JP2000258130A - 光学式厚み計及び光学式距離計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基準物体が必要なく、位置変化による誤差を
自己調整することにある。 【解決手段】このような光学式距離計および光学式厚み
計を提供するため、距離計１および２から測定対象３ま
での距離を測定し、同時に、距離計１と距離計２の間の
距離も測ることによって、周囲の温度変化および経年変
化等による距離計１および距離計２の位置ずれを知るこ
とができる。これによって、距離計１および距離計２の
位置を校正し、位置ずれによる測定誤差をなくすことが
できる。位置校正方法は基準光源や散乱体などを設け、
これら基準光源や散乱体の光点を受光手段に結像すると
同時に、結像位置は測定対象の結像位置と一致するよう
に基準光源や散乱体の位置を調整する。この結果、基準
光源や散乱体の位置を知ることにより、測定対象の位置
を求めることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、測定対象の厚みを
測定する光学式厚み計及び測定対象までの距離を測定す
る光学式距離計に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０は従来の光学式距離計および光学
式厚み計の原理を説明する図である。

【０００３】二つの光学式距離計２１、２２が互いに向
き合うように配置され、これら光学式距離計２１、２２
の間に、測定対象２３が配置されている。この光学式距
離計２１は、測定対象２３の表面にレーザ光を照射する
レーザ光源２４、測定対象２３の表面からの前記レーザ
光の反射光を集光する集光レンズ２５および測定対象２
３の表面にある前記照射レーザの光点を結像する受光手
段２６などで構成されている。光学式距離計２２も同様
の構成であるので、その説明を省略する。

【０００４】光学式距離計２１のレーザ光源２４から放
射されたレーザ光は、測定対象２３の表面に入射され、
ここで反射された後、集光レンズ２５を通して受光手段
２６に結像される。この受光手段２６は少なくとも１次
元の光強度分布を求めることが可能な固体撮像素子ＣＣ
Ｄまたは半導体位置検出器ＰＳＤ等が用いられている。

【０００５】ところで、このような光学系は、受光手段
２６に結像された像の位置が光学式距離計２１と測定対
象２３の間との距離に応じて変化することから、受光手
段２６の像の位置から光学式距離計２１と測定対象２３
との間の距離Ｄ１を計測することができる。同様に、光
学式距離計２２と測定対象２３との間の距離Ｄ２も光学
式距離計２２の受光手段により計測することができる。
この結果、光学式距離計２１と２２との間の距離Ｌ、Ｄ
１およびＤ２から測定対象２３の厚みＴは下式から求め
ることができる。

【０００６】 Ｔ＝Ｌ−Ｄ１−Ｄ２ （１） この測定方法を利用する場合、周囲の温度変化および経
年の位置変化により光学式距離計２１と２２との間の距
離Ｌも変化するため、このＬを定期的に校正する必要が
ある。この校正方法の一つとしては、両距離計２１、２
２間に厚さＴの既知の基準物を設定し、この基準物の厚
さを計測し、二つの光学式距離計２１と２２との間の距
離Ｌを校正している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、以上のような
計測方法は、基準物が必要であり、また、基準物による
厚み計の校正作業に多大な手間を要する問題がある。

【０００８】本発明は上記のような事情に鑑みなされた
もので、基準物を使用することなく、短時間で厚み測定
及び距離校正を実現する光学式厚み計及び光学式距離計
を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、光源および受光手段を有する二つの光学式
距離計間に測定対象を設置し、当該測定対象の厚さを測
定する光学式厚み計において、前記測定対象の未設置
時、前記一方の光学式距離計の光源から光を照射し、前
記他方の光学式距離計から反射されてくる光の前記受光
手段への結像位置から前記二つの光学式距離計間の距離
を測定する第１の距離測定手段と、前記測定対象の設置
時、前記各光学式距離計の光源からそれぞれ光を照射
し、前記測定対象の各面から反射されてくる光による受
光手段への結像位置から前記測定対象までの距離をそれ
ぞれ測定する二つの第２の距離測定手段とを備え、これ
ら第１および二つの第２の距離測定手段の測定距離から
測定対象の厚みを測定することにある。

【００１０】このような手段を講じたことにより、測定
対象を測定する前に、光学式距離計は対向する他の光学
式距離計までの距離を図ることにより、基準物の必要が
なく、この二つ光学式距離計間の正確な距離を知ること
ができる。この正確な距離データを記憶手段に保存し、
その後の測定に利用される。

【００１１】別の発明は、何れか一方の光学式距離計の
受光手段として、前記測定対象を設置する設置ラインと
平行をなすライン上に二つの受光手段を配置し、そのう
ち一方の受光手段を前記二つの光学式距離計間の距離測
定用とし、他方の受光手段を前記測定対象までの距離測
定用とすることにある。

【００１２】このような手段を講じたことにより、二つ
の受光手段を使うことにより、この受光手段は集光レン
ズから遠く離れることがあっても、測定対象からの光点
の像を結像することができる。従って、測定対象の微少
な位置変化に対して、受光手段上の像の移動が大きいた
め、光学式距離計は精度よく測定対象の位置を測ること
ができる。

【００１３】また、別の発明は、前記二つの受光手段が
前記測定対象の設置ラインと平行をなすライン上に異な
る位置関係をもって配置されている場合、何れかの受光
手段の前方に結像位置補正用レンズを配置したことにあ
る。

【００１４】このような手段を講じたことにより、上記
受光手段は反射されたレーザの照射方向に沿った位置変
化がある時、上記結像位置補正用のレンズにより、二つ
の受光手段における像位置の変化率を一致するように校
正されることが可能になる。

【００１５】さらに、別の発明は、レーザ光を照射する
レーザ光源と、このレーザ光源から照射されるレーザ光
の光軸ラインに対して垂直な方向に設置されるハーフミ
ラーと、このハーフミラーの設置ラインに対して、所定
の距離を隔てて前記レーザ光源の後部側光軸ライン上に
設置される基準光源と、この基準光源から前記ハーフミ
ラーを介して反射される光を結像する受光手段と、前記
レーザ光源によるレーザ光の照射時、前記測定対象を前
後方向に変化させ、当該測定対象から反射されるレーザ
光が前記反射光の同一位置結像により前記測定対象の設
置距離を検出する手段とを備えたことにある。

【００１６】このような手段を講じたことにより、上記
基準光源の基準位置を利用し、測定対象および対向する
他の光学式距離計の基準位置を決めることができる。

【００１７】さらに、別の発明は、レーザ光を照射する
レーザ光源と、このレーザ光源から照射されるレーザ光
の光軸ラインに対して垂直な方向に設置されるハーフミ
ラーと、このハーフミラーの設置ラインに対して、所定
の距離を隔てて前記レーザ光源の前方ライン上に設置さ
れる散乱体と、この散乱体の前方であって前記光軸ライ
ン上に設置されるスリットと、この散乱体から散乱され
るレーザ光が前記ハーフミラーを介して反射される反射
光を結像する受光手段と、前記レーザ光源によるレーザ
光の照射時、前記測定対象を前後方向に変化させ、当該
測定対象から反射されるレーザ光が前記反射光の同一位
置結像により前記測定対象の距離を測定する距離測定手
段とを備えたことにある。

【００１８】このような手段を講じたことにより、前記
散乱体からの光が前記ハーフミラーで反射され、前記受
光手段に結像する。この結果、前記散乱体の基準位置を
利用し、測定対象および対向する他の光学式距離計の基
準位置を決めることができる。

【００１９】さらに、別の発明は、二つの光学式距離計
が互いに向かい合うように配置され、一方の光学式距離
計は、請求項４または請求項５に記載する構成の光学式
距離計が用いられ、他方の光学式距離計は、請求項４、
請求項５に記載する構成の光学式距離計または光源およ
び受光手段をもった光学距離計が用いられ、前記二つの
光学式距離計の出力から当該二つの光学式距離計間に設
置される測定対象の厚みを測定することにある。

【００２０】このような手段を講じたことにより、基準
位置を利用し、前記測定対象の厚みを精度良く測定する
ことができる。

【００２１】さらに、別の発明は、二つの光学式距離計
が互いに向かい合うように配置され、各光学式距離計
は、前記二つの光学式距離計間に配置される測定対象に
光を照射する光源と、この光源を挟んで相反する所定位
置に設置され前記測定対象からの反射光を結像する受光
手段とを備え、前記測定対象の非設定時および設定時の
前記二つの光学式距離計の出力から二つの光学式距離計
間に設定される測定対象の厚みを測定することにある。

【００２２】このような手段を講じたことにより、前記
各光学式距離計の二つの受光手段による二つ測定結果の
平均値を取ることにより、前記測定対象の厚みを精度良
く測定することができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００２４】図１は本発明に係る光学式厚み計の一実施
の形態を示す構成図である。この光学式厚み計は、二つ
の光学式距離計１、２が予め決める距離Ｌをもって、互
いに向き合うように配置されてなる構成である。この光
学式距離計１は、レーザ光を放射するレーサ光源４ａ、
後記する測定対象から反射されてくるレーザ光を集光す
る集光レンズ５ａおよび測定光点を結像する受光手段６
ａなどからなり、もう一方の光学式距離計２も同様であ
って、レーサ光源４ｂ、集光レンズ５ｂおよび受光手段
６ｂなどで構成されている。

【００２５】これら二つの光学式距離計１、２の間には
測定対象３が設定される。Ｄ１、Ｄ２は測定対象３と光
学式距離計１、２との間の距離を示している。

【００２６】次に、以上のような光学式厚み計の動作に
ついて説明する。今光学式距離計１のレーザ光源４ａか
らレーザ光を放射すると、この放射されたレーザ光は、
測定対象３の表面に光点を形成した後、その測定対象３
の表面から反射され、集光レーザ５ａを通って、受光手
段６ａ上の位置Ａに光点が結像される。受光手段６ａ
は、固体撮像素子ＣＣＤまたは半導体位置検出器ＰＳＤ
などで構成される。

【００２７】受光手段６ａ上の結像位置Ａは光学原理に
基づき光学式距離計１と測定対象３との間の距離Ｄ１に
よって決まるものである。従って、結像位置Ａから距離
Ｄ１を測定できる。同様の測定方法により、光学式距離
計２と測定対象３との間の距離Ｄ２も測定することがで
きる。

【００２８】しかる後、上記光学式距離計１、２の間に
設定される測定対象３を外し、光学式距離計１、２の間
の距離Ｌを測定する。この時、光学式距離計２は測定対
象としての役割をもつことになる。図に示すように、光
学式距離計１からのレーザ光により光学式距離計２の表
面に光点が形成される。光学式距離計２の表面から反射
されたレーザ光は光学式距離計１にある集光レーザ５ａ
を通して、後ろにある受光手段６ａ上の位置Ｂに光点が
結像される。従って、位置Ｂを測定することにより距離
Ｌを知ることができる。前記（１）式を利用し、測定対
象３の厚みＴを測定できる。

【００２９】前記距離Ｌを記憶することによって、毎回
距離Ｌを測定する必要がなく、距離Ｄ１、Ｄ２だけを測
定することにより測定対象３の厚みＴを測定できる。た
だし、周囲の温度変化等の影響による光学式距離計１、
２間の距離Ｌの変化も考えられるので、定期的に距離Ｌ
を測定し、常に正確なＬを持つことが必要である。光学
式距離計を利用し、距離Ｌを直接に測定することにより
基準となる測定対象を必要とせず、短時間で基準距離Ｌ
の校正を行うことができる。

【００３０】図２は本発明に係る厚み計の他の実施形態
を示す構成図である。

【００３１】この厚み計は、図１と同様に二つの光学式
距離計１、２が相対するように配置され、光学式距離計
１は受光手段６ａ−１および６ａ−２が設けられてい
る。同じく、光学式距離計２も二つの受光手段６ｂ−１
および６ｂ−２が設けられている。測定対象３の位置は
受光手段６ａ−１で測定され、対向する光学式距離計２
の位置は受光手段６ａ−２で測定される。すなわち、図
３に示すように、二つの受光手段６ａ−１および６ａ−
２を使用するによって、二つの測定範囲、すなわち、測
定範囲ａ及び測定範囲ｂを測定できることから明らかで
ある。一つ受光手段だけを用いる場合、二箇所の光点を
同一結像面上に収めて結像する必要から、集光レンズの
近くに設置する。このため、結像率は小さく、測定精度
に限度がある。

【００３２】本実施の形態では、一つの光学式距離計の
中に二つ受光手段を設け、一箇所の光点だけを結像させ
るようにしたので、受光手段上の結像は大きくなる。言
換えれば、測定光点の単位移動量に対する受光手段の識
別率は高くなり、測定精度を向上させることができる。

【００３３】図４および図５は本発明に係る厚み計の他
の実施形態を示す構成図である。この厚み計は、一つ光
学式距離計の中に二つの受光手段を設けるが、これら二
つの受光手段と集光レンズとの間の距離が同じでない場
合、各受光手段ごとに結像率に差が生じる。このため、
集光レンズと受光手段との間に凹凸レンズ７ａを設け、
結像率を調整することにより結像率の差をなくすことが
できる。

【００３４】図４に示す厚み計においては、受光手段６
ａ−２が受光手段６ａ−１と比較して集光レンズ５ａか
らの距離が長いので、結像率が大きくなる。そこで、受
光手段６ａ−２の前に凹レンズ７ａを設置し、この結像
率を小さくしている。この結果、凹レンズ７ａの位置調
整により、受光手段６ａ−１および受光手段６ａ−２の
位置測定精度を同等にすることができる。光学式距離計
２にある凹レンズ７ｂの役割も同様である。

【００３５】次に、図５に示す厚み計においては、受光
手段６ａ−１が受光手段６ａ−２よりも近い位置に配置
しているので、受光手段６ａ−１の結像率は小さくな
る。この結像率を大きくする場合には、受光手段６ａ−
１の前に凸レンズ８ａを設置する。そして、この凸レン
ズ８ａの位置調整を行うことにより、受光手段６ａ−１
および受光手段６ａ−２の位置測定精度を同等にするこ
とができる。

【００３６】図６は本発明に係る厚み計の他の実施形態
を示す構成図である。

【００３７】この厚み計は、前述同様に二つの光学式距
離計が設置され、便宜上、その一つである光学式距離計
１について述べると、レーザ光源４ａが設けられ、この
光源４ａの光軸ライン上であって光源４ａの後部側に位
置を異ならせて二つの基準光源１０ａ、１０ｂが配置さ
れている。さらに、レーザ光源４ａの前方光軸ラインに
対して垂直な方向で、かつ、光軸より外れた例えば図示
右側ライン方向の位置にハーフミラー９が設置されてい
る。このハーフミラー９の設置ラインと基準光源１０ａ
及び基準光源１０ｂとの垂直距離をそれぞれＬ１、Ｌ２
とする。

【００３８】これら基準光源１０ａ、１０ｂは、同図
（ｂ）に示すように光を発生するＬＥＤ１１及びレーザ
光源４ａによるレーザ光が測定対象に照射された時に生
ずる光点の形状とほぼ同様の大きさの形状となるような
開口部を形成したマスク板１２によって構成されてい
る。

【００３９】従って、以上のような構成によれば、基準
光源１０ａ、１０ｂからの光はハーフミラー９により反
射され、集光レンズ５ａを通してそれぞれ受光手段６ａ
に結像される。一方、レーザ光源４ａのレーザ光は距離
計１の外部にある二箇所の測定対象に照射され、ここで
形成されたレーザ光点の反射レーザ光が集光レンズ５ａ
を通して受光手段６ａの位置Ａ、Ｂに結像される。基準
光源１０ａ、１０ｂからの光点による結像の位置は測定
対象からの光点結像の位置Ａ、Ｂと一致するように、基
準光源１０ａ、１０ｂの位置Ｌ１、Ｌ２を調整し、一致
すれば、上記測定対象の距離はそれぞれＬ１、Ｌ２とな
る。この結果、基準光源１０ａ、１０ｂの位置Ｌ１、Ｌ
２を知ることにより、測定対象の距離を測定することが
できる。よって、このような厚み計の構成により、測定
値の絶対値のずれおよび感度のずれを防ぐことができ
る。

【００４０】図７は本発明の厚み計の他の実施形態を示
す構成図である。この厚み計は、図６に示す基準光源１
０ａ、１０ｂの代わりに散乱体１３ａ、１３ｂを用いた
例である。この散乱体１３ａ、１３ｂは、図７（ｂ）に
示すようにガラス材料が用いられ、これらガラス表面
に、測定対象上のレーザ光点の形を模擬した散乱用キズ
１５を形成し、散乱用キズによりレーザ光を散乱させる
ものである。散乱体１３ａの下方に、投光レンズ１４が
配置されている。この投光レンズ１４は散乱体１３ａ、
１３ｂにより散乱されたレーザ光をもう一度集光し、測
定対象に投光するためである。

【００４１】散乱体１３ａ、１３ｂは上方にあるレーザ
光源４ａからのレーザ光を受け、このレーザ光をハーフ
ミラー上に散乱させ、その後、集光レンズ５ａを通して
受光手段６ａに結像される。一方、散乱体１３ａ、１３
ｂを通過したレーザ光は投光レンズ１４で集光されて測
定対象に投光される。その後、投光された光はハーフミ
ラー９および集光レンズ５ａを通して受光手段６ａに結
像される。

【００４２】散乱体１３ａ、１３ｂからの散乱光による
結像位置と測定対象からの反射光による結像位置を一致
させるように、散乱体１３ａ、１３ｂの位置Ｌ１および
Ｌ２を調整し、一致すれば、上記測定対象の距離はそれ
ぞれＬ１、Ｌ２となる。この結果、散乱体１３ａ、１３
ｂの位置Ｌ１、Ｌ２を知ることにより、測定対象の距離
を測定でき、ひいては、測定値の絶対値のずれおよび感
度のずれを防ぐことができる。

【００４３】図８は本発明の厚み計の他の実施形態を示
す構成図である。

【００４４】この厚み計は、光学式距離計１の内部に二
つ基準光源１０ａ、１０ｂおよび二つ受光手段６ａ−
１、６ａ−２を設置した構成である。

【００４５】このような構成によれば、レーザ光源４ａ
からレーザ光が照射されて測定対象３および距離計２に
入射し、その後、このレーザ光はハーフミラー９および
集光レンズ５ａを通してそれぞれ受光手段６ａ−１のＡ
点、６ａ−２のＢ点に結像される。一方、基準光源１０
ａおよび１０ｂから照射された光は、ハーフミラー面で
反射されて集光レンズ５ａを通してそれぞれ受光手段６
ａ−１および６ａ−２に結像される。基準光源１０ａお
よび１０ｂの光の結像位置がそれぞれ上記位置Ａおよび
Ｂと一致されるように、基準光源１０ａおよび１０ｂを
上下調整する。光学原理によると、基準光源１０ａおよ
び１０ｂの結像位置は位置ＡおよびＢと一致すれば、基
準光源１０ａの距離Ｌ１および基準光源１０ｂの距離Ｌ
２はそれぞれ測定対象３の距離Ｄ１および距離計２の距
離Ｌと等しくなる。この結果、距離Ｌ１およびＬ２から
測定距離Ｄ１およびＬを求めることができる。同じ方法
で距離計２により距離Ｄ２を測定する。従って、Ｔ＝Ｌ
−Ｄ１−Ｄ２を利用し、測定対象３の厚みＴを測定でき
る。

【００４６】図９は本発明の厚み計のさらに他の実施形
態に関する構成図である。図９に示すように、この構成
は第１の実施の形態に関する図１の構成の変形である。
距離計１のみを説明すると、レーザ光源４ａを中心とす
る左右対称の位置にそれぞれ集光レンズ５ｌおよび５
ｒ、受光手段６ｌおよび６ｒが設置される。

【００４７】レーザ光源４ａからレーザ光が発射され、
測定対象３および距離計２に当たって反射され、その
後、それぞれの集光レンズ５ｌおよび５ｒを通して左右
にある受光手段６ｌおよび６ｒに結像される。この結像
された位置から測定対象３および距離計２の位置を求め
ることができる。同様に、距離計２もこの方法により測
定対象３および距離計１の位置を測定することができ
る。従って、前記の数式を利用して測定対象３の厚みを
求めることができる。

【００４８】また、この図から分かるように、左右受光
手段６ｌおよび６ｒの結像は同一測定光点であるので、
このの結像位置は各自の受光手段の同様の位置にある
が、測定誤差によりこの結像位置はずれることがある。
そのため、測定装置を調整して結像位置のずれをなくす
ことにより、誤差がなく、精度の良い測定が可能とな
る。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、基準物体が必要なく、迅速かつ精度の良い厚み測定
及び距離校正を行うことができる光学式厚み計および光
学式距離計を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる光学式厚み計の一実施の形態を
示す構成図。

【図２】本発明に係わる光学式厚み計の他の形態を示す
構成図。

【図３】図２に示す光学式厚み計の測定範囲を説明する
図。

【図４】本発明に係わる光学式厚み計のさらに他の形態
を示す構成図。

【図５】上記の形態における他の光学式厚み計の省略
図。

【図６】本発明に係わる光学式距離計の一実施の形態を
示す構成図。

【図７】本発明に係わる光学式距離計の他の実施形態を
示す構成図。

【図８】本発明に係わる光学式厚み計のさらに他の実施
形態を示す構成図。

【図９】本発明に係わる光学式厚み計のさらに他の実施
形態を示す構成図。

【図１０】従来の光学式厚み計の構成図。

【符号の説明】

１…光学式距離計 ２…光学式距離計 ３…測定対象 ４ａ、４ｂ…レーザ光源 ５ａ、５ｂ、５ｌ、５ｒ…集光レンズ ６ａ、６ａ−１、６ａ−２…受光手段 ６ｂ、６ｂ−１、６ｂ−２…受光手段 ６ｌ、６ｒ…受光手段 ７ａ、７ｂ…凹レンズ ８ａ…凸レンズ ９…ハーフミラー １０ａ、１０ｂ…基準光源 １２…マスク板 １３ａ、１３ｂ…散乱体 １４…投光レンズ １５…散乱用キズ

フロントページの続き (72)発明者 西川 政光 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 Ｆターム(参考） 2F065 AA06 AA30 BB01 DD00 DD19 EE00 EE01 EE05 FF01 FF09 FF61 GG04 GG13 HH04 HH13 JJ01 JJ05 JJ08 JJ16 JJ25 JJ26 LL00 LL04 PP22 QQ23 QQ28

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源および受光手段を有する二つの光学
   式距離計間に測定対象を設置し、当該測定対象の厚さを
   測定する光学式厚み計において、 前記測定対象の未設定時、前記一方の光学式距離計の光
   源から光を照射し、前記他方の光学式距離計から反射さ
   れてくる光の前記受光手段への結像位置から前記二つの
   光学式距離計間の距離を測定する第１の距離測定手段
   と、 前記測定対象の設定時、前記各光学式距離計の光源から
   それぞれ光を照射し、前記測定対象の各面から反射され
   てくる光による受光手段への結像位置から前記測定対象
   までの距離をそれぞれ測定する二つの第２の距離測定手
   段とを備え、 これら第１および二つの第２の距離測定手段の出力から
   測定対象の厚みを測定することを特徴とする光学式厚み
   計。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の光学式厚み計におい
   て、 何れか一方の光学式距離計の受光手段として、前記測定
   対象の設定ラインと平行をなすライン上に二つの受光手
   段を配置し、そのうち一方の受光手段を前記二つの光学
   式距離計間の距離測定用とし、他方の受光手段を前記測
   定対象までの距離測定用とすることを特徴とする光学厚
   み計。
3. 【請求項３】 請求項２に記載する光学式厚み計におい
   て、 前記二つの受光手段が前記測定対象の設定ラインと平行
   をなすライン上に異なる位置関係をもって配置されてい
   る場合、何れか一方の受光手段の前方に結像位置補正用
   レンズを配置したことを特徴とする光学式厚み計。
4. 【請求項４】 レーザ光を照射するレーザ光源と、 このレーザ光源から照射するレーザ光の光軸ラインに対
   して垂直な方向に設置されるハーフミラーと、 このハーフミラーの設置ラインに対して、所定の距離を
   隔てて前記レーザ光源の後部側光軸ライン上に設置され
   る基準光源と、 この基準光源から前記ハーフミラーを介して反射される
   光を結像する受光手段と、 前記レーザ光源によるレーザ光の照射時、前記測定対象
   を前後方向に変化させ、当該測定対象から反射されるレ
   ーザ光が前記反射光の同一結像位置への結像をもって前
   記測定対象の設定距離を測定する距離測定手段とを備え
   たことを特徴とする光学式距離計。
5. 【請求項５】 レーザ光を照射するレーザ光源と、 このレーザ光源から照射するレーザ光の光軸ラインに対
   して垂直な方向に設置されるハーフミラーと、 このハーフミラーの設定ラインに対して、所定の距離を
   隔てて前記レーザ光源の前方光軸ライン上に設置される
   散乱体と、 この散乱体の前方であって前記光軸ライン上に設置され
   るスリットと、 この散乱体から散乱されるレーザ光が前記ハーフミラー
   を介して反射される反射光を結像する受光手段と、 前記レーザ光源によるレーザ光の照射時、前記測定対象
   を前後方向に変化させ、当該測定対象から反射されるレ
   ーザ光が前記反射光の同一結像位置への結像をもって前
   記測定対象の設定距離を測定する距離測定手段とを備え
   たことを特徴とする光学式距離計。
6. 【請求項６】 二つの光学式距離計が互いに向かい合う
   ように配置され、 一方の光学式距離計は、請求項４または請求項５に記載
   する構成の光学式距離計が用いられ、 他方の光学式距離計は、請求項４、請求項５に記載する
   構成の光学式距離計または光源および受光手段をもった
   光学距離計が用いられ、 これら二つの光学式距離計の出力から当該二つの光学式
   距離計間に設定される測定対象の厚みを測定することを
   特徴とする光学式厚み計。
7. 【請求項７】 二つの光学式距離計が互いに向かい合う
   ように配置され、 各光学式距離計は、前記二つの光学式距離計間に設定さ
   れる測定対象に光を照射する光源と、この光源を挟んで
   相反する所定位置に設置され前記測定対象からの反射光
   を結像する受光手段とを備え、 前記測定対象の非設定時および設定時の前記二つの光学
   式距離計の出力から二つの光学式距離計間に設定される
   測定対象の厚みを測定することを特徴とする光学式厚み
   計。