JP2013242257A - 検査方法及び外観検査装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】検査ワークの表面の汚れをより正確に検出可能とする。
【解決手段】実施形態の外観検査装置は、検査ワークの検査面を撮像する撮像手段と、撮像された画像をもとに、検査面の3次元高さデータを算出する演算手段と、算出された3次元高さデータをもとに、検査面において予め設定された凹凸とは異なる凹凸不良の領域を抽出する抽出手段と、撮像された画像をもとに、検査面における輝度不良の領域を、抽出された凹凸不良の領域を除外した領域から検出する検出手段と、を備える。
【選択図】図3

Description

本発明は、検査方法及び外観検査装置に関する。
従来、検査対象の製品である検査ワークの表面の凹凸や汚れなど外観上の不具合を検査する外観検査装置がある。この外観検査装置では、レーザー光に代表されるスリット光を検査ワークの検査対象面に照射し、凹凸による反射光の移動量から、検査基準面に対する3次元高さデータを演算する光切断法で検査ワークの表面の凹凸を検出している。また、拡散照明に代表されるエリア光を検査ワークの検査対象面に照射し、検査対象面上の汚れなどによる輝度値変化を2次元画像として検出して、表面の汚れを検出している。
特開2011−141260号公報
しかしながら、上述した従来技術では、検査対象面上の汚れなどによる輝度値変化をもとに、検査ワークの表面の汚れを検出する場合、凹凸不良による輝度変化がノイズ成分として含まれてしまうことから、凹凸不良の領域についても汚れのある領域として検出される場合があった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、検査ワークの表面の汚れをより正確に検出できる検査方法及び外観検査装置を提供するものである。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の検査方法は、検査ワークの検査面を撮像する撮像手段を有する外観検査装置の検査方法であって、撮像された画像をもとに、前記検査面の3次元高さデータを算出する演算工程と、前記算出された3次元高さデータをもとに、前記検査面において予め設定された凹凸とは異なる凹凸不良の領域を抽出する抽出工程と、前記撮像された画像をもとに、前記検査面における輝度不良の領域を、前記抽出された凹凸不良の領域を除外した領域から検出する検出工程と、を含む。
また、本発明の外観検査装置は、検査ワークの検査面を撮像する撮像手段と、撮像された画像をもとに、前記検査面の3次元高さデータを算出する演算手段と、前記算出された3次元高さデータをもとに、前記検査面において予め設定された凹凸とは異なる凹凸不良の領域を抽出する抽出手段と、前記撮像された画像をもとに、前記検査面における輝度不良の領域を、前記抽出された凹凸不良の領域を除外した領域から検出する検出手段と、を備える。
本発明によれば、検査ワークの表面の汚れをより正確に検出できるという効果を奏する。
図1は、実施形態にかかる外観検査装置の構成を示す概略図である。 図2は、カメラの撮像範囲と、エリア光源、スリット光源の照射範囲とを例示する概念図である。 図3は、外観検査装置におけるタイヤの輝度不良範囲を検出する動作の一例を示すフローチャートである。 図4は、凹凸不良範囲の分離・抽出にかかる処理の詳細を示すフローチャートである。 図5は、3次元高さマスターデータを例示する概念図である。 図6は、3次元高さデータを例示する概念図である。 図7は、抽出された凹凸不良範囲を例示する概念図である。 図8は、凹凸不良範囲の2次元画像への反映にかかる処理の詳細を示すフローチャートである。 図9は、2次元画像を例示する概念図である。 図10は、2次元画像を例示する概念図である。 図11は、輝度不良範囲の分離・抽出にかかる処理の詳細を示すフローチャートである。 図12は、2次元画像マスターデータを例示する概念図である。 図13は、抽出された輝度不良範囲を例示する概念図である。
以下に添付図面を参照して、検査方法及び外観検査装置の一実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態では、検査ワークがタイヤであり、タイヤのサイドウォールの外観を検査する場合を一例として説明する。ただし、検査ワークについては特に限定するものではなく、例えば検査ワークは基板などであってもよい。
図1は、実施形態にかかる外観検査装置100の構成を示す概略図である。図1に示すように、外観検査装置100は、搬送部10により回転される検査ワークとしてのタイヤ1のサイドウォール(検査面)について、照明部20で照射した光の反射をカメラ11で撮像した撮像画像をもとに、表面の3次元高さデータ及び2次元画像の検査データを取得して、表面の凹凸と汚れとを検査する装置である。
具体的には、外観検査装置100は、タイヤ1を回転させてサイドウォールの全周をカメラ11に撮像させる搬送部10と、レンズ12を取り付けたカメラ11と、外観検査装置100の全体動作を制御する制御装置13と、照明部20におけるエリア光源21a、21b、スリット光源22の点灯/消灯を切り替える照明切替装置14と、タイヤ1のサイドウォールに照射する光源であるエリア光源21a、21b、スリット光源22を有する照明部20と、を備える構成である。
搬送部10は、制御装置13の制御のもとで駆動し、タイヤ1をタイヤ回転方向に回転させるためのモーター2と、タイヤ1の回転角度に応じたパルス信号を出力するエンコーダー3と、モーター2により回転される回転台4とを備える。外観検査装置100では、回転台4の回転中心にタイヤ1の回転方向における中心軸をあわせて回転台4上にタイヤ1を載置し、モーター2により回転台4を回転させることで、タイヤ1のサイドウォールの全周がカメラ11で撮像されることとなる。この際に、エンコーダー3はタイヤ1の回転角度に応じたパルス信号を制御装置13に出力する。したがって、制御装置13では、エンコーダー3からのパルス信号をもとに、タイヤ1の搬送位置を検出できる。検出したタイヤ1の搬送位置は、タイヤ1のサイドウォールの全周分を撮像した2次元画像と、予め設定された2次元マスター画像とを比較する際の位置合わせ、及びタイヤ1のサイドウォールの全周分を撮像して得られた3次元高さデータと、予め設定された3次元高さマスターデータとを比較する際の位置合わせなどに用いられる。
なお、上述した搬送部10以外に、外観検査装置100は、タイヤ1を回転台4へ載置する搬送、回転台4に向けている側のサイドウォールをカメラ11へ向けるように反転させる搬送、検査後のタイヤ1を回転台4より外す搬送などを制御装置13の制御のもとで行う搬送機構(図示しない)を有している。
カメラ11は、CCDイメージセンサ、CMOSイメージセンサ等のデジタルカメラであり、レンズ12を介してタイヤ1の検査面であるサイドウォールを撮像する。
制御装置13は、外観検査装置100の動作を中央制御するCPU131、各種設定データ(例えば光切断法による高さ演算に要する角度θ、2次元マスタ画像、3次元高さマスターデータなど)、プログラムなどを記憶するメモリ132を備える。制御装置13は、CPU131がメモリ132に記憶されたプログラムをRAM(図示しない)に展開して順次実行することで、外観検査装置100の動作を制御する。照明切替装置14は、制御装置13からの制御信号をもとに、照明部20におけるエリア光源21a、21b、スリット光源22の点灯/消灯を切り替える。
エリア光源21a、21bは、タイヤ1のサイドウォールにおいてカメラ11により撮像される範囲に、拡散照明に代表される光を照射する光源である。図2は、カメラ11の撮像範囲31と、エリア光源21a、21b、スリット光源22の照射範囲32、33とを例示する概念図である。図2に示すように、エリア光源21a、21bは、その照射範囲33がカメラ11の撮像範囲31を含むように設置される。また、エリア光源21a、21bは、カメラ11を挟む両側の斜め上方からタイヤ1に光を照射する。したがって、タイヤ1のサイドウォールにおけるタイヤ1の撮像範囲31ではほぼ同一の輝度条件となり、撮像範囲31を撮像した2次元画像の輝度値と、汚れ等のないタイヤ1のサイドウォールを撮像した2次元マスター画像の輝度値とを同一画素同士で比較することで、汚れの検査を行うことができる。
スリット光源22は、タイヤ1のサイドウォールにおいてカメラ11により撮像される撮像範囲31に、光切断法による高さ演算を行うため、幅の狭いライン状のスリット光を照射する光源である。具体的には、カメラ11の光軸Lに対して角度θで、撮像範囲31のほぼ中心においてタイヤ1のサイドウォールを横切るような照射範囲32でスリット光を照射するレーザ光源などである。
タイヤ1のサイドウォールに凹凸がある場合、照射範囲32に照射されたスリット光は、その凹凸に応じて移動する。例えば、タイヤ1のサイドウォールの基準面に対する凹凸の高さをdh、ライン状のスリット光の移動量をdxとした場合は、dh=dx/tanθが成り立つ。したがって、光切断法では、カメラ11により撮像された画像に含まれるスリット光の移動量を検出することで、タイヤ1のサイドウォールにおける凹凸(3次元高さデータ)を演算できる。外観検査装置100では、演算された3次元高さデータと、タイヤ1の凹凸が予め設定された3次元高さマスタデータとが一致するか否かを比較することで、凹凸不良の検査を行うことができる。
外観検査装置100では、制御装置13の制御のもと、エリア光源21a、21b及びスリット光源22を所定の時間間隔で交互に点灯させ、スリット光源22が消灯(OFF)に切り替えられている間にシャッター信号で撮像された撮像画像をもとに、タイヤ1のサイドウォールの2次元画像を取得する。また、スリット光源22が点灯(ON)に切り替えられている間に撮像された撮像画像をもとに、タイヤ1のサイドウォールの3次元高さ検査データを取得する。これにより、外観検査装置100では、搬送部10により回転搬送されるタイヤ1のサイドウォールの全周分に相当する2次元画像、3次元高さデータを時分割で取得することができる。
より具体的には、制御装置13は、2次元画像の取得時には、エリア光源21a、21bを点灯させ、スリット光源22を消灯させる制御信号を照明切替装置14へ送る。そして、制御装置13は、スリット光源22を消灯させている間に、露光を行うためのシャッター信号をカメラ11へ送る。これにより、制御装置13は、カメラ11の撮像画像から、タイヤ1の回転方向と垂直な方向に1画素分のライン画素を抽出し、2次元ライン画像を取得する。制御装置13では、取得した2次元ライン画像を、タイヤ1の回転に応じてエンコーダー3により検出された信号をもとに、取得した順に合成することで、タイヤ1のサイドウォールの全周分に相当する3次元高さデータD1を取得する。
また、制御装置13は、3次元高さデータの取得時には、エリア光源21a、21bを消灯させ、スリット光源22を点灯させる制御信号を照明切替装置14へ送る。そして、制御装置13は、スリット光源22を点灯させている間に、露光を行うためのシャッター信号をカメラ11へ送る。なお、この時のシャッター信号による露光時間は、エリア光源21a、21bの点灯による光強度と、スリット光源22の点灯による光強度とが異なることから(通常はスリット光源22の光強度の方が強い)、光源の光強度に応じた露光時間(例えば2次元画像の取得時における露光時間と比較して短く)としてもよい。
これにより、制御装置13は、カメラ11の撮像画像から、タイヤ1の回転方向において、スリット光の基準位置からの移動量に基づいて、上述した光切断法の高さ演算を行い、3次元ライン高さデータを取得する。制御装置13では、取得した3次元ライン高さデータを、タイヤ1の回転に応じてエンコーダー3により検出された信号をもとに、取得した順に合成することで、タイヤ1のサイドウォールの全周分に相当する3次元高さデータを取得する。制御装置13では、取得した3次元高さデータと、メモリ132などに予め設定された正常な凹凸を示す3次元高さマスターデータとを比較することで、回転台4に載置されたタイヤ1の凹凸不良を検出する。
ここで、制御装置13の制御のもとで行われる、タイヤ1のサイドウォールの汚れ検出(輝度不良範囲の検出)にかかる外観検査装置100の動作について詳細に説明する。図3は、外観検査装置100におけるタイヤ1の輝度不良範囲を検出する動作の一例を示すフローチャートである。
図3に示すように、外観検査装置100は、制御装置13の制御のもと、タイヤ1のサイドウォールの全周分に相当する2次元画像及び3次元高さデータを取得した後、その取得した3次元高さデータをもとに、タイヤ1のサイドウォールにおいて予め設定された凹凸とは異なる凹凸不良の領域(凹凸不良範囲)の分離・抽出を行う(S1)。
図4は、凹凸不良範囲の分離・抽出にかかる処理(S1)の詳細を示すフローチャートである。図4に示すように、S1における処理が開始されると、制御装置13は、取得した3次元高さデータと、3次元高さマスターデータとの比較画素座標(Xi、Yj)をセットする(S11)。これにより、3次元高さデータと、3次元高さマスターデータとについて、同座標同士が比較されることとなる。なおi、jについては、処理開始の際に初期値(0)がセットされるものとする。
次いで、制御装置13は、3次元高さマスターデータ(Xi、Yj)−3次元高さデータ(Xi、Yj)により、3次元高さマスターデータと、3次元高さデータとの同座標の高さ情報の差を演算する(S12)。次いで、制御装置13は、演算した高さ情報の差が予め設定された閾値より大きいか否かを判定する(S13)。
高さ情報の差が閾値より大きい場合(13:YES)は、予め設定されたタイヤ1の凹凸から大きく外れていることから、比較画素座標(Xi、Yj)を凹凸不良座標(Xi、Yj)として保存し(S14)、S15へ処理を進める。高さ情報の差が閾値より大きくない場合(13:NO)は、予め設定されたタイヤ1の凹凸から大きく外れていないことから、比較画素座標(Xi、Yj)を凹凸不良座標(Xi、Yj)として保存することなく、S15へ処理を進める。
S15において、制御装置13は、変数iが画像の端部を示すnと一致するか否か(i=n?)を判定する。i=nでない場合(S15:NO)、制御装置13は、iをインクリメントし(S16)、S11へ処理を戻す。i=nである場合(S15:YES)、制御装置13は、変数jが画像の端部を示すmと一致するか否か(j=m?)を判定する(S17)。j=mでない場合(S17:NO)、制御装置13は、jをインクリメントし(S18)、S11へ処理を戻す。このS11〜S17を全画素にわたって繰り返すことで、制御装置13は、タイヤ1のサイドウォールの全周分に相当する3次元高さデータについて、3次元高さマスターデータと比較し、凹凸不良範囲を示す凹凸不良座標(Xi、Yi)を分離・抽出することができる。
図5は、3次元高さマスターデータM1を例示する概念図である。図5に示すように、3次元高さマスターデータM1は、凹凸が正常なタイヤ1の各座標における高さ情報を光切断法により計測し、凹凸高さを0〜255の分解能で数値化したデータである。図5に例示したように、正常なタイヤ1の表面では、アルファベットAの形状に膨らみが形成されている。
図6は、3次元高さデータD1を例示する概念図である。図6に示すように、3次元高さデータD1は、検査対象のタイヤ1の各座標における高さ情報を光切断法により計測し、凹凸高さを0〜255の分解能で数値化したデータである。図5に例示した3次元高さマスターデータM1と、図6に例示した3次元高さデータD1とを比較した場合、3次元高さデータD1における座標(0、1)、(0、2)、(1、1)、(1、2)、(2、0)、(2、1)の高さ情報が3次元高さマスターデータM1より小さくなっている。同様に、座標(5、5)、(6、5)の高さ情報が3次元高さマスターデータM1より小さく、座標(8、7)、(8、8)の高さ情報が3次元高さマスターデータM1より大きくなっている。
図7は、抽出された凹凸不良範囲H1、H2、H3を例示する概念図である。図7に示すように、図5に例示した3次元高さマスターデータM1と、図6に例示した3次元高さデータD1とを比較した場合、高さ情報が3次元高さマスターデータM1より小さくなっている座標(0、1)、(0、2)、(1、1)、(1、2)、(2、0)、(2、1)が、例えば閾値を30とした場合に凹凸不良範囲H1として抽出されることとなる。同様に閾値を30とした場合、高さ情報が3次元高さマスターデータM1より小さくなっている座標(5、5)、(6、5)が凹凸不良範囲H2として抽出され、高さ情報が3次元高さマスターデータM1より大きくなっている座標(8、7)、(8、8)が凹凸不良範囲H3として抽出されることとなる。
図3に戻り、制御装置13は、S1に次いで、凹凸不良範囲H1、H2、H3の2次元画像への反映を行う(S2)。具体的には、制御装置13は、タイヤ1のサイドウォールの全周分に相当する2次元画像について、S1で抽出した凹凸不良範囲H1、H2、H3と同座標の画素に対し、輝度不良の範囲として抽出しないように、その抽出した凹凸不良範囲H1、H2、H3を除外する。
図8は、凹凸不良範囲H1、H2、H3の2次元画像への反映にかかる処理の詳細を示すフローチャートである。図8に示すように、S2における処理が開始されると、制御装置13は、S1で抽出した凹凸不良範囲H1、H2、H3の凹凸不良座標(Xi、Yi)を処理対象の画素座標としてセットする(S21)。
次いで、制御装置13は、S21でセットした画素座標(Xi、Yi)について、2次元画像(Xi、Yj)=2次元マスタデータ画像(Xi、Yj)とする(S22)。すなわち、S22では、凹凸不良範囲H1、H2、H3の輝度値に輝度不良の領域として検出されない輝度値を代入、より具体的には2次元マスタデータ画像の輝度値を代入し、凹凸不良範囲H1、H2、H3を除外した領域から輝度不良の領域が検出されるようにする。
次いで、制御装置13は、S21で抽出した凹凸不良範囲H1、H2、H3の凹凸不良座標(Xi、Yj)の全てについてS22の処理が終了したか否かを判定する(S23)。S22の処理が終了していない凹凸不良座標(Xi、Yi)がある場合(S23:NO)、制御装置13は、S21へ処理を戻し、凹凸不良座標(Xi、Yi)の全てについてS22の処理が行われるまで処理を継続する。
図9、10は、2次元画像D2を例示する概念図である。より具体的には、図9は凹凸不良範囲H1、H2、H3の反映前の2次元画像D2を例示する図であり、図10は凹凸不良範囲H1、H2、H3の反映後の2次元画像D2を例示する図である。
図9に示すように、凹凸不良範囲H1、H2、H3の反映前の2次元画像D2では、汚れによる輝度不良と考えられる座標(0、7)〜(0、9)、(1、7)〜(1、9)の範囲、及び座標(7、1)、(7、2)、(8、1)〜(8、3)の範囲以外に、凹凸不良範囲H1、H2、H3に相当する範囲も、近傍の座標の輝度値と異なることから汚れによる輝度不良として検出される虞がある。
しかしながら、図10に示すように、凹凸不良範囲H1、H2、H3の反映後の2次元画像D2では、凹凸不良範囲H1、H2、H3の輝度値に輝度不良の領域として検出されない2次元マスタデータ画像の輝度値を代入していることから、凹凸不良範囲H1、H2、H3を除外した領域から輝度不良の領域が検出されることとなる。
図3に戻り、制御装置13は、S2に次いで、凹凸不良範囲H1、H2、H3の反映後の2次元画像D2(図10参照)をもとに、タイヤ1のサイドウォールにおいて予め設定された輝度値とは異なる輝度不良の領域(輝度不良範囲)の分離・抽出を行う(S3)。
図11は、輝度不良範囲の分離・抽出にかかる処理(S3)の詳細を示すフローチャートである。図11に示すように、S3における処理が開始されると、制御装置13は、凹凸不良範囲H1、H2、H3の反映後の2次元画像D2と、2次元マスター画像との比較画素座標(Xi、Yj)をセットする(S31)。これにより、2次元画像D2と、2次元マスター画像とについて、同座標同士が比較されることとなる。なおi、jについては、処理開始の際に初期値(0)がセットされるものとする。
次いで、制御装置13は、2次元マスター画像(Xi、Yj)−2次元画像(Xi、Yj)により、2次元マスター画像と、2次元画像との同座標の輝度値の差を演算する(S32)。次いで、制御装置13は、演算した輝度値の差が予め設定された閾値より大きいか否かを判定する(S33)。
輝度値の差が閾値より大きい場合(S33:YES)は、予め設定されたタイヤ1の輝度値から大きく外れていることから、比較画素座標(Xi、Yj)を輝度値不良座標(Xi、Yj)として保存し(S34)、S35へ処理を進める。輝度値の差が閾値より大きくない場合(S33:NO)は、予め設定されたタイヤ1の輝度値から大きく外れていないことから、比較画素座標(Xi、Yj)を輝度値不良座標(Xi、Yj)として保存することなく、S35へ処理を進める。
S35において、制御装置13は、変数iが画像の端部を示すnと一致するか否か(i=n?)を判定する。i=nでない場合(S35:NO)、制御装置13は、iをインクリメントし(S36)、S31へ処理を戻す。i=nである場合(S35:YES)、制御装置13は、変数jが画像の端部を示すmと一致するか否か(j=m?)を判定する(S37)。j=mでない場合(S37:NO)、制御装置13は、jをインクリメントし(S38)、S31へ処理を戻す。このS31〜S37を全画素にわたって繰り返すことで、制御装置13は、タイヤ1のサイドウォールの全周分に相当する2次元画像D2について、2次元マスター画像と比較し、輝度不良範囲を示す輝度値不良座標(Xi、Yj)を分離・抽出することができる。
図12は、2次元画像マスターデータM2を例示する概念図である。図12に示すように、2次元画像マスターデータM2は、汚れのない正常なタイヤ1の各座標における輝度値を計測し、計測した輝度値を0〜255の分解能で数値化したデータである。図12に例示したように、汚れのない正常なタイヤ1の表面では、凸形状(図示例ではアルファベットAの形状に膨らみ)に応じて輝度値が大きな値となっている。
図13は、抽出された輝度不良範囲H4、H5を例示する概念図である。図13に示すように、凹凸不良範囲H1、H2、H3については、2次元画像マスターデータM2の値が代入されることから、2次元マスター画像(Xi、Yj)−2次元画像(Xi、Yj)による輝度値の差は0となり、輝度値不良座標として検出されないこととなる。また、汚れによる輝度不良が生じ、2次元マスター画像(Xi、Yj)との輝度値の差が閾値(例えば30)を超えた座標(0、7)〜(0、9)、(1、7)〜(1、9)の範囲、及び座標(7、1)、(7、2)、(8、1)〜(8、3)の範囲については、凹凸不良範囲H4、H5として検出されることとなる。
以上のように、外観検査装置100では、カメラ11により撮像された画像をもとに、タイヤ1のサイドウォールの3次元高さデータD1を算出し、算出された3次元高さデータD1をもとに、タイヤ1のサイドウォールにおいて予め設定された凹凸とは異なる凹凸不良範囲H1、H2、H3を抽出する。そして、カメラ11により撮像された画像をもとに、タイヤ1のサイドウォールにおける輝度不良の領域を、抽出された凹凸不良範囲H1、H2、H3を除外した領域から検出している。したがって、外観検査装置100では、凹凸不良範囲H1、H2、H3の凹凸不良による輝度変化がノイズ成分として含まれてしまうことがなく、タイヤ1のサイドウォールにおける表面の汚れをより正確に検出することができる。
なお、本実施形態の外観検査装置100で実行されるプログラムは、ROM等に予め組み込まれて提供される。本実施形態の外観検査装置100で実行されるプログラムは、インストール可能な形式又は実行可能な形式のファイルでCD−ROM、フレキシブルディスク(FD)、CD−R、DVD(Digital Versatile Disk)等のコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録されてコンピュータプログラムプロダクトとして提供される。
さらに、本実施形態の外観検査装置100で実行されるプログラムを、インターネット等のネットワークに接続されたコンピュータ上に格納し、ネットワーク経由でダウンロードさせることにより提供するように構成しても良い。また、本実施形態の外観検査装置100で実行されるプログラムをインターネット等のネットワーク経由で提供または配布するように構成しても良い。
本実施形態の外観検査装置100で実行されるプログラムは、上述した機能構成を含むモジュール構成となっており、実際のハードウェアとしてはCPU(プロセッサ)が上記ROMからプログラムを読み出して実行することにより上述した機能構成が主記憶装置上にロードされ、主記憶装置上に生成されるようになっている。
100…外観検査装置、1…タイヤ、2…モーター、3…エンコーダー、4…回転台、10…搬送部、11…カメラ、12…レンズ、13…制御装置、14…照明切替装置、20…照明部、21a、21b…エリア光源、22…スリット光源、31…撮像範囲、32、33…照射範囲、131…CPU、132…メモリ、D1…3次元高さデータ、D2…2次元画像、H1〜H3…凹凸不良範囲、H4、H5…輝度不良範囲、M1…3次元高さマスターデータ、M2…2次元画像マスターデータ、L…光軸、θ…角度

Claims (6)

  1. 検査ワークの検査面を撮像する撮像手段を有する外観検査装置の検査方法であって、
    撮像された画像をもとに、前記検査面の3次元高さデータを算出する演算工程と、
    前記算出された3次元高さデータをもとに、前記検査面において予め設定された凹凸とは異なる凹凸不良の領域を抽出する抽出工程と、
    前記撮像された画像をもとに、前記検査面における輝度不良の領域を、前記抽出された凹凸不良の領域を除外した領域から検出する検出工程と、
    を含む検査方法。
  2. 前記撮像された画像における、前記抽出された凹凸不良の領域と一致する領域の輝度値に、前記検出工程において前記輝度不良の領域として検出されない輝度値を設定する輝度値設定工程を更に含む、
    請求項1に記載の検査方法。
  3. 前記輝度値設定工程は、前記撮像された画像における、前記抽出された凹凸不良の領域と一致する領域の輝度値に、前記検査面において予め設定された輝度値を設定し、
    前記検出工程は、前記撮像された画像の輝度値と、前記検査面において予め設定された輝度値とを比較して、前記検査面における輝度不良の領域を検出する、
    請求項1又は2に記載の検査方法。
  4. 検査ワークの検査面を撮像する撮像手段と、
    前記撮像された画像をもとに、前記検査面の3次元高さデータを算出する演算手段と、
    前記算出された3次元高さデータをもとに、前記検査面において予め設定された凹凸とは異なる凹凸不良の領域を抽出する抽出手段と、
    前記撮像された画像をもとに、前記検査面における輝度不良の領域を、前記抽出された凹凸不良の領域を除外した領域から検出する検出手段と、
    を備える外観検査装置。
  5. 前記撮像された画像における、前記抽出された凹凸不良の領域と一致する領域の輝度値に、前記検出手段において前記輝度不良の領域として検出されない輝度値を設定する輝度値設定手段を更に備える、
    請求項4に記載の外観検査装置。
  6. 前記輝度値設定手段は、前記撮像された画像における、前記抽出された凹凸不良の領域と一致する領域の輝度値に、前記検査面において予め設定された輝度値を設定し、
    前記検出手段は、前記撮像された画像の輝度値と、前記検査面において予め設定された輝度値とを比較して、前記検査面における輝度不良の領域を検出する、
    請求項4又は5に記載の外観検査装置。
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