JP2006138830A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】移動する検査対象物の鏡面状表面を拡散光によって照明する拡散光照明手段と検査対象物の鏡面状表面の画像を撮像するテレセントリック光学系とリニアセンサアレイで構成された撮像手段と設け拡散光照明を検査対象物への入射角度が広角である第1の拡散光照明手段と照射方向が狭い第2の拡散光照明手段とから構成しさらに第1の拡散光照明手段および第2の拡散光照明手段を用いて得られる撮像データを比較して欠陥を評価する欠陥評価手段を設けて構成した。
【選択図】図1
Description
2 シリコンウエハ
3 ドーム型照明手段
4 第1撮像手段
5 C型ライトガイド
6 第2撮像手段
7 テレセントリック光学系撮像手段
8 回転テーブル
9 画像処理装置
10位置検出装置
21 上側テーパ面
22 側面
23 下側テーパ面
31 LED
32 反射面
33 開口面
34 窓
41 上面用撮像装置
42 側面用撮像装置
43 下面用撮像装置
71 像側レンズ
72 絞り
73 リニアセンサ側レンズ
74 リニアセンサアレイ
81 発光面
91 第1画像形成手段
92 第2画像形成手段
93 欠陥評価手段
Claims (7)
- 移動する検査対象物の表面を拡散光によって照明する拡散光照明手段と、検査対象物の表面の画像を撮像するテレセントリック光学系とリニアセンサアレイで構成された撮像手段とを備える表面欠陥検査装置であって、
検査対象物への入射角度が広角である第1の拡散光照明手段と、
照射方向が所定範囲に限られる第2の拡散光照明手段と、
第1の拡散光照明手段を用いて得られる撮像デーおよび第2の拡散光照明手段を用いて得られる撮像データを比較して欠陥を評価する欠陥評価手段とを
備えることを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 前記欠陥評価手段は、第1の拡散光照明手段を用いて得られる撮像画像により対象エリアが欠陥領域であるか否かを判定し、欠陥領域である対象エリアについて第2の拡散光照明手段を用いて得られる撮像画像から表面の性状を評価することを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 前記欠陥評価手段は、第1の拡散光照明手段を用いて得られる撮像画像により対象エリアが良好領域と欠陥領域とそのどちらでもない領域のうちのいずれに属するか判定し、良好領域でも欠陥領域でもない対象エリアについて、第2の拡散光照明手段を用いて得られる撮像画像から表面の性状を評価することを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 前記欠陥評価手段は、第2の拡散光照明手段を用いて得られる撮像画像により対象エリアが欠陥領域か判定し、第1の拡散光照明手段を用いて得られる撮像画像により対象エリアの表面の性状を評価することを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 第1の拡散光照明手段と第2の拡散光照明手段を異なる位置に配置し、さらに移動する検査対象物の位置検出手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 第1の拡散光照明手段は、ドーム型形状の反射面と、ドーム型形状の底部にリング状に配列し、その反射面に向けて光を照射する複数の光源とから構成されることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 第2の拡散光照明手段は、円弧状あるいは楕円弧状に形成されている基体の内面に中心方向に向けて光を照射する複数の光源を備えることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
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2004
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