JP2012138493A - ウェーハの欠陥検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハの表面全体に照射光を走査し、該照射光の散乱強度にて前記ウェーハの表面上の欠陥をLPDとして検出するに当たり、散乱強度に関して初期値を設定し、該初期値の下でLPDの数を検出し、該検出数が基準値以下であれば初期値を閾値とする一方、検出数が基準値を超える場合は、初期値を増加させてLPDの検出を繰り返し、LPDの数が基準値以下となった際の当該初期値を閾値とし、次いで、該閾値の下でLPDの数の検出を繰り返し行い、ウェーハ表面への照射光の散乱強度が閾値以上であり、かつウェーハの同一位置にて2回以上検出された、LPDの数および位置を以て、ウェーハにおける欠陥の数および位置を判定する。
【選択図】なし
Description
そこで、本発明の目的は、ノイズの影響を低減し、ウェーハ上の欠陥の誤検出を抑制することができる方途を提供することにある。
図1は、本発明において使用する欠陥検出装置を示している。
この装置1は、2種類の入射系と2種類の検出系とを備えており、モータ24により回転している検査対象のウェーハWの表面に入射光を照射し、その散乱光の強度から、ウェーハWの表面に存在する欠陥をLPDとして検出する。入射系は、ウェーハWの表面に対して垂直の方向に入射させる垂直入射光11(Normal)と、斜め方向から入射させる斜め入射光12(Oblique)とを有している。一方、検出系は、ウェーハWの表面に対して高角度方向の比較的狭い角度範囲に散乱された光を検出する高角度散乱光検出器22(Narrow)と、低角度方向の比較的広い角度範囲に散乱された光を検出する低角度散乱光検出器23(Wide)とを有している。
尚、本発明において、高角度方向とは、ウェーハWの表面鉛直方向から6〜20度の角度範囲の方向を、低角度方向とは、同25〜72度の角度範囲の方向を意味している。
また、斜め方向とは、ウェーハWの表面鉛直方向から65〜85度の角度範囲の方向を、垂直入射は表面鉛直方向から0〜20度の角度範囲の方向を意味する。
上記欠陥検出装置1は、暗視野の欠陥検出装置であるが、本発明において使用する欠陥検出装置およびその構成は、設定する強度閾値による検出信号の2値化処理を行い、ウェーハ面内におけるLPDの座標および個数を計測する装置であれば、特に限定されない。
一方、斜め入射光12は、反射板32により、ウェーハWの表面に対して斜め方向から照射されるように構成されており、その散乱光の検出過程については、上述の垂直入射光11の場合と同様である。
そこで、本発明のウェーハの欠陥検出方法は、ウェーハの1回の検査により検出されるLPDの数が基準値以下の検出条件の下、同一のウェーハに対する検査を繰り返し行い、同一の位置にて2回以上検出されるLPDは欠陥に起因するものと見なしてカウントするようにする。
まず、欠陥検査装置1により検出される信号をD(x)、欠陥に起因する信号をS(x)、ノイズに起因する信号をP(x)とすると、
D(x)=S(x)+P(x) (1)
と表すことができる。ここで、ノイズは、時間およびウェーハ上の位置についてランダムに発生して検出信号D(x)に確率的に入り、その発生確率は正規分布に従うと考えて良い。即ち、
ここで、xは変数、mは平均値、σは標準偏差である。
となる。ここで、
である。この累積度数関数は、ニュートン・コーツの式等の様々な数値積分法や、簡便にはMicrosoft Excel(登録商標)のNORMSDIST関数を用いて容易に計算することができる。
次いで、上記閾値の下でLPDの数の検出を繰り返し行い、ウェーハ表面への照射光の散乱強度が閾値以上であり、かつウェーハの同一位置にて2回以上検出されたLPDの数および位置カウントする。以下、本発明のウェーハの欠陥検出方法の各工程について説明する。
ここで、上記の繰り返しの回数は2回以上とする。
11 垂直入射光
12 斜め入射光
21 集光器
22 低角度散乱光検出器
23 高角度散乱光検出器
24 モータ
31,32,34 反射板
33 集光レンズ
W ウェーハ
Claims (3)
- ウェーハの表面全体に照射光を走査し、該照射光の散乱強度にて前記ウェーハの表面上の欠陥を輝点欠陥として検出するに当たり、
前記散乱強度に関して初期値を設定し、該初期値の下で前記輝点欠陥の数を検出し、
該検出数が基準値以下であれば前記初期値を閾値とする一方、前記検出数が基準値を超える場合は、前記初期値を増加させて前記輝点欠陥の検出を繰り返し、輝点欠陥の数が前記基準値以下となった際の当該初期値を閾値とし、
次いで、該閾値の下で前記輝点欠陥の数の検出を繰り返し行い、前記ウェーハ表面への照射光の散乱強度が前記閾値以上であり、かつ前記ウェーハの同一位置にて2回以上検出された、輝点欠陥の数および位置を以て、前記ウェーハにおける欠陥の数および位置を判定することを特徴とするウェーハの欠陥検出方法。 - 前記繰り返しの回数が2回以上であることを特徴とする、請求項1に記載のウェーハの欠陥検出方法。
- 前記基準値は、前記ウェーハの径が200mmの場合には、830個、前記ウェーハの径が300mmの場合には、1000個、前記ウェーハの径が450mmの場合には、
1250個であることを特徴とする、請求項1または2に記載のウェーハの欠陥検出方法。
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