JP5520737B2 - 欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
(1)光源から出射した光を所定の照射条件を有する照明光に調整する照明光調整手段と、該照明光が照射する試料の表面の照明領域のうちの所定の検出対象領域の照明強度が該試料の表面における該照明光の中心位置での照明強度の50%以上であり、かつ、該所定の検出対象領域以外の照明領域における照明強度が該試料の表面における該照明光の中心位置での照明強度の0.1%以下であるように照明強度を制御する照明強度分布制御手段と、を有する照射手段と、前記照射手段における該照明領域の長手方向に対して直交する方向に該試料を走査する走査手段と、前記照射手段により照射された照明光により該試料の表面から発生する散乱光を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された該試料の表面からの散乱光に基づく検出信号を処理して、該試料の表面の欠陥の有無を判定する欠陥有無判定手段と、前記欠陥有無判定手段により欠陥があると判定された場合に該欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定手段と、を有する判定手段と、を備えた欠陥検査装置である。
と表される。ここで、εは表面での照明吸収率、Pはレーザパワー、κは熱拡散率、Kは熱伝導率、a、bは照明の幅、長さの半分、erfは誤差関数を示す。x、y、zは矩形照明分布の中心を原点とする座標であり、zが半無限体の深さ方向に対応する。熱拡散率κは熱伝導率K、密度ρ、比熱cから、κ=K/(ρc)の関係により求められる。数1より、矩形照明分布の中心における温度上昇は、
Claims (10)
- 光源から出射した光を所定の照射条件を有する照明光に調整する照明光調整手段と、該照明光が照射する試料の表面の照明領域のうちの所定の検出対象領域の照明強度が該試料の表面における該照明光の中心位置での照明強度の50%以上であり、かつ、該所定の検出対象領域以外の照明領域における照明強度が該試料の表面における該照明光の中心位置での照明強度の0.1%以下であるように照明強度を制御する照明強度分布制御手段と、を有する照射手段と、
前記照射手段における該照明領域の長手方向に対して直交する方向に該試料を走査する走査手段と、
前記照射手段により照射された照明光により該試料の表面から発生する散乱光を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された該試料の表面からの散乱光に基づく検出信号を処理して、該試料の表面の欠陥の有無を判定する欠陥有無判定手段と、前記欠陥有無判定手段により欠陥があると判定された場合に該欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定手段と、を有する判定手段と、
を備え、
前記照明強度分布制御手段は、前記試料の表面の照明領域と共役かつ光軸に対して傾斜した中間像面に照明光を線状に集光する中間集光手段と、前記中間像面において照明強度分布の一部を遮光する遮光手段と、該中間像を該試料の表面に結像する結像手段とを有する欠陥検査装置。 - 前記検出手段において、前記照射手段により照射された照明光により該試料の表面から互いに異なる方向に散乱する複数の散乱光を検出し、該複数の散乱光に基づく検出信号を検出することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記照明強度分布制御手段において、該照明領域の長手方向について該試料の表面に与えられる照明強度分布が、ガウス分布の中心を含み中心から所望の距離以上離れたガウス分布の裾野の強度分布を低減した分布であることを特徴とする請求項1または2に記載の欠陥検査装置。
- 前記走査手段において、該試料の走査量を前記照明強度分布制御手段によって得られる該試料の表面の照明強度分布の長さより短くし、照明強度分布上の互いに異なる複数の位置を同一の欠陥が通過するよう走査することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の欠陥検査装置。
- 光源から出射した光を所定の照射条件を有する照明光に調整する照明光調整工程と、該照明光が照射する試料の表面の照明領域のうちの所定の検出対象領域の照明強度が該試料の表面における該照明光の中心位置での照明強度の50%以上であり、かつ、該所定の検出対象領域以外の照明領域における照明強度が該試料の表面における該照明光の中心位置での照明強度の0.1%以下であるように照明強度を制御する照明強度分布制御工程と、を有する照射工程と、
前記照射工程における該照明領域の長手方向に対して直交する方向に該試料を走査する走査工程と、
前記照射工程により照射された照明光により該試料の表面から発生する散乱光を検出する検出工程と、
前記検出工程により検出された該試料の表面からの散乱光に基づく検出信号を処理して、該試料の表面の欠陥の有無を判定する欠陥有無判定工程と、前記欠陥有無判定工程により欠陥があると判定された場合に該欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定工程と、を有し、
前記照明強度分布制御工程では、前記試料の表面の照明領域と共役かつ光軸に対して傾斜した中間像面に照明光を線状に集光する中間集光工程と、前記中間像面において照明強度分布の一部を遮光する遮光工程と、該中間像を該試料の表面に結像する結像工程とを有する判定工程と、
を備えた欠陥検査方法。 - 前記検出工程において、前記照射工程により照射された照明光により該試料の表面から互いに異なる方向に散乱する複数の散乱光を検出し、該複数の散乱光に基づく検出信号を検出することを特徴とする請求項5記載の欠陥検査方法。
- 前記照明強度分布制御工程において、該照明領域の長手方向について該試料の表面に与えられる照明強度分布が、ガウス分布の中心を含み中心から所望の距離以上離れたガウス分布の裾野の強度分布を低減した分布であることを特徴とする請求項5または6に記載の欠陥検査方法。
- 前記走査工程において、該試料の走査量を前記照明強度分布制御工程によって得られる該試料の表面の照明強度分布の長さより短くし、照明強度分布上の互いに異なる複数の位置を同一の欠陥が通過するよう走査することを特徴とする請求項5乃至7のいずれかに記載の欠陥検査方法。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、
前記中間集光手段は、円柱集光素子と回折格子とを備え、前記光軸に対して傾斜した焦点面を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、
前記中間集光手段は、円錐集光素子を備え、前記光軸に対して傾斜した焦点面を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
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