JP2017040612A - 検査方法、検査装置、画像処理装置、プログラム及び記録媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る検査装置を示す概略図である。検査装置100は、ワーク(被検査物)Wを保持する検査用台座101と、光源102と、光源102を移動させる移動装置103と、撮像装置としてのカメラ105と、画像処理装置200と、を備えている。
次に、本発明の第2実施形態に係る検査方法について説明する。図5は、本発明の第2実施形態に係る検査方法を示すフローチャートである。なお、第2実施形態の検査装置の各構成は、第1実施形態の検査装置の各構成と同様であるため、説明を省略する。
Claims (15)
- 処理部が、ワークに対する光源による相対的な光の照射位置を変更しながら前記光源にて前記ワークに光を照射した状態で撮像装置に前記ワークを撮像させて得られる複数の画像から前記ワークの欠陥を検出する検査方法であって、
前記処理部が、前記複数の画像それぞれについて欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出工程と、
前記処理部が、前記各画像における前記欠陥候補の特徴点の座標値を算出する特徴点算出工程と、
前記処理部が、前記複数の画像間で同じ座標値となる前記特徴点の出現頻度を算出する頻度算出工程と、
前記処理部が、予め設定された頻度閾値よりも高い出現頻度の特徴点に対応する欠陥候補は欠陥と判定する判定工程と、を備えたことを特徴とする検査方法。 - 前記頻度算出工程において、前記処理部が、前記画像を複数のセルに区画した際の前記セル毎の前記特徴点の出現頻度を示す頻度マップを求め、
前記判定工程において、前記処理部が、前記頻度マップを参照して判定することを特徴とする請求項1に記載の検査方法。 - 前記判定工程において、前記処理部が、前記頻度マップにおいて前記頻度閾値以下の出現頻度の特徴点に対応するセルについて、連続する複数のセルからなるセル群を抽出し、該セル群のうち、セル数が所定数よりも少ないセル群に属するセルに含まれる特徴点に対応する欠陥候補は欠陥であると判定することを特徴とする請求項2に記載の検査方法。
- 前記処理部が、少なくとも前記判定工程にて欠陥と判定された欠陥候補の特徴量を算出する特徴量算出工程と、
前記処理部が、前記判定工程にて欠陥であると判定した欠陥候補について、前記特徴量が予め設定された特徴量閾値を超えるか否かを判定する特徴量判定工程と、を更に備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検査方法。 - 前記頻度算出工程において、前記処理部が、前記画像中、予め設定された被検査領域内に含まれる前記特徴点について前記出現頻度を算出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の検査方法。
- 前記画像は、前記撮像装置により撮像された撮像画像に対して2値化処理を施した2値化画像であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の検査方法。
- ワークに光を照射する光源と、
前記ワークを撮像する撮像装置と、
前記ワークに対する前記光源による相対的な光の照射位置を変更しながら前記光源にて前記ワークに光を照射した状態で前記撮像装置に前記ワークを撮像させて得られる複数の画像から前記ワークの欠陥を検出する処理部と、を備え、
前記処理部は、
前記複数の画像それぞれについて欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出処理と、
前記各画像における前記欠陥候補の特徴点の座標値を算出する特徴点算出処理と、
前記複数の画像間で同じ座標値となる前記特徴点の出現頻度を算出する頻度算出処理と、
予め設定された頻度閾値よりも高い出現頻度の特徴点に対応する欠陥候補は欠陥と判定する判定処理と、を備えたことを特徴とする検査装置。 - 前記処理部は、前記頻度算出処理において、前記画像を複数のセルに区画した際の前記セル毎の前記特徴点の出現頻度を示す頻度マップを求め、前記判定処理において、前記頻度マップを参照して判定することを特徴とする請求項7に記載の検査装置。
- 前記処理部は、前記判定処理において、前記頻度マップにおいて前記頻度閾値以下の出現頻度の特徴点に対応するセルについて、連続する複数のセルからなるセル群を抽出し、該セル群のうち、セル数が所定数よりも少ないセル群に属するセルに含まれる特徴点に対応する欠陥候補は欠陥であると判定することを特徴とする請求項8に記載の検査装置。
- 前記処理部は、
少なくとも前記判定処理にて欠陥と判定された欠陥候補の特徴量を算出する特徴量算出処理と、
前記判定処理にて欠陥であると判定した欠陥候補について、前記特徴量が予め設定された特徴量閾値を超えるか否かを判定する特徴量判定処理と、を更に備えたことを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記処理部は、前記頻度算出処理において、前記画像中、予め設定された被検査領域内に含まれる前記特徴点について前記出現頻度を算出することを特徴とする請求項7乃至10のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記画像は、前記撮像装置により撮像された撮像画像に対して2値化処理を施した2値化画像であることを特徴とする請求項7乃至11のいずれか1項に記載の検査装置。
- ワークに対する光源による相対的な光の照射位置を変更しながら前記光源にて前記ワークに光を照射した状態で撮像装置に前記ワークを撮像させて得られる複数の画像から前記ワークの欠陥を検出する処理部を有する画像処理装置であって、
前記処理部は、
前記複数の画像それぞれについて欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出処理と、
前記各画像における前記欠陥候補の特徴点の座標値を算出する特徴点算出処理と、
前記複数の画像間で同じ座標値となる前記特徴点の出現頻度を算出する頻度算出処理と、
予め設定された頻度閾値よりも高い出現頻度の特徴点に対応する欠陥候補は欠陥と判定する判定処理と、を実行することを特徴とする画像処理装置。 - コンピュータに、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の検査方法の各工程を実行させるためのプログラム。
- 請求項14に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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