JP2006250739A - 異物欠陥検査方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
半導体デバイス等の基板上に回路パターンを形成するデバイス製造工程において、製造工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を、高速に高感度で安定して検査できる装置および方法を提供すること。
【解決手段】
表面に透明膜が形成された被検査対象物に対し、複数の照明方向と照明角度を有する照明手段から最適な照明条件を決定して照明し、前記被検査対象物表面に形成されたパターンからのノイズを排除して検出することにより、前記被検査対象物表面および透明膜表面の異物または欠陥の反射散乱光を有効に検出するとともに、検査装置に備えた検出光学系の結像性能確認手段により該検出光学系の結像性能を評価、修正して検出光学系を最良の状態にする。
【選択図】 図1
Description
また、上記異物を検査する技術として、ウェハにコヒーレント光を照射してウェハ上の繰り返しパターンから射出する光を空間フィルタで除去し、繰り返し性を持たない異物や欠陥を強調して検出する方法が開示されている。また、ウェハ上に形成された回路パターンに対して該回路パターンの主要な直線群に対して45度傾けた方向から照射して主要な直線群からの0次回折光を対物レンズの開口内に入射させないようにした異物検査装置が、特開平1−117024号公報(従来技術3)において知られている。この従来技術3においては、主要な直線群ではない他の直線群を空間フィルタで遮光することについても記載されている。また、異物等の欠陥検査装置およびその方法に関する従来技術としては、特開平1−250847号公報(従来技術4)、特開2000−105203号公報(従来技術5)が知られている。特に、従来技術5には、検出光学系を切り換えて検出画素サイズを変えることが記載されている。また、異物のサイズ測定技術としては、特開2001−60607号公報(従来技術6)に開示されている。
次に、検出光学系の倍率を可変にする動作について図4(a)及び(b)を用いて説明する。
従って、倍率可変検出光学系20を倍率Mにするためには、f1は固定値であるから、f2が(M×f1)になる位置に可動レンズを移動することになる。
すなわち、各可動レンズ401、402、403を保持しているレンズ保持部410、420、430の先端に位置決めセンサの可動部415、425、435を、可動レンズ401、402、403の停止位置に位置決めセンサの検出部416、426、436をそれぞれ設け、モータ411、421、431を駆動してレンズ保持部を光軸方向に移動させ、あらかじめ所望の倍率の位置に設けられた各位置決めセンサ416、426、436によって位置決めセンサ可動部415、425、435を検出して位置決めする。なお、位置決めセンサ417、418は可動レンズ401の光軸方向の上限、下限のリミットセンサであり、可動レンズ402、403についても同様にリミットセンサ427,428及び437,438が設置されている。ここで、位置決めセンサとしては、光学的、磁気的センサ等が考えられる。
ここで、画素マージ回路部1305a、1306aは例えば1×1画素をマージするマージオペレータで構成され、画素マージ回路部1305b、1306bは例えば3×3画素をマージするマージオペレータで構成され、画素マージ回路部1305c、1306cは例えば5×5画素をマージするマージオペレータで構成され、…画素マージ回路部1305n、1306nは例えばn×n画素をマージするマージオペレータで構成される。1×1画素をマージするマージオペレータは、入力信号1410、1420をそのまま出力する。
本発明に係る欠陥検査装置に関する実施形態は図17に示すように、検査によって検出された異物は、観察光学系60によって確認可能な構成になっている。この観察光学系60は、ステージ31、32を動かすことにより、観察光学系60の顕微鏡視野の位置に、ウェハ1上の検出した異物(虚報も含む)を移動させ、この画像を観察するものである。
Claims (11)
- 試料表面に照明光束を照射する照明手段と、
該照明手段により照明された前記試料表面からの反射散乱光を対物レンズを介して集光して検出器で検出する検出手段と、
該検出手段の検出器で前記反射散乱光を検出して得た信号を処理して前記試料表面の欠陥を検出する信号処理手段とを備え、
前記検出手段は、前記試料表面からの反射散乱光を集光する集光光学系と該集光光学系の収差を補正する収差補正部とを有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記照明手段は、前記試料表面に高角度方向から照明光束を照射する第1の照明部と、前記試料表面に低角度方向から照明光束を照射する第2の照明部とを有することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記検出手段の集光光学系は反射光学系と屈折光学系とを有し、前記収差補正部は、前記反射光学系の反射条件または前記屈折光学系の屈折条件を変えることにより前記集光光学系の収差を補正することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記検出手段の集光光学系は結像倍率可変部を更に有し、該結像倍率可変部は、前記対物レンズを前記検出器との位置を一定にした状態で前記集光光学系の結像倍率を変化させることを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記照明手段は、前記照明光束を一方向に長い形状に成形して前記試料表面に対して傾斜した方向から照射することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記検出手段の検出器は検出信号を並列に出力する時間遅延型積分センサであり、前記信号処理手段は前記時間遅延型積分センサから並列に出力された信号を並列に処理することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 試料表面に照明光束を照射し、
該照明された前記試料表面からの反射散乱光を集光光学系を介して集光して前記反射散乱光の像を所望の倍率で検出し、
前記反射散乱光を検出して得た信号を処理して前記試料表面の欠陥を検出する欠陥検査方法であって、
前記集光光学系の収差を前記所望の倍率に応じて補正して前記試料表面からの反射散乱光の像を検出することを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記試料表面に照明光束を照射することを、前記試料表面に高角度方向から照明光束を照射する高角度照射と、前記試料表面に低角度方向から照明光束を照射する低角度照射とを切替えて行うことを特徴とする請求項7記載の欠陥検査方法。
- 前記集光光学系の収差を前記所望の倍率に応じて補正することを、前記集光光学系の反射条件または屈折条件を変えることにより行うことを特徴とする請求項7記載の欠陥検査方法。
- 前記照明光束を一方向に長い形状に成形して前記試料表面に対して傾斜した方向から照射することを特徴とする請求項7記載の欠陥検査方法。
- 前記反射散乱光の像を並列出力型の時間遅延型積分センサで検出し、該時間遅延型積分センサから並列に出力された信号を並列に処理することを特徴とする請求項7記載の欠陥検査方法。
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