JP2585495Y2 - 変位測定装置 - Google Patents
変位測定装置Info
- Publication number
- JP2585495Y2 JP2585495Y2 JP7088292U JP7088292U JP2585495Y2 JP 2585495 Y2 JP2585495 Y2 JP 2585495Y2 JP 7088292 U JP7088292 U JP 7088292U JP 7088292 U JP7088292 U JP 7088292U JP 2585495 Y2 JP2585495 Y2 JP 2585495Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photodetector
- light receiving
- receiving surface
- light
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、測定対象の変位を光学
的に非接触で測定する変位測定装置に関する。
的に非接触で測定する変位測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、本出願人と同一出願人による特
開平２−９３３１６号公報に開示された光学的変位測定
装置の要部を示す図である。この装置によれば、光検出
器５０の受光面５１は、測定対象の反射光の光軸Ｃに対
して所定角度θ傾けた構成である。これにより、透明プ
ラスチックまたはガラス部材によりなる保護面５２での
２次反射光の発生を防止でき、測定対象の変位測定精度
への影響を防止できる。
開平２−９３３１６号公報に開示された光学的変位測定
装置の要部を示す図である。この装置によれば、光検出
器５０の受光面５１は、測定対象の反射光の光軸Ｃに対
して所定角度θ傾けた構成である。これにより、透明プ
ラスチックまたはガラス部材によりなる保護面５２での
２次反射光の発生を防止でき、測定対象の変位測定精度
への影響を防止できる。
【０００３】また、図７に示すものも、本出願人と同一
出願人による実開平１−１４４８０９号公報に開示され
た変位測定装置の要部を示す図である。この装置によれ
ば、光検出素子６０の受光面前面には、結像点の移動方
向に沿ってスリット６１を設けた構成であり、測定対象
の表面状態が大きく異なる境界付近（例えば金属蒸着面
とガラス面の境界）を測定する際においても低反射率の
ガラス面を測定する際、高反射率の金属蒸着面からの周
辺不要光を遮断でき、正確な変位測定を行える。
出願人による実開平１−１４４８０９号公報に開示され
た変位測定装置の要部を示す図である。この装置によれ
ば、光検出素子６０の受光面前面には、結像点の移動方
向に沿ってスリット６１を設けた構成であり、測定対象
の表面状態が大きく異なる境界付近（例えば金属蒸着面
とガラス面の境界）を測定する際においても低反射率の
ガラス面を測定する際、高反射率の金属蒸着面からの周
辺不要光を遮断でき、正確な変位測定を行える。
【０００４】このように、いずれの場合においても夫々
効果を得られるため、考案者はこれらを組み合わせるこ
とにより、光検出器部分での２次反射光の発生を防止し
つつ、測定対象の明暗の境界部分も精度良く測定できる
と思われる装置を試作してみた。この構成は、図８に示
すように、光検出器７０を光軸に対し所定角度傾けると
ともに、光検出器７０の受光面前面にスリット７１を設
けたものである。
効果を得られるため、考案者はこれらを組み合わせるこ
とにより、光検出器部分での２次反射光の発生を防止し
つつ、測定対象の明暗の境界部分も精度良く測定できる
と思われる装置を試作してみた。この構成は、図８に示
すように、光検出器７０を光軸に対し所定角度傾けると
ともに、光検出器７０の受光面前面にスリット７１を設
けたものである。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、この図
８に示す構成では、図中１点鎖線で示す如く、光検出器
７０に入射後の光がスリット７１で反射し、その反射し
た光の一部が光検出器７０に戻ってしまい、正確な測定
を行うことができなかった。
８に示す構成では、図中１点鎖線で示す如く、光検出器
７０に入射後の光がスリット７１で反射し、その反射し
た光の一部が光検出器７０に戻ってしまい、正確な測定
を行うことができなかった。
【０００６】本考案は、上記問題点に鑑みて考案された
ものであり、光検出器での２次反射光の発生を防止で
き、かつ、測定対象の明暗の境界部分も精度良く測定で
きる変位測定装置を提供することを目的としている。
ものであり、光検出器での２次反射光の発生を防止で
き、かつ、測定対象の明暗の境界部分も精度良く測定で
きる変位測定装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本考案の変位測定装置は、測定対象の表面に照射し
たレーザ光の反射・散乱光を光検出器１の受光面２上に
結像させ、前記測定対象の表面の変位を、前記受光面に
おける結像点の移動に対応した光検出器の検出出力とし
て測定する変位測定装置において、請求項１では、前記
光検出器の受光面を光軸に対し所定角度θ１傾斜して設
けるとともに、前記光検出器の受光面前面に該光検出器
に対し所定角度θ２傾斜して設けられ、結像点の移動方
向に沿った開口部４，１１を有するスリット部材３，１
０を配置したことを特徴としている。
め、本考案の変位測定装置は、測定対象の表面に照射し
たレーザ光の反射・散乱光を光検出器１の受光面２上に
結像させ、前記測定対象の表面の変位を、前記受光面に
おける結像点の移動に対応した光検出器の検出出力とし
て測定する変位測定装置において、請求項１では、前記
光検出器の受光面を光軸に対し所定角度θ１傾斜して設
けるとともに、前記光検出器の受光面前面に該光検出器
に対し所定角度θ２傾斜して設けられ、結像点の移動方
向に沿った開口部４，１１を有するスリット部材３，１
０を配置したことを特徴としている。
【０００８】また請求項２では、請求項１記載のスリッ
ト部材に代えて、前記受光面２前面には、並行に波長板
２０および検光子２１の重合体からなるスリットを配置
した構成である。
ト部材に代えて、前記受光面２前面には、並行に波長板
２０および検光子２１の重合体からなるスリットを配置
した構成である。
【０００９】
【作用】図１に示すように、光検出器１の受光面２は、
光軸Ｃに対し所定角度θ１傾斜しており、かつスリット
部材３がこの光検出器１に対しθ２傾斜しているため、
受光面２での反射光は、スリット部材３に反射した後、
光検出器１から遠ざかる方向に反射し、再び受光面２に
入射することがなく、光検出器１の直線性を向上でき
る。また、スリット部材３により、このスリットと交差
する方向の周辺不要光は、このスリットによって遮られ
るので、測定点周辺の表面状態の影響を受けることがな
い。
光軸Ｃに対し所定角度θ１傾斜しており、かつスリット
部材３がこの光検出器１に対しθ２傾斜しているため、
受光面２での反射光は、スリット部材３に反射した後、
光検出器１から遠ざかる方向に反射し、再び受光面２に
入射することがなく、光検出器１の直線性を向上でき
る。また、スリット部材３により、このスリットと交差
する方向の周辺不要光は、このスリットによって遮られ
るので、測定点周辺の表面状態の影響を受けることがな
い。
【００１０】
【実施例】図１は、本考案の変位測定装置の第１実施例
を示す側断面図、図２は同斜視図である。これらの図に
示す如く、光検出器１の受光面２は、測定光の光軸Ｃに
対して所定角度θ１傾けた構成である。また、受光面２
の前面には、透明プラスチックまたはガラス部材により
なる保護面５が設けられる。
を示す側断面図、図２は同斜視図である。これらの図に
示す如く、光検出器１の受光面２は、測定光の光軸Ｃに
対して所定角度θ１傾けた構成である。また、受光面２
の前面には、透明プラスチックまたはガラス部材により
なる保護面５が設けられる。
【００１１】また、光検出器１の受光面２前面には、ス
リット部材３が設けられる。このスリット部材３には、
受光面２における結像点の移動方向に沿ってスリットと
しての開口部４が開口形成されている。この開口部４の
幅は、スポット径と同一に形成されている。また、スリ
ット部材３は、側面でみて折曲形成されており、開口部
４を挟んで下方のスリット部材３ａは、光検出器１と並
行に設けられるとともに、開口部４を挟んで上方のスリ
ット部材３ｂは、光検出器１の傾斜方向とは逆方向に所
定角度θ２傾斜して設けられる。
リット部材３が設けられる。このスリット部材３には、
受光面２における結像点の移動方向に沿ってスリットと
しての開口部４が開口形成されている。この開口部４の
幅は、スポット径と同一に形成されている。また、スリ
ット部材３は、側面でみて折曲形成されており、開口部
４を挟んで下方のスリット部材３ａは、光検出器１と並
行に設けられるとともに、開口部４を挟んで上方のスリ
ット部材３ｂは、光検出器１の傾斜方向とは逆方向に所
定角度θ２傾斜して設けられる。
【００１２】これにより、スリット部材３の開口部４に
より、測定対象の表面状態が大きく異なる境界付近（例
えば金属蒸着面とガラス面の境界）を測定する際におい
ても低反射率のガラス面を測定する際、高反射率の金属
蒸着面からの周辺不要光を遮断でき、正確な変位測定を
行える。
より、測定対象の表面状態が大きく異なる境界付近（例
えば金属蒸着面とガラス面の境界）を測定する際におい
ても低反射率のガラス面を測定する際、高反射率の金属
蒸着面からの周辺不要光を遮断でき、正確な変位測定を
行える。
【００１３】また、光検出器１が光軸Ｃに対し所定角度
θ１傾斜しているため、保護面５２での２次反射光が受
光面に入ることを防止でき、測定対象の変位測定精度へ
の影響を防止できる。
θ１傾斜しているため、保護面５２での２次反射光が受
光面に入ることを防止でき、測定対象の変位測定精度へ
の影響を防止できる。
【００１４】さらに、光検出器１に入射した光の反射光
は、再び外方に反射するが、この反射光は、図１の一点
鎖線で示す如く、一方のスリット部材３ｂ側に向かう
が、このスリット部材３ｂは、所定角度θ２外方に傾斜
しているため、スリット部材３ｂでの反射光は、光検出
器１の受光面２から遠ざかる方向に反射し、受光面２に
再度入射せず、測定対象の変位測定精度への影響を防止
できる。これにより、スリット部材３ｂでの再反射がな
くなり、光検出器１の直線性（受光面２上での光軸の移
動方向に対する検出出力の誤差特性）が大幅に改善され
た。
は、再び外方に反射するが、この反射光は、図１の一点
鎖線で示す如く、一方のスリット部材３ｂ側に向かう
が、このスリット部材３ｂは、所定角度θ２外方に傾斜
しているため、スリット部材３ｂでの反射光は、光検出
器１の受光面２から遠ざかる方向に反射し、受光面２に
再度入射せず、測定対象の変位測定精度への影響を防止
できる。これにより、スリット部材３ｂでの再反射がな
くなり、光検出器１の直線性（受光面２上での光軸の移
動方向に対する検出出力の誤差特性）が大幅に改善され
た。
【００１５】次に、図３は本考案の第２実施例を示す図
である。この図に示すように、開口部１１を有するスリ
ット部材１０が側面でみて直線状の構成であってもよ
く、このスリット部材１０が光検出器１に対し所定角度
θ２傾斜した構成としても良い。この場合でも、第１実
施例同様の作用効果を得ることができる。
である。この図に示すように、開口部１１を有するスリ
ット部材１０が側面でみて直線状の構成であってもよ
く、このスリット部材１０が光検出器１に対し所定角度
θ２傾斜した構成としても良い。この場合でも、第１実
施例同様の作用効果を得ることができる。
【００１６】また、図４の側断面図および図５の斜視図
に示す第３実施例では、光検出器１と並行にλ／２板で
成る波長板２０および検光子２１の重合体スリットを配
置し、これら波長板２０と検光子２１の中央には開口部
２２を開口形成する。光検出器１で反射した光は、波長
板２０通過後、偏光方向が９０度回転して検出子２１を
通過するので、重合体スリットで光が反射し再び光検出
器に入るという現象は発生しない。また、重合体スリッ
トに入射する周辺不要光は、Ｘ１の偏光方向の光を遮断
しＸ１と直交する偏光方向の光を通過するように設定し
てある検出子２１で遮断されるので、第１実施例同様の
作用効果を得ることができる。
に示す第３実施例では、光検出器１と並行にλ／２板で
成る波長板２０および検光子２１の重合体スリットを配
置し、これら波長板２０と検光子２１の中央には開口部
２２を開口形成する。光検出器１で反射した光は、波長
板２０通過後、偏光方向が９０度回転して検出子２１を
通過するので、重合体スリットで光が反射し再び光検出
器に入るという現象は発生しない。また、重合体スリッ
トに入射する周辺不要光は、Ｘ１の偏光方向の光を遮断
しＸ１と直交する偏光方向の光を通過するように設定し
てある検出子２１で遮断されるので、第１実施例同様の
作用効果を得ることができる。
【００１７】
【考案の効果】本考案の変位測定装置によれば、光検出
器の受光面は、光軸に対し所定角度傾斜し、かつスリッ
ト部材がこの光検出器に対し傾斜した構成であるため、
受光面での反射光は、スリット部材に反射した後、光検
出器から遠ざかる方向に反射し、再び受光面に入射する
ことがなく、光検出器の直性性を向上できる効果があ
る。また、スリット部材により、このスリットと交差す
る方向の周辺不要光は、このスリットによって遮られる
ので、測定点周辺の表面状態の影響を受けることがな
く、測定対象の明暗の境界部分も精度良く測定できる効
果を有する。
器の受光面は、光軸に対し所定角度傾斜し、かつスリッ
ト部材がこの光検出器に対し傾斜した構成であるため、
受光面での反射光は、スリット部材に反射した後、光検
出器から遠ざかる方向に反射し、再び受光面に入射する
ことがなく、光検出器の直性性を向上できる効果があ
る。また、スリット部材により、このスリットと交差す
る方向の周辺不要光は、このスリットによって遮られる
ので、測定点周辺の表面状態の影響を受けることがな
く、測定対象の明暗の境界部分も精度良く測定できる効
果を有する。
【図１】本考案の変位測定装置の第１実施例を示す側断
面図。
面図。
【図２】同実施例の斜視図。
【図３】第２実施例を示す斜視図。
【図４】第３実施例の側断面図。
【図５】同第３実施例の斜視図。
【図６】従来例である検出器を傾けた状態を示す側断面
図。
図。
【図７】同従来の光検出器前面にスリットを設けた状態
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図８】同従来技術による光検出器を傾けスリットを設
けた状態を示す側断面図。
けた状態を示す側断面図。
１…光検出器、２…受光面、３，１０…スリット部材、
４，１１…開口部、２０…波長板、２１…検光子。
４，１１…開口部、２０…波長板、２１…検光子。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01C 3/00 - 3/32 G01B 11/00 - 11/30
Claims (2)
- 【請求項１】 測定対象の表面に照射したレーザ光の反
射・散乱光を光検出器（１）の受光面（２）上に結像さ
せ、前記測定対象の表面の変位を、前記受光面における
結像点の移動に対応した光検出器の検出出力として測定
する変位測定装置において、 前記光検出器の受光面を光軸に対し所定角度（θ１）傾
斜して設けるとともに、 前記光検出器の受光面前面に該光検出器に対し所定角度
（θ２）傾斜して設けられ、結像点の移動方向に沿った
開口部（４，１１）を有するスリット部材（３，１０）
を配置したことを特徴とする変位測定装置。 - 【請求項２】前記請求項１記載のスリット部材に代え
て、前記受光面（２）前面には、並行に波長板（２０）
および検光子（２１）の重合体からなるスリットを配置
した変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7088292U JP2585495Y2 (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | 変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7088292U JP2585495Y2 (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | 変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0635907U JPH0635907U (ja) | 1994-05-13 |
| JP2585495Y2 true JP2585495Y2 (ja) | 1998-11-18 |
Family
ID=13444359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7088292U Expired - Fee Related JP2585495Y2 (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | 変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2585495Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5114120B2 (ja) * | 2007-07-11 | 2013-01-09 | 株式会社ミマキエンジニアリング | 印刷装置の調整方法及び光軸調整方法 |
-
1992
- 1992-10-12 JP JP7088292U patent/JP2585495Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0635907U (ja) | 1994-05-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0279347B1 (en) | Optical axis displacement sensor | |
| JP2621430B2 (ja) | 光センサー | |
| US5719670A (en) | Integrated direction finder | |
| JP2589278Y2 (ja) | シート形態の対象物を検出する装置 | |
| JPH0652170B2 (ja) | 光結像式非接触位置測定装置 | |
| JP2585495Y2 (ja) | 変位測定装置 | |
| US7071460B2 (en) | Optical non-contact measuring probe | |
| JP2666032B2 (ja) | 散乱光と散乱角度分布の測定方法 | |
| JPH05332769A (ja) | 光学式変位計 | |
| JP2577234Y2 (ja) | レーザー距離計 | |
| JPS5948324B2 (ja) | 光反射による傾角検出あらさ測定方法 | |
| JPH06167305A (ja) | 光変位計 | |
| JP3357452B2 (ja) | レーザ光を用いた測定装置 | |
| JPH0729452Y2 (ja) | 変位測定装置 | |
| JP2000121388A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JPH07113547B2 (ja) | 試料面位置測定装置 | |
| JPH0530084Y2 (ja) | ||
| JP2565274B2 (ja) | 高さ測定装置 | |
| JPH0783619A (ja) | レーザ変位計 | |
| JP3955400B2 (ja) | 寸法測定装置 | |
| JP3329950B2 (ja) | 光変位測定装置 | |
| JPH04130239A (ja) | 動的面出入り測定装置 | |
| SU1753261A1 (ru) | Способ измерени пр мого угла призм БР-180 @ | |
| JPH05118879A (ja) | 位置検出装置 | |
| JPH0678889B2 (ja) | 高さ測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323532 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |