JP2017223602A - 光干渉測定装置及び光干渉測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光を出射する光源と、参照光路に配置される参照ミラー及び入射した光を前記参照光路と測定光路とに分岐するとともに参照ミラーを経た反射光と測定光路に配置された測定対象物を経た反射光とを合成した合成光を出力するビームスプリッタを備える干渉対物レンズと、合成光が結像した画像を撮像する撮像手段と、干渉対物レンズと光源及び撮像手段との間の光路上に、干渉対物レンズの光軸方向に移動が可能な絞りと、を備える。
【選択図】図2
Description
12 コリメータレンズ 20、32 ビームスプリッタ
30 干渉対物レンズ 31 対物レンズ 33 参照ミラー
40 結像レンズ 50 撮像手段 60、61 絞り
65 焦点位置 80 光軸 81 入射光
82 反射光 90 主光線 100 測定装置
110 画像測定装置 111 架台 112 試料台
113a、113b 支持アーム 114 X軸ガイド
115 撮像ユニット 115a 画像光学ヘッド
115b 光干渉光学ヘッド 120 コンピュータシステム
121 コンピュータ本体 121a CPU
121b 記憶部 121c ワークメモリ
121d、121e、121f、121g インタフェース
121h 表示制御部 122 キーボード
123 ジョイスティックボックス 124 マウス
125 ディスプレイ
Claims (11)
- 光を出射する光源と、
参照光路に配置される参照ミラーと、入射した前記光を前記参照光路と測定光路とに分岐するとともに前記参照ミラーを経た反射光と前記測定光路に配置された測定対象物を経た反射光とを合成した合成光を出力するビームスプリッタと、を備える干渉対物レンズと、
前記合成光が結像した画像を撮像する撮像手段と、
前記干渉対物レンズと前記光源及び前記撮像手段との間の光路上に、前記干渉対物レンズの光軸方向に移動が可能な絞りと、
を備えることを特徴とする光干渉測定装置。 - 前記参照ミラーを形状の異なる別の参照ミラーに交換又は切替可能であることを特徴とする請求項1に記載の光干渉測定装置。
- 前記絞りが前記干渉対物レンズの前記撮像手段側の焦点位置より前記撮像手段側に位置し、前記参照ミラーが凸形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光干渉測定装置。
- 前記絞りが前記干渉対物レンズの前記撮像手段側の焦点位置より前記干渉対物レンズ側に位置し、前記参照ミラーが凹形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光干渉測定装置。
- 前記絞りと前記撮像手段との間の光路上に、焦点位置を前記絞りの位置に移動可能な結像レンズを備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の光干渉測定装置。
- 前記光源と前記絞りとの間の光路上に、焦点位置を前記絞りの位置に移動可能なコリメータレンズを備えることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の光干渉測定装置。
- 前記干渉対物レンズは、マイケルソン型、ミロー型又はリニーク型の構成をとっていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の光干渉測定装置。
- 光を出射する光源と、
参照光路に配置される参照ミラーと、入射した前記光を前記参照光路と測定光路とに分岐するとともに前記参照ミラーを経た反射光と前記測定光路に配置された測定対象物を経た反射光とを合成した合成光を出力するビームスプリッタと、を備える干渉対物レンズと、
前記合成光が結像した画像を撮像する撮像手段と、
前記干渉対物レンズと前記光源及び前記撮像手段との間の光路上に、前記干渉対物レンズの光軸方向に移動が可能な絞りと、
を備える光干渉測定装置を用いた光干渉測定方法において、
前記測定対象物が凸形状の場合は、前記絞りを前記干渉対物レンズの前記撮像手段側の焦点位置より前記撮像手段側に、前記測定対象物が凹形状の場合は、前記絞りを前記干渉対物レンズの前記撮像手段側の焦点位置より前記干渉対物レンズ側に、移動させて測定を行う光干渉測定方法。 - 前記測定対象物が凸形状の場合は凸形状の前記参照ミラーを用い、前記測定対象物が凹形状の場合は凹形状の前記参照ミラーを用いることを特徴とする請求項8に記載の光干渉測定方法。
- 前記絞りと前記撮像手段との間の光路上に設けられた結像レンズの焦点位置を、前記絞りの位置に移動して測定を行うことを特徴とする請求項8又は9に記載の光干渉測定方法。
- 前記光源と前記絞りとの間の光路上に設けられたコリメータレンズの焦点位置を、前記絞りの位置に移動して測定を行うことを特徴とする請求項8から10のいずれか1項に記載の光干渉測定方法。
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