JPH08193810A - 変位測定装置 - Google Patents
変位測定装置Info
- Publication number
- JPH08193810A JPH08193810A JP2115695A JP2115695A JPH08193810A JP H08193810 A JPH08193810 A JP H08193810A JP 2115695 A JP2115695 A JP 2115695A JP 2115695 A JP2115695 A JP 2115695A JP H08193810 A JPH08193810 A JP H08193810A
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- Japan
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- laser light
- laser
- focus
- measurement
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定誤差の変動が少なく、常に最良の測定条
件を維持することができ、高精度の測定を可能とする変
位測定装置を提供する。 【構成】 測定対象物１３にレーザー光を照射するレー
ザー投光部１０ａと、測定対象物１３から散乱されるレ
ーザー光の散乱位置を検出する位置検出部１６とを備え
た変位測定装置１０において、レーザー投光部１０ａと
測定対象物１３との間に、レーザー光の焦点を測定対象
物１３上に保持する焦点位置制御機構１２を設けた。
件を維持することができ、高精度の測定を可能とする変
位測定装置を提供する。 【構成】 測定対象物１３にレーザー光を照射するレー
ザー投光部１０ａと、測定対象物１３から散乱されるレ
ーザー光の散乱位置を検出する位置検出部１６とを備え
た変位測定装置１０において、レーザー投光部１０ａと
測定対象物１３との間に、レーザー光の焦点を測定対象
物１３上に保持する焦点位置制御機構１２を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定対象物に照射され
るレーザー光の散乱位置を検知して、例えば測定対象物
までの距離、測定対象物の寸法変化、平坦度等を測定す
る変位測定装置に関する。
るレーザー光の散乱位置を検知して、例えば測定対象物
までの距離、測定対象物の寸法変化、平坦度等を測定す
る変位測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザー光を利用した板材等の板厚、平
坦度の測定方法としては、図２に示すように、測定対象
物５０にレーザー光を照射するレーザー光投光部５１を
設け、測定対象物５０に集光レンズ５２を介してレーザ
ー光を照射して、その散乱光を結像レンズ５３を介して
ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃ
ｅ）又はＰＳＤ（Ｐｈｏｔｏ−Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔ
ｏｒ Ｄｅｖｉｃｅ）等のポジションセンサー５４に導
き、その重心位置（ＰＳＤの場合）又は輝度の最高位置
（リニアーＣＣＤの場合）を求めて、ポジッションセン
サー５４の信号から変位座標処理を行い測定対象物５０
までの位置、又は変位量を三角測量法の原理で測定する
ことが一般に行われている。
坦度の測定方法としては、図２に示すように、測定対象
物５０にレーザー光を照射するレーザー光投光部５１を
設け、測定対象物５０に集光レンズ５２を介してレーザ
ー光を照射して、その散乱光を結像レンズ５３を介して
ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃ
ｅ）又はＰＳＤ（Ｐｈｏｔｏ−Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔ
ｏｒ Ｄｅｖｉｃｅ）等のポジションセンサー５４に導
き、その重心位置（ＰＳＤの場合）又は輝度の最高位置
（リニアーＣＣＤの場合）を求めて、ポジッションセン
サー５４の信号から変位座標処理を行い測定対象物５０
までの位置、又は変位量を三角測量法の原理で測定する
ことが一般に行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記方
法はレーザー光の強度分布の重心位置（ＰＳＤの場合）
又は輝度の最高位置（リニアーＣＣＤの場合）を求めて
距離を測定する方式であるので、通常の鉄板のように測
定対象物５０の反射係数が均等でない場合であっても、
レーザー光のビーム径が小さい場合には測定精度が高い
が、レーザー光のビーム径が大きくなると測定精度が低
下するという問題がある。即ち、測定対象物が均一乱反
射を行うのであれば、図３の破線ａに示すようにポジシ
ョンセンサー５４に結ばれる画像の受光強度は、反射散
乱光の正規分布画像となるが、鉄板のように不均一乱反
射を行う測定対象物の場合には、ポジションセンサー５
４に結ばれる画像は図３の一点鎖線ｂに示すように正規
分布画像とはならず、その受光強度の重心位置や、最高
輝度位置を測定する方法では測定精度が低下するという
問題があった。そこで、集光レンズ５２を変えて測定対
象物５０に焦点を合わせて図３の実線ｃに示すようにレ
ーザー光のビーム径を小さくしようとすると、レーザー
光の焦点（レーザー光のビーム径の最小部に対応する）
の位置を外れた範囲、例えば測定対象物５０ａの場合に
はビーム径が大きくなり、結果として散乱面でのレーザ
ー光のビーム径が大きくなって前述した理由によって測
定精度が悪くなるという問題が生じていた。また、図４
に破線ｄで示すように測定対象物の距離が変わっても測
定精度が変わらないようにビーム径を均一にしようとす
ると、全体的にレーザー光のビーム径が大きくなり、結
果として全体的に測定精度が下がるという問題が生じて
いた。本発明はこのような事情に鑑みてなされたもの
で、測定誤差が少なく、常に最良の測定条件を維持する
ことができ、高精度の測定を可能とする変位測定装置を
提供することを目的とする。
法はレーザー光の強度分布の重心位置（ＰＳＤの場合）
又は輝度の最高位置（リニアーＣＣＤの場合）を求めて
距離を測定する方式であるので、通常の鉄板のように測
定対象物５０の反射係数が均等でない場合であっても、
レーザー光のビーム径が小さい場合には測定精度が高い
が、レーザー光のビーム径が大きくなると測定精度が低
下するという問題がある。即ち、測定対象物が均一乱反
射を行うのであれば、図３の破線ａに示すようにポジシ
ョンセンサー５４に結ばれる画像の受光強度は、反射散
乱光の正規分布画像となるが、鉄板のように不均一乱反
射を行う測定対象物の場合には、ポジションセンサー５
４に結ばれる画像は図３の一点鎖線ｂに示すように正規
分布画像とはならず、その受光強度の重心位置や、最高
輝度位置を測定する方法では測定精度が低下するという
問題があった。そこで、集光レンズ５２を変えて測定対
象物５０に焦点を合わせて図３の実線ｃに示すようにレ
ーザー光のビーム径を小さくしようとすると、レーザー
光の焦点（レーザー光のビーム径の最小部に対応する）
の位置を外れた範囲、例えば測定対象物５０ａの場合に
はビーム径が大きくなり、結果として散乱面でのレーザ
ー光のビーム径が大きくなって前述した理由によって測
定精度が悪くなるという問題が生じていた。また、図４
に破線ｄで示すように測定対象物の距離が変わっても測
定精度が変わらないようにビーム径を均一にしようとす
ると、全体的にレーザー光のビーム径が大きくなり、結
果として全体的に測定精度が下がるという問題が生じて
いた。本発明はこのような事情に鑑みてなされたもの
で、測定誤差が少なく、常に最良の測定条件を維持する
ことができ、高精度の測定を可能とする変位測定装置を
提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記目的に沿う請求項１
記載の変位測定装置は、測定対象物にレーザー光を照射
するレーザー投光部と、該測定対象物から散乱されるレ
ーザー光の散乱位置を検出する位置検出部とを備えた変
位測定装置において、前記レーザー投光部と測定対象物
との間に、レーザー光の焦点を前記測定対象物上に保持
する焦点位置制御機構を設けるように構成されている。
請求項２記載の変位測定装置は、請求項１記載の変位測
定装置において、前記焦点位置制御機構は前記位置検出
部からの信号に基づいて制御されるように構成されてい
る。
記載の変位測定装置は、測定対象物にレーザー光を照射
するレーザー投光部と、該測定対象物から散乱されるレ
ーザー光の散乱位置を検出する位置検出部とを備えた変
位測定装置において、前記レーザー投光部と測定対象物
との間に、レーザー光の焦点を前記測定対象物上に保持
する焦点位置制御機構を設けるように構成されている。
請求項２記載の変位測定装置は、請求項１記載の変位測
定装置において、前記焦点位置制御機構は前記位置検出
部からの信号に基づいて制御されるように構成されてい
る。
【０００５】以上において、レーザー投光部とは半導体
レーザー装置及び気体レーザー装置等からなって、一定
方向にレーザー光を発信する装置をいう。測定対象物と
は、レーザー光の方向に対して散乱可能な散乱面を持
ち、該散乱面の移動変位量を測定するための対象となる
ものであり、具体的には鉄板等である。位置検出部は、
受光レンズで結像される光点像の位置を検出するＰＳ
Ｄ、リニアーＣＣＤ等の位置検出素子又はピーク位置検
出部により構成される。そして、焦点位置制御機構と
は、レーザー投光部から照射されるレーザー光を集光す
るレンズ等の光学系を駆動して測定対象物に照射される
レーザー光の焦点を合わせる機構をいう。
レーザー装置及び気体レーザー装置等からなって、一定
方向にレーザー光を発信する装置をいう。測定対象物と
は、レーザー光の方向に対して散乱可能な散乱面を持
ち、該散乱面の移動変位量を測定するための対象となる
ものであり、具体的には鉄板等である。位置検出部は、
受光レンズで結像される光点像の位置を検出するＰＳ
Ｄ、リニアーＣＣＤ等の位置検出素子又はピーク位置検
出部により構成される。そして、焦点位置制御機構と
は、レーザー投光部から照射されるレーザー光を集光す
るレンズ等の光学系を駆動して測定対象物に照射される
レーザー光の焦点を合わせる機構をいう。
【０００６】
【作用】請求項１及び２記載の変位測定装置において
は、レーザー投光部と測定対象物との間にレーザー光の
焦点を前記測定対象物上に保持する焦点位置制御装置を
設けているので、測定対象物上でのレーザー光のビーム
径が最小の値に保たれる。従って、測定対象物のレーザ
ー光の反射係数が場所によって異なっても、測定対象物
からの反射光も最小の大きさとなり、結果として位置検
出部に結像される反射光画像も最小となり、仮に測定対
象物の表面から反射するレーザー光に輝度のバラツキが
あっても、最小のビーム径内での測定誤差とすることが
できる。また、請求項２記載の変位測定装置において
は、前記焦点位置制御機構は前記位置検出部からの信号
に基づいて制御されているので、装置構成が単純であ
り、変位測定の動作毎に最適の測定が行える。
は、レーザー投光部と測定対象物との間にレーザー光の
焦点を前記測定対象物上に保持する焦点位置制御装置を
設けているので、測定対象物上でのレーザー光のビーム
径が最小の値に保たれる。従って、測定対象物のレーザ
ー光の反射係数が場所によって異なっても、測定対象物
からの反射光も最小の大きさとなり、結果として位置検
出部に結像される反射光画像も最小となり、仮に測定対
象物の表面から反射するレーザー光に輝度のバラツキが
あっても、最小のビーム径内での測定誤差とすることが
できる。また、請求項２記載の変位測定装置において
は、前記焦点位置制御機構は前記位置検出部からの信号
に基づいて制御されているので、装置構成が単純であ
り、変位測定の動作毎に最適の測定が行える。
【０００７】
【実施例】続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明
を具体化した実施例につき説明し、本発明の理解に供す
る。ここに、図１は本発明の一実施例に係る変位装置の
説明図、図３は反射レーザー光の輝度分布を説明するグ
ラフ、図４は反射レーザー光を説明するグラフである。
を具体化した実施例につき説明し、本発明の理解に供す
る。ここに、図１は本発明の一実施例に係る変位装置の
説明図、図３は反射レーザー光の輝度分布を説明するグ
ラフ、図４は反射レーザー光を説明するグラフである。
【０００８】図１に示す変位測定装置１０は、レーザー
光を発生するレーザー投光部１０ａと、前記レーザー光
を集める集光レンズ１１と、集光レンズ１１の後に配置
される焦点位置制御機構１２と、測定対象物１３からの
反射レーザー光を採り入れる受光レンズ１４と、受光レ
ンズ１４の結像位置に配置される位置検出素子１５と、
位置検出素子１５に接続されるピーク位置検出部１６及
び変位変換部１７と、プリンター等の出力装置１８と、
前記焦点位置制御機構１２の焦点位置制御部１９とを有
している。以下、これらについて詳しく説明する。
光を発生するレーザー投光部１０ａと、前記レーザー光
を集める集光レンズ１１と、集光レンズ１１の後に配置
される焦点位置制御機構１２と、測定対象物１３からの
反射レーザー光を採り入れる受光レンズ１４と、受光レ
ンズ１４の結像位置に配置される位置検出素子１５と、
位置検出素子１５に接続されるピーク位置検出部１６及
び変位変換部１７と、プリンター等の出力装置１８と、
前記焦点位置制御機構１２の焦点位置制御部１９とを有
している。以下、これらについて詳しく説明する。
【０００９】前記レーザー投光部１０ａは周知のレーザ
ー発振器（例えば、半導体レーザー、Ｈｅ−Ｎｅガスレ
ーザー）からなり、集光レンズ１１は周知の凸レンズか
らなって発信されたレーザー光を集めて測定対象物１３
にレーザー光を照射するようにしている。なお、この集
光レンズ１１は以下に説明する焦点位置制御機構１２内
に含ませる場合は省略できる。前記焦点位置制御機構１
２は複数の光学レンズ系の組合わせからなり、光学系の
相対位置を変えることにより集光レンズ１１を通過した
レーザー光の焦点位置を変動させている。前記焦点位置
制御部１９は、変位変換部１７からの信号（距離信号）
に基づいて、焦点位置制御機構１２に制御信号を発して
いる。従って、この焦点位置制御部１９からの信号（例
えば、Ｙｍ）に対応して、焦点位置制御機構１２を通過
するレーザー光の焦点を対応する位置（即ち、Ｙｍ）に
合わせるようになっている。
ー発振器（例えば、半導体レーザー、Ｈｅ−Ｎｅガスレ
ーザー）からなり、集光レンズ１１は周知の凸レンズか
らなって発信されたレーザー光を集めて測定対象物１３
にレーザー光を照射するようにしている。なお、この集
光レンズ１１は以下に説明する焦点位置制御機構１２内
に含ませる場合は省略できる。前記焦点位置制御機構１
２は複数の光学レンズ系の組合わせからなり、光学系の
相対位置を変えることにより集光レンズ１１を通過した
レーザー光の焦点位置を変動させている。前記焦点位置
制御部１９は、変位変換部１７からの信号（距離信号）
に基づいて、焦点位置制御機構１２に制御信号を発して
いる。従って、この焦点位置制御部１９からの信号（例
えば、Ｙｍ）に対応して、焦点位置制御機構１２を通過
するレーザー光の焦点を対応する位置（即ち、Ｙｍ）に
合わせるようになっている。
【００１０】前記受光レンズ１４は周知の凸レンズから
なって、測定対象物１３から散乱されるレーザー光を集
光し位置検出素子１５上に結像させている。前記位置検
出素子１５は周知のリニアーＣＣＤからなって、散乱レ
ーザー光を受光することにより、各受光位置に相当する
位置の信号を出力するようになっている。ピーク位置検
出部１６は位置検出素子１５からの信号を処理して、位
置検出素子１５上の散乱光のピーク位置を検出し、変位
変換部１７は前記散乱光の位置に基づいて対応する測定
対象物１３の変位量を計算し、出力装置１８及び焦点位
置制御部１９に変位量に対応した信号を送る周知の構成
となっている。
なって、測定対象物１３から散乱されるレーザー光を集
光し位置検出素子１５上に結像させている。前記位置検
出素子１５は周知のリニアーＣＣＤからなって、散乱レ
ーザー光を受光することにより、各受光位置に相当する
位置の信号を出力するようになっている。ピーク位置検
出部１６は位置検出素子１５からの信号を処理して、位
置検出素子１５上の散乱光のピーク位置を検出し、変位
変換部１７は前記散乱光の位置に基づいて対応する測定
対象物１３の変位量を計算し、出力装置１８及び焦点位
置制御部１９に変位量に対応した信号を送る周知の構成
となっている。
【００１１】続いて、この変位測定装置１０の使用方法
及び作用について説明する。図１に示すように、レーザ
ー投光部１０ａからレーザー光を発信し、集光レンズ１
１及び焦点位置制御機構１２を介してＡ位置にある測定
対象物１３にレーザー光を照射すると、ａ位置で散乱光
となって反射し、その一部は受光レンズ１４を介して位
置検出素子１５に入射する。最初のレーザー光を投光す
る場合には、焦点位置制御機構１２は動作させていない
ので、反射レーザー光の直径は大きくなり、位置検出素
子１５のａ´位置に結像する像は大きくなるが、ピーク
位置検出部１６で輝度の最大点（即ち、ピーク位置）を
測定し、変位変換部１７で距離信号（Ｃ）に変換する。
この距離信号（Ｃ）を焦点位置制御部１９に入力して、
焦点位置制御機構１２を制御する信号を変換し、焦点位
置制御機構１２のモータを駆動してレーザー光の焦点を
距離信号（Ｃ）に合わせる。これによって、図４の曲線
ｅに示すように測定対象物１３に照射されるレーザー光
の焦点が略合うので、測定対象物１３からの反射レーザ
ー光の直径が小さくなり、位置検出素子１５のａ´位置
に結像される像が小さくなる。従って、測定対象物１３
の表面からの反射光の輝度分布にバラツキがあっても、
結像される反射光の像が小さいので、その範囲内の誤差
となって、測定精度が向上する。
及び作用について説明する。図１に示すように、レーザ
ー投光部１０ａからレーザー光を発信し、集光レンズ１
１及び焦点位置制御機構１２を介してＡ位置にある測定
対象物１３にレーザー光を照射すると、ａ位置で散乱光
となって反射し、その一部は受光レンズ１４を介して位
置検出素子１５に入射する。最初のレーザー光を投光す
る場合には、焦点位置制御機構１２は動作させていない
ので、反射レーザー光の直径は大きくなり、位置検出素
子１５のａ´位置に結像する像は大きくなるが、ピーク
位置検出部１６で輝度の最大点（即ち、ピーク位置）を
測定し、変位変換部１７で距離信号（Ｃ）に変換する。
この距離信号（Ｃ）を焦点位置制御部１９に入力して、
焦点位置制御機構１２を制御する信号を変換し、焦点位
置制御機構１２のモータを駆動してレーザー光の焦点を
距離信号（Ｃ）に合わせる。これによって、図４の曲線
ｅに示すように測定対象物１３に照射されるレーザー光
の焦点が略合うので、測定対象物１３からの反射レーザ
ー光の直径が小さくなり、位置検出素子１５のａ´位置
に結像される像が小さくなる。従って、測定対象物１３
の表面からの反射光の輝度分布にバラツキがあっても、
結像される反射光の像が小さいので、その範囲内の誤差
となって、測定精度が向上する。
【００１２】次に、測定対象物１３の位置が、例えば図
１のＢに示すような破線位置に変わった場合には、移動
した測定対象物１３ａまでの位置（ｂ点）を焦点が合わ
ないまま、位置検出素子１５のｂ´点として測定して距
離を出力し、次に、この出力によって焦点位置制御機構
１２を制御して焦点を再度合わせ、測定対象物１３ａの
位置に小径のレーザ光を照射し、位置検出素子１５上に
小径の反射レーザー光を結像させ、結果として精度の良
い測定が行える。
１のＢに示すような破線位置に変わった場合には、移動
した測定対象物１３ａまでの位置（ｂ点）を焦点が合わ
ないまま、位置検出素子１５のｂ´点として測定して距
離を出力し、次に、この出力によって焦点位置制御機構
１２を制御して焦点を再度合わせ、測定対象物１３ａの
位置に小径のレーザ光を照射し、位置検出素子１５上に
小径の反射レーザー光を結像させ、結果として精度の良
い測定が行える。
【００１３】前記実施例においては、本来の位置検出部
からの信号に基づいて、焦点位置制御機構を制御した
が、別に設けた測定対象物の位置検出機構、例えば超音
波、可視光線等の反射を利用した簡易な測長機構からの
信号に基づいて、散乱面の概略の位置を設定することに
より制御を行っても良い。また、前記実施例において
は、位置検出素子としてリニアーＣＣＤを使用したが、
ＰＳＤあるいはその他の素子を使用する場合も本発明は
適用される。
からの信号に基づいて、焦点位置制御機構を制御した
が、別に設けた測定対象物の位置検出機構、例えば超音
波、可視光線等の反射を利用した簡易な測長機構からの
信号に基づいて、散乱面の概略の位置を設定することに
より制御を行っても良い。また、前記実施例において
は、位置検出素子としてリニアーＣＣＤを使用したが、
ＰＳＤあるいはその他の素子を使用する場合も本発明は
適用される。
【００１４】
【発明の効果】請求項１及び２記載の変位測定装置にお
いては、レーザー投光部と測定対象物との間に、レーザ
ー光の焦点を前記測定対象物上に保持する焦点位置制御
機構を設けているので、測定対象物上でのレーザー光の
ビーム径が常に一定かつ最小の値に保たれ、必要な測定
範囲の全領域にわたる高精度の測定が可能となる。特
に、請求項２記載の変位測定装置においては、前記焦点
位置制御機構は前記位置検出部からの信号に基づいて制
御されているので、特別に位置検出の手段を必要とせず
装置構成が単純であり、変位測定の動作毎に変位量がフ
ィードバックされて最適条件での測定が行える。
いては、レーザー投光部と測定対象物との間に、レーザ
ー光の焦点を前記測定対象物上に保持する焦点位置制御
機構を設けているので、測定対象物上でのレーザー光の
ビーム径が常に一定かつ最小の値に保たれ、必要な測定
範囲の全領域にわたる高精度の測定が可能となる。特
に、請求項２記載の変位測定装置においては、前記焦点
位置制御機構は前記位置検出部からの信号に基づいて制
御されているので、特別に位置検出の手段を必要とせず
装置構成が単純であり、変位測定の動作毎に変位量がフ
ィードバックされて最適条件での測定が行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る変位測定装置の説明図
である。
である。
【図２】従来例に係る変位測定装置の説明図である。
【図３】反射レーザー光の輝度分布を説明するグラフで
ある。
ある。
【図４】反射レーザー光を説明するグラフである。
１０ 変位測定装置 １０ａ レーザー投光部 １１ 集光レンズ １２ 焦点位置制御機構 １３ 測定対象物 １３ａ 測定対象物 １４ 受光レンズ １５ 位置検出素子 １６ ピーク位置検出部 １７ 変位変換部 １８ 出力装置 １９ 焦点位置制御部
Claims (2)
- 【請求項１】 測定対象物にレーザー光を照射するレー
ザー投光部と、該測定対象物から散乱されるレーザー光
の散乱位置を検出する位置検出部とを備えた変位測定装
置において、 前記レーザー投光部と測定対象物との間に、レーザー光
の焦点を前記測定対象物上に保持する焦点位置制御機構
を設けたことを特徴とする変位測定装置。 - 【請求項２】 前記焦点位置制御機構は前記位置検出部
からの信号に基づいて制御される請求項１記載の変位測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2115695A JPH08193810A (ja) | 1995-01-13 | 1995-01-13 | 変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2115695A JPH08193810A (ja) | 1995-01-13 | 1995-01-13 | 変位測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08193810A true JPH08193810A (ja) | 1996-07-30 |
Family
ID=12047056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2115695A Pending JPH08193810A (ja) | 1995-01-13 | 1995-01-13 | 変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08193810A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998051993A1 (fr) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Olympus Optical Co., Ltd. | Dispositif servant a mesurer une hauteur |
| JP2012007897A (ja) * | 2010-06-22 | 2012-01-12 | Pulstec Industrial Co Ltd | ３次元形状測定装置 |
| CN103926554A (zh) * | 2014-05-07 | 2014-07-16 | 国家电网公司 | 智能电能表外观标识一致性检测装置及其方法 |
| JP2014174014A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Mitsutoyo Corp | 形状測定装置 |
| CN104330026A (zh) * | 2014-10-29 | 2015-02-04 | 上海飞机制造有限公司 | 飞机座椅滑轨位置的检测装置及其测量方法 |
-
1995
- 1995-01-13 JP JP2115695A patent/JPH08193810A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998051993A1 (fr) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Olympus Optical Co., Ltd. | Dispositif servant a mesurer une hauteur |
| US6428171B1 (en) | 1997-05-16 | 2002-08-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Height measuring apparatus |
| JP2012007897A (ja) * | 2010-06-22 | 2012-01-12 | Pulstec Industrial Co Ltd | ３次元形状測定装置 |
| JP2014174014A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Mitsutoyo Corp | 形状測定装置 |
| US9989356B2 (en) | 2013-03-08 | 2018-06-05 | Mitutoyo Corporation | Shape measuring apparatus |
| CN103926554A (zh) * | 2014-05-07 | 2014-07-16 | 国家电网公司 | 智能电能表外观标识一致性检测装置及其方法 |
| CN103926554B (zh) * | 2014-05-07 | 2016-06-15 | 国家电网公司 | 智能电能表外观标识一致性检测装置及其方法 |
| CN104330026A (zh) * | 2014-10-29 | 2015-02-04 | 上海飞机制造有限公司 | 飞机座椅滑轨位置的检测装置及其测量方法 |
| CN104330026B (zh) * | 2014-10-29 | 2017-06-09 | 上海飞机制造有限公司 | 飞机座椅滑轨位置的检测装置及其测量方法 |
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