JP2020153727A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】検査精度の向上、及び、検査時間の短縮を実現する検査装置を提供する。【解決手段】一つの実施形態の検査装置は、照射部と撮像部と可動機構と制御部とを備える。照射部は、検査対象物200に光を照射する。撮像部は、前記検査対象物を、レンズを介して撮像する。可動機構は、前記検査対象物の試料面101、前記レンズの主面102、及び、前記撮像部の撮像面103がシャインプルーフの原理に従うように、前記検査対象物の検査方向を軸にして、前記レンズと水平面との間の角度、及び、前記撮像部と水平面との間の角度の少なくとも一方を変える。制御部は、前記撮像部により撮像された前記試料面の画像の感度を、前記画像の検査方向と垂直な方向104における位置に応じて、前記画像内で互いに異なるレベルに調整する。【選択図】図3
Description
本実施形態は検査装置に関する。
3次元構造デバイスを対象として光学検査を実施する場合に、高低差のある階段部などにあるパターンを検査する技術が従来から知られている。
しかしながら、従来の技術では、検査対象の高さに応じて光学系のフォーカス値を変えて複数回、画像を取得する必要がある。そのため検査時間が長くなってしまうばかりか、画像取得毎のフォーカスのバラツキによって感度差が生じて、検査精度に影響が出てしまう。さらに次世代デバイスにおいては積層数が増加し、検査時間の長期化が顕著になることは明らかである。
一つの実施形態は、検査精度の向上、及び、検査時間の短縮を実現する検査装置を提供することを目的とする。
一つの実施形態の検査装置は、照射部と撮像部と可動機構と制御部とを備える。照射部は、検査対象物に光を照射する。撮像部は、前記検査対象物を、レンズを介して撮像する。可動機構は、前記検査対象物の試料面、前記レンズの主面、及び、前記撮像部の撮像面がシャインプルーフの原理に従うように、前記検査対象物の検査方向を軸にして、前記レンズと水平面との間の角度、及び、前記撮像部と水平面との間の角度の少なくとも一方を変える。制御部は、前記撮像部により撮像された前記試料面の画像の感度を、前記画像の検査方向と垂直な方向における位置に応じて、前記画像内で互いに異なるレベルに調整する。
以下に添付図面を参照して、実施形態にかかる検査装置を詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。
[検査装置の構成の例]
図1は実施形態の検査装置100の構成の例を示す図である。実施形態の検査装置100は、光源1、照明レンズ2、波長選択フィルター3、アパーチャ4、偏光フィルター5、ハーフミラー6、対物レンズ7、ステージ8、偏光フィルター9、アパーチャ10、結像レンズ11、撮像部12、画像処理部13、制御部14、及び、可動機構15a〜iを備える。
図1は実施形態の検査装置100の構成の例を示す図である。実施形態の検査装置100は、光源1、照明レンズ2、波長選択フィルター3、アパーチャ4、偏光フィルター5、ハーフミラー6、対物レンズ7、ステージ8、偏光フィルター9、アパーチャ10、結像レンズ11、撮像部12、画像処理部13、制御部14、及び、可動機構15a〜iを備える。
検査装置100の照射部は、光源1、及び、照明光学系(照明レンズ2、波長選択フィルター3、アパーチャ4、偏光フィルター5、ハーフミラー6、対物レンズ7)により実現される。
光源1は、検査対象物200の検査に使用される光(検査光)を発する。実施形態の説明では、検査対象物200は、3次元構造デバイスを有するウエハである。
照明レンズ2は、光源1から発せられた光を平行光にする。
波長選択フィルター3は、検査に使用される波長を有する光を通過させる。
アパーチャ4は、検査対象物200に照射する光の照射方法(光束径・開口数・光量など)を定める。
偏光フィルター5は、検査対象物200に照射する光の偏光を定める。
ハーフミラー6は、偏光フィルター5を介して照射された光の方向を、検査対象物200の方向に変更する。また、ハーフミラー6は、検査対象物200から反射した光を、撮像部12の方向へ通過させる。
対物レンズ7は、ハーフミラー6により検査対象物200に向けられた光を、検査対象物200上に集光する。また、対物レンズ7は、検査対象物200から反射した光を平行光にする。
ステージ8は、検査対象物200が設置される台である。
偏光フィルター9は、検査対象物200から反射した光を撮像部12の撮像面に結像させる時の偏光を定める。
アパーチャ10は、検査対象物200から反射した光を撮像部12の撮像面に結像させる時の光の照射方法を定める。
結像レンズ11は、検査対象物200から反射した光を撮像部12の撮像面に集光する。
撮像部12は、結像光学系(対物レンズ7、ハーフミラー6、偏光フィルター9、アパーチャ10、結像レンズ11)を介して、検査対象物200を撮像する。撮像部12は、例えばCCD(Charge Coupled Device)センサ、及び、TDI(Time Delay Integration)センサ等である。実施形態の説明では、撮像部12がCCDセンサである場合を例にして説明する。なお、撮像部12がTDIセンサの場合の例は、実施形態の変形例で説明する。
画像処理部13は、撮像部12から入力された信号を画像に変換する。また、画像処理部13は、画像からグレイレベルのヒストグラム(分布)を算出する処理、及び、グレイレベルの差分を取得する処理等も実行する。
制御部14は、検査装置100全体の動作を統括的に制御する。制御部14は、例えば可動機構15a〜iを制御する。また例えば、制御部14は、撮像部12によって撮像された画像の感度を調整する。画像の感度の調整方法の詳細は後述する。
可動機構15aは、制御部14からの制御信号に応じて波長選択フィルター3の位置を調整する。可動機構15bは、制御部14からの制御信号に応じてアパーチャ4の位置を調整する。可動機構15cは、制御部14からの制御信号に応じて偏光フィルター5の位置を調整する。可動機構15dは、制御部14からの制御信号に応じてステージ8の位置を調整する。可動機構15eは、制御部14からの制御信号に応じて対物レンズ7の位置を調整する。可動機構15fは、制御部14からの制御信号に応じて偏光フィルター9の位置を調整する。可動機構15gは、制御部14からの制御信号に応じてアパーチャ10の位置を調整する。可動機構15hは、制御部14からの制御信号に応じて結像レンズ11の位置を調整する。可動機構15iは、制御部14からの制御信号に応じて撮像部12の位置を調整する。
[検査対象物の例]
図2Aは実施形態の検査対象物の例1(3次元構造表面の場合)を示す図である。図2Bは実施形態の検査対象物の例2(3次元構造内部の場合)を示す図である。3次元構造デバイスを有する検査対象物200の検査では、例えば、表面欠陥(図2A参照)、及び、内部欠陥(図2B参照)が検出される。
図2Aは実施形態の検査対象物の例1(3次元構造表面の場合)を示す図である。図2Bは実施形態の検査対象物の例2(3次元構造内部の場合)を示す図である。3次元構造デバイスを有する検査対象物200の検査では、例えば、表面欠陥(図2A参照)、及び、内部欠陥(図2B参照)が検出される。
従来の技術では、フォーカスを、Top、Middle及びBottomに同時に合わせることができない。そのため、フォーカス値を深さ方向に変えて、複数回の画像取得が必要になり、検査のスループットが犠牲になっていた。
実施形態の検査装置100では、制御部14が、対物レンズ7、結像レンズ11又は撮像部12の角度を、検査対象物200の上層から下層までフォーカスが合うように、可動機構15e、15h又は15iを介して調整する。具体的には、制御部14は、シャインプルーフの原理を利用して、検査対象物200の上層から下層までフォーカスが合うように、可動機構15e、15h又は15iを制御する。
[シャインプルーフの原理]
図3はシャインプルーフの原理を利用してフォーカスを合わせる場合の例を示す図である。図4はシャインプルーフの原理を利用して調整されるフォーカスの例を示す図である。図3に示すように、検査対象物200の試料面101、レンズ(対物レンズ7又は結像レンズ11)の主面102、及び、撮像部12の撮像面(検出面)103が、1点Pで交わる場合、試料面101の全体にフォーカスが合う(図4参照)。すなわち、例えば図3の例のように、試料面101の検査方向と垂直な方向104に沿って、試料面101に高低差がある場合でも、試料面101の全体にフォーカスが合う。
図3はシャインプルーフの原理を利用してフォーカスを合わせる場合の例を示す図である。図4はシャインプルーフの原理を利用して調整されるフォーカスの例を示す図である。図3に示すように、検査対象物200の試料面101、レンズ(対物レンズ7又は結像レンズ11)の主面102、及び、撮像部12の撮像面(検出面)103が、1点Pで交わる場合、試料面101の全体にフォーカスが合う(図4参照)。すなわち、例えば図3の例のように、試料面101の検査方向と垂直な方向104に沿って、試料面101に高低差がある場合でも、試料面101の全体にフォーカスが合う。
図5はシャインプルーフの原理を利用して撮像された像の倍率について説明するための図である。距離aを像距離、距離bを物体距離、fを焦点距離とする。このとき、下記ニュートンの結像公式(1)、及び、倍率の公式(2)が成り立つ。
1/a+1/b=1/f ・・・(1)
h/x=a/b ・・・(2)
また、式(1)及び(2)より、下記式(3)が成り立つ。
h/x=f/(b−f) ・・・(3)
図5に示すように、a<a’、b>b’の場合、倍率はa/b<a’/b’となる。したがって、検査対象物200の下層の像ほど、撮像面103では小さく結像する。
図6Aは平面上に形成されたパターンを正面から撮像した画像110aの例を示す。図6Bは高低差のあるパターンをシャインプルーフの原理を利用して撮像した画像110bの例を示す。平面上に形成されたパターンが正面から撮像された場合は、画像110aに含まれるパターンの像の大きさは、実際のパターンの大きさと同じになる。
一方、高低差のあるパターンがシャインプルーフの原理を利用して撮像された場合、画像110bに含まれる位置Aのパターンの像の大きさは、試料面101に形成された実際のパターンの大きさよりも大きくなる。また、画像110bに含まれる位置Bのパターンの像の大きさは、試料面101に形成された実際のパターンの大きさと同じになる。また、画像110bに含まれる位置Cのパターンの像の大きさは、試料面101に形成された実際のパターンの大きさよりも小さくなる。
すなわち、試料面101の高い位置に形成されたパターンほど、実際のパターンよりも大きく撮像面103上に投影され、試料面101の低い位置に形成されたパターンほど、実際のパターンよりも小さく撮像面103上に投影される。図6Aのように撮像された画像110a内では倍率は変わらないが、図6Bのように撮像された画像110b内では倍率が変わる。
図7は倍率の違いに伴うピクセルサイズの違いを説明するための図である。平面上に形成されたパターンを撮像した場合は、どの位置でも1つのホールを表すピクセルの数は変わらない。図7の例では、位置A〜Cにある1つのホールを表すピクセルの数は4〜5ピクセルである。
一方、平面上に形成されたパターンと同じ大きさのパターンを高低差のある試料面101に形成した場合、位置Aでは、実際のパターンの大きさよりも大きな像が撮像面103上に結像する。図7の例では、位置Aにある1つのホールを表すピクセルの数は9〜10ピクセルである。これは、平面上のパターンに用いているピクセルサイズよりも、小さいピクセルサイズを用いることと同義である。
位置Bでは、実際のパターンの大きさと同じ大きさの像が撮像面103上に結像する。図7の例では、位置Bにある1つのホールを表すピクセルの数は4〜5ピクセルである。
位置Cでは、実際のパターンの大きさよりも小さな像が撮像面103上に結像する。図7の例では、位置Cにある1つのホールを表すピクセルの数は1〜2ピクセルである。これは、平面上のパターンに用いているピクセルサイズよりも、大きいピクセルサイズを用いることと同義である。
[検査方法]
図8Aは実施形態の検査装置100の検査方法の例を示す図である。図8Bは実施形態の検査装置100の欠陥の検出例を示す図である。検査装置100は、撮像部12によって撮像された画像の比較検査(例えば、Die比較及びArray比較等)により、検査対象物200を検査する。
図8Aは実施形態の検査装置100の検査方法の例を示す図である。図8Bは実施形態の検査装置100の欠陥の検出例を示す図である。検査装置100は、撮像部12によって撮像された画像の比較検査(例えば、Die比較及びArray比較等)により、検査対象物200を検査する。
具体的には、画像処理部13は、撮像部12によって撮像された画像から、検査対象のパターンを含む検出(欠陥)画像111と、当該パターンと対応し比較されるパターンを含む参照画像112とを取得する。次に、画像処理部13は、検出画像111と参照画像112との差分を示す差分画像113を取得する。そして、制御部14が、差分画像113に含まれるパターンの差分が閾値より大きいか否かを判定することにより、パターンの欠陥を検出する。
実施形態の例では、パターンの差分は、画像110bから算出されたグレイレベルの差により表される。そのため、撮像部12によって撮像された画像の精度が、検査結果に影響する。実施形態の検査装置100は、検査対象物200の試料面101、レンズの主面102、及び、撮像部12の撮像面103がシャインプルーフの原理に従うようにして、画像を一度で取得する。これにより、実施形態によれば、検査対象の高さに応じて光学系のフォーカス値を変えて複数回、画像を取得する従来の場合に比べて、画像取得毎のフォーカスのバラツキによって感度差を生じさせることがないので、検査精度を向上させることができる。
[比較間隔の調整]
図9A乃至9Cは実施形態の比較間隔の調整方法の例について説明するための図である。図9Aに示すように、平面上に形成されたパターンを撮像した画像110aの場合、位置A〜Cにあるパターンは、同じ比較間隔で比較可能である。
図9A乃至9Cは実施形態の比較間隔の調整方法の例について説明するための図である。図9Aに示すように、平面上に形成されたパターンを撮像した画像110aの場合、位置A〜Cにあるパターンは、同じ比較間隔で比較可能である。
一方、高低差のある試料面101に形成されたパターンを撮像した画像110bの場合、画像内で倍率が異なる。図9Bに示すように、平面上のパターンを基準として比較間隔を決めた場合、位置A及びCではパターン同士の比較ができず、正しく検査を行うことができなくなってしまう。そこで、実施形態の制御部14は、画像110b内に生じる倍率変化に応じて、図9Cに示すように、比較間隔115a〜cを変える。具体的には、制御部14は、画像110b上でパターンの差分をとることで、パターン同士を比較するときの比較間隔を、画像110bの検査方向と垂直な方向104におけるパターンの位置に応じて変える。
[明るさの調整]
図10は、倍率に応じた明るさの違いを説明するための図である。図10の上段は、画像内の領域の倍率が同じである場合を示す。画像内の倍率が同じである場合は、ピクセルサイズが均一なので、画像内の明るさも均一になる。一方、図10の下段は、倍率が異なる場合を示す。倍率が大きくピクセルサイズが小さいほど、1ピクセル当たりに照射される光量が減少するので暗くなる。すなわち、画像の見え方(明るさ)が、位置A〜Cで変わってしまう。
図10は、倍率に応じた明るさの違いを説明するための図である。図10の上段は、画像内の領域の倍率が同じである場合を示す。画像内の倍率が同じである場合は、ピクセルサイズが均一なので、画像内の明るさも均一になる。一方、図10の下段は、倍率が異なる場合を示す。倍率が大きくピクセルサイズが小さいほど、1ピクセル当たりに照射される光量が減少するので暗くなる。すなわち、画像の見え方(明るさ)が、位置A〜Cで変わってしまう。
図11A及び11Bは実施形態の明るさの調整方法の例について説明するための図である。図11Aでは、簡単のため、位置A〜Cのパターンのみを示す。図11Bの上段に示すように、倍率に応じて画像110b内の明るさ(Brightness)が変化する。具体的には、位置A<位置B<位置Cの順で、ホールの占める割合が少ないので、ホール以外(明るい)によるピークが、位置A<位置B<位置Cの順で大きい。そこで、実施形態の制御部14は、例えば画像110b内の領域のブライトネスを、例えば図11Bの下段に示すグレイレベルのヒストグラム(分布)になるように変える。制御部14は、例えば倍率の変化がない位置Bを基準とし、位置Bより倍率の大きい位置Aの明るさを上げ、位置Bより倍率の小さい位置Cの明るさを下げる。すなわち、制御部14は、画像110b内のブライトネスを、画像110bの検査方向と垂直な方向104における位置に応じて変えることにより、画像110b内の感度を調整する。これにより、画像110b内に生じる明るさの差を抑制することができるので、画像110b内の倍率が変化しても、検査感度を画像110b内で合わせることができる。
また、制御部14は、画像110b内に生じる倍率変化に応じて画像110b内の領域のブライトネスは変えずに、上述の図8Bに示すように差分画像113に含まれるパターンの差分を閾値と比較するときの閾値レベルを、検査対象物におけるパターンの位置に基づいて変えてもよい。具体的には、制御部14は、パターンの差分に相当するグレイレベル差を閾値と比較するとき、画像110bの検査方向と垂直な方向104における位置に応じて、位置Aでは閾値レベルを低く、位置Cでは閾値レベルを高くすることにより、画像110b内の感度を調整する。これにより、画像110b内の領域のブライトネスを変える場合と同様に、画像110b内の倍率が変化しても、検査感度を画像110b内で合わせることができる。
[角度の調整]
図12Aは実施形態の撮像部12の角度φの調整方法の例を示す図である。制御部14は、検査対象物200の設計に使用された設計データ、及び、シャインプルーフの原理に基づいて可動機構15iを制御することにより、撮像部12の撮像面103の角度φを調整(初期設定)する。設計データは、例えば検査対象物200の試料面101の角度θ、及び、当該試料面101の高さ等を含む。
図12Aは実施形態の撮像部12の角度φの調整方法の例を示す図である。制御部14は、検査対象物200の設計に使用された設計データ、及び、シャインプルーフの原理に基づいて可動機構15iを制御することにより、撮像部12の撮像面103の角度φを調整(初期設定)する。設計データは、例えば検査対象物200の試料面101の角度θ、及び、当該試料面101の高さ等を含む。
なお、制御部14は、撮像部12ではなくレンズ(対物レンズ7又は結像レンズ11)の角度を調整してもよい。
図12Bは実施形態のレンズ(対物レンズ7又は結像レンズ11)の角度の調整方法の例を示す図である。制御部14は、上述の設計データ、及び、シャインプルーフの原理に基づいて、対物レンズ7又は結像レンズ11の主面102の角度φを、可動機構15e又は15hを制御することにより調整する。
なお、制御部14は、撮像部12の撮像面103の角度φ、対物レンズ7の主面102の角度φ、及び、結像レンズ11の主面102の角度φの少なくとも1つを調整するようにしてもよい。
図13は実施形態のレンズ(対物レンズ7又は結像レンズ11)、又は、撮像部12の角度φの再調整方法の例を示す図である。図13の再調整方法の例は、試料面101に階段部等がある場合に実施できる。制御部14は、上述の図12A又は12Bの調整方法により初期設定された角度φを、φ−δとφ+δとの間で変動させて、試料面101の階段部の頂点で、グレイレベルのピークが立つように角度φを再調整する。図13の例では、検査対象物200が8階段の構造を有する。そのため、検査対象物200の試料面101に焦点が合っていれば、撮像された画像から算出されたグレイレベルは8ピークを有する。したがって、制御部14は、初期設定された角度φを、φ−δとφ+δとの間で変動させて、8ピークを有するグレイレベル分布が取得された角度φに再調整する。
次に、実施形態の検査装置100の動作例を、フローチャートを参照して説明する。
図14は実施形態の検査装置100の調整方法の例を示すフローチャートである。はじめに、制御部14が、レンズ(対物レンズ7又は結像レンズ11)、又は、撮像部12の角度φを変更する(ステップS1)。具体的には、制御部14は、例えば上述の図12A又は12Bに示す調整方法で角度φを初期設定し、上述の図13に示す再調整方法で角度φを再調整する。
次に、制御部14が、ステップS1の処理により変更された角度φから、画像内に生じる試料面101の高さごとの倍率変化を算出する(ステップS2)。
次に、制御部14が、ステップS2の処理により算出された倍率変化に応じて、画像内の領域の明るさを変更する(ステップS3)。具体的には、制御部14は、撮像部12により撮像された試料面101の画像の感度を、画像の検査方向と垂直な方向104における位置に応じて、画像内で互いに異なるレベルに調整する。制御部14は、例えばグレイレベルの分布が、上述の図11Bの下段のように変更されるように、明るさを調整する。
次に、制御部14が、ステップS2の処理により算出された倍率変化に応じて、上述の比較間隔(図9C参照)を変更する(ステップS4)。
図15は実施形態の検査光の照射方法の例を示すフローチャートである。はじめに、光源1が、検査光を照射する(ステップS11)。次に、照明レンズ2が、ステップS11の処理により照射された検査光を平行光に変換する(ステップS12)。次に、波長選択フィルター3が、検査に使用される波長を有する光を通過させる(ステップS13)。次に、アパーチャ4が、検査対象物200に照射する光の照射方法を定める(ステップS14)。次に、偏光フィルター5は、検査対象物200に照射する光の偏光を定める(ステップS15)。次に、ハーフミラー6が、検査光の方向を、検査対象物200が設置されたステージ8の方向に変更する(ステップS16)。次に、対物レンズ7が、ステップS16の処理により検査対象物200に向けられた検査光を、検査対象物200上に集光する(ステップS17)。
図16は実施形態の反射光の検査方法の例を示すフローチャートである。はじめに、対物レンズ7が、検査対象物200から反射した反射光を平行光に変換する(ステップS21)。次に、偏光フィルター9が、反射光を撮像部12の撮像面103に結像させる時の偏光を定める(ステップS22)。次に、アパーチャ10は、反射光を撮像部12の撮像面103に結像させる時の光の照射方法を定める(ステップS23)。
次に、結像レンズ11が、反射光を撮像部12の撮像面103に集光する(ステップS24)。次に、撮像部12が、検査対象物200を含む画像110bを撮像する(ステップS25)。次に、画像処理部13が、ステップS25の処理により撮像された画像110bに含まれるパターンが比較間隔115a〜cで比較されるように、パターンの差分を取得する(ステップS26)。次に、制御部14が、ステップS26の処理により取得されたパターンの差分が、閾値より大きい場合、当該パターンの位置を示す座標を、欠陥座標として取得する(ステップS27)。
実施形態の検査装置100は、上述の図15及び図16のフローチャートに示す処理を、検査対象物200全面(実施形態では、ウエハ全面)で行うことにより、検査対象物200の欠陥の位置を示す欠陥座標を取得する。
以上説明したように、実施形態の検査装置100では、照射部(光源1及び照明光学系)が、検査対象物200に光を照射する。撮像部12が、検査対象物200を、レンズ(実施形態では、対物レンズ7及び結像レンズ11)を介して撮像する。可動機構15iが、検査対象物200の試料面101、レンズの主面102、及び、撮像部12の撮像面103がシャインプルーフの原理に従うように、検査対象物200の検査方向を軸にして、撮像部12と水平面との間の角度(仰角)φを変える。そして、制御部14が、撮像部12により撮像された試料面101の画像110bの感度を、画像110bの検査方向と垂直な方向104における位置に応じて、画像110b内で互いに異なるレベルに調整する。
これにより実施形態の検査装置100によれば、検査対象物200の高さに応じて光学系のフォーカス値を変えて複数回、画像を取得する必要がないので、検査精度の向上、及び、検査時間の短縮を実現することができる。
(実施形態の変形例)
次に実施形態の変形例について説明する。変形例の説明では、実施形態の説明と同様の説明については省略する。変形例では、撮像部12がTDIセンサである場合について説明する。
次に実施形態の変形例について説明する。変形例の説明では、実施形態の説明と同様の説明については省略する。変形例では、撮像部12がTDIセンサである場合について説明する。
図17は実施形態の変形例の撮像部12(TDIセンサ)の動作例を説明するための図である。TDIセンサでは、最初に撮像された画像のピクセルで取得されたデータが、検査対象物200(ウエハ)の移動速度と同じ速度で、次に撮像された画像のピクセルに転送される。図17の例は、それぞれの画像120a〜e内のピクセルで取得されたデータが、画像130a〜e内のピクセルに転送された後、当該データが積算された積算画像140が取得される場合を示す。TDIセンサは、この積算をピクセル数分繰り返すことで、ノイズの少ないイメージを取得する。しかしながら、検査対象物200の移動速度と、データ転送速度とが異なると、同じパターンどうしで積算できない。
図18は実施形態の変形例の撮像部12が、高低差のある試料面101を撮像する場合を説明するための図である。高低差のある試料面101を撮像する場合、スポット光150に含まれる視野内で倍率が変化した状態で撮像部12にパターンの像が結像する。パターンの像の大きさは、試料面101の高さ方向の位置A〜Cで異なるので、位置A〜Cで、撮像部12上をパターンの像が通り過ぎるスピードが異なる。実施形態の変形例の画像処理部13は、倍率(位置A〜C)に応じて、上述のデータ転送速度を調整することによって、正しく積算画像140を取得する。
図19は実施形態の変形例の撮像部12が、高低差のある試料面101を撮像した場合に取得された像を積算するときの転送速度について説明するための図である。図19の左のように、位置A〜Cでのデータ転送速度160を全て同じにした場合、位置A〜Cでのパターンの像の通過スピードが異なるため、正しく積算画像140が取得できない。そこで、実施形態の変形例の画像処理部13は、撮像部12と水平面との間の角度が変わることで、画像120内に生じる倍率変化に応じて、パターンを表すデータを積算するときのデータ転送速度160を変える。具体的には、図19の右のように、位置Aのデータ転送速度161は、位置Bのデータ転送速度160よりも速くし、位置Cのデータ転送速度162は、位置Bのデータ転送速度160よりも遅くする。すなわち、制御部14は、検査方向と垂直な方向104におけるパターンの位置に応じて、パターンを表すデータをTDIセンサによって積算するときのデータ転送速度を変更する。
図20は実施形態の変形例の撮像部12により撮像された画像140a及びbの例を説明するための図である。上述の図6Aのように、パターンが平面上にある場合には、実施形態の撮像部12(CCDセンサ)で撮像された画像110aと、実施形態の変形例の撮像部12(TDIセンサ)で撮像された画像140aとは同じである。
一方、上述の図6Bのように、パターンが高低差のある面上にある場合には、実施形態の撮像部12(CCDセンサ)で撮像された画像110bと、実施形態の変形例の撮像部12(TDIセンサ)で撮像された画像140bとは異なる。画像110bは、検査方向(x方向)と検査方向と垂直な方向104(y方向)との両方で倍率が変化する。画像140bは、y方向の倍率は変化するが、x方向の倍率はx方向に時間積算しているため、変化しない。
以上説明したように、実施形態の変形例の検出装置100では、画像処理部13が、検査対象物200の高さ位置に応じて、積算されるデータの転送速度を変える。これにより、検査装置100が、シャインプルーフの原理を利用して、検査対象物200を撮像した場合でも、x方向の倍率変化を打ち消すことができる。なお、y方向の倍率の変化に対しては、撮像部12がCCDセンサである場合と同様に、倍率変化に応じて画像140b内の領域のブライトネス、又は、パターンの差分を表す画像データを閾値と比較するときの閾値レベルを変えればよい。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1 光源、2 照明レンズ、3 波長選択フィルター、4 アパーチャ、5 偏光フィルター、6 ハーフミラー、7 対物レンズ、8 ステージ、9 偏光フィルター、10 アパーチャ、11 結像レンズ、12 撮像部、13 画像処理部、14 制御部、15a〜i 可動機構、100 検査装置、200 検査対象物。
Claims (5)
- 検査対象物に光を照射する照射部と、
前記検査対象物を、レンズを介して撮像する撮像部と、
前記検査対象物の試料面、前記レンズの主面、及び、前記撮像部の撮像面がシャインプルーフの原理に従うように、前記検査対象物の検査方向を軸にして、前記レンズと水平面との間の角度、及び、前記撮像部と水平面との間の角度の少なくとも一方を変える可動機構と、
前記撮像部により撮像された前記試料面の画像の感度を、前記画像の検査方向と垂直な方向における位置に応じて、前記画像内で互いに異なるレベルに調整する制御部と、
を備える検査装置。 - 前記制御部は、前記画像内のブライトネスを、前記垂直な方向における位置に応じて変えることにより、前記画像内の感度を調整する、
請求項1に記載の検査装置。 - 前記撮像部は、前記検査対象物の第1パターンと、前記検査対象物中で前記第1パターンと対応する第2パターンとを撮像し、
前記第1パターンの画像と前記第2パターンの画像との差分を表すデータを取得する画像処理部を更に備え、
前記制御部は、前記差分を表すデータを閾値と比較するときの閾値レベルを、前記垂直な方向における位置に応じて変えることにより、前記画像内の感度を調整する、
請求項1に記載の検査装置。 - 前記撮像部は、CCD(Charge Coupled Device)センサであり、前記検査対象物の第1パターンと、前記検査対象物中で前記第1パターンと対応する第2パターンとを撮像し、
前記制御部は、前記画像上で前記第1パターンと前記第2パターンとの差分をとって前記第1パターンと前記第2パターンとを比較するときの比較間隔を、前記垂直な方向における前記第1パターン及び前記第2パターンの位置に応じて変える、
請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記撮像部は、TDI(Time Delay Integration)センサであり、前記検査対象物の第1パターンと、前記検査対象物中で前記第1パターンと対応する第2パターンとを撮像し、
前記制御部は、前記垂直な方向における前記第1パターン及び前記第2パターンの位置に応じて、前記第1パターンを表す第1データを前記TDIセンサによって積算するときのデータ転送速度、及び、前記第2パターンを表す第2データを前記TDIセンサによって積算するときのデータ転送速度を変える、
請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の検査装置。
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