JP2010160079A - 欠陥検査装置およびその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】照明光学系から領域10aと10bとで互いに異なる照明条件の光が照射される。センサ70とセンサ80とは、照明条件が互いに異なる領域10a、10bからの反射光について同時に検査を実行する。試料10の領域10aで散乱された光は、検出レンズ40の対物レンズ40aと空間フィルタ150と結像レンズ40bとを経て、ビームスプリッタ50によって反射され、センサ80にて光電変換される。試料10の領域10bで散乱された光は、検出レンズ40の対物レンズ40aと空間フィルタ100と結像レンズ40bとを経て、ビームスプリッタ50を透過し、収差補正素子60を経てセンサ70にて光電変換される。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の第1の実施形態が適用される欠陥検査装置の全体概略構成図である。
dWcoma=−{TU3(Ubar)(n2−1)}cos(a)/(2n3)=−{T(Ubar)/(f#)3}{(n2−1)/(16n3)}cos(a) ・・・(2)
dWastig=−{TU2(Ubar)2(n2−1)}cos2(a)/(2n3)=−{T(Ubar)2/(f#)2}{(n2−1)/(8n3)}cos2(a) ・・・(3)
例えば、ビームスプリッタとして、厚さ5mm、屈折率1.5のガラスを用い、光路を90度曲げるために、光軸に対して45度傾けて配置するケースでは、検出レンズ40の物体側NAを0.05と仮定すると、球面収差(dWsph)とコマ収差(dWcoma)は無視できるレベルであるが、非点収差(dWastig)が1.0ラムダrms程度生じる。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
Claims (11)
- 検査対象に照明光を照射する照明手段と、
上記照明手段により照明された上記検査対象からの反射光により光学像を形成する結像手段と、
上記結像手段を透過した上記検査対象からの反射光を透過及び反射して2分岐する光路分割手段と、
上記光路分割手段を透過した光の収差を補正する収差補正手段と、
上記収差補正手段により収差が補正され、かつ、上記結像手段により結像された光学像を電気信号に変換する第1の検出手段と、
上記光路分割手段により反射され、かつ、上記結像手段により結像された光学像を電気信号に変換する第2の検出手段と、
上記第1の検出手段及び第2の検出手段からの出力信号に基づいて、上記検査対象上の欠陥を検出する欠陥検出手段と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置において、上記照明手段は、上記検査対象の2つの領域に、互いに異なる照明条件の照明光を照射することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項2記載の欠陥検査装置において、上記光路分割手段は、平板状のビームスプリッタであることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3記載の欠陥検査装置において、上記収差補正手段は、上記光路分割手段を透過した光の光軸に対して傾斜して配置される平板状の光学素子であることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項4記載の欠陥検査装置において、上記収差補正手段である平板状の光学素子は、上記平板状のビームスプリッタが透過する光の光軸に対して傾斜される傾斜角度と同一の傾斜角度で、上記光軸に対して傾斜されていることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3記載の欠陥検査装置において、上記収差補正手段は、上記光路分割手段を透過した光の光軸に対してほぼ直交して配置される光学素子であることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項6記載の欠陥検査装置において、上記収差補正手段は、シリンドリカルレンズであることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項4記載の欠陥検査装置において、上記収差補正手段には、光の透過率を低減させる膜が形成されていることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項8記載の欠陥検査装置において、上記光透過率を低減させる膜は、光透過率が位置によって異なることを特徴とする欠陥検査装置。
- 検査対象上の欠陥を検査する欠陥検査方法において、
検査対象に照明光を照射し、
上記照明手段により照明された上記検査対象からの反射光により光学像が形成されるように光を収束し、
上記検査対象からの反射光を光路分割手段により透過及び反射して2分岐し、
上記光路分割手段を透過した光の収差を収差補正手段により収差補正し、
上記収差補正手段により収差が補正され、かつ、上記結像手段により結像された光学像を第1の検出手段により電気信号に変換し、
上記光路分割手段により反射され、かつ、上記結像手段により結像された光学像を第2の検出手段により電気信号に変換し、
上記第1の検出手段及び第2の検出手段からの出力信号に基づいて、上記検査対象上の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項10記載の欠陥検査方法において、上記検査対象の2つの領域に、互いに異なる照明条件の照明光を照射することを特徴とする欠陥検査方法。
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Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JPH0256740A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ビーム整形装置と光学ヘッド装置 |
JPH11305135A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Hitachi Maxell Ltd | 光学式観察装置 |
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---|---|---|---|---|
JPH0256740A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ビーム整形装置と光学ヘッド装置 |
JPH11305135A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Hitachi Maxell Ltd | 光学式観察装置 |
JP2003172711A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-06-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 画像処理を利用した検査対象物の表面検査 |
JP2008096296A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Lasertec Corp | 異物検査方法及びその異物検査方法を用いた異物検査装置 |
JP2008275540A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査装置および方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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