JP7231474B2 - 照明装置及び検査装置 - Google Patents
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Description
実施形態1に係る照明装置及び検査装置を説明する。図1~図3は、実施形態1に係る照明装置の構成を例示した図であり、図1は、斜視図であり、図2は、側面図であり、図3は、断面図である。図1~図3に示すように、照明装置1は、複数の光源10、シリンドリカルレンズアレー20(以下、CLA20と呼ぶ)、シリンドリカルレンズ30(以下、CL30と呼ぶ)を備えている。複数の光源10は、一方向にライン状に並んで配列されている。なお、図中において、複数の光源10のうち、いくつかの光源10のみ符号を付している。
図8は、比較例に係る照明装置において、光源の照明光を例示した図である。図9は、実施形態1に係る照明装置において、CLAによる配列方向の照明光の集光を例示した図である。図10は、実施形態1に係る照明装置において、CLAによる配列方向の照明光の集光を例示した拡大図である。
次に、CL130及びCL30による配列方向に対して直交した方向の照明光の集光を説明する。図11は、比較例に係る照明装置において、CLによる配列方向に対して直交した方向の照明光の集光を例示した図である。図12は、実施形態1に係る照明装置において、CLによる配列方向に対して直交した方向の照明光の集光を例示した図である。図13は、比較例に係る照明装置において、CLによる配列方向に対して直交した方向の照明光の集光の状態を例示した図である。図14は、実施形態1に係る照明装置において、CLによる配列方向に対して直交した方向の照明光の集光の状態を例示した図である。
次に、照明ムラの低減を説明する。図15は、比較例に係る照明装置における受光センサの受光量の分布を例示したグラフであり、横軸は、受光センサの画素番号を示し、縦軸は受光量に比例した受光センサの出力を示す。図16は、比較例に係る照明装置において、照明光で照明された検査対象を例示した画像である。図17は、実施形態1に係る照明装置における受光センサの受光量の分布を例示したグラフであり、横軸は、受光センサの画素番号を示し、縦軸は受光量に比例した受光センサの出力を示す。図18は、実施形態1に係る照明装置において、照明光で照明された検査対象を例示した画像である。
次に、実施形態2に係る照明装置を説明する。実施形態2の照明装置は、視野周辺の減光の対策に関する。図21は、実施形態2に係る検査装置を例示した図である。図22は、実施形態2に係る照明装置において、視野周辺の減光を例示したグラフであり、横軸は、視野の位置を示し、縦軸は、光量を示す。図21には、照明装置の光源10近傍の拡大図を示している。
次に、実施形態3を説明する。本実施形態の照明装置は、冷却用の流体の流路構造についての例である。図23は、実施形態3に係る照明装置を例示した断面図である。図23には、照明装置の一部の拡大図を示している。
次に、実施形態4に係る照明装置を説明する。本実施形態の照明装置は、光源を切り替え可能である。図24は、実施形態4に係る照明装置を例示した図である。図24に示すように、照明装置1cは、基板11上に、複数の光源10aを有している。複数の光源10aは、X軸方向に間隔を空けて並んで配置されている。複数の光源10aは、各シリンドリカルレンズ21に対向している。
10、10a、10b 光源
11 基板
12 筐体
13 中心光源
14 一方側光源
15 他方側光源
16 流体
20 シリンドリカルレンズアレー
21 シリンドリカルレンズ
30 シリンドリカルレンズ
40、40a 検査装置
41 結像レンズ
42 受光センサ
50 検査対象
101 照明装置
110 光源
130 シリンドリカルレンズ
C 中心点
L10、L110 照明光
R10、R110、R110a 反射光
Claims (10)
- ライン状に並んで配列された複数の光源と、
前記複数の光源を覆うように、前記複数の光源の配列方向に延びたシリンドリカルレンズと、
前記複数の光源と、前記シリンドリカルレンズとの間において、前記配列方向に配列された複数の微小シリンドリカルレンズを含むシリンドリカルレンズアレーと、
を備え、
前記微小シリンドリカルレンズは、前記光源が生成した照明光を前記配列方向において集光し、
前記シリンドリカルレンズは、前記照明光を前記配列方向に直交した方向において集光し、
前記シリンドリカルレンズは、前記複数の前記微小シリンドリカルレンズを覆う、
照明装置。 - 前記シリンドリカルレンズに含まれた円柱部分の円柱軸は、前記配列方向に延び、
前記微小シリンドリカルレンズに含まれた円柱部分の円柱軸は、前記直交した方向に延びる、
請求項1に記載の照明装置。 - 前記シリンドリカルレンズに含まれた円柱部分の半径は、15~30mmであり、前記微小シリンドリカルレンズに含まれた円柱部分の半径は、2~4mmである、
請求項1または2に記載の照明装置。 - 前記複数の微小シリンドリカルレンズは、前記複数の光源が前記配列方向に配列されたピッチと同じピッチで前記配列方向に配列された、
請求項1~3のいずれか1項に記載の照明装置。 - 前記複数の光源は、前記配列方向における一方向側を一方側、前記一方側の反対方向を他方側とした場合に、前記一方側に配置された一方側光源と、前記他方側に配置された他方側光源と、前記一方側光源と前記他方側光源との間に配置された中心光源と、を含み、
前記中心光源に対向した前記微小シリンドリカルレンズの光軸は、前記中心光源の発光面の中心点を通り、
前記一方側光源に対向した前記微小シリンドリカルレンズの光軸は、前記一方側光源の発光面の中心点よりも前記他方側を通り、
前記他方側光源に対向した前記微小シリンドリカルレンズの光軸は、前記他方側光源の発光面の中心点よりも前記一方側を通る、
請求項1~3のいずれか1項に記載の照明装置。 - 前記光源と、前記シリンドリカルレンズアレーとの間を、前記光源を冷却する流体が流れる、
請求項1~5のいずれか1項に記載の照明装置。 - 前記複数の光源は、複数の第1光源であり、
前記第1光源と生成する光の波長が異なる複数の第2光源をさらに備え、
各前記第2光源は、隣り合う前記第1光源の間に配置され、
前記第1光源及び前記第2光源が交互に前記配列方向に配列された基板または前記シリンドリカルレンズアレーを前記配列方向に移動させることにより、前記照明光を、前記第1光源または前記第2光源から生成されるように切り換え可能である、
請求項1~6のいずれか1項に記載の照明装置。 - 請求項1~7のいずれか一項に記載の照明装置と、
前記照明装置により生成された照明光が検査対象で反射した反射光を結像する結像レンズと、
前記結像レンズで結像された前記反射光を受光する受光センサと、
を備えた検査装置。 - 前記光源から生成された前記照明光は、前記結像レンズのNAに入るように前記微小シリンドリカルレンズにより集光された、
請求項8に記載の検査装置。 - 前記複数の光源は、前記配列方向における一方向側を一方側、前記一方側の反対方向を他方側とした場合に、前記一方側に配置された一方側光源と、前記他方側に配置された他方側光源と、前記一方側光源と前記他方側光源との間に配置された中心光源と、を含み、
前記中心光源に対向した前記微小シリンドリカルレンズの主点は、前記中心光源から生成された前記照明光が前記検査対象で反射した前記反射光を結像する前記結像レンズの主点と、前記中心光源の発光面の中心点とを結ぶ光軸上に配置され、
前記一方側光源に対向した前記微小シリンドリカルレンズの主点は、前記結像レンズの主点と、前記一方側光源の発光面の中心点とを結ぶ光軸上に配置され、
前記他方側光源に対向した前記微小シリンドリカルレンズの主点は、前記結像レンズの主点と、前記他方側光源の発光面の中心点とを結ぶ光軸上に配置された、
請求項8または9に記載の検査装置。
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JP2019087440A JP7231474B2 (ja) | 2019-05-07 | 2019-05-07 | 照明装置及び検査装置 |
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JP7231474B2 true JP7231474B2 (ja) | 2023-03-01 |
Family
ID=73044318
Family Applications (1)
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