KR102388563B1 - 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치가 개시된다. 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치는, 기판 상부에 구비되고, 상기 기판의 비아홀의 중앙부에 광을 조사하는 제1광원부, 상기 제1광원부와 이격 구비되고, 상기 비아홀의 내주면에 광을 조사하는 제2광원부, 상기 제1광원부의 일 측에 구비되고, 상기 비아홀에서 반사되는 광을 집광하는 렌즈 어셈블리, 상기 렌즈 어셈블리의 상부에 구비되고, 상기 렌즈 어셈블리에서 집광된 광을 검출하고, 이미징을 형성하는 센서부, 상기 센서부로부터 수신된 상기 이미징을 통해 불량 여부 및 불량의 종류를 판단하는 판단부, 및 상기 비아홀과의 거리를 측정하여 상기 렌즈 어셈블리의 초점 거리를 제어하는 초점 제어부를 포함하여 구성된다.

Description

실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치{OPTICAL INSPTECTION DEVICE BEING ABLE TO CONTROL REAL-TIME FOCUS}
아래의 실시예들은 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치에 관한 것이다.
최근 전자 제품의 소형화 및 고성능화에 따라 미세 회로 검사를 위한 패러다임의 변화가 일어나고 있는 추세이다. 통상적으로 미세 회로를 검사할 때 고배율의 광학 검사 장비로 미세 회로 표면을 촬영하고 촬영된 이미지를 육안 및 프로그램을 통해 검사하는 방법이 주로 사용되고 있다. 특히, 미세 회로 상의 회로 패턴이 정상적으로 형성되었는지 여부를 확인하기 위해서 자동광학검사장치(AOI. Automated Optical Inspection)가 업계에서 광범위하게 사용되는 광학 검사 플랫폼으로 자리잡고 있다. 자동광학검사장치는 미세 회로의 회로 설계 상태 및 비아홀 결함을 자동으로 검사하여 미세 회로 기판의 생산성의 향상에 큰 기여를 하고 있지만, 미세 회로 기판 제품군의 다양화로 인해, 미세 회로 기판 두께의 상이함, 복수 개의 비아홀의 굴곡 차이 등 다양한 조건 하에서도 일률적이고 자동으로 미세 회로 기판 표면을 검사할 수 있는 자동광학검사장치의 개발이 요구되고 있다. 또한, 검사의 속도는 생산성과 직결되는 요소이기 때문에, 검사 속도가 빠른 자동광학검사장치의 개발에도 관심이 높아지고 있다. 종래의 자동광학검사장치는 검사시마다 카메라의 초점을 잡아줘야 하는 번거로움이 있었고, 여기에서 많은 시간이 소요되었다. 초점이 맞지 않으면 고해상도의 이미지를 얻는 데 한계가 있게 되고, 불량인 미세 회로 기판을 양품으로 잘못 판단할 가능성도 높아지게 된다. 여기서, 실시간으로 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치의 개발 필요성이 도출되었다.
전술한 배경기술은 발명자가 본원의 개시 내용을 도출하는 과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
실시예의 목적은, 실시간으로 기판 표면에 초점을 맞춰서 검사 속도를 줄일 수 있는 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치를 제공하는 것이다.
실시예들에서 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
실시예에 따른 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치를 개시한다. 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치는, 기판 상부에 구비되고, 상기 기판의 비아홀의 중앙부에 광을 조사하는 제1광원부, 상기 제1광원부와 이격 구비되고, 상기 비아홀의 내주면에 광을 조사하는 제2광원부, 상기 제1광원부의 일 측에 구비되고, 상기 비아홀에서 반사되는 광을 집광하는 렌즈 어셈블리, 상기 렌즈 어셈블리의 상부에 구비되고, 상기 렌즈 어셈블리에서 집광된 광을 검출하고, 이미징을 형성하는 센서부, 상기 센서부로부터 수신된 상기 이미징을 통해 불량 여부 및 불량의 종류를 판단하는 판단부, 및 상기 비아홀과의 거리를 측정하여 상기 렌즈 어셈블리의 초점 거리를 제어하는 초점 제어부를 포함하여 구성된다.
일 측에 따르면, 상기 초점 제어부는, 상기 비아홀과의 거리를 측정하기 위한 초점용 레이저 조사부, 및 상기 렌즈 어셈블리의 위치를 조절하는 구동부를 포함하고, 상기 초점용 레이저를 조사하여 측정된 거리가 기 설정된 초점 거리 기준값과 비교하여 상기 렌즈 어셈블리의 위치를 변화시킴으로써 상기 렌즈 어셈블리의 초점 거리를 제어할 수 있다.
일 측에 따르면, 상기 초점 제어부는, 상기 렌즈 어셈블리의 수직 방향 거리를 이동시킴으로써 초점 거리를 제어할 수 있다.
일 측에 따르면, 상기 제1광원부 및 상기 제2광원부는, 400nm 내지 700nm 파장대의 백색광을 조사할 수 있다.
일 측에 따르면, 상기 렌즈 어셈블리 내부에는 상기 제1광원부에서 조사되는 광의 경로를 변환하는 빔 스플리터가 구비될 수 있다.
일 측에 따르면, 상기 빔 스플리터는 상기 제1광원부에서 조사되는 광은 상기 기판 방향으로 반사시키고, 상기 비아홀로부터 반사된 광은 상기 센서부 방향으로 투과시킬 수 있다.
일 측에 따르면, 상기 제2광원부는, 복수개가 구비되며 상기 렌즈 어셈블리를 기준으로 서로 대칭으로 구비될 수 있다.
일 측에 따르면, 상기 렌즈 어셈블리의 단부는, 자외선 및 적외선 대역의 광을 차단하도록 필터부를 포함할 수 있다.
이상에서 본 바와 같이, 실시예들에 따르면, 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치는 초점을 실시간으로 제어함으로써 비아홀의 이미지를 보다 선명하게 획득할 수 있고, 검사 시간을 줄일 수 있다.
일 실시예에 따른 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치 및 이를 포함한 시스템의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 일 실시예에 따른 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 제1광원부의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 도 1의 초점 제어부의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예들을 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 특허출원의 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.
실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시예에 기재한 설명은 다른 실시예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여, 실시예들에 따른 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치(1)에 대해서 설명한다.
참고적으로, 도 1은 일 실시예에 따른 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치(1)를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 제1광원부(11)의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 3은 도 1의 초점 제어부(16)의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치(1)는, 제1광원부(11), 제2광원부(12), 렌즈 어셈블리(13), 센서부(14), 판단부(15), 및 초점 제어부(16)를 포함하여 구성된다.
기판(S)은 금속층(M) 상에 수지층(F)이 적층되고, 수지층(F) 상에 보호필름층(B)이 적층되고, 보호필름층(B)과 수지층(F)을 관통하여 비아홀(V)이 형성된다. 비아홀(V)의 바닥면(R)은 금속층(M)이 노출된다.
여기서, 비아홀(V)을 형성하였을 때, 바닥면(R)에 수지층(F)이 일부 잔존하는 경우, 바닥면(R)의 표면 조도가 불균일한 경우, 금속층까지 관통되는 경우 등의 불량이 발생할 수 있다.
실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치(1)는 비아홀(V)에 대한 이미지를 획득하여 획득된 이미지로부터 불량을 검출 및 검사하기 위한 장치로서, 초점을 실시간으로 제어함으로써 비아홀(V)의 이미지를 보다 선명하게 획득할 수 있고, 검사 시간을 줄일 수 있다.
제1광원부(11)는 검사 대상이 되는 기판(S)의 상부에 구비되고, 기판(S)에 형성된 비아홀(V)에 광을 조사한다. 제1광원부(11)에서 출사되는 광은 백색광일 수 있다. 예를 들어, 제1광원부(11)는 400nm 내지 700nm 파장대의 백색광을 조사할 수 있다.
제1광원부(11)는 광조사부(111), 및 빔 스플리터(112)를 포함하여 구성된다. 광조사부(111)는 기판(S) 방향으로 빛을 조사하도록 구비된다. 광조사부(111)의 단부에는 광량을 조절하기 위한 조리개(1111)를 포함할 수 있다. 또한, 조리개(1111)의 전방에는 편광 필터(1112)가 구비되어 조리개(1111)를 통과한 광을 조절할 수 있다.
빔 스플리터(112)는 제1광원부(11)에서 조사되는 광의 경로를 변환한다. 빔 스플리터(112)는 예를 들어, 2개의 미러(112a, 112b)로 구성될 수 있다. 여기서, 빔 스플리터(112)는 기판(S) 상부에 구비되는 제1미러(112a)와 제1광원부(11)에서 조사되는 광의 경로 상에 구비되는 제2미러(112b)로 구성된다. 제2미러(112b)는 제1광원부(11)로부터 입사되는 광을 제1미러(112a)로 반사시키고, 제1미러(112a)는 입사되는 광을 기판(S) 상부로 반사시켜서 비아홀(V)에 입사되도록 한다. 그리고, 제1미러(112a)는 비아홀(V)로부터 반사된 광을 센서부(14) 방향으로 투과시킨다. 여기서, 비아홀(V)로부터 반사된 광은 비아홀(V)의 불량 유형에 따라 광의 반사각이 달라질 수 있다.
빔 스플리터(112)의 배치 구조 및 개수는 도면에 한정되는 것은 아니며, 변동 가능하다.
제2광원부(12)는 제1광원부(11)와 이격 구비되고, 비아홀(V)의 내주면에 광을 조사한다. 제2광원부(12)에서 출사되는 광은 백색광일 수 있다. 예를 들어, 제2광원부(12)는 400nm 내지 700nm 파장대의 백색광을 조사할 수 있다.
제2광원부(12)는 복수개가 구비되며 상기 렌즈 어셈블리(13)를 기준으로 서로 대칭으로 구비될 수 있다. 예를 들어, 제2광원부(12)는 렌즈 어셈블리(13)를 기준으로 한 쌍이 서로 대칭으로 구비되어 기판(S)의 상방으로부터 비아홀(V)의 내주면 방향으로 비스듬하게 광을 조사할 수 있다. 도면에는 한 쌍이 도시되었으나, 제2광원부(12)의 수와 입사각은 변경될 수 있다.
렌즈 어셈블리(13)는 제1광원부(11)의 일 측에 구비되고, 비아홀(V)에서 반사되는 광을 집광한다. 렌즈 어셈블리(13)는 광축 상에 일렬로 배치되는 렌즈의 다발로 이루어진다. 렌즈 어셈블리(13)의 일단부(131)는 빔 스플리터(112)에서 반사된 광을 모아서 비아홀(V)의 중심에서 초점을 형성한다. 제1광원부(11) 및 제2광원부(12)에서 조사된 광은 비아홀(V)에서 반사되어서, 렌즈 어셈블리(13)의 일단부(131) 및 빔 스플리터(112)를 투과하여 센서부(14)로 도달하게 된다. 여기서, 렌즈 어셈블리(13)의 일단부(131)는 자외선 및 적외선 대역의 광을 차단하도록 필터부(1311)가 구비될 수 있다. 예를 들어, 필터부(1311)는 다이크로익 필터(dichroic filter)를 사용할 수 있다. 다이크로익 필터는 자외선 및 적외선을 차단하고 가시광선을 투과시킴으로써, 이미징의 감도를 향상시키고, 플레어 효과 또한 감소시킬 수 있다. 센서부(14)는 필터부(1311)를 사용하여 자외선 및 적외선 대역이 제거된 가시광선 대역의 광을 이용함으로써, 보다 정밀하게 비아홀(V)의 불량 여부를 검출 가능하다.
센서부(14)는, 렌즈 어셈블리(13)에서 집광된 광을 검출하고, 이미징을 형성한다.
센서부(14)는 픽셀분해능이1.0㎛ 내지 2.0㎛인 CCD센서(141)를 포함할 수 있다. 또한, 센서부(14)는 픽셀분해능 및 F.O.V(Field of View)를 조절할 수 있는 센서 제어부(143)를 포함할 수 있다. 여기서, 픽셀분해능이 낮을수록 검사 정밀도는 높아지지만 검사 속도가 느려진다. 따라서, 픽셀분해능이 1.5㎛인 CCD센서(141)를 사용하는 것이 바람직하다.
또한, 센서부(14)는 컬러 이미징으로 출력하기 위해 하부에 색상 필터(142)를 포함할 수 있다.
판단부(15)는, 센서부(14)로부터 수신된 컬러 이미징을 통해 불량 여부 및 불량의 종류를 판단한다. 예를 들어, 판단부(15)는 컬러 이미징의 색상 조도를 측정하여 불량을 판단할 수 있는 판정 알고리즘을 적용할 수 있다.
초점 제어부(16)는 비아홀(V)과의 거리를 측정하여 렌즈 어셈블리(13)의 초점 거리를 제어한다.
초점 제어부(16)는 렌즈 어셈블리(13)의 일 측에 구비되고, 기판(S)이 위치한 방향으로 레이저를 조사하여 비아홀(V)과의 거리를 측정한다. 초점 제어부(16)는 측정된 비아홀(V)과의 거리 데이터를 렌즈 어셈블리(13)에 제공하여 렌즈 어셈블리(13)가 수직 방향으로 움직이도록 할 수 있다.
초점 제어부(16)는 레이저 조사부(161), 및 구동부(162)를 포함한다.
레이저 조사부(161)는, 기판(S) 방향으로 레이저를 조사하여 비아홀(V)과의 거리를 측정한다. 예를 들어, 레이저 조사부(161)는 비아홀(V)과의 거리가 달라졌을 때 변위값을 통해 거리를 측정하는 레이저변위센서일 수 있다. 여기서, 레이저 조사부(161)는 초점 거리 기준값을 설정할 수 있는 입력부(163)를 더 포함할 수 있다. 레이저 조사부(161)는 입력부(163)에 설정된 초점 거리 기준값과 비아홀(V)과의 거리를 측정한 값을 비교하고, 변위값을 구동부(162)에 전달할 수 있다.
구동부(162)는 렌즈 어셈블리(13)의 위치를 조절한다. 구동부(162)는 레이저 조사부(161)로부터 변위값을 제공받아 렌즈 어셈블리(13)를 수직 방향으로 구동시킨다. 예를 들어, 구동부(162)는 렌즈 어셈블리(13)의 일 측에 구비될 수 있다. 구동부(162)는 레이저 조사부(161)로부터 변위값에 해당하는 거리만큼 상부 혹은 하부로 이동할 것을 지시받으면, 이에 따라 변위값에 해당하는 거리만큼 렌즈 어셈블리(13)를 구동시켜 정확한 초점이 유지될 수 있도록 한다.
본 실시예들에 따르면, 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치(1)는, 초점 제어부(16)를 포함하여 실시간으로 초점을 추적하여 비아홀(V)의 이미지를 선명하게 획득할 수 있다.
또한, 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치(1)는, 실시간으로 초점을 추적하여 검사 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치(1)는, 서로 다른 각도에서 조사되는 복수개의 광원부를 구비하여, 비아홀(V)의 결함 검출의 오류를 낮출 수 있다.
또한, 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치(1)는, 근적외선(IR) 대역의 광을 이용함으로써, 보다 정밀하게 비아홀(V)의 결함을 검출할 수 있다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.
1 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치
11 제1광원부
111 광조사부
1111 조리개
1112 편광 필터
112 빔 스플리터
12 제2광원부
13 렌즈 어셈블리
131 렌즈 어셈블리의 단부
1311 필터부
14 센서부
141 CCD센서
142 색상 필터
143 센서 제어부
15 판단부
16 초점 제어부
161 레이저 조사부
162 구동부
163 입력부

Claims (8)

  1. 금속층 상에 수지층이 적층되고, 상기 수지층 상에 보호필름층이 적층되고, 상기 보호필름층과 상기 수지층을 관통하는 비아홀이 형성된 기판을 검사하는 장치에 있어서,
    상기 기판 상부에 구비되고, 상기 기판의 상기 비아홀의 중앙부에 광을 조사하는 제1광원부;
    상기 제1광원부의 일 측에 구비되고, 상기 비아홀에서 반사되는 광을 집광하는 렌즈 어셈블리;
    상기 제1광원부와 이격 구비되고, 복수개가 구비되며 상기 렌즈 어셈블리를 기준으로 서로 대칭으로 구비되고, 상기 비아홀의 내주면에 광을 조사하는 제2광원부;
    상기 렌즈 어셈블리의 상부에 구비되고, 상기 렌즈 어셈블리에서 집광된 광을 검출하고, 컬러 이미징을 형성하는 센서부;
    상기 비아홀의 바닥면에 상기 수지층이 일부 잔존하는 경우, 상기 바닥면의 표면 조도가 불균일한 경우, 및 상기 금속층까지 관통되는 경우의 불량 중 적어도 하나 이상의 불량 유형을 상기 불량 유형에 따라 달라지는 광의 반사각과, 상기 센서부로부터 수신된 상기 컬러 이미징의 색상 조도를 측정하는 판정 알고리즘을 통해, 상기 비아홀의 불량 여부 및 불량의 종류를 자동으로 판단하는 판단부; 및
    상기 비아홀과의 거리를 측정하여 상기 렌즈 어셈블리의 초점 거리를 제어하는 초점 제어부;
    를 포함하고,
    상기 제1광원부 및 상기 제2광원부는, 400nm 내지 700nm 파장대의 백색광을 조사하고,
    상기 렌즈 어셈블리의 단부는, 자외선 및 적외선 대역의 광을 차단하도록 필터부를 포함하고,
    상기 센서부는,
    픽셀분해능이 1.0㎛ 내지 2.0㎛인 CCD센서, 및 센서 제어부를 포함하고,
    상기 초점 제어부는, 상기 비아홀과의 거리를 측정하기 위한 레이저 조사부, 및 상기 렌즈 어셈블리의 위치를 조절하는 구동부를 포함하고, 상기 레이저 조사부에서 측정된 상기 비아홀과의 거리에 따라 상기 렌즈 어셈블리의 수직 방향 거리를 이동시킴으로써 상기 렌즈 어셈블리의 초점 거리를 실시간으로 제어하는 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 렌즈 어셈블리 내부에는 상기 제1광원부에서 조사되는 광의 경로를 변환하는 빔 스플리터가 구비되는 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 빔 스플리터는 상기 제1광원부에서 조사되는 광은 상기 기판 방향으로 반사시키고, 상기 비아홀로부터 반사된 광은 상기 센서부 방향으로 투과시키는 실시간 초점 제어가 가능한 광학 검사 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100058012A (ko) * 2008-11-24 2010-06-03 참앤씨(주) 불량 검사를 위한 광학 시스템
KR20130103060A (ko) * 2012-03-09 2013-09-23 삼성전기주식회사 3차원 측정 장치 및 방법
KR20140080111A (ko) * 2012-12-20 2014-06-30 삼성전기주식회사 비아 홀 광학 검사장비
KR101755615B1 (ko) * 2016-11-14 2017-07-19 주식회사 인스풀 광학 장치 및 이를 포함하는 광학 검사 장치
KR102182571B1 (ko) * 2020-06-05 2020-11-24 주식회사 엘퓨젼옵틱스 Ir 조명을 이용하는 시료 검사용 광학장치 및 ir 조명을 이용하는 자동 초점용 광학장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100058012A (ko) * 2008-11-24 2010-06-03 참앤씨(주) 불량 검사를 위한 광학 시스템
KR20130103060A (ko) * 2012-03-09 2013-09-23 삼성전기주식회사 3차원 측정 장치 및 방법
KR20140080111A (ko) * 2012-12-20 2014-06-30 삼성전기주식회사 비아 홀 광학 검사장비
KR101755615B1 (ko) * 2016-11-14 2017-07-19 주식회사 인스풀 광학 장치 및 이를 포함하는 광학 검사 장치
KR102182571B1 (ko) * 2020-06-05 2020-11-24 주식회사 엘퓨젼옵틱스 Ir 조명을 이용하는 시료 검사용 광학장치 및 ir 조명을 이용하는 자동 초점용 광학장치

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