JPH06160065A - 欠け検査装置 - Google Patents
欠け検査装置Info
- Publication number
- JPH06160065A JPH06160065A JP31327992A JP31327992A JPH06160065A JP H06160065 A JPH06160065 A JP H06160065A JP 31327992 A JP31327992 A JP 31327992A JP 31327992 A JP31327992 A JP 31327992A JP H06160065 A JPH06160065 A JP H06160065A
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- JP
- Japan
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- reflection
- image
- illumination device
- light
- inspection object
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 透過照明で位置補正基準を明確に計測できる
ような対象物について、その表面形状が複雑な場合でも
微小な欠けから大きな欠けまで確実に検出することがで
きる欠け検査装置を提供する。 【構成】 検査対象物の反射画像を得るための反射光の
照射を選択的に行う反射照明部と、撮像手段とは検査対
象物を介して相対向する位置に設置され、かつ透過画像
を得るための透過光の照射を選択的に行うとともに、反
射照明部からの光の反射を抑制するための光量調整手段
を有する透過照明部とが設けられ、反射照明部及び透過
照明部のそれぞれ個別の駆動により得られる反射画像及
び透過画像を画像処理することにより得られる画像デー
タに基づいて検査対象物の良否判定を行う判定手段を有
する。
ような対象物について、その表面形状が複雑な場合でも
微小な欠けから大きな欠けまで確実に検出することがで
きる欠け検査装置を提供する。 【構成】 検査対象物の反射画像を得るための反射光の
照射を選択的に行う反射照明部と、撮像手段とは検査対
象物を介して相対向する位置に設置され、かつ透過画像
を得るための透過光の照射を選択的に行うとともに、反
射照明部からの光の反射を抑制するための光量調整手段
を有する透過照明部とが設けられ、反射照明部及び透過
照明部のそれぞれ個別の駆動により得られる反射画像及
び透過画像を画像処理することにより得られる画像デー
タに基づいて検査対象物の良否判定を行う判定手段を有
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば射出成形品の欠
け不良を画像処理によって検出するために用いる欠け検
査装置に関する。
け不良を画像処理によって検出するために用いる欠け検
査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の装置としては、図６に示す透過照
明方式を用いたものがある。この装置では、透過照明装
置６２からの透過照明によって得られた対象物６１の透
過画像をカメラ６０で得るものである。
明方式を用いたものがある。この装置では、透過照明装
置６２からの透過照明によって得られた対象物６１の透
過画像をカメラ６０で得るものである。
【０００３】また、図７に示す反射照明方式を用いたも
のがある。この装置では、反射照明装置７２からの反射
照明によって得られた対象物７１の反射画像をカメラ７
０で得るものである。
のがある。この装置では、反射照明装置７２からの反射
照明によって得られた対象物７１の反射画像をカメラ７
０で得るものである。
【０００４】さらにまた、図８に示すような透過照明と
反射照明とを同時に用いるものが開示されている（特開
昭６３−２２９３１７）。被検査体８１は半透明の拡散
板８２上に載置されており、この拡散板８２は下部光源
８３からの光を拡散させて透過させる。また、被検査体
８１の上方には上部光源８４が複数箇所設けられ、被検
査体８１の上面を照明するが、この上部光源８４からの
光の照射角度は、被検査体８１の底部にまで達すること
がなく、この底部に下部光源８３からの透過照明によっ
て写し出されている被検査体８１のバリ８５を影のまま
残せる角度になっている。また、カメラ８６は撮像手段
として、被検査体８１の真上に設置されている。さらに
このカメラ８６からの画像信号の画像処理のための画像
処理装置８７は、２値化回路、細線化回路、そしてバリ
の欠陥部を抽出し、欠陥検出を行うための欠陥検出フィ
ルタを備えている。
反射照明とを同時に用いるものが開示されている（特開
昭６３−２２９３１７）。被検査体８１は半透明の拡散
板８２上に載置されており、この拡散板８２は下部光源
８３からの光を拡散させて透過させる。また、被検査体
８１の上方には上部光源８４が複数箇所設けられ、被検
査体８１の上面を照明するが、この上部光源８４からの
光の照射角度は、被検査体８１の底部にまで達すること
がなく、この底部に下部光源８３からの透過照明によっ
て写し出されている被検査体８１のバリ８５を影のまま
残せる角度になっている。また、カメラ８６は撮像手段
として、被検査体８１の真上に設置されている。さらに
このカメラ８６からの画像信号の画像処理のための画像
処理装置８７は、２値化回路、細線化回路、そしてバリ
の欠陥部を抽出し、欠陥検出を行うための欠陥検出フィ
ルタを備えている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】例えば、図４に示す対
象物の場合、欠けは周辺部（斜線部分）全てに発生する
可能性があり、その発生形状も図５（ａ）に示す欠け５
０ａのような小さなものから、図５（ｂ）に示す欠け５
０ｂのような大きなものまで様々ある。また、中央の穴
部４１には欠けは発生しない。
象物の場合、欠けは周辺部（斜線部分）全てに発生する
可能性があり、その発生形状も図５（ａ）に示す欠け５
０ａのような小さなものから、図５（ｂ）に示す欠け５
０ｂのような大きなものまで様々ある。また、中央の穴
部４１には欠けは発生しない。
【０００６】ところが、このような対象物の欠けを検出
するには、従来の方式では問題があった。まず、透過照
明のみを用いる方式では、欠けの形状が図５（ａ）に示
すような場合、透過照明では欠けの部分が画像で得られ
ない。
するには、従来の方式では問題があった。まず、透過照
明のみを用いる方式では、欠けの形状が図５（ａ）に示
すような場合、透過照明では欠けの部分が画像で得られ
ない。
【０００７】また、反射照明のみを用いる方式では、対
象物の微小な欠けを判定しようとした場合、対象物の位
置決め精度が重要となる。しかし、位置決めが機械的な
方法のみによる場合、欠けの大きさに対して位置決め精
度が悪く、十分な精度が得られないことが多い。これを
解決する手段としては、例えば図４に示す対象物の場
合、中央の穴部４１のような欠陥が発生しない保証のあ
る部分の位置を画像処理によって計測し、得られた計測
データ、すなわち、位置補正基準を基に欠け計測結果を
補正する方法がある。しかし、図４に示すような表面が
複雑な形状をしている対象物では、反射照明においては
この位置補正基準の画像が明確に得られず、反射方式の
みを用いた場合には、画像処理による位置補正が困難で
あるといった問題があった。
象物の微小な欠けを判定しようとした場合、対象物の位
置決め精度が重要となる。しかし、位置決めが機械的な
方法のみによる場合、欠けの大きさに対して位置決め精
度が悪く、十分な精度が得られないことが多い。これを
解決する手段としては、例えば図４に示す対象物の場
合、中央の穴部４１のような欠陥が発生しない保証のあ
る部分の位置を画像処理によって計測し、得られた計測
データ、すなわち、位置補正基準を基に欠け計測結果を
補正する方法がある。しかし、図４に示すような表面が
複雑な形状をしている対象物では、反射照明においては
この位置補正基準の画像が明確に得られず、反射方式の
みを用いた場合には、画像処理による位置補正が困難で
あるといった問題があった。
【０００８】さらにまた、特開昭６３−２２９３１７に
示す方式の場合、例えば対象物の欠け不良が図５（ｂ）
に示すように丸みを帯びずに発生している場合には、欠
けの画像が得られず、不良判定処理が不可能であった。
示す方式の場合、例えば対象物の欠け不良が図５（ｂ）
に示すように丸みを帯びずに発生している場合には、欠
けの画像が得られず、不良判定処理が不可能であった。
【０００９】本発明はこれらの問題点を解決すべくなさ
れたもので、透過照明で位置補正基準を明確に計測でき
るような対象物について、その表面形状が複雑な場合で
も微小な欠けから大きな欠けまで確実に検出することが
できる欠け検査装置を提供することを目的とする。
れたもので、透過照明で位置補正基準を明確に計測でき
るような対象物について、その表面形状が複雑な場合で
も微小な欠けから大きな欠けまで確実に検出することが
できる欠け検査装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の欠け検査装置は実施例に対応する図１を
参照しながら説明すると、検査対象物５の被検査面を撮
像するカメラ１と、検査対象物５の反射画像を得るため
の光の照射を選択的に行う反射照明装置２と、カメラ１
とは検査対象物５を介して相対向する位置に設置され、
かつ透過画像を得るための光の照射を選択的に行うとと
もに、反射照明装置２からの光の反射を抑制するための
光量調整フィルタ４ｂを有する透過照明装置４と、反射
照明装置２と透過照明装置４はそれぞれ個別に駆動する
とともに、その個別の駆動により得られた反射画像及び
透過画像を画像処理することにより得られる画像データ
に基づいて検査対象物５の良否判定を行う判定手段を有
する画像処理装置３とにより構成されていることによっ
て特徴付けられている。
めに、本発明の欠け検査装置は実施例に対応する図１を
参照しながら説明すると、検査対象物５の被検査面を撮
像するカメラ１と、検査対象物５の反射画像を得るため
の光の照射を選択的に行う反射照明装置２と、カメラ１
とは検査対象物５を介して相対向する位置に設置され、
かつ透過画像を得るための光の照射を選択的に行うとと
もに、反射照明装置２からの光の反射を抑制するための
光量調整フィルタ４ｂを有する透過照明装置４と、反射
照明装置２と透過照明装置４はそれぞれ個別に駆動する
とともに、その個別の駆動により得られた反射画像及び
透過画像を画像処理することにより得られる画像データ
に基づいて検査対象物５の良否判定を行う判定手段を有
する画像処理装置３とにより構成されていることによっ
て特徴付けられている。
【００１１】
【作用】透過照明を‘ＯＦＦ’，反射照明を‘ＯＮ’に
した状態でカメラ１により撮像することにより反射画像
が得られ、その反射画像を画像処理することにより反射
画像データが得られる。一方、簡易位置決め、固定され
た対象物５に対して、透過照明を‘ＯＮ’，反射照明を
‘ＯＦＦ’にした状態でカメラ１により撮像することに
より透過画像が得られ、その透過画像を画像処理するこ
とにより透過画像データが得られる。この透過画像から
得られたデータ、反射画像から得られたデータにより修
正したものと、所定の基準データとの比較により、対象
物５の良否判定がなされる。また、透過照明を‘ＯＦ
Ｆ’，反射照明を‘ＯＮ’にした場合、光量調整フィル
タ４ｂを通過した光の光量は減衰し、さらに透過照明面
で反射した後、再び光量調整フィルタ４ｂを通過し、さ
らに光量は減衰する。したがって、対象物の反射画像と
その背景との間には良好なコントラストが得られ、対象
物の輪郭は明確になる。
した状態でカメラ１により撮像することにより反射画像
が得られ、その反射画像を画像処理することにより反射
画像データが得られる。一方、簡易位置決め、固定され
た対象物５に対して、透過照明を‘ＯＮ’，反射照明を
‘ＯＦＦ’にした状態でカメラ１により撮像することに
より透過画像が得られ、その透過画像を画像処理するこ
とにより透過画像データが得られる。この透過画像から
得られたデータ、反射画像から得られたデータにより修
正したものと、所定の基準データとの比較により、対象
物５の良否判定がなされる。また、透過照明を‘ＯＦ
Ｆ’，反射照明を‘ＯＮ’にした場合、光量調整フィル
タ４ｂを通過した光の光量は減衰し、さらに透過照明面
で反射した後、再び光量調整フィルタ４ｂを通過し、さ
らに光量は減衰する。したがって、対象物の反射画像と
その背景との間には良好なコントラストが得られ、対象
物の輪郭は明確になる。
【００１２】
【実施例】図２は本発明実施例の構成を説明する図であ
る。以下、この図面に基づいて、説明する。
る。以下、この図面に基づいて、説明する。
【００１３】反射照明装置及び透過照明装置には、共に
ハロゲンライト７からの光が光ファイバ８により導か
れ、面照明として用いられている。また、これらの照射
の‘ＯＮ’，‘ＯＦＦ’の動作は、ハロゲンライト７と
光ファイバ８との間に設けられたソレノイド（図示せ
ず）の駆動によるシャッタ機能により行われている。
ハロゲンライト７からの光が光ファイバ８により導か
れ、面照明として用いられている。また、これらの照射
の‘ＯＮ’，‘ＯＦＦ’の動作は、ハロゲンライト７と
光ファイバ８との間に設けられたソレノイド（図示せ
ず）の駆動によるシャッタ機能により行われている。
【００１４】まず、この反射照明装置においては、光フ
ァイバ８から導かれた光の照射は反射照明ヘッド２ａを
介して照射される。この反射照明ヘッド２ａからの光
は、カメラ１の視野軸方向に対して４５°傾けた状態で
設置されているハーフミラー２ｂにより反射されて、そ
の反射光は吸着パッド６に固定された成形品５ａに対し
垂直に照射される。
ァイバ８から導かれた光の照射は反射照明ヘッド２ａを
介して照射される。この反射照明ヘッド２ａからの光
は、カメラ１の視野軸方向に対して４５°傾けた状態で
設置されているハーフミラー２ｂにより反射されて、そ
の反射光は吸着パッド６に固定された成形品５ａに対し
垂直に照射される。
【００１５】一方、透過照明装置においては、光ファイ
バ８から導かれた光を拡散照明する透過照明ヘッド４ａ
の前面に拡散照明面が設置されており、これはカメラ１
の視野軸方向に対して６０°の角度をもって設置されて
いる。また、透過照明ヘッド４ａの表面には透過率５０
％の光量調整フィルタ４ｂが設置されている。前者の手
段により、反射照明ヘッド２ａからの反射光が光量調整
フィルタ４ｂの表面に反射してカメラ１に入射するのを
防いでいる。また、後者の手段によって、光量調整フィ
ルタ４ｂを透過した光は５０％に減衰し、拡散照明面で
反射し再び光量調整フィルタ４ｂでさらに減衰される。
このため反射照明装置からの光のうち光量調整フィルタ
４ｂを透過したものは２５％に減衰される。これらの手
段により反射画像における対象物と背景とのコントラス
トが明確に得られる。
バ８から導かれた光を拡散照明する透過照明ヘッド４ａ
の前面に拡散照明面が設置されており、これはカメラ１
の視野軸方向に対して６０°の角度をもって設置されて
いる。また、透過照明ヘッド４ａの表面には透過率５０
％の光量調整フィルタ４ｂが設置されている。前者の手
段により、反射照明ヘッド２ａからの反射光が光量調整
フィルタ４ｂの表面に反射してカメラ１に入射するのを
防いでいる。また、後者の手段によって、光量調整フィ
ルタ４ｂを透過した光は５０％に減衰し、拡散照明面で
反射し再び光量調整フィルタ４ｂでさらに減衰される。
このため反射照明装置からの光のうち光量調整フィルタ
４ｂを透過したものは２５％に減衰される。これらの手
段により反射画像における対象物と背景とのコントラス
トが明確に得られる。
【００１６】また、カメラ１は検査対象物としての成形
品５ａの被検査箇所の反射画像及び透過画像を得ること
ができる位置に設置されている。このカメラ１に接続さ
れている画像処理装置３は、カメラ１により得られた各
画像を画像処理することによって、画像データを作成
し、この画像データと所定の基準データとに基づいて成
形品５ａの良否の判定を行う。
品５ａの被検査箇所の反射画像及び透過画像を得ること
ができる位置に設置されている。このカメラ１に接続さ
れている画像処理装置３は、カメラ１により得られた各
画像を画像処理することによって、画像データを作成
し、この画像データと所定の基準データとに基づいて成
形品５ａの良否の判定を行う。
【００１７】なお、本実施例では、反射照明装置及び透
過照明装置にはハロゲンランプを光源として用いた構成
としたが、これに限ることなく蛍光灯など照射を‘Ｏ
Ｎ’‘ＯＦＦ’できるものであればよい。
過照明装置にはハロゲンランプを光源として用いた構成
としたが、これに限ることなく蛍光灯など照射を‘Ｏ
Ｎ’‘ＯＦＦ’できるものであればよい。
【００１８】さらに、光量調整フィルタ４ｂの透過率は
５０％のものを用いたが、透過率はこれに限ることな
く、反射光がカメラ１に入射するのを十分に減衰するこ
とができればよい。また、この光量調整フィルタ４ｂの
代替手段として偏光板をＰ偏光波が透過するような方向
で設置してもよい。
５０％のものを用いたが、透過率はこれに限ることな
く、反射光がカメラ１に入射するのを十分に減衰するこ
とができればよい。また、この光量調整フィルタ４ｂの
代替手段として偏光板をＰ偏光波が透過するような方向
で設置してもよい。
【００１９】以上の構成の欠け検査装置の動作を、実施
例における処理順序を示す図３を参照しながら以下に説
明する。吸着パッドで簡易位置決め、固定された対象物
に対して、透過照明装置の照射を‘ＯＮ’に、反射照明
装置の照射を‘ＯＦＦ’にした状態で、カメラで、透過
画像を得る。この透過画像を画像処理装置に入力して、
２値化することにより２値画像データを作成する(STEP.
1)。
例における処理順序を示す図３を参照しながら以下に説
明する。吸着パッドで簡易位置決め、固定された対象物
に対して、透過照明装置の照射を‘ＯＮ’に、反射照明
装置の照射を‘ＯＦＦ’にした状態で、カメラで、透過
画像を得る。この透過画像を画像処理装置に入力して、
２値化することにより２値画像データを作成する(STEP.
1)。
【００２０】次に、この２値画像データから位置補正の
基準となる穴部の重心（ＧX ，ＧY) を計測する(STEP.
2)。次に、この重心（ＧX ，ＧY ) を予め設定しておい
た基準データ（ＳX ，ＳY) と比較し、下記の(1) 式,
(2)式により対象物の位置ズレ量ΔX,ΔY を算出する(ST
EP.3)。
基準となる穴部の重心（ＧX ，ＧY) を計測する(STEP.
2)。次に、この重心（ＧX ，ＧY ) を予め設定しておい
た基準データ（ＳX ，ＳY) と比較し、下記の(1) 式,
(2)式により対象物の位置ズレ量ΔX,ΔY を算出する(ST
EP.3)。
【００２１】 ΔX ＝ＧX −ＳX ・・・・(1) ΔY ＝ＧY −ＳY ・・・・(2) 次に、反射照明装置の照射を‘ＯＮ’に、透過照明装置
の照射を‘ＯＦＦ’にした状態で、カメラで、反射画像
を得る。この反射画像を画像処理装置に入力して、２値
化することにより２値画像データを作成する(STEP.4)。
の照射を‘ＯＦＦ’にした状態で、カメラで、反射画像
を得る。この反射画像を画像処理装置に入力して、２値
化することにより２値画像データを作成する(STEP.4)。
【００２２】次に、得られた２値画像データに対して、
下記の(3) 式,(4)式,(5)式,(6)式により、位置ズレ分を
補正して矩形の計測領域を設定する。 ｘs ＝ＸS ＋ΔX ・・・・(3) ｘe ＝ＸE ＋ΔX ・・・・(4) ｙs ＝ＹS ＋ΔY ・・・・(5) ｙe ＝ＹE ＋ΔY ・・・・(6) ただし、ＸS , ＸE , ＹS , ＹE は位置補正基準の基準
データ（ＳX , ＳY )に対応する矩形計測領域であり、
ＸS は左上Ｘ座標，ＸE は右下Ｘ座標，ＹS は左上Ｙ座
標，ＹE は右下Ｙ座標を示す。また、ｘs , ｘe ,
ｙs , ｙe は補正後の矩形計測領域を示し、ｘs は左上
Ｘ座標，ｘe は右下Ｘ座標，ｙs は左上Ｙ座標，ｙe は
右下Ｙ座標を示す(STEP.5)。
下記の(3) 式,(4)式,(5)式,(6)式により、位置ズレ分を
補正して矩形の計測領域を設定する。 ｘs ＝ＸS ＋ΔX ・・・・(3) ｘe ＝ＸE ＋ΔX ・・・・(4) ｙs ＝ＹS ＋ΔY ・・・・(5) ｙe ＝ＹE ＋ΔY ・・・・(6) ただし、ＸS , ＸE , ＹS , ＹE は位置補正基準の基準
データ（ＳX , ＳY )に対応する矩形計測領域であり、
ＸS は左上Ｘ座標，ＸE は右下Ｘ座標，ＹS は左上Ｙ座
標，ＹE は右下Ｙ座標を示す。また、ｘs , ｘe ,
ｙs , ｙe は補正後の矩形計測領域を示し、ｘs は左上
Ｘ座標，ｘe は右下Ｘ座標，ｙs は左上Ｙ座標，ｙe は
右下Ｙ座標を示す(STEP.5)。
【００２３】(STEP.5)において設定した矩形領域内の面
積Ｓを算出する。この算出した面積Ｓを判定基準値Ｊと
比較し、面積Ｓが判定基準値Ｊより小さい場合は不良と
判定する(STEP.6)。
積Ｓを算出する。この算出した面積Ｓを判定基準値Ｊと
比較し、面積Ｓが判定基準値Ｊより小さい場合は不良と
判定する(STEP.6)。
【００２４】なお、本実施例では矩形領域内の面積を良
否判定に用いる構成としたが、輪郭座標なども良否判定
に用いることができる。
否判定に用いる構成としたが、輪郭座標なども良否判定
に用いることができる。
【００２５】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、検
査対象物の反射画像を得るための反射光の照射を選択的
に行う反射照明部と、撮像手段とは検査対象物を介して
相対向する位置に設置され、かつ透過画像を得るための
透過光の照射を選択的に行うとともに、反射照明部から
の光の反射を抑制するための光量調整手段を有する透過
照明部とが設けられ、さらに反射照明部及び透過照明部
のそれぞれ個別の駆動により得られる反射画像及び透過
画像を画像処理することにより得られる画像データに基
づいて検査対象物の良否判定を行う判定手段を有する画
像処理部が設けられた構成としたから、透過照明で位置
補正基準を明確に計測できるような対象物について、そ
の表面形状が複雑な場合でも微小な欠けから大きな欠け
まで確実に検出することができる。
査対象物の反射画像を得るための反射光の照射を選択的
に行う反射照明部と、撮像手段とは検査対象物を介して
相対向する位置に設置され、かつ透過画像を得るための
透過光の照射を選択的に行うとともに、反射照明部から
の光の反射を抑制するための光量調整手段を有する透過
照明部とが設けられ、さらに反射照明部及び透過照明部
のそれぞれ個別の駆動により得られる反射画像及び透過
画像を画像処理することにより得られる画像データに基
づいて検査対象物の良否判定を行う判定手段を有する画
像処理部が設けられた構成としたから、透過照明で位置
補正基準を明確に計測できるような対象物について、そ
の表面形状が複雑な場合でも微小な欠けから大きな欠け
まで確実に検出することができる。
【図１】本発明実施例の構成を示す概略図
【図２】本発明実施例における装置構成を示す概略図
【図３】本発明実施例における処理順序を示す説明図
【図４】検査に用いられる被検査対象物の外観図
【図５】検査に用いられる欠けの発生した被検査対象物
の外観図
の外観図
【図６】従来例の装置構成を示す概略図
【図７】もう１つの従来例の装置構成を示す概略図
【図８】さらにもう１つの従来例の装置構成を示す概略
図
図
１・・・・カメラ ２・・・・反射照明装置 ２ａ・・・・反射照明ヘッド ２ｂ・・・・ハーフミラー ３・・・・画像処理装置 ４・・・・透過照明装置 ４ａ・・・・透過照明ヘッド ４ｂ・・・・光量調整フィルタ ５・・・・対象物 ７・・・・ハロゲンライト
Claims (1)
- 【請求項１】 検査対象物の被検査面を撮像する撮像手
段と、検査対象物の反射画像を得るための光の照射を選
択的に行う反射照明部と、上記撮像手段とは検査対象物
を介して相対向する位置に設置され、かつ透過画像を得
るための光の照射を選択的に行うとともに、上記反射照
明部からの光の反射を抑制するための光量調整手段を有
する透過照明部と、上記反射照明部と透過照明部はそれ
ぞれ個別に駆動するとともに、その個別の駆動により得
られた上記反射画像及び透過画像を画像処理することに
より得られる画像データに基づいて検査対象物の良否判
定を行う判定手段を有する画像処理部とにより構成され
てなる欠け検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31327992A JPH06160065A (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | 欠け検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31327992A JPH06160065A (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | 欠け検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160065A true JPH06160065A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18039302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31327992A Pending JPH06160065A (ja) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | 欠け検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06160065A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003014428A (ja) * | 2001-07-02 | 2003-01-15 | Bridgestone Corp | タイヤ接地形状表示方法およびタイヤ接地形状表示装置 |
| WO2011125927A1 (ja) * | 2010-04-01 | 2011-10-13 | 新日本製鐵株式会社 | 粒子測定装置および粒子測定方法 |
| WO2012056858A1 (ja) * | 2010-10-26 | 2012-05-03 | 東レエンジニアリング株式会社 | 観察対象物の端部観察装置及び端部検査装置 |
| JP2014085300A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Shimadzu Corp | 太陽電池セルの検査装置 |
| JP2018179774A (ja) * | 2017-04-13 | 2018-11-15 | 株式会社コジマプラスチックス | 部品形状検査装置 |
-
1992
- 1992-11-24 JP JP31327992A patent/JPH06160065A/ja active Pending
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