JP2010190722A - 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検出光路を偏光分岐して少なくても一つ以上の光路にてアレイ状の空間フィルタを配置し、正常パターンからの回折光や散乱光をフィルタリングすることを特徴とする。また、正常パターンの散乱光量に応じて照明光量或いは/及び検出効率を画像検出中に制御することにより明るさの飽和を抑制した画像を得る。
【選択図】図1
Description
また、微小欠陥の散乱光確保のために照明光強度を高くした場合においても、散乱光量の多い正常パターン画像の明るさ飽和を低減することが可能であり、欠陥の捕捉率を向上することが可能となる。
以上の実施例で示した構成や機能及び画像処理内容については、様々な組合せが考えられるが、それらの組合せについても本発明の範囲内であることは明らかである。
Claims (19)
- 試料表面上にパターンが形成された該試料の表面上の欠陥を検出する欠陥検出装置において、
光を放出する光源部と、前記試料表面から引いた法線に対して所定の角度で該光を前記試料に照射する照明部とを含む照明光学系と、
前記試料上に該光が照射されている照明領域から放出される散乱光、あるいは回折光を捕捉する光捕捉手段と、
前記光捕捉手段に捕捉された光を受光し、該光を第1の方向と前記第1の方向に直交する第2の方向とに偏光分岐する手段と、
前記偏光分岐された光の少なくても1つ以上の光路において、該分岐された光の一部を遮光する遮光手段と、を有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1において、
前記偏光分岐された光をそれぞれの像面にイメージセンサを配置して画像を検出する手段と、
前記それぞれの像面より得られた画像の特徴量を比較処理して欠陥候補を判定する画像処理部と、をさらに有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項2において、
前記照明領域の移動は、前記試料を水平面内で走査する走査部により行うことを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1において、
前記遮光手段は、液晶、或いは電気光学素子、或いは磁気光学素子、或いはMEMSを用いた空間変調素子であることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項4において、
前記遮光手段は、前記偏光分岐された光が透過する構造を有する空間変調素子がアレイ状に配置されてなることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項4において、
前記遮光手段は、前記偏光分岐された光が反射される構造を有する空間変調素子がアレイ状に配置されてなることを特徴とする欠陥検査装置。 - 試料表面上にパターンが形成された該試料の表面上の欠陥を検出する欠陥検出装置において、
光を放出する光源部と、前記試料表面から引いた法線に対して所定の角度で該光を前記試料に照射する照明部とを含む照明光学系と、
前記試料上に該光が照射されている照明領域から放出される散乱光、あるいは回折光を捕捉する対物レンズと、
前記対物レンズにて形成される結像面に、画素毎に光量を変調可能な素子を有するイメージセンサを配置して画像を検出する手段と、
前記結像面より得られた画像の特徴量を比較処理して欠陥候補を判定する画像処理部と、を有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項7において、
前記光量を変調可能な素子は、画素毎に透過率が変調可能な素子であることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項7において、
前記光量を変調可能な素子は、透過軸が変調可能な検光子であることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項8または9において、
前記イメージセンサは、その受光面にワイヤグリッドあるいはフォトニック結晶からなる偏光子を設けていることを特徴とする欠陥検査装置。 - 試料表面上にパターンが形成された該試料の表面上の欠陥を検出する欠陥検出装置において、
前記試料に光を照射して前記試料の位置と前記試料からの散乱光量を予め測定する測定部と、
前記測定により得られた値より前記試料の位置ごとの照明光量を算出する算出部を有し、
前記位置ごとの照明光量に応じて強度変調した光を前記試料表面から引いた法線に対して斜方より線状に照明する照明部と、
前記試料上に該光が照射されている照明領域から放出される散乱光、あるいは回折光を捕捉する対物レンズと、
前記対物レンズにて形成される結像面にイメージセンサを配置して画像を検出する手段と、
前記結像面より得られた画像の特徴量を比較処理して欠陥候補を判定する画像処理部と、を有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項11において、
前記照明部の強度変調手段は、電気光学素子と偏光ビームスプリッタを組み合わせた構成であることを特徴とする欠陥検査装置。 - 試料表面上にパターンが形成された該試料の表面上の欠陥を検出する欠陥検出方法において、
前記試料を水平な面内にて走査しながら、前記試料の法線に対して斜方より線状な照明光にて照明し、
前記照明光により照明された前記試料上の照明領域からの散乱光や回折光を対物レンズにて捕捉し、
前記捕捉された光を偏光分岐手段にて複数光路に分岐し、
前記複数分岐された少なくても1つ以上の光路にアレイ状の空間変調素子を配置して前記捕捉された光の一部を遮光し、
前記空間変調素子にて遮光されなかった光を前記分岐したそれぞれの光路の結像面に結像し、
前記結像面のそれぞれにイメージセンサを配置して複数の画像をほぼ同時に検出し、
前記検出した複数画像より得られた特徴量を比較処理して欠陥候補を判定することを特徴とする欠陥検査方法。 - 試料表面上にパターンが形成された該試料の表面上の欠陥を検出する欠陥検出方法において、
前記試料を水平な面内にて走査しながら、前記試料の法線に対して斜方より線状な照明光にて照明し、
前記照明光により照明された前記試料上の照明領域からの散乱光や回折光を対物レンズにて捕捉して結像面に結像し、
前記結像面に画素毎に光量を変調可能な素子を有するイメージセンサを配置して画像を検出し、
前記画像より得られた特徴量を比較処理して欠陥候補を判定することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項14において、
前記光量を変調可能な素子は、画素毎に透過率が変調可能な素子であることを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項14において、
前記光量を変調可能な素子は、透過軸が変調可能な検光子であることを特徴とする欠陥検査方法。 - 試料表面上にパターンが形成された該試料の表面上の欠陥を検出する欠陥検出方法において、
前記試料の位置と散乱光量を予め測定する機能を有し、
測定された前記試料の位置と散乱光量に基づいて強度変調した光を前記試料の法線に対して斜方より線状に照明し、
前記照明された領域からの散乱光や回折光を対物レンズにて捕捉して結像面に結像し、
前記結像面に配置したイメージセンサにて画像を検出し、
前記画像より得られた特徴量を比較処理して欠陥候補を判定することを特徴とする欠陥検査方法。 - 試料表面上にパターンが形成された該試料の表面上の欠陥を検出する欠陥検出方法において、
前記試料をステージ上に載置し、
前記試料に光を照射し、前記ステージを漸次移動させながら前記試料の位置と、前記試料からの散乱光量を予め測定するプレスキャンを前記試料に対して行い、
前記測定結果による試料の位置と散乱光量に基づいて、前記試料に照射する照明光量を決定し、前記照明光量を用いることにより前記試料に照射した照射領域から放出される散乱光、あるいは回折光の検出光量を調節することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項18において、
照明された前記試料上の照明領域からの散乱光や回折光を対物レンズにて捕捉して結像面に結像し、
前記結像面に配置したイメージセンサにて画像を検出し、
前記結像面より得られた画像の特徴量を比較処理して欠陥候補を判定することを特徴とする欠陥検査方法。
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