JP4462222B2 - 表面検査装置 - Google Patents
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Description
また、上記の表面検査装置において、前記照明手段の凹面反射鏡の入射光路と反射光路とを含む面、および、前記受光手段の凹面反射鏡の入射光路と反射光路とを含む面は、互いに直交することが好ましい。
また、上記の表面検査装置において、前記照明手段と前記受光手段との少なくとも一方の光路中には偏光補償用の光学部材が配置されることが好ましい。
また、上記の表面検査装置において、前記直線偏光は紫外光であることが好ましい。
(第1実施形態)
本実施形態の表面検査装置10は、図1に示す通り、被検物体20を支持するステージ11と、照明系13と、受光系14と、画像処理部15とで構成される。
被検物体20は、例えば半導体ウエハや液晶ガラス基板などである。被検物体20の表面(レジスト層)の各点には、図2に示す通り、検査すべき繰り返しパターン22が形成されている。繰り返しパターン22は、配線パターンやホールパターンなどである。繰り返しパターン22のライン部の配列方向(X方向)を「繰り返しパターン22の繰り返し方向」という。なお、繰り返しパターン22がホールパターンの場合、各々のライン部は、複数のホールを一次元的に配列して成る。
繰り返しパターン22の所望の方向は、例えば、照明系13から繰り返しパターン22に照射される照明光L1の入射面3A(図2)を基準とし、この入射面3Aの方向と繰り返しパターン22の繰り返し方向(X方向)との成す角度φによって定められる。本実施形態では、角度φを斜めの角度に設定する(0度<φ<90度)。角度φは例えば45度である。また、角度φは30度〜60度の間の任意の角度に設定することが好ましい。
図1(a)は、入射面3Aを紙面に一致させて示した図である。図1(b)は、図1(a)の装置を側方から見た図であり、入射面3Aは紙面に垂直となっている。図1(b)には入射面3Aの一部を太い点線で示した。
例えば、光源31が水銀ランプの場合、光源31から出射される光の波長域は、240nm〜600nm程度であり、紫外域から可視域までの領域を含む。また、波長選択フィルタ32の透過波長域は、例えば、546nm(e線),436nm(g線),405nm(h線),365nm(i線),313nm(j線),265nm,248nmなどである。不図示の切り替え機構によって、複数の波長選択フィルタ32の何れか1つが光路中に挿入される。
偏光フィルタ34は、ライトガイドファイバ33の射出端近傍に配置され、その透過軸が所定の方位に設定される。そして、ライトガイドファイバ33からの発散光束の照明光(非偏光)を、透過軸の方位に応じた偏光状態(つまり直線偏光)に変換する。偏光フィルタ34の透過軸の方位は、本実施形態において、繰り返しパターン22(図2)に対する照明光L1の入射面3Aと平行である。
本実施形態では、入射光路5Aが入射面3A内に含まれるように、凹面反射鏡35を配置した。この場合、凹面反射鏡35の入射光路5Aと反射光路5Bとを含む面(この面の一部を図1(b)には太い破線5Cで示した)も、入射面3A内に含まれる。このため、ライトガイドファイバ33からの光は入射面3A(図1(a)の紙面)に沿って進行し、凹面反射鏡35を介して繰り返しパターン22に照射される。
そして、図2に示すように、繰り返しパターン22の繰り返し方向(X方向)と、照明光L1の入射面3Aの方向との成す角度φを、斜めの角度(0度<φ<90度)に設定する場合は、被検物体20の表面における照明光L1の振動面の方向(図4)と、繰り返しパターン22の繰り返し方向(X方向)との成す角度も、斜めの角度に設定することができる。この角度は例えば45度であり、30度〜60度の間の任意の角度に設定される。
なお、本実施形態では、繰り返しパターン22のピッチ(例えば110nm)が照明光L1の波長(240nm〜600nm程度の波長域)と比較して十分小さいため、照明光L1が照射されたときに、繰り返しパターン22から回折光が発生することはない。
被検物体20の表面の各点(繰り返しパターン22)から発生した正反射光L2の振動面を模式的に図示すると、例えば図5に矢印で示すようになる。正反射光L2の振動面の回転量θ2は、各々、シグナル成分(繰り返しパターン22での構造性複屈折による振動面の回転量θS)に、図4のノイズ成分(照明光L1の振動面の回転量θ1)が加算された大きさとなっている。
凹面反射鏡36は、照明系13の凹面反射鏡35と同様の構成であり、概略、被検物体20の表面の繰り返しパターン22から発生した正反射光L2(図5)を反射して集光光束に変換する(図1の正反射光L3)。そして、この正反射光L3は、偏光フィルタ37を透過した後、集光レンズ38を介して、撮像素子39の撮像面に入射する。
本実施形態では、反射光路6Bが入射面3Aに交差するように、凹面反射鏡36を配置した。入射面3Aに対する反射光路6Bの傾き角をψとして図1(b)に示した。
凹面反射鏡36の各点に入射する正反射光L2の振動面は、被検物体20の表面の各点(繰り返しパターン22)から発生したときの振動面(例えば図5)と同じであり、その回転量θ2の大きさが、シグナル成分(繰り返しパターン22での振動面の回転量θS)と、図4のノイズ成分(照明系13の凹面反射鏡35での振動面の回転量θ1)とを加算した値に相当する。
このため、凹面反射鏡36からの正反射光L3は、偏光フィルタ37を透過する際に、その透過軸の方位に応じた偏光成分(すなわち直線偏光の照明光L1の振動面に交差する偏光成分)のみが抽出される。この偏光成分は、繰り返しパターン22から発生して凹面反射鏡36で反射した後の正反射光L3の偏光状態(図7の振動面の回転量θ3)に応じた成分であり、本実施形態では正反射光L3の振動面を入射面3Aに直交する面6Cに投影した大きさを有し、集光レンズ38を介して撮像素子39の撮像面に入射する。
撮像素子39は、凹面反射鏡36と集光レンズ38とを介して、被検物体20の表面と共役な位置に配置される。撮像素子39は、例えばCCD撮像素子などであり、撮像面に形成された被検物体20の表面の反射像を光電変換して、画像信号を画像処理部15に出力する。
画像処理部15は、被検物体20の反射画像を取り込むと、その輝度情報と例えば良品サンプルの反射画像の輝度情報とを比較する。良品サンプルとは、理想的な形状で欠陥のない繰り返しパターン22を表面全域に形成したものである。
そして、画像処理部15は、被検物体20の反射画像における輝度値の変化量に基づいて、繰り返しパターン22の欠陥を検出する。例えば、輝度値の変化量が予め定めた閾値(許容値)より大きければ「欠陥」と判定し、閾値より小さければ「正常」と判定すればよい。また、良品サンプルを使わずに、被検物体20の反射画像の中での輝度値の変化量を所定の閾値と比較してもよい。
また、本実施形態の表面検査装置10では、凹面反射鏡36の入射光路6Aと反射光路6Bとを含む面(6C)、および、凹面反射鏡35の入射光路5Aと反射光路5Bとを含む面(5C)が、互いに直交するように配置したので、2種類のノイズ成分(図4,図6の回転量θ1,θ4)の加算によって、最も効率よくノイズ成分のバラツキを抑えることができる。つまり、2種類のノイズ成分(図4,図6の回転量θ1,θ4)の最大値付近と最小値付近とを組み合わせた加算が可能となり、バラツキを最も小さくすることができる。
さらに、照明光L1の波長は、可視域(例えば546nm)でも構わないが、より短波長の紫外域(例えば248nm〜365nmのDUV領域)とすることが好ましい。紫外域の照明光L1を用いれば、被検物体20の下地層からの戻り光(バックグランド成分)を小さくすることができ、可視域の照明光L1を用いる場合と比べて感度の高い欠陥検査を行うことができる。
ここでは、図10に示す表面検査装置40を例に説明する。
表面検査装置40では、照明系13,受光系14の凹面反射鏡35,36の配置(向き)を、凹面反射鏡35の入射光路5Aが入射面3Aに交差して、凹面反射鏡36の反射光路6Bが入射面3A内に含まれるように設定した。入射面3Aに対する入射光路5Aの傾き角をψとして図10(b)に示した。
第2実施形態の表面検査装置40では、発散光束の照明光L0が入射面3Aに対して傾いた方向から凹面反射鏡35に入射し、そこで反射した後、入射面3A内に偏向される。そして、入射面3Aに沿って進行する光(平行光束の照明光L1)が、繰り返しパターン22に照射される。この場合、凹面反射鏡35の各反射点での振動面の回転量は、図6の回転量θ4に略等しくなる。
上記のように構成された第2実施形態の表面検査装置40でも、照明系13と受光系14の配置が入射面3Aに対して非対称なため、光学系(凹面反射鏡35,36)の配置に起因するノイズ成分の加算値(図8の回転量θ1+θ4)のバラツキを小さく抑えることができる。その結果、繰り返しパターン22の欠陥検査を高精度に行うことができる。凹面反射鏡35,36に対する光の入射角度を第1実施形態と同様の角度(例えば15度以下)とした場合、振動面の回転量は第1実施形態と同程度である。
(第3実施形態)
ここでは、図11に示す表面検査装置50を例に説明する。
偏光補償板51は、照明系13の偏光フィルタ34と凹面反射鏡35との間の光路中に傾けて配置される。図11(a)には、凹面反射鏡35の入射光路5Aに対する偏光補償板51の傾き角をαとして示した。
偏光補償板51,52は、偏光補償用の光学部材であり、高屈折率の光学ガラスからなる平行平面板である。高屈折率の光学ガラスとしては、例えばランタンフリント(LaF)系のガラスや重ランタンフリント(LaSF)系のガラスなどを用いることが好ましく、例えば光ガラス(株)製のE−LASFH9(nd=1.90265,νd=35.70)や、(株)オハラ製のS−LAH65(nd=1.80400,νd=46.6)などを用いることが考えられる。また、その他の光学ガラスやアクリルやプラスチックなど、屈折率を有する透明材料であれば、偏光補償板51,52として用いることができる。ただし、偏光補償の性能は、材料の屈折率が大きいほど高くなる。
偏光補償板51に入射する照明光L0が発散光束で、偏光補償板51が入射光路5Aに対して傾いている(傾き角α)ため、偏光補償板51の各点における照明光L0の入射角度は、偏光補償板51の傾き方向に沿って少しずつ異なる。
そして、偏光補償板51を通過した後の照明光L0が凹面反射鏡35に入射し、そこで反射した後の照明光L1が繰り返しパターン22に照射される。
さらに、繰り返しパターン22から発生した正反射光L2は、受光系14の凹面反射鏡36で反射した後(正反射光L3)、偏光補償板52に入射する。
したがって、偏光補償板52を通過させることで、凹面反射鏡36の各反射点での振動面の回転量θ4(図6)を相殺できるような偏光状態の変化(振動面の回転量δ4)を、正反射光L3に付加することができる。
このような受光系14での振動面の回転量(ノイズ成分)は、凹面反射鏡36の各反射点での回転量θ4と、偏光補償板52の各点で付加された回転量δ4とが加算された大きさ(θ4+δ4)となり、例えば図13に示すように図6と比べて非常に小さな値となる。
上記した第3実施形態では、照明系13と受光系14との双方に偏光補償板51,52を配置したが、本発明はこれに限定されない。偏光補償板51,52のうち何れか一方を省略して、照明系13と受光系14との何れか一方のみに偏光補償板を配置しても構わない。偏光補償板を照明系13と受光系14との少なくとも一方の光路中に配置すれば、照明系13と受光系14との少なくとも一方における凹面反射鏡でのノイズ成分を偏光補償板によって相殺することができ、最終的なノイズ成分(例えば図14参照)のバラツキを非常に小さな値に抑えることができる。
さらに、光路中に配置した偏光補償板の姿勢を調整可能とし、図15に示す2つの回転方向γ1,γ2に沿って偏光補償板を回転可能としてもよい。一方の回転方向γ1は、光軸(照明系13の入射光路5Aまたは受光系14の反射光路6Bに対応)を中心とする回転の方向である。他方の回転方向γ2は、光軸に垂直な軸を中心とする回転の方向である。
上記した実施形態では、照明系13の凹面反射鏡35の入射光路5Aと受光系14の凹面反射鏡36の反射光路6Bとの何れか一方が入射面3Aに交差し、他方が入射面3A内に含まれる例を説明したが、本発明はこれに限定されない。凹面反射鏡35の入射光路5Aと凹面反射鏡36の反射光路6Bとの双方を入射面3Aに交差させても構わない。入射光路5Aと反射光路6Bとの少なくとも一方を入射面3Aに交差させれば、照明系13と受光系14の配置を入射面3Aに対して非対称にすることができる。
また、上記した実施形態では、照明系13の凹面反射鏡35の入射光路5Aと反射光路5Bとを含む面(5C)、および、凹面反射鏡36の入射光路6Aと反射光路6Bとを含む面(6C)が、互いに直交する例を説明したが、本発明はこれに限定されない。これら2つの面5C,6Cを直交以外の角度で交差させても、2種類のノイズ成分の加算値において、そのバラツキを小さく抑えることができる。
また、上記した実施形態では、照明系13の偏光フィルタ34の透過軸を照明光L1の入射面3Aと平行に配置した(すなわち照明光L1をp偏光にした)が、本発明はこれに限定されない。照明系13の偏光フィルタ34の透過軸を照明光L1の入射面3Aと垂直に配置して、照明光L1をs偏光にしてもよい。入射面3Aを斜めに横切るように偏光フィルタ34の透過軸を設定しても構わない。
また、上記した実施形態では、繰り返しパターン22からの正反射光L2(L3)に基づいて欠陥検査を行う例で説明したが、本発明はこれに限定されない。正反射光L2(L3)以外の光、例えば繰り返しパターン22からの回折光や、パターンエッジによる散乱光、パターン側面からの反射光などに基づいて、被検物体20の表面の欠陥検査を行う場合にも、本発明を適用できる。
このようなチルト機構を設けることで、被検物体20の表面に対する照明光L1の入射角度と被検物体20の表面から発生する光(回折光や散乱光など)の出射角度とを、欠陥検査の内容に応じて最適に設定することができる。
14 受光系 ; 15 画像処理部 ; 20 被検物体 ; 22 繰り返しパターン ;
31 光源 ; 32 波長選択フィルタ ; 33 ライトガイドファイバ ;
34,37 偏光フィルタ ; 35,36 凹面反射鏡 ; 38 集光レンズ ; 39 撮像素子
3A 入射面 ; 5A,6A 入射光路 ; 5B,6B 反射光路 ; 51,52 偏光補償板
Claims (7)
- 被検物体の表面に直線偏光を照射して前記表面を照明する照明手段と、
前記表面から前記直線偏光の入射面に沿って発生した光のうち、前記直線偏光の振動面に交差する偏光成分を受光する受光手段とを備え、
前記照明手段および前記受光手段の各々の光路中には凹面反射鏡が配置され、
前記照明手段の光路と前記受光手段の光路との少なくとも一方には、前記入射面に交差する光路が含まれる
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項1に記載の表面検査装置において、
前記照明手段および前記受光手段の光路中には前記凹面反射鏡が1つずつ配置され、
前記照明手段の凹面反射鏡の入射光路と前記受光手段の凹面反射鏡の反射光路との少なくとも一方は、前記入射面に交差する光路である
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項2に記載の表面検査装置において、
前記照明手段の凹面反射鏡の入射光路と反射光路とを含む面、および、前記受光手段の凹面反射鏡の入射光路と反射光路とを含む面は、互いに直交する
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項1から請求項3の何れか1項に記載の表面検査装置において、
前記表面に形成された繰り返しパターンの繰り返し方向と前記直線偏光の振動面の前記表面における方向との成す角度を斜めの角度に設定する設定手段を備えた
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項1から請求項4の何れか1項に記載の表面検査装置において、
前記照明手段と前記受光手段との少なくとも一方の光路中には偏光補償用の光学部材が配置される
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項5に記載の表面検査装置において、
前記光学部材の姿勢を調整する調整手段を備えた
ことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項1から請求項6の何れか1項に記載の表面検査装置において、
前記直線偏光が紫外光である
ことを特徴とする表面検査装置。
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