JP4485910B2 - 外観検査装置 - Google Patents
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- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
- G03F1/84—Inspecting
Description
15…偏光ビームスプリッタ
16…λ/2板
17…λ/4板
2000…イメージセンサ
Claims (6)
- 試料を保持する試料ステージと、光源と、偏光ビームスプリッタと、対物レンズと、前記偏光ビームスプリッタと対物レンズの間に配置されたλ/4板と、結像光学系と、イメージセンサとを備え、前記光源からの照明光を前記偏光ビームスプリッタ、λ/4板及び対物レンズを通して前記試料ステージに保持された試料に照射し、試料からの反射光を前記対物レンズ、λ/4板及び偏光ビームスプリッタを通して前記結像光学系に導き、前記イメージセンサ上に結像する外観観察装置において、
前記イメージセンサはリニアイメージセンサであり、
前記偏光ビームスプリッタ上に投影された前記リニアイメージセンサの視野のチャンネル方向に対して、前記光源からの照明光の前記偏光ビームスプリッタへの入射方向が概ね平行であること、を特徴とする外観検査装置。 - 請求項1記載の外観検査装置において、前記光源はレーザ光源であることを特徴とする外観検査装置。
- 試料を保持する試料ステージと、光源と、偏光ビームスプリッタと、対物レンズと、前記偏光ビームスプリッタと対物レンズの間に配置されたλ/2板と、結像光学系と、イメージセンサとを備え、前記光源からの照明光を前記偏光ビームスプリッタ、λ/2板及び対物レンズを通して前記試料ステージに保持された試料に照射し、試料からの反射光を前記対物レンズ、λ/2板及び偏光ビームスプリッタを通して前記結像光学系に導き、前記イメージセンサ上に結像する外観観察装置において、
前記イメージセンサはリニアイメージセンサであり、
前記偏光ビームスプリッタ上に投影された前記リニアイメージセンサの視野のチャンネル方向に対して、前記光源からの照明光の前記偏光ビームスプリッタへの入射方向が概ね平行であること、を特徴とする外観検査装置。 - 請求項3記載の外観検査装置において、前記光源はレーザ光源であることを特徴とする外観検査装置。
- 試料を保持する試料ステージと、光源と、偏光ビームスプリッタと、対物レンズと、前記偏光ビームスプリッタと対物レンズの間に配置されたλ/4板及びλ/2板と、結像光学系と、イメージセンサとを備え、前記光源からの照明光を前記偏光ビームスプリッタ、λ/4板及びλ/2板並びに対物レンズを通して前記試料ステージに保持された試料に照射し、試料からの反射光を前記対物レンズ、λ/4板及びλ/2板並びに偏光ビームスプリッタを通して前記結像光学系に導き、前記イメージセンサ上に結像する外観観察装置において、
前記イメージセンサはリニアイメージセンサであり、
前記偏光ビームスプリッタ上に投影された前記リニアイメージセンサの視野のチャンネル方向に対して、前記光源からの照明光の前記偏光ビームスプリッタへの入射方向が概ね平行であること、を特徴とする外観検査装置。 - 請求項5記載の外観検査装置において、前記光源はレーザ光源であることを特徴とする
外観検査装置。
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