CN109211915B - 检查装置 - Google Patents

Abstract

提供一种检查装置。该检查装置是进行被检查物所包含的被检查面的外观检查的装置。该检查装置具有照射装置、摄像装置、图像存储部和缺陷检测部。照射装置在沿着被检查物的表面的假想平面上移动，并朝向被检查物的被检查面照射光。摄像装置在摄像范围中包含被检查物的被检查面，接收在被检查面处反射的光，生成作为摄像结果的亮度分布图像。图像存储部存储在照射装置的位置不同且被检查面、摄像装置和照射装置不在一条直线上排列的多个定时由摄像装置拍摄出的多个亮度分布图像。缺陷检测部根据多个不同的亮度分布图像，检测被检查面上的缺陷。

Description

检查装置

技术领域

本发明涉及检查装置。

背景技术

以往，公知有为了以自动的方式检查被检查物的被检查面上是否具有瘪痕等缺陷而使用的检查装置。这样的检查装置例如在日本特开2007-33236号公报中被公开。

日本特开2007-33236号公报所记载的表面缺陷检查装置由照明单元、摄像单元、光源控制装置和缺陷检查装置构成。该照明单元由在曲面上依次排列的多个光源(1a～1f)构成。多个摄像单元由在曲面上依次排列的多台摄像装置(2a～2f)构成。光源控制装置(4)在各拍摄时刻从照明单元的多个光源中选择1个光源，控制该光源的点亮和熄灭。所述缺陷检查装置(5)在各拍摄时刻从所述摄像单元的多个摄像装置中选择1个摄像装置，控制该摄像装置的拍摄定时，并且，根据拍摄出的图像，检测检查对象物的缺陷。

即，在日本特开2007-33236号公报所记载的表面缺陷检查装置中，在改变光源的照射方向或摄像方向的情况下，选择光源(1a～1f)与摄像装置(2a～2f)的组合。在日本特开2007-33236号公报所记载的表面缺陷检查装置中，通过这样的光源角度与摄像角度的组合，还能够检测用单一方向的光源照射角无法检测到的缺陷，从而能够提高检查精度。

但是，在日本特开2007-33236号公报所记载的表面缺陷检查装置中，摄像范围与所选择的摄像装置(2a～2f)对应地发生变化。具体而言，被检查面上的某一位置对应于拍摄摄像范围而得到的摄像图像的哪个像素发生变化。因此，例如，在如想对通过多次拍摄而获得的摄像图像相互进行比较的情况下，需要考虑所选择的摄像装置在曲面上的安装角度等，通过运算求出各摄像图像的各像素的对应关系。因此，用于进行缺陷检查的运算处理有时变得复杂。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其潜在目的在于提供一种能够使检查所需的运算处理简单并高精度地检测被检查面上的缺陷的检查装置和检查方法。

本发明要解决的课题如上所述，接着，说明用于解决该课题的手段。

本发明提供一种进行在轴向上具有厚度的被检查物的外观检查的检查装置。

该检查装置具有照射装置、摄像装置、图像存储部和缺陷检测部。所述照射装置沿着与轴向垂直的假想平面移动，并朝向所述被检查物的被检查面照射光。所述摄像装置在摄像范围中包含所述被检查物的所述被检查面，接收在所述被检查面处反射的光，生成作为摄像结果的亮度分布图像。所述图像存储部存储在所述照射装置的位置不同的多个定时由所述摄像装置拍摄出的多个所述亮度分布图像。所述缺陷检测部根据多个不同的所述亮度分布图像，检测所述被检查面上的缺陷。

根据以上本发明的观点，能够使检查所需的运算处理简单并高精度地检测被检查面上的缺陷。

根据参照附图的以下描述，本发明的上述及其它元件、特征、步骤、特性和优点将被更清楚地理解。

附图说明

图1是示出第1实施方式的检查装置的概略结构的侧视图。

图2是示出第1实施方式的检查装置的概略结构的俯视图。

图3是概略地示出第1实施方式的检查装置的控制系统的结构的框图。

图4是示出第1实施方式的检查方法中的摄像处理的流程的流程图。

图5是示出第1实施方式的检查方法中的缺陷检测处理的流程的流程图。

图6是示出变形例1的检查装置的概略结构的俯视图。

图7是示出变形例2的检查装置的概略结构的侧视图。

图8是示出其它变形例的检查装置的概略结构的俯视图。

图9是示出其它变形例的检查装置的概略结构的侧视图。

具体实施方式

接着，参照附图对本发明的检查装置和检查方法的例示实施方式进行说明。本发明的检查装置和检查方法是用于进行被检查物的外周面所包含的被检查面的外观检查的装置和方法。以下，分别将与被检查物的厚度方向和轴线平行的方向称作“轴向”，将与轴向垂直的方向称作“径向”，将沿着以被检查物的轴线为中心的圆的方向称作“周向”来进行说明。

<1.检查装置的结构>

本实施方式的检查装置1是以自动的方式进行用于检测在轴向上具有厚度的被检查物100的表面的瘪痕等缺陷的外观检查。更详细而言，本实施方式的被检查物100具有：主体部101，其在轴向上具有宽度；以及多个突出部102，它们从该主体部101的外周面向径向外侧突出。本实施方式的被检查物100具有相对于轴线十二重对称的形状。

在本实施方式中，被检查物100的表面中的、作为检查对象的被检查面102a是在相邻的突出部102的周向上相对的1对面双方。

作为被检查物100，能够应用公知的各种产品/部件等，但例如也可以是具有多个外齿的齿轮。或者，也可以设被检查物100为具有向径向外侧突出的多个齿的马达用的定子铁芯。或者，还可以设被检查物100为具有向径向外侧突出的多个叶片的风扇。另外，形成被检查物100的材料不限定于特定的材料。因此，被检查物100可以是金属制的，或者，也可以是树脂制的。

图1示意性示出从侧方观察本实施方式的检查装置1时的情形。在图1中，用剖视图示出了被检查物100。图2示意性示出了从上方观察检查装置1时的情形。图3示出了检查装置1的电气结构。如图1所示，检查装置1具有照射装置2、摄像装置3、移动机构4、旋转机构5和控制部6。此外，如后所述，检查装置1在控制部6内具有作为示意性结构的图像存储部7和缺陷检测部8。

照射装置2是对被检查物100的被检查面102a照射光的装置。照射装置2具有发光部。照射装置2从该发光部朝向被检查面102a投射光。从发光部投射的光例如为白色光。另外，在图1和图2中用标号F示出来自照射装置2的光的照射方向。来自照射装置2的光的照射方向F被控制部6控制成始终朝向被检查面102a侧。在本实施方式中，照射方向F为水平方向上的朝向摄像装置3的方向与轴向上的朝向地面的方向的中间方向。换言之，本实施方式的照射方向F是向斜下方的，为从照射装置2朝向摄像装置3的下方位置的方向。

摄像装置3是公知结构的摄像装置。本实施方式的摄像装置3具有呈平面状地排列(二维排列)的多个光电转换元件。各光电转换元件存储与受光量对应的电荷。摄像装置3通过对入射到光电转换元件的光进行光电转换，生成作为摄像结果的亮度分布图像。亮度分布图像的各像素具有与电荷成比例的亮度。

摄像装置3相对于地面固定地配置。摄像装置3的摄像范围相对于地面是不动的。换言之，拍摄对象的被检查面102a始终以规定的大小/角度包含在摄像装置3的摄像范围内的规定位置。

移动机构4是用于使照射装置2沿着与轴向垂直的假想平面S1移动的机构。在图1中用标号S示出假想平面。本实施方式的移动机构4具有导轨。导轨的轨道沿着假想平面S1配置成环状。照射装置2经由臂部41和铰链部42与沿着导轨移动的移动件联结。如图2中用双点划线所示，在轴向上观察时，本实施方式的导轨的轨道R1为以摄像装置3的位置为中心的圆形。由此，照射装置2以通过摄像装置3的位置并在轴向上延伸的旋转轴为中心，进行行星运动。移动机构4由控制部6进行动作控制。但是，移动机构4能够使用其它公知的各种机构。

如图1所示，照射装置2、摄像装置3和移动机构4相对于被检查物100配置于轴向的一侧。此外，从照射装置2到被检查物100的轴向的距离L2大于从摄像装置3到被检查物100的轴向的距离L1(L1<L2)。并且，从移动机构4到被检查物100的轴向的距离L3大于上述距离L2(L2<L3)。由此，不存在照射装置2、移动机构4进入摄像装置3的摄像范围的担忧。

旋转机构5是用于使被检查物100以其轴线为中心旋转的机构。作为旋转机构5，能够使用公知的各种方式的机构，但本实施方式的旋转机构5具有工作台部51、以及以能够旋转的方式从下方支承该工作台部51的柱状的支承部52。通过从电动机等动力供给源向工作台部51供给旋转动力，工作台部51相对于支承部52旋转。在本实施方式中，每当旋转机构5进行1次动作时，工作台部51在轴向上观察时顺时针旋转30°。在图2中用实线箭头示出被检查物100因旋转机构5进行动作而旋转的方向。

以下，参照图3对检查装置1的控制系统的结构详细地进行说明。图3所示的控制部6是用于对检查装置1内的各部件进行动作控制的单元。本实施方式的控制部6由具有CPU等处理器、RAM等存储器和硬盘驱动器等存储部的计算机构成。控制部6分别与上述的照射装置2、摄像装置3、移动机构4和旋转机构5电连接。控制部6将上述存储部所存储的计算机程序临时读出到上述存储器中，根据计算机程序，由上述处理器进行运算处理，由此，对上述各部件进行动作控制。由此，通过上述硬件和软件的协作，推进检查装置1中的摄像处理、后述的缺陷检测的处理。

控制部6通过对移动机构4进行动作控制，使照射装置2以通过摄像装置3的位置并在轴向上延伸的旋转轴C为中心每次间歇地移动45°。换言之，控制部6每当使照射装置2移动45°，就使该照射装置2的移动临时停止。

此外，控制部6在规定的定时使摄像装置3执行拍摄。以下，将该定时称作“拍摄定时”。

此外，控制部6通过对旋转机构5进行动作控制，使载置在工作台部51上的被检查物100以轴线为中心间歇地旋转。具体而言，每当控制部6使旋转机构5进行1次动作，被检查物100就顺时针旋转30°。

图像存储部7示意性地包含在上述存储部中。图像存储部7针对多个被检查面102a，分别存储由摄像装置3拍摄而获得的亮度分布图像P1、P2、……、P8。换言之，图像存储部7分别将存在多个(在本实施方式中，8个图像)的亮度分布图像P1、P2、……、P8与在拍摄该图像时作为检查对象的1个被检查面102a相对应地进行存储。

缺陷检测部8是用于检测被检查面102a上的缺陷的处理部。缺陷检测部8示意性地包含在控制部6中。即，缺陷检测部8的功能通过由控制部6的处理器依照计算机程序进行动作来实现。本实施方式的缺陷检测部8针对多个被检查面102a，分别从图像存储部7读出对应于该1个被检查面102a的多个亮度分布图像P1、P2、……、P8，并综合性地评价这些图像，由此，检测该1个被检查面102a上的缺陷。之后对缺陷检测部8的具体处理内容进行叙述。

<2.被检查面的摄像处理>

在使用如上所述的结构的检查装置1进行针对被检查物100的多个被检查面102a的外观检查的情况下，进行如图4的处理。图4是示出被检查面102a的摄像处理的流程的流程图。即，首先，被检查物100在轴线与旋转机构5的工作台部51的旋转轴一致的状态下被载置在工作台部51上。这时，被检查物100配置成将1个被检查面102a包含在摄像装置3的摄像范围中。

在将被检查物100设置在工作台部51上的状态下，对移动机构4进行动作控制，由此，照射装置2一边沿着假想平面S1在摄像装置3的周围反复移动和停止，一边绕一周。在本实施方式中，照射装置2的轨道R1上的、在轴向上观察时每45°的地点为照射装置2的移动停止的地点。在图2中用标号B1、B2、……、B8示出了照射装置2停止移动的8个地点。照射装置2到达了这些8个地点B1、B2、……、B8的时刻设为上述拍摄定时。另外，在照射装置2的移动临时停止的任意一个地点B1、B2、……、B8，被检查面102a、摄像装置3和照射装置2不在一条直线上排列。此外，照射装置2的发光部为在执行被检查物100的外观检查的期间内始终发光的状态。

在拍摄定时，由控制部6对摄像装置3进行动作控制，由此，执行拍摄。换言之，在对照射装置2进行了位置对准的状态下(步骤S81)，进行摄像装置3的拍摄(步骤S82)。在此期间，照射装置2保持已停止移动的状态。由此，摄像装置3的光电转换元件接收照射到被检查面102a并在该被检查面102a处被正反射或者漫反射的光。其结果是，生成了上述亮度分布图像。

在1个拍摄定时拍摄结束后，控制部6判断所设定的全部拍摄定时的拍摄是否已结束(步骤S83)。换言之，控制部6判断在预定的全部地点(照射位置)B1、B2、……、B8配置了照射装置2的状态下的拍摄是否已结束。在该判断结果是具有未执行拍摄的地点的情况下(步骤S83：否)，控制部6对移动机构4进行动作控制，使照射装置2移动至下一个地点(步骤S84)。然后，在该照射位置处进行照射装置2的移动的停止和位置对准(步骤S81)，在该状态下进行拍摄(步骤S82)。

直到没有未结束拍摄的照射位置为止，反复进行如上所述的照射装置2的位置对准(步骤S81)和摄像装置3的拍摄(步骤S82)。而且，在全部照射位置B1、B2、……、B8处的拍摄结束之后(步骤S83；是)，接下来，控制部6也判断其它被检查面102a的拍摄是否已结束(步骤S85)。在该判断结果是存在有未执行拍摄的被检查面102a的情况下(步骤S85：否)，控制部6使旋转机构5的工作台部51绕顺时针旋转30°(步骤S86)。由此，转移到对下1个被检查面102a的外观检查(步骤S81～S84)。

直到8个亮度分布图像P1、P2、……、P8对齐为止，控制部6对全部被检查面102a重复上述处理。

通过如上所述的处理，在本实施方式中，分别针对照射装置2停止在8个地点B1、B2、……、B8的状态，生成上述亮度分布图像P1、P2、……、P8。其结果是，针对各被检查面102a，可获得对被检查面102a照射光的朝向各(8种)不同的8个亮度分布图像P1、P2、……、P8。

<3.缺陷检测的处理>

在针对各被检查面102a，生成了对被检查面102a照射光的朝向各(8种)不相同的8个亮度分布图像P1、P2、……、P8，并存储到图像存储部7中之后，缺陷检测部8进行用于检测被检查面102a上的缺陷的处理。以下，参照图5，说明该处理的流程。

首先，缺陷检测部8针对1个被检查面102a的8个亮度分布图像P1、P2、……、P8，分别确定与周围像素的亮度值的差为第1阈值Th1以上的像素聚集的规定面积以上的图像区域(步骤S101)。在本实施方式中，检测为该图像区域也对应于具有缺陷的区域。

接下来，缺陷检测部8在相互地参照1个被检查面102a的8个亮度分布图像P1、P2、……、P8时，确定亮度值的变化(例如，变化量或者偏差)为第2阈值Th2以上的像素聚集的规定面积以上的图像区域(步骤S102)。在本实施方式中，检测为该图像区域也对应于具有缺陷的区域。

取得的亮度分布图像例如可以通过显示器等显示为能够供进行外观检查的操作员参照。在该情况下，可以通过对与具有缺陷的区域对应的部位着色等方法进行强调显示。

如以上所示，本实施方式的检查装置1具有照射装置2、摄像装置3、图像存储部7和缺陷检测部8。摄像装置3在照射装置2的位置不同的多个定时，执行拍摄。缺陷检测部8根据作为摄像结果的多个亮度分布图像P1、P2、……、P8，检测被检查面102a上的缺陷。

这里，被检查面上的瘪痕等缺陷部位具有反射强度比正常表面低、或者反射强度与照射光的朝向等对应地发生较大变化的倾向。关于这点，根据本实施方式的检查装置1，能够参照从多个不同方向照射光而拍摄出的多个亮度分布图像P1、P2、……、P8，综合性地检测缺陷。因此，能够高精度地检测缺陷。此外，在不变更摄像装置3的摄像范围的情况下，仅使照射装置2移动，获得多个亮度分布图像P1、P2、……、P8。因此，无需考虑摄像装置的移动距离/角度等而通过运算求出各亮度分布图像的各像素的对应关系，运算处理变得简单。

此外，在本实施方式的检查装置1中，在任意一个拍摄定时，被检查面102a、摄像装置3和照射装置2都不在一条直线上排列。由此，能够抑制如下情况：由于摄像装置3的阴影而较暗地拍摄了所取得的亮度分布图像的一部分或者整体。其结果是，能够高精度地检测被检查面102a上的缺陷。

此外，在本实施方式的检查装置1中，被检查面102a是在相邻的突出部102的周向上相对的1对面中的至少任意一个。在相邻的突出部102之间的空间狭窄的情况下，一般难以进行这样的被检查面102a的缺陷的摄影。但是，在本实施方式中，将摄像装置3固定于在摄像范围中包含被检查面102a的规定位置，使照射装置2沿着假想平面S1移动。由此，能够较容易地获得照射光的朝向不同的多个亮度分布图像P1、P2、……、P8。其结果是，能够对通过现有方法难以观察的被检查面102a良好地进行缺陷检查。特别是，在相邻的突出部102之间的空间狭窄的情况下，可设置摄像装置3的位置被较大地限制，但照射装置2的移动的自由度较高，因此，通过使照射装置2运动，容易多样地改变对被检查面102a照射光的朝向。

此外，本实施方式的检查装置1具有移动机构4和控制部6。这里，例如，在设为使移动机构4沿着导轨移动的结构的情况下，能够使移动机构4沿着假想平面S1紧凑地布局。因此，能够使检查装置1小型化。

此外，在本实施方式的检查装置1中，控制部6使照射装置2间歇地移动，在照射装置2不移动的状态时，使摄像装置3执行拍摄。由此，在照射装置2的移动已停止的状态时，拍摄亮度分布图像P1、P2、……、P8。因此，能够获得失焦等较少的清晰的亮度分布图像P1、P2、……、P8。其结果是，能够高精度地进行缺陷的检查。

此外，在本实施方式的检查装置1中，照射装置2的移动的轨道(轨迹)R1是以配置摄像装置3的位置为中心的圆形。由此，在从与假想平面S1垂直的方向观察时，使对1个被检查面102a照射的光的朝向改变360°。因此，能够使由于被检查面102a上的凹凸等而引起的亮度分布图像P1、P2、……、P8上的浓淡的表现方法多样变化。其结果是，无法通过从某一方向照射光来检测的缺陷部位也能够通过来自其它方向的光的照射来检测，能够大幅度抑制缺陷部位的漏检测。

此外，在本实施方式的检查装置1中，L1<L2<L3的大小关系成立。由此，照射装置2和移动机构4未落入摄像装置3的摄像范围。因此，不存在照射装置2和移动机构4进入摄像结果的担忧。此外，将照射装置2、移动机构4和摄像装置3相对于被检查物100配置于轴向的一侧，因此，能够将被检查物100载置在平面状的工作台部51上来进行检查。由此，能够防止失焦等图像不良。其结果是，能够获得高品质的亮度分布图像P1、P2、……、P8。

并且，本实施方式的检查装置1具有旋转机构5。被检查物100具有以其轴线为中心旋转对称(在本实施方式中，十二重对称)的形状，并具有多个被检查面102a。在针对1个被检查面102a的多个亮度分布图像P1、P2、……、P8的取得已结束之后，控制部6使旋转机构5进行动作，在刚才配置了1个被检查面102a的位置处配置下一个被检查面102a。由此，为了对刚才的1个被检查面102a进行缺陷检查，也针对下1个被检查面102a反复进行已对照射装置2和摄像装置3进行的控制处理，由此，能够较容易地进行下1个被检查面102a的缺陷检查。这样，无需为了进行1个被检查面102a的检查而每次设定摄像装置3的位置或者调整照射装置2的位置、移动方式，因此，控制变得简单。

<4.变形例>

以上，虽然对本发明的例示实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述实施方式。

<4-1.变形例1>

或者，移动机构可以使照射装置2沿着假想平面S1、并且沿着被检查物100的周向，呈圆弧状地运动。在图6中用双点划线示出该情况下的照射装置2的移动的轨迹R2。在该情况下，能够缩短照射装置2的移动距离。

<4-2.变形例2>

或者，也可以使假想平面与被检查物100的厚度方向平行，使照射装置2在该假想平面上沿着轴向移动。在图7中用双点划线示出该情况下的假想平面S2和照射装置2的移动的轨迹R3。在该情况下，例如，容易检测在水平方向较长的形状的瘪痕。

<4-3.变形例3>

或者，可以设假想平面为相对于被检查物的厚度方向倾斜地扩大的面。即，假想平面是沿着被检查物中的至少一部分的表面的平面即可。

<4-4.其它变形例>

在上述实施方式中，被检查物100具有相对于轴线十二重对称的形状，但不限于此。也可以取而代之，使被检查物为相对于轴线八重对称或者二十四重对称的形状等。此外，被检查物不一定限定于旋转对称的形状，具有至少1个被检查面即可。

在上述实施方式中，照射装置2在该照射装置2的移动中始终发光，但不限于此。也可以取而代之，仅限于拍摄定时、即为了拍摄而对照射装置2进行了定位的状态的期间内，就使照射装置2发光。

在上述实施方式中，如图2所示，在相邻的突出部102的周向上相对的1对面102a双方包含在摄像装置3的摄像范围中。由此，1个亮度分布图像P1、P2、……、P8中拍摄有相对的双方的被检查面102a，因此，能够同时对双面进行外观检查。但是，不限于此，也可以在摄像装置3的摄像范围中仅包含1对面102a中的一个被检查面102a。在该情况下，在亮度分布图像P1、P2、……、P8上被检查面102a占据的图像区域的比例变大，更容易进行缺陷的检查。另外，如果在一边通过旋转机构5使被检查物100间歇地旋转，一边结束全部(在上述实施方式中，12个)的一侧的被检查面102a的拍摄之后，使被检查物100的端面上下反转地设置在工作台部51上，接下来，依次进行相反侧的被检查面102a的拍摄，则能够进行针对全部被检查面102a的缺陷检查。

在上述实施方式中，使被检查物100的轴线朝向上下方向来进行了缺陷检测，但不限于此。也可以取而代之，例如，使被检查物100的轴线朝向水平方向，进行缺陷检测。

在上述实施方式中，照射装置2、摄像装置3和移动机构4配置于被检查物100的轴向的一侧(上方侧)，但不一定限于此。也可以取而代之，将照射装置2和移动机构4配置于被检查物100的轴向的一侧，将摄像装置3配置于被检查物100的轴向的另一侧。或者，在从径向观察时，摄像装置3的位置与被检查物100的位置可以重叠。

在上述实施方式中，从照射装置2到被检查物100的轴向的距离L2大于从摄像装置3到被检查物100的轴向的距离L1(L1<L2)，但该距离的大小关系不是必须的。也可以取而代之，使从照射装置2到被检查物100的距离小于从摄像装置3到被检查物100的距离。具体而言，例如，如图8所示，在沿被检查物100的厚度方向观察时，假想平面S3可以配置在被检查物100与摄像装置3之间的位置。在图6所示的例子中，照射装置2在与径向垂直的假想平面S3上沿着移动轨迹R4进行直线运动，该移动轨迹R4在与径向和轴向(厚度方向)双方垂直的方向上延伸。

在上述变形例2中，使假想平面S2与被检查物100的厚度方向平行，使照射装置2在该假想平面S2上沿着轴向移动。在图7所示的例子中，从照射装置2到被检查物100的径向的距离大于从摄像装置3到被检查物100的径向的距离。但是，也可以取而代之，使从照射装置2到被检查物100的距离与从摄像装置3到被检查物100的距离大致相同。具体而言，例如，如图9所示，在沿被检查物100的径向观察时，摄像装置3的位置可以配置在大致假想平面S4上。在图9所示的例子中，照射装置2的移动轨迹R5是在轴向上延伸的直线状，摄像装置3沿着该移动轨迹R5进行直线运动。该移动轨迹R5布局成在厚度方向上观察时与摄像装置3在周向上排列。

上述实施方式所示的缺陷检测部8进行的处理的流程只不过是一例，也可以通过其它方法检测缺陷。例如，可以通过光切断法等对每个像素赋予距离信息，还考虑该距离信息来进行缺陷检测。

被检查物100的厚度可以大于该被检查物100的径向的尺寸。如果列举1个具体例，则可以设被检查物为螺丝，设被检查面为沿着该螺纹槽的斜面。

此外，检查装置1的细节部的结构、各位置的布局等可以与本申请的各图所示的不同。例如，可以使照射位置B1、B2、……B8的数量增减，或者变更彼此的间隔。在该情况下，通过软件上的变更已足够，因此，能够与被检查物100的形状/性质等对应地实施流动性的缺陷检查。

产业上的可利用性

本发明能够在检查装置和检查方法中利用。

Claims (5)

1.一种检查装置，其进行被检查物的外周面所包含的被检查面的外观检查，该检查装置具有：

照射装置，其在沿着被检查物的表面的假想平面上移动，并朝向所述被检查物的所述被检查面照射光；

摄像装置，其使摄像范围包含所述被检查物的所述被检查面，接收由所述被检查面反射的光，生成作为摄像结果的亮度分布图像；

图像存储部，其存储有多个亮度分布图像，所述多个亮度分布图像是在所述照射装置的位置相互不同且所述被检查面、所述摄像装置和所述照射装置不在一条直线上排列的多个定时由所述摄像装置拍摄出来的；

缺陷检测部，其根据多个不同的所述亮度分布图像，检测所述被检查面上的缺陷；

移动机构，其使所述照射装置沿着所述假想平面移动；以及

控制部，其对所述移动机构进行动作控制，

所述被检查物具有：主体部，其在厚度方向上具有幅度；以及多个突出部，它们从所述主体部的外周面向径向外侧突出，

所述被检查面是相邻的所述突出部的在周向上相对的一对面中的至少任意一个面，

在所述厚度方向上观察时，所述移动机构以配置有所述摄像装置的位置为中心，使所述照射装置进行行星运动。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述控制部还控制所述摄像装置的拍摄定时，

所述控制部通过使所述移动机构进行动作和停止，使所述照射装置间歇地移动，在处于所述照射装置不移动的状态时，使所述摄像装置执行拍摄。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述照射装置、所述移动机构和所述摄像装置相对于所述被检查物配置在所述厚度方向的一侧，

从所述照射装置和所述移动机构到所述被检查物为止的所述厚度方向上的距离均大于从所述摄像装置到所述被检查物为止的所述厚度方向上的距离。

4.根据权利要求1所述的检查装置，其中，该检查装置还具有：

旋转机构，其使所述被检查物以其轴线为中心进行旋转；以及

控制部，其控制所述照射装置的移动、所述摄像装置的拍摄定时和所述旋转机构的动作，

所述被检查物具有以其轴线为中心呈旋转对称的形状，并且，具有多个所述被检查面，

在对1个被检查面取得了多个所述亮度分布图像之后，所述控制部使所述旋转机构进行动作，在刚才配置了所述1个被检查面的位置处配置下一个被检查面。

5.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述缺陷检测部针对各像素，计算根据亮度的大小和变化估计的距离信息，生成对所述各像素分配所述距离信息而成的距离图像。

Images