JP2577234Y2 - レーザー距離計 - Google Patents
レーザー距離計Info
- Publication number
- JP2577234Y2 JP2577234Y2 JP1993059202U JP5920293U JP2577234Y2 JP 2577234 Y2 JP2577234 Y2 JP 2577234Y2 JP 1993059202 U JP1993059202 U JP 1993059202U JP 5920293 U JP5920293 U JP 5920293U JP 2577234 Y2 JP2577234 Y2 JP 2577234Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- laser
- holes
- measured
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、測定精度を向上させた
レーザー距離計に関する。
レーザー距離計に関する。
【０００２】
【従来の技術】距離を非接触で高精度に測定する装置と
して、図８に示すようなレーザー距離計５０が知られて
おり、半導体レーザー素子５１から強度変調して発信さ
れたレーザー光をハーフミラー５２を使用して直角方向
に屈曲させ、レンズ５３及び色フィルター５４を介して
測定対象物５５に照射し、その反射光をレーザー光のみ
を通過させる前記色フィルター５４を通し、更にレンズ
５３によって集光させ、受光センサー５６で電気信号と
して捕らえ、その信号の位相と変調信号の位相差の変化
量で前記測定対象物５５までの距離を測定する構造とな
っている。
して、図８に示すようなレーザー距離計５０が知られて
おり、半導体レーザー素子５１から強度変調して発信さ
れたレーザー光をハーフミラー５２を使用して直角方向
に屈曲させ、レンズ５３及び色フィルター５４を介して
測定対象物５５に照射し、その反射光をレーザー光のみ
を通過させる前記色フィルター５４を通し、更にレンズ
５３によって集光させ、受光センサー５６で電気信号と
して捕らえ、その信号の位相と変調信号の位相差の変化
量で前記測定対象物５５までの距離を測定する構造とな
っている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、前期従
来例に係るレーザー距離計５０においては、通常の測定
対象物のように表面に照射された光が乱反射する物質の
場合には大きな問題は生じないが、測定対象物が例えば
溶鋼のように鏡面状である場合には、正反射光の強度が
強いため、レーザー光が受光部に達したとき、該レーザ
ー光が色フィルター５４とレンズ５３との間で複数回の
反射を起こして、プラス側の測定誤差を生じるという問
題点があった。即ち、レーザー距離計５０は遠方までの
距離を測定するのが目的であるので、遠方からの散乱反
射光を集光させる為のレンズ５３を使用し、その焦点位
置に受光センサー５６を配置している。そして、図８に
示すように、一般には測定対象物５５から乱反射される
光の光軸が測定光軸と平行でない場合には、その光は受
光センサー５６に届かないようになっているが、反射光
が強い場合には、その一部が色フィルター５４とレンズ
５３との間で複数回の反射を繰り返しても受光センサー
５６が検知しえる強度を有し、これを受光センサー５６
が測定値として捕らえることによって、真値より長い測
定結果となり誤差が生じる。そして、前記反射光はレン
ズ５３に入射する角度によって、反射する回数、経路が
異なるので、測定値にプラス側のバラツキが生じてい
た。以上のような理由により、溶鋼等のような表面が鏡
面体のレベル測定には前記従来例に係るレーザー距離計
５０を採用しがたいという問題点があった。本考案はか
かる事情に鑑みてなされたもので、測定対象物が溶鋼の
ような鏡面体であっても、正確に距離を測定できるレー
ザー距離計を提供することを目的とする。
来例に係るレーザー距離計５０においては、通常の測定
対象物のように表面に照射された光が乱反射する物質の
場合には大きな問題は生じないが、測定対象物が例えば
溶鋼のように鏡面状である場合には、正反射光の強度が
強いため、レーザー光が受光部に達したとき、該レーザ
ー光が色フィルター５４とレンズ５３との間で複数回の
反射を起こして、プラス側の測定誤差を生じるという問
題点があった。即ち、レーザー距離計５０は遠方までの
距離を測定するのが目的であるので、遠方からの散乱反
射光を集光させる為のレンズ５３を使用し、その焦点位
置に受光センサー５６を配置している。そして、図８に
示すように、一般には測定対象物５５から乱反射される
光の光軸が測定光軸と平行でない場合には、その光は受
光センサー５６に届かないようになっているが、反射光
が強い場合には、その一部が色フィルター５４とレンズ
５３との間で複数回の反射を繰り返しても受光センサー
５６が検知しえる強度を有し、これを受光センサー５６
が測定値として捕らえることによって、真値より長い測
定結果となり誤差が生じる。そして、前記反射光はレン
ズ５３に入射する角度によって、反射する回数、経路が
異なるので、測定値にプラス側のバラツキが生じてい
た。以上のような理由により、溶鋼等のような表面が鏡
面体のレベル測定には前記従来例に係るレーザー距離計
５０を採用しがたいという問題点があった。本考案はか
かる事情に鑑みてなされたもので、測定対象物が溶鋼の
ような鏡面体であっても、正確に距離を測定できるレー
ザー距離計を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記目的に沿う請求項１
記載のレーザー距離計は、レーザー発信部から強度変調
して発信されたレーザー光を測定対象物に投光し、その
反射レーザー光を色フィルター及びレンズを介して受光
センサーによって受光し、その位相差から前記測定対象
物までの距離を測定するレーザー距離計において、前記
測定対象物側の前記色フィルターの前面に、前記反射レ
ーザー光を散乱通過させると共に、該散乱光の内有効な
一部の光束のみが前記受光センサーに到達可能な、前記
投光されるレーザー光のみが通過する小孔が形成された
孔付き散乱フィルターを設けて構成されている。また、
請求項２記載のレーザー距離計は、請求項１記載のレー
ザー距離計において、前記孔付き散乱フィルターは、反
射光の拡散するスリガラスあるいはパラフィン紙状のも
のによって構成されている。
記載のレーザー距離計は、レーザー発信部から強度変調
して発信されたレーザー光を測定対象物に投光し、その
反射レーザー光を色フィルター及びレンズを介して受光
センサーによって受光し、その位相差から前記測定対象
物までの距離を測定するレーザー距離計において、前記
測定対象物側の前記色フィルターの前面に、前記反射レ
ーザー光を散乱通過させると共に、該散乱光の内有効な
一部の光束のみが前記受光センサーに到達可能な、前記
投光されるレーザー光のみが通過する小孔が形成された
孔付き散乱フィルターを設けて構成されている。また、
請求項２記載のレーザー距離計は、請求項１記載のレー
ザー距離計において、前記孔付き散乱フィルターは、反
射光の拡散するスリガラスあるいはパラフィン紙状のも
のによって構成されている。
【０００５】
【作用】請求項１及び２記載のレーザー距離計において
は、測定対象物側の色フィルターの前面に、反射レーザ
ー光を散乱通過させると共に、該散乱光の内有効な一部
の光束のみが受光センサーに到達可能な、投光されるレ
ーザー光のみが通過する小孔が形成された孔付き散乱フ
ィルターを設けているので、測定対象物から反射して帰
って来るレーザー光は散乱フィルターにより散乱光とな
り、この散乱光の内有効な一部の光束のみが受光センサ
ーに達する。従って、有効な光束以外のものは受光セン
サーに達しえないため、受光センサーが検知することが
できない。一方、入射レーザー光の光軸を通る反射光は
前記孔付き散乱フィルターを通過するが、色フィルター
とレンズとの間で反射を繰り返すことなく、直接受光セ
ンサーに達するので、正確な距離を測定できる。
は、測定対象物側の色フィルターの前面に、反射レーザ
ー光を散乱通過させると共に、該散乱光の内有効な一部
の光束のみが受光センサーに到達可能な、投光されるレ
ーザー光のみが通過する小孔が形成された孔付き散乱フ
ィルターを設けているので、測定対象物から反射して帰
って来るレーザー光は散乱フィルターにより散乱光とな
り、この散乱光の内有効な一部の光束のみが受光センサ
ーに達する。従って、有効な光束以外のものは受光セン
サーに達しえないため、受光センサーが検知することが
できない。一方、入射レーザー光の光軸を通る反射光は
前記孔付き散乱フィルターを通過するが、色フィルター
とレンズとの間で反射を繰り返すことなく、直接受光セ
ンサーに達するので、正確な距離を測定できる。
【０００６】
【実施例】続いて、添付した図面を参照しつつ、本考案
を具体化した実施例につき説明し、本考案の理解に供す
る。ここに、図１は本考案の一実施例に係るレーザー距
離計の概略構成図、図２は孔付き散乱フィルターとして
薄アクリル板を使用したレーザー距離計の反射光量と測
定値バラツキとの関係を示すグラフ、図３は孔付き散乱
フィルターを除いた場合の同一条件での反射光量と測定
値バラツキとの関係を示すグラフ、図４は前記レーザー
距離計を測定対象物である水銀面を振動させた場合の反
射光量（反射強度）と測定値バラツキとの関係を示すグ
ラフ、図５は更に孔付き散乱フィルターを除いた場合の
反射光量と測定値バラツキとの関係を示すグラフ、図６
は測定対象物として鏡を使用し孔付き散乱フィルター付
きのレーザー距離計を用いて測定した反射光量と測定値
バラツキとの関係を示すグラフ、図７は更に孔付き散乱
フィルターを除いた場合の反射光量と測定値バラツキと
の関係を示すグラフである。
を具体化した実施例につき説明し、本考案の理解に供す
る。ここに、図１は本考案の一実施例に係るレーザー距
離計の概略構成図、図２は孔付き散乱フィルターとして
薄アクリル板を使用したレーザー距離計の反射光量と測
定値バラツキとの関係を示すグラフ、図３は孔付き散乱
フィルターを除いた場合の同一条件での反射光量と測定
値バラツキとの関係を示すグラフ、図４は前記レーザー
距離計を測定対象物である水銀面を振動させた場合の反
射光量（反射強度）と測定値バラツキとの関係を示すグ
ラフ、図５は更に孔付き散乱フィルターを除いた場合の
反射光量と測定値バラツキとの関係を示すグラフ、図６
は測定対象物として鏡を使用し孔付き散乱フィルター付
きのレーザー距離計を用いて測定した反射光量と測定値
バラツキとの関係を示すグラフ、図７は更に孔付き散乱
フィルターを除いた場合の反射光量と測定値バラツキと
の関係を示すグラフである。
【０００７】図１に示すように、本考案の一実施例に係
るレーザー距離計１０は、レーザー発信部の一例である
半導体レーザー素子１１と、該半導体レーザー素子１１
からの光の方向を変えるハーフミラー１２と、該ハーフ
ミラー１２の前面に配置された集光レンズ１３及び色フ
ィルター１４と、該色フィルター１４の前面に配置され
た孔付き散乱フィルター１５と、反射レーザー光の検知
を行う受光センサー１６と、図示しない従来装置と同一
構造の制御装置とを有して構成されている。以下、これ
らについて詳しく説明する。
るレーザー距離計１０は、レーザー発信部の一例である
半導体レーザー素子１１と、該半導体レーザー素子１１
からの光の方向を変えるハーフミラー１２と、該ハーフ
ミラー１２の前面に配置された集光レンズ１３及び色フ
ィルター１４と、該色フィルター１４の前面に配置され
た孔付き散乱フィルター１５と、反射レーザー光の検知
を行う受光センサー１６と、図示しない従来装置と同一
構造の制御装置とを有して構成されている。以下、これ
らについて詳しく説明する。
【０００８】前記半導体レーザー素子１１は、前記制御
装置で所定の周波数で強度変調された電気信号を加えら
れることによって、強度変調されたレーザー光を発する
ようになっている。そして、該レーザー光はハーフミラ
ー１２によって略直角に折り曲げられ、集光レンズ１３
及び色フィルター１４を介して鏡面体の一例である測定
対象物１８にレーザー光を照射するようになっている。
ここで、前記色フィルター１４は他の光を著しく減光し
てレーザー光のみを通過させる色フィルターが使用され
ている。
装置で所定の周波数で強度変調された電気信号を加えら
れることによって、強度変調されたレーザー光を発する
ようになっている。そして、該レーザー光はハーフミラ
ー１２によって略直角に折り曲げられ、集光レンズ１３
及び色フィルター１４を介して鏡面体の一例である測定
対象物１８にレーザー光を照射するようになっている。
ここで、前記色フィルター１４は他の光を著しく減光し
てレーザー光のみを通過させる色フィルターが使用され
ている。
【０００９】前記色フィルター１４の前面には孔付き散
乱フィルター１５が配置されているが、該孔付き散乱フ
ィルター１５は、通過するレーザー光を散乱通過させる
半透明のスリガラスあるいはプラスチック、またはパラ
フィン紙からなって、レーザー光の投光軸には小孔１７
が形成されている。従って、レーザー光を測定対象物１
８に照射する場合には前記小孔１７を通り、反射光は、
該孔付き散乱フィルター１５によって散乱されて、該散
乱されたレーザー光の内有効な一部のレーザー光のみ色
フィルター１４及び集光レンズ１３を通して、該集光レ
ンズ１３の焦点位置に配置された受光センサー１６によ
って検知されるようになっている。
乱フィルター１５が配置されているが、該孔付き散乱フ
ィルター１５は、通過するレーザー光を散乱通過させる
半透明のスリガラスあるいはプラスチック、またはパラ
フィン紙からなって、レーザー光の投光軸には小孔１７
が形成されている。従って、レーザー光を測定対象物１
８に照射する場合には前記小孔１７を通り、反射光は、
該孔付き散乱フィルター１５によって散乱されて、該散
乱されたレーザー光の内有効な一部のレーザー光のみ色
フィルター１４及び集光レンズ１３を通して、該集光レ
ンズ１３の焦点位置に配置された受光センサー１６によ
って検知されるようになっている。
【００１０】前記制御装置は周知の構造となって、半導
体レーザー素子１１に所定の周波数に変調された電力を
供給すると共に、前記受光センサー１６によって受光さ
れた光を電気信号に変え、半導体レーザー素子１１に加
えられた信号と比較して、その位相を検知し、測定対象
物１８までの距離をデジタル表示で出力するようになっ
ている。
体レーザー素子１１に所定の周波数に変調された電力を
供給すると共に、前記受光センサー１６によって受光さ
れた光を電気信号に変え、半導体レーザー素子１１に加
えられた信号と比較して、その位相を検知し、測定対象
物１８までの距離をデジタル表示で出力するようになっ
ている。
【００１１】前記孔付き散乱フィルター１５に半透明の
薄アクリル板を使用し、測定対象物を鏡面とした場合の
レーザー距離計１０の測定結果を図２に示すが、反射光
量が実距離値である６６３ｍｍ近傍に収束していること
が分かる。従って、光量の閾値を−４０ｄＢ程度に調整
し、それよりも光量が大であるときの測定値を採ること
によって、正確な距離を測定できる。一方、図３には同
一条件で孔付き散乱フィルター１５を除いた場合の測定
結果を示すが、実距離値６６３ｍｍよりプラス側に大き
なバラツキが生じ、反射光量の閾値を調整しても正確な
距離を測定できないことが分かる。
薄アクリル板を使用し、測定対象物を鏡面とした場合の
レーザー距離計１０の測定結果を図２に示すが、反射光
量が実距離値である６６３ｍｍ近傍に収束していること
が分かる。従って、光量の閾値を−４０ｄＢ程度に調整
し、それよりも光量が大であるときの測定値を採ること
によって、正確な距離を測定できる。一方、図３には同
一条件で孔付き散乱フィルター１５を除いた場合の測定
結果を示すが、実距離値６６３ｍｍよりプラス側に大き
なバラツキが生じ、反射光量の閾値を調整しても正確な
距離を測定できないことが分かる。
【００１２】図４は、レーザー距離計１０を用いて、測
定対象物をバイブレータによって振動を与えた水銀面と
した場合の測定結果を示すが、実距離値１１４１ｍｍ近
傍に反射強度が収束していることが分かる。一方、図５
には同一条件で前記孔付き散乱フィルター１５を除いた
場合の測定結果を示すが、実距離値１１４１ｍｍよりプ
ラス側に大きなバラツキがあることが分かる。
定対象物をバイブレータによって振動を与えた水銀面と
した場合の測定結果を示すが、実距離値１１４１ｍｍ近
傍に反射強度が収束していることが分かる。一方、図５
には同一条件で前記孔付き散乱フィルター１５を除いた
場合の測定結果を示すが、実距離値１１４１ｍｍよりプ
ラス側に大きなバラツキがあることが分かる。
【００１３】図６は、孔付き散乱フィルター１５として
半透明のテープ（商標名：スコッチテープ）を用いた場
合のレーザー距離計１０の測定結果を示すが、実距離値
に収束していることが分かる。図７は、同一条件で前記
孔付き散乱フィルター１５を使用しない場合を示すが、
測定値に大きなバラツキがあることが分かる。
半透明のテープ（商標名：スコッチテープ）を用いた場
合のレーザー距離計１０の測定結果を示すが、実距離値
に収束していることが分かる。図７は、同一条件で前記
孔付き散乱フィルター１５を使用しない場合を示すが、
測定値に大きなバラツキがあることが分かる。
【００１４】
【考案の効果】請求項１及び２記載のレーザー距離計
は、以上の説明からも明らかなように、孔付き散乱フィ
ルターを用いているので、測定対象物が溶鋼等のように
鏡面で、反射光が強い場合であっても、孔付き散乱フィ
ルターによって、反射レーザー光を散乱通過させると共
に、該散乱光の内有効な一部の光束のみが受光センサー
に到達可能となり、その結果、従来のように色フィルタ
ーとレンズとの間で複数回の反射を繰り返すことがな
く、直接受光センサーに到達するため、測定対象物まで
の正確な距離を測定することができる。また、その装置
も極めて簡便であるので、廉価に装置を提供できる。
は、以上の説明からも明らかなように、孔付き散乱フィ
ルターを用いているので、測定対象物が溶鋼等のように
鏡面で、反射光が強い場合であっても、孔付き散乱フィ
ルターによって、反射レーザー光を散乱通過させると共
に、該散乱光の内有効な一部の光束のみが受光センサー
に到達可能となり、その結果、従来のように色フィルタ
ーとレンズとの間で複数回の反射を繰り返すことがな
く、直接受光センサーに到達するため、測定対象物まで
の正確な距離を測定することができる。また、その装置
も極めて簡便であるので、廉価に装置を提供できる。
【図１】本考案の一実施例に係るレーザー距離計の概略
構成図である。
構成図である。
【図２】孔付き散乱フィルターとして薄アクリル板を使
用したレーザー距離計の反射光量と測定値バラツキとの
関係を示すグラフである。
用したレーザー距離計の反射光量と測定値バラツキとの
関係を示すグラフである。
【図３】孔付き散乱フィルターを除いた場合の同一条件
での反射光量と測定値バラツキとの関係を示すグラフで
ある。
での反射光量と測定値バラツキとの関係を示すグラフで
ある。
【図４】前記レーザー距離計の測定対象物である水銀面
を振動させた場合の反射光量と測定値バラツキとの関係
を示すグラフである。
を振動させた場合の反射光量と測定値バラツキとの関係
を示すグラフである。
【図５】孔付き散乱フィルターを除いた場合の反射光量
と測定値バラツキとの関係を示すグラフである。
と測定値バラツキとの関係を示すグラフである。
【図６】測定対象物として鏡を使用し孔付き散乱フィル
ター付きのレーザー距離計を用いて測定した反射光量と
測定値バラツキとの関係を示すグラフである。
ター付きのレーザー距離計を用いて測定した反射光量と
測定値バラツキとの関係を示すグラフである。
【図７】孔付き散乱フィルターを除いた場合の反射光量
と測定値バラツキとの関係を示すグラフである。
と測定値バラツキとの関係を示すグラフである。
【図８】従来例に係るレーザー距離計の概略構成図であ
る。
る。
１０ レーザー距離計 １１ 半導体レーザー素子 １２ ハーフミラー １３ レンズ １４ 色フィルター １５ 孔付き散乱フィルター １６ 受光センサー １７ 小孔 １８ 測定対象物（鏡面体）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−190479（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−302314（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−2010（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−115252（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−52176（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−73685（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01S 17/08 - 17/36
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザー発信部から強度変調して発信さ
れたレーザー光を測定対象物に投光し、その反射レーザ
ー光を色フィルター及びレンズを介して受光センサーに
よって受光し、その位相差から前記測定対象物までの距
離を測定するレーザー距離計において、 前記測定対象物側の前記色フィルターの前面に、前記反
射レーザー光を散乱通過させると共に、該散乱光の内有
効な一部の光束のみが前記受光センサーに到達可能な、
前記投光されるレーザー光のみが通過する小孔が形成さ
れた孔付き散乱フィルターを設けたことを特徴とするレ
ーザー距離計。 - 【請求項２】 前記孔付き散乱フィルターは、反射光の
拡散するスリガラスあるいはパラフィン紙状のものであ
る請求項１記載のレーザー距離計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993059202U JP2577234Y2 (ja) | 1993-09-16 | 1993-10-05 | レーザー距離計 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5519993 | 1993-09-16 | ||
| JP5-55199 | 1993-09-16 | ||
| JP1993059202U JP2577234Y2 (ja) | 1993-09-16 | 1993-10-05 | レーザー距離計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0729488U JPH0729488U (ja) | 1995-06-02 |
| JP2577234Y2 true JP2577234Y2 (ja) | 1998-07-23 |
Family
ID=26396070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993059202U Expired - Fee Related JP2577234Y2 (ja) | 1993-09-16 | 1993-10-05 | レーザー距離計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2577234Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000098033A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-07 | Sokkia Co Ltd | 光波距離計 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52115252A (en) * | 1976-03-24 | 1977-09-27 | Tokyo Optical | Phase equalizer for light wave distance measuring instrument |
| JPS612010A (ja) * | 1984-06-15 | 1986-01-08 | Hoya Corp | 非接触変位検出装置 |
| JPS62190479A (ja) * | 1986-02-17 | 1987-08-20 | Optic:Kk | 光波距離計 |
| JPS6373685U (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-17 | ||
| JPS63302314A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-12-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 光電センサ |
| JPH0252176U (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-13 |
-
1993
- 1993-10-05 JP JP1993059202U patent/JP2577234Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0729488U (ja) | 1995-06-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0279347B1 (en) | Optical axis displacement sensor | |
| JPH11257917A (ja) | 反射型光式センサ | |
| JP2577234Y2 (ja) | レーザー距離計 | |
| JPS6432105A (en) | Angle deviation measuring instrument for flat plate member | |
| JP2765291B2 (ja) | レーザレーダ装置 | |
| JPS5982726A (ja) | ペリクル付基板の異物検査装置 | |
| JPH10339605A (ja) | 光学式距離計 | |
| JP2565274B2 (ja) | 高さ測定装置 | |
| JPH05203413A (ja) | 非接触変位測定方法、非接触変位測定装置及び非接触膜厚測定装置 | |
| JP2585495Y2 (ja) | 変位測定装置 | |
| JP2879242B2 (ja) | レーザ変位計 | |
| JPS5826325Y2 (ja) | 位置検出装置 | |
| JPS6262208A (ja) | 距離測定装置および距離測定方法 | |
| JP3394090B2 (ja) | 変位計 | |
| JP3955400B2 (ja) | 寸法測定装置 | |
| JPH01292203A (ja) | 長さ測定装置 | |
| JPS6217163B2 (ja) | ||
| JP2544789B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JPH0726648Y2 (ja) | 変位測定装置 | |
| JPH03115915A (ja) | 厚み測定装置 | |
| JPH0421109Y2 (ja) | ||
| JPH0357914A (ja) | 光学式プローブ | |
| JP3329950B2 (ja) | 光変位測定装置 | |
| JPH0357912A (ja) | 測距センサー | |
| JPH03252519A (ja) | ミクロン変位計 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980317 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |