JP6128902B2 - 形状測定装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施の形態に係る形状測定装置について図面を参照して詳細に説明する。図1は、第1の実施の形態に係る形状測定装置を構成するシステムの全体図である。この形状測定装置は、図1に示すように、三次元測定装置1の測定プローブとして本実施の形態に係る光学式プローブ17を装着する事により構成されている。この形状測定装置には、駆動制御装置2、操作盤3、及びホストシステム4から構成されている。駆動制御装置2は、三次元測定装置1を駆動制御すると共にこの三次元測定装置1から必要な測定座標値を取り込む。操作盤3は、この駆動制御装置2を介してこの三次元測定装置1を手動操作する。ホストシステム4は、駆動制御装置2での測定手順を指示するパートプログラムを編集・実行する。また、ホストシステム4は、駆動制御装置2を介して取り込まれた測定座標値に幾何形状を当てはめるための計算を行ったり、パートプログラムを記録、送信したりする機能を備える。
次に、第2の実施の形態に係る形状測定装置を説明する。第2の実施の形態に係る形状測定装置においては、図9に示すように、第1の実施の形態のチューナブルレンズ1722の代わりにコリメータレンズ1724が設けられ、そのコリメータレンズ1724とビームエキスパンダ1723との間に電動アパーチャ1725が設けられる。電動アパーチャ1725の開口径は、CMOSセンサ1732にて撮像された画像に基づき制御回路174により調整可能に構成される。
次に、第3の実施の形態に係る形状測定装置を説明する。第3の実施の形態に係る形状測定装置においては、図12に示すように、第2の実施の形態の電動アパーチャ1725の代わりに可変スリット1726が設けられる。可変スリット1726の隙間は、CMOSセンサ1732にて撮像された画像に基づき制御回路174により調整可能に構成される。
次に、第4の実施の形態に係る形状測定装置を説明する。第4の実施の形態に係る形状測定装置は、図15に示すように、第1の実施の形態の構成に加えて、集光レンズ175、及び光位置検出部176を有する。この光位置検出部176は、ラインセンサやPSD等の一次元の光センサにより構成できる。光位置検出部176は、ワーク5からの反射光を集光レンズ175を介して受光する。光位置検出部176は、一次元的にラインレーザの延びる方向と直交する方向における光の位置を検出する。チューナブルレンズ1722の曲率は、光位置検出部176にて検知された光に基づいて制御回路174により調整可能に構成される。これにより、ラインレーザの焦点距離が調整される。
以上、本発明に係る形状測定装置の一実施の形態を説明してきたが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。
Claims (4)
- ワークに直線状のラインレーザを照射する照射部と、
前記ワークにて反射したラインレーザを受光して前記ワークの画像を撮像する第1センサと、
前記ワークにて反射したラインレーザを前記第1センサの撮像面に結像させるレンズとを備え、
前記撮像面を延長した第1の面、前記レンズの主面を延長した第2の面、及び前記ラインレーザの照射面を延長した第3の面は1か所で交わる形状測定装置であって、
前記照射部は、
レーザ光を生じさせる光源と、
前記光源からの前記レーザ光を直線状に拡散させて、前記ラインレーザを生成する第1光学部材と、
前記光源と前記第1光学部材との間に設けられ、前記ワーク上のラインレーザの照射面積を調整可能に構成された第2光学部材とを備え、
前記第2光学部材による前記ワーク上のラインレーザの照射面積の調整を制御する制御部を更に備え、
前記第2光学部材は、焦点距離を調整可能に構成されたレンズであり、
前記制御部は、前記ラインレーザの照射位置の平均値に基づいて、前記焦点距離を調整する
ことを特徴とする形状測定装置。 - 前記制御部は、前記ワーク上の前記ラインレーザの照射位置が前記光源に近いほど、前記焦点距離を短く調整する
ことを特徴とする請求項1記載の形状測定装置。 - 前記第1センサは、第1方向及び第2方向に2次元行列状に配列された複数の撮像素子からなり、
前記第1方向は前記ラインレーザの延びる方向であり、前記第2方向は前記第1方向に直交する方向であり、
前記制御部は、前記第1センサの撮像面に撮像されたラインレーザに基づき前記第2光学部材を調整する
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の形状測定装置。 - 前記ワークにて反射したラインレーザを受光して前記ワークの画像を撮像する第2センサを更に備え、
前記第2センサは、1次元的に第1方向における光の位置を検出し、
前記第1方向は前記ラインレーザの延びる方向に直交する方向であり、
前記制御回路は、前記第2センサの撮像面に撮像されたラインレーザに基づき前記第2光学部材を調整する
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の形状測定装置。
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