JP4910128B2 - 対象物表面の欠陥検査方法 - Google Patents
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昭晃堂発行「画像処理ハンドブック」(第303,304頁)
第一の照明装置からの照射光が前記カメラの前に置いたハーフミラーで反射した入射光の照明光が前記カメラの撮像方向と同一方向になる同軸落射照明である第一の照明,及び第二の照明装置からの照射光が前記半導体部品の表面全体に対して斜め方向から照明光が当たる斜光照明である第二の照明とを用い,前記第一の照明と前記第二の照明とは,互いに入射角の異なる照射光に設定されると共に,前記照明光が互いに異なった波長に設定されており,
前記第一の照明と前記第二の照明とで照らされた前記半導体部品の表面全体のそれぞれの第一の画像と第二の画像とを検出し,
前記カメラによって撮像された前記第一の画像と前記第二の画像との濃淡値を,予め求められていた前記第一の画像と前記第二の画像との前記欠陥に対する濃淡値と対比して前記対象物の表面の前記欠陥の有無を判別し,
前記第一の画像の前記濃淡値と前記第二の画像の前記濃淡値を二次元平面の縦軸と横軸の座標で表した二次元的分布であって,前記対象物に対して予め求められていた前記画像の前記濃淡値は,前記対象物のマークの領域,マーク以外の領域及び前記欠陥の領域に関しての前記二次元的分布に表わされており,
前記第一の画像と前記第二の画像から前記半導体部品表面の前記欠陥の有無を判別することを特徴とする半導体部品表面全体の欠陥検査方法に関する。
2 対象物
3 同軸落射照明用の照明装置
4 ハーフミラー
5 照明装置からの照射光
6 同軸落射照明の入射光
7 斜光照明用の照明装置
8 斜光照明の入射光
10 欠陥部の濃淡値の二次元分布
11 各種マークの濃淡値の二次元分布
12 各種マーク以外の濃淡値の二次元分布
13 同軸落射照明での各種マーク部以外の濃淡値の分布
14 同軸落射照明での各種マーク部の濃淡値の分布
15 同軸落射照明での欠陥部の濃淡値の分布
16 斜光照明での各種マーク部の濃淡値の分布
17 斜光照明での各種マーク部以外の濃淡値の分布
18 斜光照明での欠陥部の濃淡値の分布
19 濃淡値の2次元分布上の点
20 画像メモリのアドレス信号
21 画像メモリ
22 画像メモリ
23 画像21の濃淡値
24 画像22の濃淡値
25 テーブル
26 テーブルの出力値
27 カウンタ
28 カウント値
29 比較器
30 表面の欠陥
Claims (2)
- カメラによって撮像した対象物である半導体部品の表面全体の画像から対象物である半導体部品表面の欠陥を検出する対象物表面の欠陥検査方法において,
第一の照明装置からの照射光が前記カメラの前に置いたハーフミラーで反射した入射光の照明光が前記カメラの撮像方向と同一方向になる同軸落射照明である第一の照明,及び第二の照明装置からの照射光が前記半導体部品の表面全体に対して斜め方向から照明光が当たる斜光照明である第二の照明とを用い,前記第一の照明と前記第二の照明とは,互いに入射角の異なる照射光に設定されると共に,前記照明光が互いに異なった波長に設定されており,
前記第一の照明と前記第二の照明とで照らされた前記半導体部品の表面全体のそれぞれの第一の画像と第二の画像とを検出し,
前記カメラによって撮像された前記第一の画像と前記第二の画像との濃淡値を,予め求められていた前記第一の画像と前記第二の画像との前記欠陥に対する濃淡値と対比して前記対象物の表面の前記欠陥の有無を判別し,
前記第一の画像の前記濃淡値と前記第二の画像の前記濃淡値を二次元平面の縦軸と横軸の座標で表した二次元的分布であって,前記対象物に対して予め求められていた前記画像の前記濃淡値は,前記対象物のマークの領域,マーク以外の領域及び前記欠陥の領域に関しての前記二次元的分布に表わされており,
前記第一の画像と前記第二の画像から前記半導体部品表面の前記欠陥の有無を判別することを特徴とする半導体部品表面全体の欠陥検査方法。 - 前記二次元的分布上で前記半導体部品の表面の前記欠陥領域を表す参照テーブルであって,前記第一の画像と前記第二の画像との濃淡値から前記半導体部品の表面の前記欠陥の有無を出力する前記参照テーブルを設けたことを特徴とする請求項1に記載の半導体部品表面全体の欠陥検査方法。
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