항, 제3항, 제4항, 제5항 또는 제6항에 있어서, 텔레세트릭광학계를 사용해서, 반사광 및 산란광중의 검사면에 대해서 P편광이 되는 성분을 이물로서 검출하는 것을 특징으로 하는 이물검사방법.
  9. 제1, 2, 3, 4, 5, 6, 7항 또는 제8항에 있어서, 검출쪽광축에서, 편광을 회전시키는 1/2파장판을 검사대상에 따라서 부가함으로써, 반사광 및 산란광중의 검사면에 대해서 S편광이 되는 성분을 P편광성분으로 변환해서 이물로서 검출하는 것을 특징으로 하는 이물검사방법.
  10. 제1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8항 또는 제9항에 있어서, 복수의 점광원으로부터의 빔을 점렬과 평행한 방향의상의 배율을 변화하도록 배치된 원기둥렌즈에 의해서 라인빔으로 설정한 것을 특징으로 하는 이물검사방법.
  11. 검사대상의 검사면에 대해서 거의 평행한 축을 광축으로 하도록 배치되고, 상기 검사대상의 검사면에 대해서 S편광이 되도록 빔을 조사하는 조명부와, 검사면과의 이루는 각이 예각이고, 또한 상기 조명부의 광축과의 차각이 30°이내가 되는 광축에서 상기 조명부에 의해서 발생하는 반사광 및 산란광중의 검사면에 대해서 P편광이 되는 성분을 검출하고 광전변환하는 검출부와, 상기 검출부에 의해서 얻어진 신호를 사용해서 이물로서 판정하는 신호처리부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이물검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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