CN111727369B - 检查装置及其检查方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种在被检查物旋转的加减速中也能够检查异物的检查装置。检查装置包括：使被检查物旋转和平移的旋转/平移单元；调制激光束的强度而对被检查物照射激光束的光强度调制单元；基于电压控制信号来多等级地控制光强度调制单元的光强度控制单元；被检查物动作检测单元，其基于来自旋转/平移单元的旋转坐标和平移坐标检测信号来计算被检查物上的激光照射位置处的线速度信息；数据处理单元，其在被检查物旋转速度在加速中到达规定速度时开始异物和缺陷的检查，并输出用于控制与线速度对应的激光束的强度的电压控制信号；和旋转/平移控制单元，其基于由被检查物动作检测单元检测出的被检查物旋转速度和旋转控制值来求取旋转台下一次旋转一周的时间，并对平移台赋予用于使平移台在该时间移动规定距离的平移控制值。

Description

检查装置及其检查方法
技术领域
本发明涉及对晶片、薄膜基板、光掩模等被检查物照射光来检测被检查物上的异物、缺陷的微小异物的检查装置及其检查方法。
背景技术
作为本技术领域的背景技术，有日本特表2009-501902号公报(专利文献1)、日本特开2007-309713号公报(专利文献2)、美国专利第7548308号说明书(专利文献3)。
专利文献1中记载了：“提供一种通过应对作为检查系统的测定检测范围的限制原因的放大器和模拟数字电路的饱和电平而使缺陷检测强化用的检查系统、电路和方法。另外，提供一种通过在表面检查的扫描之间使对样品供给的入射激光束功率水平动态地变更而削减对较大颗粒的热损坏由此使缺陷检测强化用的检查系统和电路、方法。”(参考摘要)。专利文献1中，叙述了使用普克尔斯盒作为对样品供给的入射激光束功率水平的动态变更方案。具体而言，使用普克尔斯盒作为对样品供给的入射激光束功率水平(以下记作激光功率)的变更方案，为了削减对较大颗粒的热损坏，而控制对普克尔斯盒的施加电压。样品即晶片上存在的颗粒，存在从微小颗粒到较大颗粒都存在的可能性，要提高微小颗粒的检测灵敏度时需要较大的激光功率，反之为了削减对较大异物的热破坏而需要使激光功率减小。因此，对普克尔斯盒施加规定的电压，切换通过普克尔斯盒的激光的偏振面的旋转角来控制激光功率。
另外，专利文献2中记载了：“在光学式检查装置中，重视检查吞吐率时，存在在被检查物体的外周部与内周部相比检测灵敏度降低的课题。在不想使台线速度降低的被检查物体外周部，也使被检查物体的温度上升保持一定，同时与内周部相比提高照明光斑的照度，由此对散射光信号的有效总信号量的降低进行补偿。”(参考摘要)。因此，专利文献2中，公开了配设检查坐标检测机构而检测出基于晶片上的检查位置的主扫描速度和平移速度得到的晶片上的线速度，与该线速度相应地控制对晶片的内周部和外周部照射的激光强度。
另外，专利文献3中也公开了为了避免激光照射对晶片的热损伤，而用控制晶片上的检查位置的控制器经由光衰减器控制激光强度。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特表2009-501902号公报
专利文献2：日本特开2007-309713号公报
专利文献3：美国专利第7548308号说明书
发明内容
发明要解决的课题
为了缩短微小异物的检查时间，以往在等待时间即被检查物(晶片)旋转的加减速中也实施检查的情况下，因被检查物(晶片)和台的惯性等而在旋转、平移动作中产生延迟时间，实际上在被检查物(晶片)上扫描的线速度与根据旋转、平移控制值求出的线速度相比有偏差。因此，基于旋转、平移控制值对照射激光强度进行控制时，不能使被检查物(晶片)上的照射激光强度的积分值保持一定，来自被检查物(晶片)上的异物的散射光强度与线速度的偏差相应地变化，难以进行高精度的异物检查。进而，对大直径异物照射过剩强度的激光时，会发生异物破坏和对被检查物(晶片)的热损伤。
另外，被检查物(晶片)旋转加减速时，被检查物(晶片)每1转耗费的时间会变化，所以不能追随它来正确地控制平移速度的情况下，平移速度相对于被检查物(晶片)1转较快时会在被检查物(晶片)上产生未被检查的间隙区域，不能进行高可靠性的检查，平移速度相对于被检查物(晶片)1转较慢时反之整体的检查时间会增加。在现有技术中没有考虑这些方面。
于是，本发明目的在于提供一种在被检查物(晶片)旋转的加减速中也能够检查异物的检查装置及其检查方法。
用于解决课题的技术方案
本发明的检查装置的优选的例子中，一种被检查物表面的异物和缺陷的检查装置，其包括：使所述被检查物旋转和平移的旋转/平移单元；调制激光束的强度而对所述被检查物照射激光束的光强度调制单元；基于电压控制信号来多等级地控制所述光强度调制单元的光强度控制单元；被检查物动作检测单元，其基于来自所述旋转/平移单元的旋转坐标和平移坐标检测信号来计算所述被检查物上的激光照射位置处的线速度信息；数据处理单元，其在被检查物旋转速度在加速中到达规定速度时开始异物和缺陷的检查，并输出用于控制与所述线速度对应的激光束的强度的电压控制信号；和旋转/平移控制单元，其基于由所述被检查物动作检测单元检测出的被检查物旋转速度和旋转控制值来求取旋转台下一次旋转一周的时间，并对平移台赋予用于使平移台在该时间移动规定距离的平移控制值。
另外，作为本发明的其他特征，在所述检查装置中，所述旋转/平移控制单元在到了使被检查物旋转速度减速的时刻时，对旋转台赋予减速旋转控制值，并对平移台赋予用于使平移台在旋转台下一次旋转一周的时间移动规定距离的平移控制值，所述数据处理单元在所述平移台的平移速度成为0时结束检查。
另外，作为本发明的另一个其他特征，在所述检查装置中，所述数据处理单元，当根据使激光在被检查物上螺旋状地扫描得到的散射光而判断为存在规定大小以上的异物时，将与该异物的大小相同的尺寸或者在该异物的大小的两侧加上规定宽度而得到的尺寸，假设在向螺旋状轨迹的外周方向移动后的位置关系下在下一个螺旋状扫描轨迹上存在大直径异物的区域来进行设定，在对下一个螺旋状扫描轨迹照射激光时，输出用于减弱对假设为所述存在大直径异物的区域照射的激光强度的电压控制信号。
另外，本发明的检查方法的优选的例子中，一种由异物检查装置进行的被检查物表面的异物和缺陷的检查方法，使载置被检查物并使其进行旋转动作和平移动作的旋转/平移单元开始匀加速的旋转动作，在被检查物的旋转速度到达规定速度时，使激光束开始对被检查物的中心位置照射，同时使旋转/平移单元开始平移动作，被检查物动作检测单元基于来自所述旋转/平移单元的旋转坐标和平移坐标检测信号来计算所述被检查物上的激光照射位置处的线速度信息，旋转/平移控制单元基于由所述被检查物动作检测单元检测出的被检查物旋转速度和旋转控制值来求取旋转台下一次旋转一周的时间，并对平移台赋予用于使平移台在该时间移动规定距离的平移控制值，数据处理单元在被检查物旋转速度在加速中到达规定速度时开始异物和缺陷的检查，并输出用于控制与所述线速度对应的激光束的强度的电压控制信号，光强度控制单元基于所述电压控制信号来多等级地调制激光束的强度而对所述被检查物照射激光束。
发明效果
根据本发明，能够在被检查物(晶片)旋转的加减速中也通过与线速度相应的适当的照射激光强度控制而使异物检查高精度化，并且通过适当的被检查物(晶片)的旋转、平移控制而在短时间内检查微小异物。
上述以外的课题、结构和效果将通过以下实施方式的说明而说明。
附图说明
图1是实施例1的异物检查装置的结构图的例子。
图2是表示实施例1的异物检查装置中的、(A)被检查物转速的变化、(B)平移台移动速度的变化、(C)激光的扫描线速度的变化的例子的图。
图3是表示实施例1的异物检查装置中的光强度调制单元和光强度控制电路的(A)结构例以及(B)动作例的图。
图4是表示从被检查物的表面上的中心位置起以螺旋状的轨迹照射激光的例子的图。
图5是说明在判断为存在大直径异物的情况下使其外周侧的下一个激光扫描线上的激光强度减弱的控制的图。
具体实施方式
以下使用附图说明实施例。
实施例1
本实施例中，设想例如晶片这样的圆形平板的检查对象物作为被检查物。对在被检查物加减速中也检查被检查物上的微小异物的异物检查装置的例子进行说明。
图1是本实施例的异物检查装置的结构图的例子。
异物检查装置100具有激光源2、光强度调制单元3、分束器15、反射镜4、照射透镜5、聚光透镜6、光检测器7、检测电路8、数据处理部9、光强度控制电路10、旋转/平移控制电路11、旋转台12、平移台13、被检查物动作检测机构14、光功率检测单元16。
异物检查装置100中，将被检查物1设置在旋转台12上，使从激光源2输出的激光61经由光强度调制单元3、分束器15、反射镜4、照射透镜5照射在被检查物1上。此时，异物检查装置100中，基于来自旋转/平移控制电路11的旋转/平移控制信号21，用旋转台12使被检查物1进行旋转动作，并且用平移台13使其进行直线动作。
如图4所示，对在旋转台12(未图示)上设置的被检查物1的表面上的中心位置41照射激光63时，随着两个台的动作，对被检查物1上照射的激光63在被检查物1的整面上成为螺旋状的轨迹42，能够对被检查物1的整个表面进行检查。另外，来自被检查物1上的异物的散射光64经由聚光透镜6、光检测器7、检测电路8被检测，基于上述检测电路8的检测结果用数据处理部9进行异物检查。
本实施例的异物检查装置100中，基于包括旋转台12、平移台13的θ坐标和R坐标的旋转坐标/平移坐标检测信号22，在被检查物动作检测机构14中生成被检查物1上的激光的扫描信息23、24。
本实施例中的θ坐标的检测是使用在旋转台12上配设的光学读取式的旋转编码器(未图示)进行的，R坐标是使用在平移台13上配设的光学读取式的线性编码器(未图示)进行的，它们都是只要是能够高精度地检测出角度或直线上的位置的传感器，就可以使用其他检测原理。
被检查物动作检测机构14中生成的扫描信息23、24，基于θ坐标和R坐标，至少包括被检查物旋转速度和被检查物旋转的加速度、当前的半径位置、半径位置变化的速度和加速度、以及各信息的检测时的被检查物1上的激光扫描的线速度中的任一者。另外，数据处理部9中，基于被检查物动作检测机构14中生成的扫描信息24进行数据处理的运算内容或运算结果的修正。
图2是表示本实施例的异物检查装置100中对1个被检查物从检查开始到检查结束之间的(A)被检查物转速的变化、(B)平移台移动速度的变化、(C)激光的扫描的线速度的变化的例子的曲线图。
现有的异物检查装置中，在使旋转台12匀速旋转和使平移台13也成为一定移动速度的状态下使激光扫描来进行检查。即，使两个台的旋转和移动开始并加速，以在到了时刻t1时激光的照射位置成为被检查物1的中心位置41的方式进行控制。然后，如果在时刻t1时使遮挡激光束的快门(未图示)打开，则照射的激光以在被检查物1的整面上描绘间隔i43的螺旋状的轨迹42的方式扫描。然后，以在到了时刻t2时螺旋状的轨迹42到达被检查物1的外周部而结束检查的方式进行控制。在时刻t2时，使遮挡激光束的快门(未图示)关闭而使两个台的旋转和移动减速并停止。之后，更换旋转台12上的被检查物1，继续下一次检查。
与此相对，本实施例中，使旋转台12的旋转开始，在其转速到达检查开始转速rs26时，数据处理部9开始检查。之后，旋转台12的旋转也持续匀加速，到达与现有相同的一定转速。平移台13的移动在旋转台12到达检查开始转速rs26时开始。关于平移台13的移动的控制，旋转/平移控制电路11基于从被检查物动作检测机构14发送来的扫描信息23的被检查物旋转速度、和对旋转台12赋予的旋转控制值(旋转/平移控制信息21)，求出从该时刻起旋转台12旋转1周所需的时间，以在该时间中平移台13移动规定的螺旋状的轨迹的间隔i43的方式，对平移台13赋予平移控制值(旋转/平移控制信号21)。
本实施例中，在检查开始时，使遮挡激光束的快门(未图示)打开，使激光对被检查物1的中心位置41照射，并且使平移台13的移动开始，在使两个台加速过程中使激光以描绘螺旋状的轨迹42的方式扫描来进行检查。然后，在旋转台12的旋转到达目标转速rg28后使其匀速旋转，同样地以平移台13的移动速度也成为一定的方式进行控制。两个台被控制为匀速旋转、一定速度的期间，继续进行异物检查，这一点与现有相同。但是，本实施例中，在到了时刻t2时，激光的螺旋状的扫描位于到达被检查物1的外周部之前的位置，之后，一边继续进行检查一边对两个台进行减速的控制。(另外，本实施例中的时刻t2不同于上述现有的仅在两个台一定速度的期间使激光扫描进行检查的情况下的时刻t2时间。)
本实施例中，在到了时刻t2时，赋予匀减速的控制值而使旋转台12减速。关于平移台13的移动的控制，旋转/平移控制电路11基于从被检查物动作检测机构14发送来的扫描信息23的被检查物旋转速度和对旋转台12赋予的旋转减速控制值(旋转/平移控制信号21)，求出从该时刻起旋转台12旋转1周所需的时间，以在该时间中平移台13移动规定的螺旋状的轨迹的间隔i43的方式，对平移台13赋予平移减速控制值(旋转/平移控制信号21)。以在旋转台12减速到达检查结束转速re27时平移台13的移动速度成为0的方式，旋转/平移控制电路11对两个台赋予控制值(旋转/平移控制信号21)。在检查结束时，激光的螺旋状的扫描到达被检查物1的外周部，使遮挡激光束的快门(未图示)关闭。
图2的(B)所示的平移台移动速度的加速区间和减速区间记载为匀加减速度，但实际上以追随旋转台12的加减速的方式进行控制，所以严密而言并不是匀加减速度。
图2的(C)所示的本实施例中的激光扫描的线速度的变化，在检查开始时从0开始。在刚开始后29，因为平移台13从速度0起加速，所以可见响应延迟的不规则，但之后，直到时刻t2大致直线地逐渐加速。在时刻t2之后，伴随响应延迟地减速至0。
图3表示本实施例的异物检查装置100中的光强度调制单元3和光强度控制电路10的(A)结构例以及(B)动作例。
图3的(A)所示的光强度调制单元3由光调制元件31和偏振分束器32构成，与对光调制元件31施加的光强度调制信号即VP、VN的电位差对应地变更通过光调制元件31的激光61的偏振面的旋转角，之后与激光的偏振面的旋转角对应的强度的激光62经由偏振分束器32通过。
光强度控制电路10由基于来自数据处理部9的电压控制信号(PVH、PVL、PIN)25生成对应的电压(VH、VL)的可变电压发生电路35、36、切换电路33、34构成。切换电路33在PIN是L时将VL、在PIN是H时将VH输出至作为光强度调制信号的VP。另外，切换电路34在PIN是L时将VH、在PIN是H时将VL输出至作为光强度调制信号的VN。
图3的(B)是光强度控制电路10的动作例。作为切换信号的PIN是具有Low、High的电位的二值信号，将各状态表达为L、H。PIN是L时，切换电路33输出VL，切换电路34输出VH，VP与VL电位相同，并且同时VN与VH电位相同。结果，对光调制元件31施加VL-VH的电位差。
另一方面，PIN是H时，切换电路33输出VH，切换电路34输出VL，VP与VH电位相同，并且同时VN与VL电位相同，对光调制元件31施加VH-VL的电位差。
图3的(B)中，示出了使来自上述数据处理部9的电压控制信号(PVH，PVL)分别切换为2种，输入(PVH1，PVL1)或(PVH2，PVL2)，用可变电压发生电路35、36分别生成(VH1，VL1)或(VH2，VL2)，由此对光调制元件31施加2级的切换振幅：|VHn-VLn|、偏置电压：(VHn+VLn)/2{其中n＝1或2}的电压的例子。
本实施例的异物检查装置100中，能够使来自上述数据处理部9的电压控制信号(PVHn，PVLn)更多等级(n)地切换，对于通过上述光调制元件31实现的激光的偏振面的旋转角变动，用基于多等级(n)切换的光强度调制信号VPn、VNn的电位差：|VPn-VNn|和偏置电压：(VPn+VNn)/2进行控制。
数据处理部9对从检查电路8输入的信号适当地进行处理，判断异物、缺陷。此时，基于信号的强度决定异物、缺陷的尺寸。另外，使用从被检查物动作检测机构14发送来的扫描信息24决定异物、缺陷的坐标。
关于本实施例的异物检查装置作为对象的被检查物1上的异物、缺陷的尺寸，要求高精度地检测至数10nm以下。作为提高这些微小的异物、缺陷的检测灵敏度的方案之一，一般进行提高激光的强度。但是，高强度地照射激光时超过数百nm的较大异物被破坏，因破坏而产生的碎片在被检查物表面上扩散，被检查物的不良区域扩大，所以需要限制检查功率。
本实施例的异物检查装置100中，进行在被检查物的旋转的加减速中也实施检查的控制时，会发生图2的(C)所示的激光的扫描的线速度的变化。为了使被检查物上的激光的扫描轨迹上的各点处的异物、缺陷的检测灵敏度保持一定，需要使各点处的照射激光强度的积分值保持一定。即，如果激光扫描的线速度慢则需要降低激光的强度，如果激光扫描的线速度快则需要提高激光的强度。
数据处理部9根据被检查物动作检测机构14生成的扫描信息24，得知当前的被检查物1上的激光扫描的线速度，生成与该线速度对应的电压控制信号(PVHn，PVLn，PIN)25，对光强度控制电路10输出，调整对被检查物1的照射激光强度。
本实施例中，用光功率检测单元16检测经由分束器15对被检查物1照射的激光62的激光功率，将上述检测结果20输出至数据处理部9。数据处理部9能够得知输出电压控制信号(PVHn，PVLn，PIN)25而调整激光强度的结果。光调制元件31的特性因温度等环境条件而变化，在不能进行符合电压控制信号指示的激光强度的调整的情况下，再次输出修正后的电压控制信号(PVHn，PVLn，PIN)25，调整激光强度。
另外，数据处理部9在使激光在被检查物1上扫描、判断异物、缺陷的处理中，在第一激光扫描51中检测出图5所示的大直径异物50，此时将异物的尺寸判断为a，如果a比规定尺寸大则判断为存在大直径异物。该情况下，在下一次的第二激光扫描52中，将第一激光扫描51中检测出的异物尺寸a或对其两侧加上规定的增加尺寸b得到的异物尺寸a+2b，在向螺旋状轨迹的外周方向移动的位置关系下，在第二激光扫描52的线上设定使激光强度减弱的区域。然后，在激光照射光斑到达第二激光扫描52的线上的使激光强度减弱的区域时，对光强度控制电路10输出使激光强度减弱的电压控制信号(PVHn，PVLn，PIN)25，之后在通过使激光强度减弱的区域时，对光强度控制电路10输出使激光强度复原的电压控制信号(PVHn，PVLn，PIN)25。接着，对第二激光扫描52的线上照射激光，检查其散射光，结果同样判断存在大直径异物的情况下，反复地实施使对第三激光扫描线上照射的激光强度减弱的控制。这样，以瞬间使激光强度减弱的方式进行控制，防止来自大直径异物的较强的散射光强度引起的光检测器7的饱和和大直径异物的烧毁。
另外，数据处理部9基于光功率检测单元16的检测结果，检测光调制元件31的特性变动，调整电压控制信号(PVHn，PVLn，PIN)25。由此，能够实现抑制对被检查物1照射的长时间的激光功率变动。
本实施例的数据处理部9、旋转/平移控制电路11、被检查物动作检测机构14能够用硬件、软件中的任意方式实现。由硬件构成的情况下，能够通过将执行处理的多个运算器集成在配线基板上、或半导体芯片或封装内而实现。由软件构成的情况下，能够通过由构成系统的装置中搭载的中央运算处理装置(CPU)或与系统连接的通用的计算机中搭载的通用CPU运行执行要求的运算处理的程序而实现。
另外，本发明不限定于上述实施例，包括各种变形例。例如，上述实施例是为了易于理解地说明本发明而详细说明的，并不限定于必须具备说明的全部结构。另外，能够将某个实施例的结构的一部分置换为其他实施例的结构，也能够在某个实施例的结构上添加其他实施例的结构。另外，对于各实施例的结构的一部分，能够追加、删除、置换其他结构。
另外，控制线和信息线示出了认为说明上必要的，并不一定示出了产品上全部的控制线和信息线。实际上也可以认为几乎全部结构都相互连接。
附图标记说明
1 被检查物(晶片)
2 激光源
3 光强度调制单元
4 反射镜
5 照射透镜
6 聚光透镜
7 光检测器
8 检测电路
9 数据处理部
10 光强度控制电路
11 旋转/平移控制电路
12 旋转台
13 平移台
14 被检查物动作检测机构
15 分束器
16 光功率检测单元
20 光功率检测单元的检测结果
21 旋转/平移控制信号
22 旋转坐标/平移坐标检测信号
23、24 扫描信息
25 电压控制信号
26 检查开始转速rs
27 检查结束转速re
28 旋转台的目标转速rg
29 激光的扫描的检查刚开始后的线速度的变化
31 光调制元件
32 偏振分束器
33 切换电路1
34 切换电路2
35、36 可变电压发生电路
41 被检查物1的表面上的中心位置
42 对被检查物上照射的激光的螺旋状的轨迹
43 螺旋状的轨迹42的间隔i
50 大直径异物
51 第一激光扫描
52 第二激光扫描
61 从激光源2输出的激光
62 被光学强度调制单元3调制强度后的激光
63 对被检查物上照射的激光
64 来自被检查物上的异物的散射光
100 异物检查装置。

Claims (7)

1.一种被检查物表面的异物和缺陷的检查装置，其特征在于，包括：
使所述被检查物旋转和平移的旋转/平移单元；
调制激光束的强度而对所述被检查物照射激光束的光强度调制单元；
基于电压控制信号来多等级地控制所述光强度调制单元的光强度控制单元；
被检查物动作检测单元，其基于来自所述旋转/平移单元的旋转坐标和平移坐标检测信号来计算所述被检查物上的激光照射位置处的线速度信息；
数据处理单元，其在被检查物旋转速度在加速中到达规定速度时开始异物和缺陷的检查，并输出用于控制与所述线速度对应的激光束的强度的电压控制信号；和
旋转/平移控制单元，其基于由所述被检查物动作检测单元检测出的被检查物旋转速度和旋转控制值来求取旋转台下一次旋转一周的时间，并对平移台赋予用于使平移台在该时间移动规定距离的平移控制值。
2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于：
所述旋转/平移控制单元在到了使被检查物旋转速度减速的时刻时，对旋转台赋予减速旋转控制值，并对平移台赋予用于使平移台在旋转台下一次旋转一周的时间移动规定距离的平移控制值，
所述数据处理单元在所述平移台的平移速度成为0时结束检查。
3.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于：
所述数据处理单元，当根据使激光在被检查物上螺旋状地扫描得到的散射光而判断为存在规定大小以上的异物时，将与该异物的大小相同的尺寸或者在该异物的大小的两侧加上规定宽度而得到的尺寸，假设在向螺旋状轨迹的外周方向移动后的位置关系下在下一个螺旋状扫描轨迹上存在大直径异物的区域来进行设定，在对下一个螺旋状扫描轨迹照射激光时，输出用于减弱对假设为所述存在大直径异物的区域照射的激光强度的电压控制信号。
4.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于：
所述光强度调制单元是将光调制元件和偏振分束器在激光的光轴方向上排列配置而构成的。
5.一种由异物检查装置进行的被检查物表面的异物和缺陷的检查方法，其特征在于：
使载置被检查物并使其进行旋转动作和平移动作的旋转/平移单元开始匀加速的旋转动作，
在被检查物的旋转速度到达规定速度时，使激光束开始对被检查物的中心位置照射，同时使旋转/平移单元开始平移动作，
被检查物动作检测单元基于来自所述旋转/平移单元的旋转坐标和平移坐标检测信号来计算所述被检查物上的激光照射位置处的线速度信息，
旋转/平移控制单元基于由所述被检查物动作检测单元检测出的被检查物旋转速度和旋转控制值来求取旋转台下一次旋转一周的时间，并对平移台赋予用于使平移台在该时间移动规定距离的平移控制值，
数据处理单元在被检查物旋转速度在加速中到达规定速度时开始异物和缺陷的检查，并输出用于控制与所述线速度对应的激光束的强度的电压控制信号，
光强度控制单元基于所述电压控制信号来多等级地调制激光束的强度而对所述被检查物照射激光束。
6.如权利要求5所述的检查方法，其特征在于：
所述旋转/平移控制单元还在到了使被检查物旋转速度减速的时刻时，对旋转台赋予减速旋转控制值，并对平移台赋予用于使平移台在旋转台下一次旋转一周的时间移动规定距离的平移控制值，
所述数据处理单元还在所述平移台的平移速度成为0时结束检查。
7.如权利要求5所述的检查方法，其特征在于：
所述数据处理单元，当根据使激光在被检查物上螺旋状地扫描得到的散射光而判断为存在规定大小以上的异物时，将与该异物的大小相同的尺寸或者在该异物的大小的两侧加上规定宽度而得到的尺寸，假设在向螺旋状轨迹的外周方向移动后的位置关系下在下一个螺旋状扫描轨迹上存在大直径异物的区域来进行设定，在对下一个螺旋状扫描轨迹照射激光时，输出用于减弱对假设为所述存在大直径异物的区域照射的激光强度的电压控制信号。
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