JP2011075325A - 表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査体Wの加工された被検査面Wfに拡散光を照射する面状の照明装置2と、照明装置2から照射された光のうち被検査面Wfの平坦面で正反射した光を受光しない位置に設置された被検査面Wfを撮影するカメラ3と、カメラ3により撮影された画像を取得する画像取得部と、画像に基づいて被検査体の欠陥の有無を判定する欠陥判定部を備えた。
【選択図】図5
Description
(1)上述の実施形態では、照明装置2の照射面の法線と被検査面Wfの法線と略直交するよう照明装置2を設置したが、これらの法線がなす角が90°以下となるように照明装置2を傾けて設置しても構わない。当然ながら、このときにも、照明装置2から照射され、平坦な被検査面Wfで反射された光がカメラ3に入射しないよう構成する必要がある。
Wf:被検査面
1:回転テーブル
2:照明装置
2a:光源
2b:拡散板
3:カメラ
4:画像処理装置
11:画像取得部
12e:欠陥判定部
Claims (3)
- 被検査体の加工された被検査面に拡散光を照射する面状の照明装置と、
前記照明装置から照射された光のうち前記被検査面の平坦面で正反射した光を受光しない位置に設置された前記被検査面を撮影するカメラと、
前記カメラにより撮影された画像を取得する画像取得部と、
前記画像に基づいて前記被検査体の欠陥の有無を判定する欠陥判定部と、を備えた表面検査装置。 - 前記カメラは、前記被検査体を挟んで前記照明装置と反対方向に位置している請求項1記載の表面検査装置。
- 前記照明装置の発光面の最下端部が前記被検査体と略同じ高さに設定してある請求項1または2記載の表面検査装置。
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