CN112858337A - 检测方法、检测设备、检测装置及存储介质 - Google Patents

检测方法、检测设备、检测装置及存储介质 Download PDF

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CN112858337A CN202110321340.4A CN202110321340A CN112858337A CN 112858337 A CN112858337 A CN 112858337A CN 202110321340 A CN202110321340 A CN 202110321340A CN 112858337 A CN112858337 A CN 112858337A
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魏林鹏
方一
张嵩
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Abstract

本申请公开了一种检测方法、检测设备、检测装置、及非易失性计算机可读存储介质。检测方法应用于检测设备，检测设备包括承载装置、光源组件、及图像采集装置。检测方法包括：获取工件上待检测的目标区域及图像采集装置检测工件的目标速率，目标区域为工件的部分区域，目标速率为单位时间内图像采集装置的采集范围；根据目标速率及目标区域确定承载装置的目标转速；根据目标区域及目标转速确定图像采集装置的第一目标频率，第一目标频率为图像采集装置的采集频率；及根据目标转速调节承载装置的转速，并根据第一目标频率控制图像采集装置获取图像。本申请实施方式的检测方法、检测设备、及检测装置支持用户设置不同的目标速率用于检测。

Description

检测方法、检测设备、检测装置及存储介质
技术领域
本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种检测方法、检测设备、检测装置、及非易失性计算机可读存储介质。
背景技术
工业检测过程，尤其是在对半导体工件(例如晶圆)的检测过程中，主要是在工件转动时，通过激光光源发出的光线反射到探测器后对工件表面进行检测。然而，由于工业检测的过程固定，只能以固定的检测精度检测工件，难以满足不同的检测精度需求。
发明内容
本申请实施方式提供一种检测方法、检测设备、检测装置、及非易失性计算机可读存储介质。本申请实施方式的检测方法应用于检测设备，所述检测设备包括承载装置、光源组件、及图像采集装置，所述检测方法包括：获取所述工件上待检测的目标区域及所述图像采集装置检测工件的目标速率，所述目标区域为所述工件的部分区域，所述目标速率为单位时间内所述图像采集装置的采集范围；根据所述目标速率及所述目标区域确定所述承载装置的目标转速；根据所述目标区域及所述目标转速确定所述图像采集装置的第一目标频率，所述第一目标频率为所述图像采集装置的采集频率；及根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，并根据所述第一目标频率控制所述图像采集装置获取图像。
本申请实施方式的检测设备包括承载装置、光源组件、图像采集装置、及处理器。所述承载装置用于承载所述工件，所述光源组件用于照射所述工件，所述图像采集装置用于采集所述工件被照射区域的图像以用作检测，所述处理器用于：获取所述工件上待检测的目标区域及所述图像采集装置检测工件的目标速率，所述目标区域为所述工件的部分区域，所述目标速率为单位时间内所述图像采集装置的采集范围；根据所述目标速率及所述目标区域获取所述承载装置的目标转速；根据所述目标区域及所述目标转速确定所述图像采集装置的第一目标频率，所述第一目标频率为所述图像采集装置的采集频率；及根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，并根据所述第一目标频率控制所述图像采集装置获取图像。
本申请实施方式的检测装置应用于检测设备，所述检测设备包括承载装置、光源组件、及图像采集装置，所述承载装置用于承载所述工件，所述光源组件用于照射所述工件，所述图像采集装置用于采集所述工件被照射区域的图像以用作检测，所述检测装置包括：获取模块，用于获取所述工件上待检测的目标区域及所述图像采集装置检测工件的目标速率，所述目标区域为所述工件的部分区域，所述目标速率为单位时间内所述图像采集装置的采集范围；确定模块，用于根据所述目标速率及所述目标区域确定所述承载装置的目标转速；所述确定模块，还用于用于根据所述目标区域及所述目标转速确定所述图像采集装置的第一目标频率，所述第一目标频率为所述图像采集装置的采集频率；及控制模块，所述控制模块用于根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，并根据所述第一目标频率控制所述图像采集装置获取图像。
本申请实施方式的非易失性计算机可读存储介质，所述非易失性计算机可读存储介质包含计算机程序，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得所述处理器执行如下晶圆检测方法：获取所述工件上待检测的目标区域及所述图像采集装置检测工件的目标速率，所述目标区域为所述工件的部分区域，所述目标速率为单位时间内所述图像采集装置的采集范围；根据所述目标速率及所述目标区域确定所述承载装置的目标转速；根据所述目标区域及所述目标转速确定所述图像采集装置的第一目标频率，所述第一目标频率为所述图像采集装置的采集频率；及根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，并根据所述第一目标频率控制所述图像采集装置获取图像。
本申请实施方式的检测方法、检测设备、及检测装置支持用户设置不同的目标速率及目标区域，并能够获取承载装置的目标转速及图像采集装置的第一目标频率，以使承载装置以目标转速转动且图像采集装置以第一目标频率采集图像时，图像采集装置的检测速率(单位时间的采集范围)能够达到目标速率，从而使图像采集装置能够以目标精度对应的目标速率检测工件，使用户仅需调整目标速率即可将检测精度调整为目标精度。
本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。
附图说明
本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；
图2是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；
图3是本申请某些实施方式的检测装置的结构示意图；
图4是本申请某些实施方式的对工件进行检测的检测场景示意图；
图5是本申请某些实施方式的对工件进行检测的检测场景示意图；
图6是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；
图7是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；
图8是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；
图9是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；
图10是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；
图11是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；
图12是本申请某些实施方式的对工件进行检测的检测场景示意图；
图13是本申请某些实施方式的对工件进行检测的检测场景示意图；
图14是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；
图15是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；
图16是本申请某些实施方式的检测方法的转速变化曲线的示意图；
图17是本申请某些实施方式的计算机可读存储介质和处理器的连接状态示意图。
具体实施方式
下面详细描述本申请的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中，相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的实施方式的限制。
请参阅图1至图2，本申请实施方式提供一种检测方法及检测设备100，检测方法应用于检测设备100。检测设备100包括承载装置10、光源组件20、及图像采集装置30，承载装置10用于承载工件300，光源组件20用于照射工件300，图像采集装置30用于采集工件300被照射区域的图像以用作检测。该检测方法包括：
01：获取工件300上待检测的目标区域及图像采集装置30检测工件300的目标速率，目标区域为工件300的部分区域，目标速率为单位时间内图像采集装置30的采集范围；
02：根据目标速率及目标区域确定承载装置10的目标转速；
03：根据目标区域及目标转速确定图像采集装置30的第一目标频率，第一目标频率为图像采集装置30的采集频率；及
04：根据目标转速调节承载装置10的转速，并根据第一目标频率控制图像采集装置30获取图像。
请参阅图2，本申请实施方式的检测设备100还包括处理器40，图2示意的处理器40设置于图像采集装置30内部。处理器40的位置不仅限于设置于图像采集装置30内部，还可以设置于光源装置10内部、承载装置10内部、或独立于承载装置10、光源组件20、及图像采集装置30设置，在此不做限制。本申请实施方式的检测方法可应用于本申请实施方式的检测设备100。例如，处理器40可用于执行01、02、03、及04中的方法。
也即是说，处理器40用于：获取工件300上待检测的目标区域及图像采集装置30检测工件300的目标速率、根据目标速率及目标区域确定承载装置10的目标转速、根据目标区域及目标转速确定图像采集装置30的第一目标频率、及根据目标转速调节承载装置10的转速，并根据第一目标频率控制图像采集装置30获取图像。其中，目标区域为工件300的部分区域，目标速率为单位时间内图像采集装置30的采集范围，一目标频率为图像采集装置30的采集频率。
请参阅图3，本申请实施方式还提供一种检测装置50，检测装置50包括获取模块501、确定模块503、及控制模块505。本申请实施方式的检测装置50可应用于本申请实施方式的检测设备100。例如，获取模块501可用于执行01中的方法，确定模块503可用于执行02及03中的方法，控制模块505可用于执行04中的方法。
也即是说，获取模块501可用于获取工件300上待检测的目标区域及图像采集装置30检测工件300的目标速率。确定模块503可用于根据目标速率及目标区域确定承载装置10的目标转速，确定模块503还可用于根据目标区域及目标转速确定图像采集装置30的第一目标频率，控制模块505用于根据目标转速调节承载装置10的转速，并根据第一目标频率控制图像采集装置30获取图像。其中，目标区域为工件300的部分区域，目标速率为单位时间内图像采集装置30的采集范围，第一目标频率为图像采集装置30的采集频率。
检测设备100可用于检测各类半导体工件300，例如用于检测晶圆的表面缺陷、检测光学膜厚等。光源组件20与图像采集装置30之间的相对位置固定，承载装置10与光源组件20及图像采集装置30在竖直方向(Z轴方向)的相对距离保持不变。在检测时，承载装置10承载工件300，并按一定的转速转动，以带动工件300转动，使光源组件20能够照射到工件300的不同区域，并使图像采集装置30能够采集工件300不同的被照射区域以用作检测。承载装置10还能够带动工件300在水平方向(XY轴平面)相对光源组件20及图像采集装置30移动，以使光源组件20能够照射到工件300的不同区域，并使图像采集装置30能够采集工件300不同的被照射区域以用作检测。
在一个实施例中，检测设备100用于检测晶圆的表面缺陷，光源组件20能够朝晶圆发射具有一定功率的检测光，图像采集装置30工件300表面被检测光照射的区域采集图像，根据采集到的图像能够获得工件300表面反射或散射的光线的光强信息、及在该区域的光强分布信息，通过将光强信息与预设的强度阈值比较可以判断是否存在缺陷，再结合在该区域的光强分布信息可以确定被检测光照射的区域中缺陷的分布情况。
工件300上待检测的目标区域及图像采集装置30检测工件300的目标速率为用户根据对检测的需求在检测设备100输入的数据。
目标区域为工件300的部分区域，即工件300的待检测区域。请参阅图4，例如，工件300为晶圆，晶圆包括印有电路的有图案区，及没有印刷电路的无图案区。通常晶圆的有图案区靠近晶圆的中心，而无图案区在晶圆的边缘。在对晶圆做缺陷检测时，可以将有图案区选作目标区域，图像采集装置30仅需采集有图案区的图像即可。请参阅图5，例如，工件300为晶圆，晶圆的区域S1、S2、S3、及S4均为有图案区，然而一次检测中并不需要对区域S3及区域S4做检测，如本次检测为针对区域S1及区域S2的复检，则可以将区域S1及区域S2作为目标区域。
请参阅图2及图4，例如工件300为半径150mm的圆形工件300，其中，以工件300的中心301为圆心且半径为100mm的圆形区域为目标区域S1。若图像采集装置30为线阵相机，图像采集装置30的采集视场M1为50mm，则可以先如图4中左图所示，控制承载装置10带动工件300沿水平方向移动，以使图像采集装置30的采集视场的一端对准工件300的中心301，另一端在以工件300的中心301为圆心且半径为50mm的圆周R1上，之后控制承载装置10带动工件300绕工件300的中心301转动一周，使图像采集装置30完成对目标区域中区域S1.1的采集；再如图4中右图所示，控制承载装置10带动工件300沿水平方向(XY轴方向)移动，以使图像采集装置30的采集视场M1的一端在以工件300的中心301为圆心且半径为50mm的圆周R1上，另一端在以工件300的中心301为圆心且半径为100mm的圆周R2上，之后控制承载装置10带动工件300绕工件300的中心301转动一周，使图像采集装置30完成对目标区域中区域S1.2的采集。如此，图像采集装置30能够完成对整个目标区域S1的图像的采集。
在一个实施例中，在检测前，检测设备100可通过图像采集装置30采集整个工件300的图像，以根据该图像确定目标区域。例如，图像采集装置30包括第一图像采集装置31及第二图像采集装置32。第一图像采集装置31用于采集整个工件300的图像，以根据整个工件300的图像确定目标区域。第二图像采集装置32用于采集工件300被光源组件20照射的区域的图像以用作检测。
在另一个实施例中，请参阅图5，承载装置10设有沿以承载装置10的中心11为圆心的圆周分布的刻度，刻度范围为[0°，360°]。当承载装置10承载工件300时，承载装置10的中心与工件300的中心301重叠。用户可通过肉眼观察的方式，或者检测设备100通过图像采集装置30采集整个工件300的图像，以确定目标区域所在的刻度范围。例如，用户可以将[0°，90°]及[180°，270°]设置为目标区域，其中，[0°，90°]为第一目标区域S1，[180°，270°]为第二目标区域S2。
目标速率为单位时间内图像采集装置30的采集范围。其中，采集范围可以是面积范围，也可以是角度范围，在此不作限制。目标速率越快，则图像采集装置30在单位时间内图像采集装置30的采集范围越大，即图像采集装置30采集单位范围(面积/角度范围)的图像花费的时间越短，对工件300的检测精度越低；目标速率越慢，则图像采集装置30在单位时间内图像采集装置30的采集范围越小，即图像采集装置30采集单位范围(面积/角度范围)的图像花费的时间越久，对工件300的检测精度越高。目标速率快慢的选取取决于用户对于检测效率和检测精度之间的取舍，若用户追求较高的检测效率，则可以设置较快的目标速率；若用户追求较高的检测精度，则可以设置较慢的目标速率。
请参阅图4，例如，采集范围为面积范围，目标区域的面积共100πmm2，用户可以设置目标速率为10πmm2/s，即图像采集装置30在单位时间1s内需要采集10πmm2的图像，则完成采集图像的时间共需10s。若承载装置10带动工件300沿水平方向移动共花费1s，且承载装置10带动工件300沿水平方向移动时图像采集装置30不采集图像，则检测花费的总时间共计11s。
请继续参阅图4，例如，采集范围为角度范围，目标区域S1如图4所示，根据目标区域S1及图像采集装置30的采集视场M1，可确定图像采集装置30完成检测需要相对工件300绕工件300的中心301转动两周(720°)，即图像采集装置30在图4中左图所示的位置相对工件300绕工件300的中心301转动一周，以采集目标区域S1.1的图像，且在图4中右图所示的位置相对工件300绕工件300的中心301转动一周，以采集目标区域S1.2的图像。其中，由于用户可以设置目标速率，而目标速率是图像采集装置30的采集视场与单位时间之间的关系，因此可以认为图像采集装置30的采集视场是已知的。用户可以设置目标速率为30°/s，即图像采集装置30在单位时间1s内需要需要相对工件300绕工件300的中心301转动30°，则完成采集图像的时间共需24s。若承载装置10带动工件300沿水平方向移动以调整工件300相对图像采集装置30的位置共花费1s，且承载装置10带动工件300沿水平方向移动时图像采集装置30不采集图像，则检测花费的总时间共计25s。
目标速率还可以根据用户输入的目标时间及目标区域获取。其中，目标时间为用户希望完成检测花费的总时间。请参阅图4，例如，用户输入的目标时间为25s，目标区域S1如图4所示，根据目标区域S1及图像采集装置30的采集视场，可确定图像采集装置30完成检测需要相对工件300绕工件300的中心301转动两周(720°)，即图像采集装置30在图4中左图所示的位置相对工件300绕工件300的中心301转动一周，以采集目标区域S1.1的图像，且在图4中右图所示的位置相对工件300绕工件300的中心301转动一周，以采集目标区域S1.2的图像。若承载装置10带动工件300沿水平方向移动以调整工件300相对图像采集装置30的位置共花费1s，则图像采集装置30需要在24s完成对目标区域S1的图像的采集，则图像采集装置30的目标速率需要达到30°/s。
获取工件300上待检测的目标区域及图像采集装置30检测工件300的目标速率后，可根据目标速率及目标区域确定承载装置10的目标转速，并根据目标区域及目标转速确定图像采集装置30的第一目标频率。当承载装置10的转速为目标转速，且图像采集装置30的采集频率为第一频率时，单位时间内图像采集装置30的采集范围能够达到目标速率，从而满足用户的需求。
请参阅图4，例如，目标速率V0为30°/s，目标区域S1如图4所示，根据目标区域S1及图像采集装置30的采集视场，可确定图像采集装置30完成检测需要相对工件300绕工件300的中心301转动两周(720°)，即图像采集装置30在图4中左图所示的位置相对工件300绕工件300的中心301转动一周，以采集目标区域S1.1的图像，且在图4中右图所示的位置相对工件300绕工件300的中心301转动一周，以采集目标区域S1.2的图像。根据目标速率V0的定义，目标速率V0可看做图像采集装置30相对工件300的转速。由于图像采集装置30的位置固定，因此图像采集装置30相对工件300的转速相当于工件300相对图像采集装置30的转速，即承载装置10带动工件300绕工件300的中心301转动的转速，则承载装置10的目标转速V1可确定为30°/s。根据目标区域S1及目标转速V1，可确定图像采集装置30完成对目标区域S1的图像的采集所花费的时间T1＝24s。若图像采集装置30的每帧图像能够采集到目标区域S1中2°的范围，由于图像采集装置30完成检测需要相对工件300绕工件300的中心301转动两周(相当于实际的目标区域为720°)则图像采集装置30共需采集360帧(720°/(2°/帧))图像，且图像采集装置30需要在时间T1内采集360帧图像。因此图像采集装置30的采集频率需要达到360帧/24s，即15帧/s，故则图像采集装置30的第一目标频率f1可确定为15帧/s(或15Hz)。
请参阅图5，例如，目标速率V0为30°/s，目标区域S1及目标区域S2如图5所示，图像采集装置30的采集视场M1的长轴长度与工件300的半径相等，则可确定图像采集装置30完成检测需要相对工件300绕工件300的中心301转动180°。对于目标转速的设置，需要确保承载装置10在图像采集装置30采集目标区域S1及目标区域S2的图像时，承载装置10的转速达到30°/s。若承载装置10全程匀速转动，则承载装置10的目标转速V1可确定为30°/s。若承载装置10非匀速转动，则承载装置10的目标转速可包括多个，且至少包括一个目标转速V1＝30°/s，以满足当图像采集装置30采集目标区域S1及目标区域S2的图像时，承载装置10以目标转速V1匀速转动。根据目标区域S1、目标区域S2、及目标转速V1，可确定图像采集装置30完成对目标区域S1及目标区域S2的图像的采集所花费的时间T1＝6s。若图像采集装置30的每帧图像能够采集到目标区域S1中2°的范围，则图像采集装置30共需采集90帧(180°/(2°/帧))图像，且图像采集装置30需要在时间T1内采集90帧图像。因此图像采集装置30的采集频率需要达到90帧/6s，即15帧/s，故则图像采集装置30的第一目标频率f1可确定为15帧/s(或15Hz)。
目前，工业检测的过程往往是固定的，只能以固定的检测精度检测工件300，难以满足不同的检测精度需求，例如对高检测精度的需求，或对需求较低的检测精度以达到较高的检测效率。
本申请的实施方式能够通过改变图像采集装置30的目标速率以实现对检测精度的调节，用户可通过设置不同的目标速率，使检测精度达到不同的目标速率对应的目标精度。
具体地，本申请实施方式的检测方法、检测设备100、及检测装置50支持用户设置不同的目标速率及目标区域，并能够获取承载装置10的目标转速及图像采集装置30的第一目标频率，以使承载装置10以目标转速转动且图像采集装置30以第一目标频率采集图像时，图像采集装置30的检测速率(单位时间的采集范围)能够达到目标速率，从而使图像采集装置30能够以目标速率检测工件300。由于目标速率的变化会导致检测精度变化，因此用户仅需调整目标速率即可改变检测精度。
请参阅图2、图3、及图6，在某些实施方式中，检测方法还包括：
05：根据目标区域及目标转速确定光源组件20的第二目标频率，第二目标频率为光源组件20照射工件300的照射频率；及
06：根据第二目标频率控制光源组件20照射工件300。
请结合图2，在某些实施方式中，处理器40还用于执行05及06中的方法。即，处理器40还可用于根据目标区域及目标转速确定光源组件20的第二目标频率、及根据第二目标频率控制光源组件20照射工件300。其中，第二目标频率为光源组件20照射工件300的照射频率。
请结合图3，在某些实施方式中，确定模块503还用于执行05中的方法，控制模块505还用于执行06中的方法。即，确定模块503还可用于根据目标区域及目标转速确定光源组件20的第二目标频率。控制模块505还可用于根据第二目标频率控制光源组件20照射工件300。其中，第二目标频率为光源组件20照射工件300的照射频率。
请参阅图2，在一个实施例中，在检测时光源组件20始终保持照射工件300。在另一个实施例中，光源组件20以第二目标频率照射工件300，以在目标区域进入光源组件20的照射范围时照射工件300，在目标区域离开光源组件20的照射范围时停止照射工件300，以避免光源组件20照射到工件300的目标区域以外的区域影响检测的准确度。
请参阅图5，例如目标区域包括图5所示的目标区域S1及目标区域S2，目标转速为30°/s，工件300还包括目标区域S1及目标区域S2之外的区域S3及区域S4，区域S3及区域S4不为目标区域。则光源组件20经过目标区域S1、目标区域S2、区域S3、及区域S4所花的时间Ts1＝Ts2＝Ts3＝Ts4＝3s。若在检测的起始时刻光源组件20照射在区域S3与目标区域S2的边界处(即刻度0°处)，承载装置10沿逆时针方向A转动，则在整个检测过程的第0-3s及第6-9s时光源装置停止照射工件300，在第3-6s及第9-12s时光源装置保持照射工件300，以确保光源装置仅照射目标区域。由此，可以确定第二目标频率为“每3秒交替1次照射和非照射状态”，即在整个检测过程的第0-3s时为非照射状态，在第3-6s时交替为照射状态，在第6-9s时交替为非照射状态，在第9-12s时交替为照射状态。
请参阅图2、图3、及图7，在某些实施方式中，检测方法还包括：
07：根据第二目标频率确定图像采集装置30的开启频率；及
08：根据图像采集装置30的开启频率控制图像采集装置30的开启或关闭。
请结合图2，在某些实施方式中，处理器40还用于执行07及08中的方法。即，处理器40还可用于根据第二目标频率确定图像采集装置30的开启频率、及根据图像采集装置30的开启频率控制图像采集装置30的开启或关闭。
请结合图3，在某些实施方式中，确定模块503还用于执行07中的方法，控制模块505还用于执行08中的方法。即，确定模块503还可用于根据第二目标频率确定图像采集装置30的开启频率。控制模块505还可用于根据图像采集装置30的开启频率控制图像采集装置30的开启或关闭。
其中，图像采集装置30的开启指图像采集装置30开始曝光，图像采集装置30的关闭指图像采集装置30停止曝光。
请参阅图2，在一个实施例中，图像采集装置30始终保持开启，以默认的采集频率采集工件300的图像，并根据图像确定图像采集装置30与工件300的相对位置，以根据图像采集装置30与工件300的相对位置判断图像采集装置30的采集视场是否在目标区域。当图像采集装置30的采集视场在目标区域时，图像采集装置30以第一目标频率采集图像，当图像采集装置30的采集视场不在目标区域时，图像采集装置30以默认的采集频率采集图像。
在另一个实施例中，图像采集装置30并非始终保持开启。具体地，仅在光源装置以第二目标频率照射工件300时，图像采集装置30才开启。如此，图像采集装置30采集到的图像为目标区域的连续的图像，以便于后续根据图像判断目标区域的那些位置存在区域。此外，图像采集装置30对目标区域以外的区域不采集图像，以确保缺陷检测的准确度，并减少部分功耗。
请参阅图5，例如第二目标频率为“每3秒交替1次照射和非照射状态”，则图像采集装置30的开启频率为“每3秒交替1次开启和关闭状态”。若在整个检测过程的第0-3s时为非照射状态，在第3-6s时交替为照射状态，在第6-9s时交替为非照射状态，在第9-12s时交替为照射状态，则在整个检测过程的第0-3s及第6-9s时图像采集装置30关闭，在第3-6s及第9-12s时图像采集装置30开启。
请参阅图2、图3、及图8，在某些实施方式中，光源组件20包括光源，06：根据第二目标频率控制光源组件20照射工件300，包括：
061：根据第二目标频率确定光源的开启频率；及
062：根据光源的开启频率控制光源的开启或关闭。
请结合图2，在某些实施方式中，处理器40还用于执行061及062中的方法。即，处理器40还可用于根据第二目标频率确定光源的开启频率、及根据光源的开启频率控制光源的开启或关闭。
请结合图3，在某些实施方式中，确定模块503还用于执行061中的方法，控制模块505还用于执行062中的方法。即，确定模块503还可用于根据第二目标频率确定光源的开启频率。控制模块505还可用于根据光源的开启频率控制光源的开启或关闭。
其中，控制光源的开启指控制光源发光，控制光源的关闭指控制光源不发光。光源以第二目标频率照射工件300，以在目标区域进入光源组件20的照射范围时照射工件300，在目标区域离开光源组件20的照射范围时停止照射工件300，以避免光源照射到工件300的目标区域以外的区域影响检测的准确度，并能够节省部分功耗。
请参阅图2及图9，在某些实施方式中，光源包括正照明光源和斜照明光源。其中，正照明光源的正照明光路与工件300的法线之间的夹角α的取值范围为[0°，20°]，例如夹角α为0°、2°、4°、6°、8°、10°、12°、14°、16°、18°、20°等，在此不一一列举。斜照明光源的斜照明光路与工件300的法线之间的夹角β的取值范围为[50°，80°]，例如夹角β为50°、53°、56°、59°、62°、65°、67°、70°、74°、78°、80°等，在此不一一列举。在检测时，正照明光源和斜照明光源中的一个光源开启，另一个光源保持关闭，以避免两个具有不同入射角的光源同时照射工件300的同一位置导致对缺陷的判断受干扰。进一步地，正照明光源和斜照明光源中的一个光源的开启频率由第二目标频率确定，另一个光源保持关闭，
由于斜照明比正照明能照射出工件300的更多细节，因此，相较于正照明光源照射工件300且斜照明光源关闭时，当正照明光源关闭且斜照明光源照射工件300时缺陷检测的检测精度更高。所以，当用户对检测精度要求较高时，可以使用斜照明光源照射工件300；当用户对检测精度要求较低时，可以使用正照明光源照射工件300。
进一步地，在某些实施方式中，检测方法还包括：根据目标速率及预设的速率阈值选择正照明光源或斜照明光源照射工件300。具体地，当用户对检测精度要求较高时，用户通常会输入较低的目标速率；当用户对检测精度要求较低时，用户通常会输入较高的目标速率。因此，可预设速率阈值，处理器40(如图2所示)还可用于比较目标速率及速率阈值，当目标速率大于速率阈值时，则表示目标速率较高，对检测精度要求较低，对应地，在检测过程中通过正照明光源照射工件300；当目标速率小于速率阈值时，则表示目标速率较低，对检测精度要求较高，对应地，在检测过程中通过斜照明光源照射工件300。
请参阅图2、图3、及图10，在某些实施方式中，光源组件20包括光源，06：根据第二目标频率控制光源组件20照射工件300，包括：
063：根据第二目标频率确定挡光件的遮挡频率；及
064：根据遮挡频率控制挡光件遮挡光源。
请结合图2，在某些实施方式中，处理器40还用于执行063及064中的方法。即，处理器40还可用于根据第二目标频率确定挡光件的遮挡频率、及根据遮挡频率控制挡光件遮挡光源。
请结合图3，在某些实施方式中，确定模块503还用于执行063中的方法，控制模块505还用于执行064中的方法。即，确定模块503还可用于根据第二目标频率确定挡光件的遮挡频率。控制模块505还可用于根据遮挡频率控制挡光件遮挡光源。
请结合图5，例如，第二目标频率为“每3秒交替1次照射和非照射状态”，即在整个检测过程的第0-3s时为非照射状态，在第3-6s时交替为照射状态，在第6-9s时交替为非照射状态，在第9-12s时交替为照射状态。可以确定遮挡频率为“每3秒交替1次遮挡和非遮挡状态”，即在整个检测过程的第0-3s及第6-9s时挡光件遮挡光源，在第3-6s及第9-12s时挡光件不遮挡光源，以确保光源装置能够以第二目标频率照射目标区域。
根据遮挡频率控制挡光件遮挡光源，可以避免光源组件20照射到工件300的目标区域以外的区域影响检测的准确度，还可以确保光源组件20中的光源保持额定功率发光。若频繁调节光源的开闭状态，则会导致需要花时间等待光源由关闭状态进入以额定功率发光的状态，且需要花时间将光源的发光功率调节至额定功率，从而导致检测效率降低。
在某些实施方式中，挡光件包括电动快门，挡光件的遮挡频率即快门的开启频率。电动快门设置于光源发射的光线的光路上，当电动快门开启时允许光线通过电动快门并入射至工件300，当电动快门关闭时不允许光线通过电动快门，即不允许光源出射的光线入射至工件300。
请参阅图2、图3、及图11，在某些实施方式中，检测方法还包括：
09：获取工件300在承载装置10上的初始位置及工件300上无需检测的非目标区域。
请结合图2，在某些实施方式中，处理器40还用于执行09中的方法。即，处理器40还可用于获取工件300在承载装置10上的初始位置及工件300上无需检测的非目标区域。
请结合图3，在某些实施方式中，确定模块503还用于执行09中的方法，控制模块505还用于执行09中的方法。即，确定模块503还可用于获取工件300在承载装置10上的初始位置及工件300上无需检测的非目标区域。
请参阅图1及图5，在某些实施方式中，目标转速包括第一目标转速及第二目标转速。工件300表面无需做缺陷检测的区域(图5所示的区域S3、S4)为非目标区域。例如，图5示意的区域S1、区域S2、区域S3、及区域S4中，区域S1及区域S2为目标区域，区域区域S3及区域S4为非目标区域。当目标区域(S1、S2)进入图像采集装置30的采集视场时，承载装置10以第一目标转速转动；当非目标区域(S3、S4)进入图像采集装置30的采集视场时，即目标区域(S1、S2)离开图像采集装置30的采集视场时，承载装置10以第二目标转速转动。如此，能够确保图像采集装置30在采集目标区域的图像时，工件300相对图像采集装置30转动的转速能够达到需求的转速，以使图像采集装置30能够以第一目标频率获取图像。
进一步地，在某些实施方式中，第一目标转速小于第二目标转速，即当图像采集装置30采集目标区域的图像时，承载装置10以较慢的第一目标转速带动工件300相对图像采集装置30转动，以确保图像采集装置30能够以第一目标频率获取图像；当图像采集装置30无需采集目标区域的图像时，例如图像采集装置30的采集视场进入非目标区域时，承载装置10以较快的第二目标转速带动工件300相对图像采集装置30转动，以加快检测速度，提高检测效率。
例如，请参阅图5，在一个实施例中，区域S1及区域S2为目标区域，区域区域S3及区域S4为非目标区域。在检测的起始时刻图像采集装置30的采集视场在区域S3与区域S2的边界处(即刻度0°处)，承载装置10沿逆时针方向A转动，当图像采集装置30的采集视场在非目标区域S3时，承载装置10以较快的第二目标转速转动，以使图像采集装置30的采集视场快速进入目标区域S1；当图像采集装置30的采集视场在目标区域S1时，承载装置10以较慢的第一目标转速转动，以使图像采集装置30以第一目标频率采集目标区域S1的图像；当图像采集装置30的采集视场在非目标区域S4时，承载装置10以较快的第二目标转速转动，以使图像采集装置30的采集视场快速进入目标区域S2；当图像采集装置30的采集视场在目标区域S2时，承载装置10以较慢的第一目标转速转动，以使图像采集装置30以第一目标频率采集目标区域S2的图像.
在某些实施方式中，在检测前图像采集装置30获取工件300上的目标区域及无须检测的非目标区域。检测方法还包括：确定图像采集装置30对目标区域及非目标区域的采集次序，及当图像采集装置30完成最后一个目标区域的采集时，提前结束检测。
例如，请参阅图5，在一个实施例中，区域S1及区域S2为目标区域，区域区域S3及区域S4为非目标区域。在检测的起始时刻图像采集装置30的采集视场在区域S3与区域S1的边界处(即刻度90°处)，承载装置10沿逆时针方向A转动，图像采集装置30的采集次序依次为：目标区域S1、非目标区域S2、目标区域S3、及非目标区域S4。由于目标区域S3是最后一个目标区域，因此当图像采集装置30完成对目标区域S3的图像的采集时，即可提前结束检测，以提高检测效率。
判断图像采集装置30的采集视场是否在目标区域，可通过下列任一实施方式实现：
在一个实施例中，图像采集装置30包括用于定位的第一图像采集装置31及用于检测缺陷的第二图像采集装置32。在检测开始时刻，第一图像采集装置31采集工件300在检测开始时刻的初始图像，并获取目标区域及非目标区域的初始坐标。在检测过程中，第一图像采集装置31实时采集工件300的实时图像，并获取目标区域及非目标区域的实时坐标，通过比较实时坐标与初始坐标以判断第二图像采集装置32的采集视场所在的位置。
请参阅图12，例如，区域S1及区域S2为目标区域，区域区域S3及区域S4为非目标区域。如图12中左图所示，在检测的起始时刻第二图像采集装置32的采集视场在区域S3与区域S2的边界处(即刻度0°处)，第一图像采集装置31获取到目标区域对应的刻度(坐标)范围为[90°，180°]及[270°，360°]，而非目标区域对应的刻度(坐标)范围为[0°，90°]及[180°，270°]。其中，刻度是以初始时刻t0时第一图像采集装置31采集到的工件300的图像为基准设置的，并非实际刻画在工件300表面的刻度。当工件300相对第二图像采集装置32转动时，工件300各位置对应的刻度也相对第二图像采集装置32转动。结合图12中右图，若承载装置10沿逆时针方向A转动，且根据当前时刻t1时第一图像采集装置31采集到工件300的实时图像，初始时刻t0时刻度0°对应的参考位置在当前时刻对应的刻度为60°，即工件300相对参考位置沿逆时针方向A转动了60°。由于第二图像采集装置32固定，第二图像采集装置32的采集视场固定，因此第二图像采集装置32的采集视场仍保持在初始时刻t0时刻度0°对应的参考位置，而当前时刻t1参考位置对应的刻度为60°，因此，当前时刻t1时第二图像采集装置32的采集视场所在的位置对应刻度60°。根据目标区域及非目标区域的刻度范围可以判定刻度60°在非目标区域包含的刻度范围内，因此当前时刻t1时第二图像采集装置32的采集视场位于非目标区域。
请参阅图5，在又一个实施例中，承载装置10设有对应的刻度(坐标)，当工件300固定在承载装置10后，工件300与承载装置10之间的相对位置保持不变，因此，可以根据承载装置10的刻度确定目标区域与非目标区域对应的刻度区间。例如，区域S1及区域S2为目标区域，区域区域S3及区域S4为非目标区域，则目标区域对应的刻度(坐标)范围为[90°，180°]及[270°，360°]，而非目标区域对应的刻度(坐标)范围为[0°，90°]及[180°，270°]。请结合图2，在某些实施方式中，承载装置10内置有定位器13，定位器13存储有以位置固定的图像采集装置30为参考基座的XY轴平面的水平坐标系，当承载装置10在水平方向(XY轴平面)移动时，定位器13能够根据承载装置10沿X方向及Y方向移动的距离确定承载装置10的当前位置在水平坐标系对应的坐标。定位器13还能够根据承载装置10转动的角度确定承载装置10的刻度相对位置固定的图像采集装置30转动的角度。例如在检测的起始时刻图像采集装置30的采集视场在刻度0°到工件300的中心301的半径上，当定位器13获取到承载装置10沿逆时针方向A转动60°时，若承载装置10没有在水平方向(XY轴平面)移动，则图像采集装置30的采集视场在刻度60°到工件300的中心301的半径上，结合目标区域及非目标区域的刻度范围可以判定刻度60°在非目标区域包含的刻度范围内。请参阅图13，若承载装置10在水平方向(XY轴平面)移动，则定位器13根据当前时刻承载装置10的中心坐标及边缘轮廓的坐标在水平坐标系确定承载装置10的当前位置，再根据承载装置10转动的角度确定承载装置10的刻度相对位置固定的图像采集装置30转动的角度，即可获取当前时刻图像采集装置30的采集视场与目标区域及非目标区域之间的位置关系。如图13所示，承载装置10沿X轴移动-50mm、并沿逆时针方向A转动60°后，图像采集装置30的采集视场位于非目标区域S3。
可以理解地，判断图像采集装置30的采集视场是否在目标区域的方式不局限于上述列举的方式，在此不作限制。
在某些实施方式中，承载装置10的转速由第一目标转速调节至第二目标转速，或由第二目标转速调节至第一目标转速所需的调节时间较短，则可以根据图像采集装置30的采集视场的实时位置调节承载装置10的转速，使图像采集装置30的采集视场在目标区域时，承载装置10以第一目标转速转动，图像采集装置30的采集视场在非目标区域时，承载装置10以第二目标转速转动。如此，可以确保图像采集装置30在目标区域以第一目标频率采集图像，且当第一目标转速小于第二目标转速时能够加快检测进度，提高检测效率。
请参阅图2、图3、及图14，在某些实施方式中，04：根据目标转速调节承载装置10的转速，包括：
041：根据目标区域确定第一目标坐标范围以及根据非目标区域确定第二目标坐标范围，第一目标坐标范围对应目标区域，第二目标坐标范围对应非目标区域；
042：获取承载装置10的实时坐标；
043：当实时坐标位于第一目标坐标范围内时，根据第一目标转速调节承载装置10的转速；及
044：当实时坐标位于第二目标坐标范围内时，根据第二目标转速调节承载装置10的转速。
请结合图2，在某些实施方式中，处理器40还用于执行041、042、043及044中的方法。即，处理器40还可用于根据目标区域确定第一目标坐标范围以及根据非目标区域确定第二目标坐标范围、获取承载装置10的实时坐标、当实时坐标位于第一目标坐标范围内时，根据第一目标转速调节承载装置10的转速、及当实时坐标位于第二目标坐标范围内时，根据第二目标转速调节承载装置10的转速。其中，第一目标坐标范围对应目标区域，第二目标坐标范围对应非目标区域。
请结合图3，在某些实施方式中，确定模块503还用于执行041及042中的方法，控制模块505还用于执行043及044中的方法。即，确定模块503还可用于根据目标区域确定第一目标坐标范围以及根据非目标区域确定第二目标坐标范围；及获取承载装置10的实时坐标。控制模块505还可用于当实时坐标位于第一目标坐标范围内时，根据第一目标转速调节承载装置10的转速；及当实时坐标位于第二目标坐标范围内时，根据第二目标转速调节承载装置10的转速。
请结合图5，其中，根据目标区域确定第一目标坐标范围、根据非目标区域确定第二目标坐标范围、以及获取承载装置10的实时坐标的方式已在前文叙述，在此不再赘述。当实时坐标位于第一目标坐标范围内时，即图像采集装置30的采集视场位于第一目标坐标范围内；当实时坐标位于第二目标坐标范围内时，即图像采集装置30的采集视场位于第二目标坐标范围内。其中，承载装置10的实时坐标包括承载装置10在水平方向(XY轴平面)的实时水平坐标及承载装置10的角度相对图像采集装置30的实时角度坐标。
例如，承载装置10在水平方向(XY轴平面)的实时水平坐标不变，第一目标坐标对应的刻度(坐标)范围为[90°，180°]及[270°，360°]，而第二目标坐标对应的刻度(坐标)范围为[0°，90°]及[180°，270°]。若承载装置10的实时角度坐标变为60°，则承载装置10的实时坐标位于第二目标标坐标范围内，此时应根据第二目标转速调节承载装置10的转速。
在某些实施方式中，承载装置10的转速由第一目标转速调节至第二目标转速，或由第二目标转速调节至第一目标转速所需的调节时间较长，因此需要在图像采集装置30的采集视场进入目标区域之前提前将承载装置10的转速调节至第一目标转速，以确保图像采集装置30在目标区域以第一目标频率采集图像。
请参阅图2、图3、及图15，在某些实施方式中，04：根据目标转速调节承载装置10的转速，包括：
045：根据目标区域、非目标区域、初始位置、第一目标转速、及第二目标转速获取转速变化曲线，转速变化曲线为检测设备100在检测时承载装置10的转速随时间变化的曲线；
046：根据转速变化曲线调节承载装置10在目标区域的转速；及
047：根据转速变化曲线调节承载装置10在非目标区域的转速。
请结合图2，在某些实施方式中，处理器40还用于执行045、046、及047中的方法。即，处理器40还可用于根据目标区域、非目标区域、初始位置、第一目标转速、及第二目标转速获取转速变化曲线；根据转速变化曲线调节承载装置10在目标区域的转速；及根据转速变化曲线调节承载装置10在非目标区域的转速。其中，转速变化曲线为检测设备100在检测时承载装置10的转速随时间变化的曲线。
请结合图3，在某些实施方式中，确定模块503还用于执行045中的方法，控制模块505还用于执行046及047中的方法。即，确定模块503还可用于根据目标区域、非目标区域、初始位置、第一目标转速、及第二目标转速获取转速变化曲线。控制模块505还可用于根据转速变化曲线调节承载装置10在目标区域的转速；及根据转速变化曲线调节承载装置10在非目标区域的转速。其中，转速变化曲线为检测设备100在检测时承载装置10的转速随时间变化的曲线。
请结合图5，初始位置为检测开始时刻图像传感器的采集视场在工件300表面的位置。例如在检测的起始时刻图像采集装置30的采集视场在区域S3与区域S2的边界处(即刻度0°处)，则区域S3与区域S2的边界处(即刻度0°处)即为该次检测时的初始位置。
第一目标转速为图像采集装置30的采集视场在目标区域时，承载装置10需要维持的转速，以确保图像采集装置30能够以第一目标频率采集目标区域的图像。第二目标转速为图像采集装置30在非目标区域能够达到的最快转速，第二目标转速越大，则检测的总耗时越短，检测效率越高。
请参阅图16，图16为某些实施例中，根据目标区域、非目标区域、初始位置、第一目标转速v1、及第二目标转速v2获取的转速变化曲线。
在转速变化曲线中，横轴为时间轴，转速变化曲线在时间轴的起始点为从初始位置开始检测的时刻，在时间轴的终点为完成检测的时刻。纵轴为速度轴，转速变化曲线在速度轴的坐标为承载装置10的实时转速。当承载装置10的实时转速下降至第一目标转速v1时，图像采集装置30的采集视场进入目标区域；当承载装置10的实时转速自第一目标转速v1开始上升时，图像采集装置30的采集视场离开目标区域。从实时转速下降至第一目标转速v1到实时转速自第一目标转速v1开始上升的时间段为图像采集装置30采集一个目标区域消耗的时间。
也即是说，当图像采集装置30的采集视场进入目标区域时，根据转速变化曲线调节承载装置10的转速维持在第一目标转速v1不变，当图像采集装置30的采集视场进入非目标区域时，根据转速变化曲线调节承载装置10的转速先增加至第二目标转速v2，再减小至第一目标转速v1，以加快检测速度，且确保图像采集装置30的采集视场进入目标区域时承载装置10的转速为第一目标转速v1。如此，可以进一步确保图像采集装置30能够以第一目标频率采集目标区域的图像。
请参阅图17，本申请实施方式还提供一种包含计算机程序201的非易失性计算机可读存储介质200。当计算机程序201被处理器40执行时，使得处理器40执行上述任一实施方式的检测方法。
请结合图1及图2，例如，当计算机程序201被处理器40执行时，使得处理器40执行以下检测方法：
01：获取工件300上待检测的目标区域及图像采集装置30检测工件300的目标速率，目标区域为工件300的部分区域，目标速率为单位时间内图像采集装置30的采集范围；
02：根据目标速率及目标区域确定承载装置10的目标转速；
03：根据目标区域及目标转速确定图像采集装置30的第一目标频率，第一目标频率为图像采集装置30的采集频率；及
04：根据目标转速调节承载装置10的转速，并根据第一目标频率控制图像采集装置30获取图像。
又例如，当计算机程序201处理器40执行时，使得处理器40执行以下检测方法：
01：获取工件300上待检测的目标区域及图像采集装置30检测工件300的目标速率，目标区域为工件300的部分区域，目标速率为单位时间内图像采集装置30的采集范围；
02：根据目标速率及目标区域确定承载装置10的目标转速；
03：根据目标区域及目标转速确定图像采集装置30的第一目标频率，第一目标频率为图像采集装置30的采集频率；
04：根据目标转速调节承载装置10的转速，并根据第一目标频率控制图像采集装置30获取图像。
05：根据目标区域及目标转速确定光源组件20的第二目标频率，第二目标频率为光源组件20照射工件300的照射频率；
06：根据第二目标频率控制光源组件20照射工件300。及
09：获取工件300在承载装置10上的初始位置及工件300上无需检测的非目标区域。
综上所述，本申请实施方式的检测方法、检测设备100、及检测装置50支持用户设置不同的目标速率及目标区域，并能够获取承载装置10的目标转速及图像采集装置30的第一目标频率，以使承载装置10以目标转速转动且图像采集装置30以第一目标频率采集图像时，图像采集装置30的检测速率(单位时间的采集范围)能够达到目标速率，从而使图像采集装置30能够以目标精度对应的目标速率检测工件300，使用户仅需调整目标速率即可将检测精度调整为目标精度。
在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个例子中”、“示例地”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本申请的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本申请的实施例所属技术领域的技术人员所理解。
尽管上面已经示出和描述了本申请的实施方式，可以理解的是，上述实施方式是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施方式进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种检测方法，其特征在于，应用于检测设备，所述检测设备包括承载装置、光源组件、及图像采集装置，所述承载装置用于承载工件，所述光源组件用于照射所述工件，所述图像采集装置用于采集所述工件被照射区域的图像以用作检测，所述检测方法包括：
获取所述工件上待检测的目标区域及所述图像采集装置检测工件的目标速率，所述目标区域为所述工件的部分区域，所述目标速率为单位时间内所述图像采集装置的采集范围；
根据所述目标速率及所述目标区域确定所述承载装置的目标转速；
根据所述目标区域及所述目标转速确定所述图像采集装置的第一目标频率，所述第一目标频率为所述图像采集装置的采集频率；及
根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，并根据所述第一目标频率控制所述图像采集装置获取图像。
2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括：
根据所述目标区域及所述目标转速确定所述光源组件的第二目标频率，所述第二目标频率为所述光源组件照射所述工件的照射频率；及
根据所述第二目标频率控制所述光源组件照射所述工件。
3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括：
根据所述第二目标频率确定所述图像采集装置的开启频率；及
根据所述图像采集装置的开启频率控制所述图像采集装置的开启或关闭。
4.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述光源组件包括光源，所述根据所述第二目标频率控制所述光源组件照射所述工件，包括：
根据所述第二目标频率确定所述光源的开启频率；及
根据所述光源的开启频率控制所述光源的开启或关闭。
5.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述光源组件包括光源及挡光件，所述根据所述第二目标频率控制所述光源组件照射所述工件，包括：
根据所述第二目标频率确定所述挡光件的遮挡频率；及
根据所述遮挡频率控制所述挡光件遮挡所述光源。
6.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述目标转速包括第一目标转速及第二目标转速，所述第一目标转速小于所述第二目标转速，
所述检测方法还包括：
获取所述工件在所述承载装置上的初始位置及所述工件上无需检测的非目标区域；
所述根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，包括：
根据所述所述目标区域、所述非目标区域、所述初始位置、所述第一目标转速、及所述第二目标转速获取转速变化曲线，所述转速变化曲线为所述检测设备在检测时所述承载装置的转速随时间变化的曲线；
根据所述转速变化曲线调节所述承载装置在所述目标区域的转速；及
根据所述转速变化曲线调节所述承载装置在所述非目标区域的转速。
7.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述目标转速包括第一目标转速及第二目标转速，所述第一目标转速小于所述第二目标转速，
所述检测方法还包括：
获取所述工件上无需检测的非目标区域；
所述根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，包括：
根据所述目标区域确定第一目标坐标范围以及根据所述非目标区域确定第二目标坐标范围，所述第一目标坐标范围对应所述目标区域，所述第二目标坐标范围对应所述非目标区域；
获取所述承载装置的实时坐标；
当所述实时坐标位于所述第一目标坐标范围内时，根据所述第一目标转速调节所述承载装置的转速；及
当所述实时坐标位于所述第二目标坐标范围内时，根据所述第二目标转速调节所述承载装置的转速。
8.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括承载装置、光源组件、图像采集装置、及处理器，所述承载装置用于承载所述工件，所述光源组件用于照射所述工件，所述图像采集装置用于采集所述工件被照射区域的图像以用作检测，所述处理器用于：
获取所述工件上待检测的目标区域及所述图像采集装置检测工件的目标速率，所述目标区域为所述工件的部分区域，所述目标速率为单位时间内所述图像采集装置的采集范围；
根据所述目标速率及所述目标区域获取所述承载装置的目标转速；
根据所述目标区域及所述目标转速确定所述图像采集装置的第一目标频率，所述第一目标频率为所述图像采集装置的采集频率；及
根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，并根据所述第一目标频率控制所述图像采集装置获取图像。
9.一种检测装置，其特征在于，应用于检测设备，所述检测设备包括承载装置、光源组件、及图像采集装置，所述承载装置用于承载所述工件，所述光源组件用于照射所述工件，所述图像采集装置用于采集所述工件被照射区域的图像以用作检测，所述检测装置包括：
获取模块，用于获取所述工件上待检测的目标区域及所述图像采集装置检测工件的目标速率，所述目标区域为所述工件的部分区域，所述目标速率为单位时间内所述图像采集装置的采集范围；
确定模块，用于根据所述目标速率及所述目标区域确定所述承载装置的目标转速；
所述确定模块，还用于用于根据所述目标区域及所述目标转速确定所述图像采集装置的第一目标频率，所述第一目标频率为所述图像采集装置的采集频率；及
控制模块，所述控制模块用于根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，并根据所述第一目标频率控制所述图像采集装置获取图像。
10.一个或多个存储有计算机程序的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，实现权利要求1至7任意一项所述的检测方法。
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