JP2007147441A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 装置全体を小型化でき、かつ、被検物体への異物の付着も回避できる検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体10Aを支持する支持手段11と、被検物体を照明して撮像する可動部(2A,2B)を有し、該可動部を移動させて被検物体を走査する走査手段12と、走査手段と被検物体との間に配置された透明な板状部材13とを備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、被検物体の欠陥検査を行う検査装置に関する。
被検物体の画像を取り込み、この画像を利用して被検物体の欠陥検査を行う装置が知られている。また、装置の光学系を小型化するためにライン状の照明系と撮像系とを用い、これらを固定して被検物体を一方向に移動させて、被検物体の画像を取り込むことも提案されている(例えば特許文献1を参照)。
特表2001−524205号公報
しかし、上記の装置では、被検物体を移動させて画像を取り込むため、被検物体を支持するステージのストロークは少なくとも被検物体のサイズ以上となり、装置の水平方向の大きさは少なくとも被検物体のサイズの2倍以上となってしまう。したがって、装置全体の小型化には限界があった。
なお、被検物体を固定して照明系と撮像系を移動させて画像を取り込む構成とすれば、装置の水平方向の大きさは被検物体のサイズと同程度になり、装置全体の小型化が可能となる。しかし、この構成では、照明系と撮像系の移動によって発生した異物が被検物体に付着する可能性があり、被検物体が例えば半導体ウエハなどのように異物の付着を非常に嫌う場合には採用できない。
なお、被検物体を固定して照明系と撮像系を移動させて画像を取り込む構成とすれば、装置の水平方向の大きさは被検物体のサイズと同程度になり、装置全体の小型化が可能となる。しかし、この構成では、照明系と撮像系の移動によって発生した異物が被検物体に付着する可能性があり、被検物体が例えば半導体ウエハなどのように異物の付着を非常に嫌う場合には採用できない。
本発明の目的は、装置全体を小型化でき、かつ、被検物体への異物の付着も回避できる検査装置を提供することにある。
本発明の検査装置は、被検物体を支持する支持手段と、前記被検物体を照明して撮像する可動部を有し、該可動部を移動させて前記被検物体を走査する走査手段と、前記走査手段と前記被検物体との間に配置された透明な板状部材とを備えたものである。
また、前記可動部は、前記被検物体をライン状に照明して撮像することが好ましい。
また、前記板状部材は、前記可動部の撮像面とは非共役な位置に配置されることが好ましい。
また、前記可動部は、前記被検物体をライン状に照明して撮像することが好ましい。
また、前記板状部材は、前記可動部の撮像面とは非共役な位置に配置されることが好ましい。
また、前記走査手段を囲い込む筐体を備え、前記板状部材は、前記筐体の一部として設けられることが好ましい。
また、前記筐体の中を負圧にする排気手段を備えることが好ましい。
また、前記板状部材の少なくとも前記走査手段と対向する側の面から異物を除去する除去手段を備えることが好ましい。
また、前記筐体の中を負圧にする排気手段を備えることが好ましい。
また、前記板状部材の少なくとも前記走査手段と対向する側の面から異物を除去する除去手段を備えることが好ましい。
また、前記板状部材は、着脱可能であることが好ましい。
また、前記可動部による前記被検物体の照明は、明視野および/または暗視野照明であることが好ましい。
また、反射特性が既知の反射部材を備えることが好ましい。
また、前記可動部による前記被検物体の照明は、明視野および/または暗視野照明であることが好ましい。
また、反射特性が既知の反射部材を備えることが好ましい。
本発明の検査装置によれば、装置全体を小型化でき、かつ、被検物体への異物の付着も回避することができる。
以下、図面を用いて本発明の実施形態を詳細に説明する。
(第1実施形態)
第1実施形態の検査装置10は、図1(a),(b)に示す通り、被検物体10Aを支持するステージ11と、被検物体10Aの上方に配置されたライン状の光学ブロック12と、被検物体10Aと光学ブロック12との間に配置された透明なセパレータ13とで構成される。また、検査装置10には不図示の制御部が設けられる。この制御部は、検査装置10の各部をシーケンス制御して被検物体10Aの欠陥検査を行い、検出した欠陥の表示・印刷・外部への送信などを制御する。
(第1実施形態)
第1実施形態の検査装置10は、図1(a),(b)に示す通り、被検物体10Aを支持するステージ11と、被検物体10Aの上方に配置されたライン状の光学ブロック12と、被検物体10Aと光学ブロック12との間に配置された透明なセパレータ13とで構成される。また、検査装置10には不図示の制御部が設けられる。この制御部は、検査装置10の各部をシーケンス制御して被検物体10Aの欠陥検査を行い、検出した欠陥の表示・印刷・外部への送信などを制御する。
被検物体10Aは、半導体ウエハや液晶ガラス基板などであり、その最上層に繰り返しパターン(配線パターンなどのライン・アンド・スペース状のパターン)に対応するレジスト層が形成されている。検査装置10は、半導体回路素子や液晶表示素子の製造工程において、被検物体10Aに形成された回路パターンの欠陥検査を行う装置である。
ステージ11は、被検物体10Aを例えば真空吸着によって固定的に支持するものであり、被検物体10Aを水平方向に移動させる機構を持たない。このため、ステージ11の水平方向の大きさ(つまり検査装置10の水平方向の大きさ)は、被検物体10Aのサイズと同程度になる。被検物体10Aをステージ11の上面に載置するためには、検査装置10の外に配置された搬送系(不図示のロボットアームなど)が用いられる。
ステージ11は、被検物体10Aを例えば真空吸着によって固定的に支持するものであり、被検物体10Aを水平方向に移動させる機構を持たない。このため、ステージ11の水平方向の大きさ(つまり検査装置10の水平方向の大きさ)は、被検物体10Aのサイズと同程度になる。被検物体10Aをステージ11の上面に載置するためには、検査装置10の外に配置された搬送系(不図示のロボットアームなど)が用いられる。
光学ブロック12には、LEDアレイ2Aとラインセンサ2Bとが設けられる。LEDアレイ2Aは、例えば複数のLEDを一列(または複数列)に並べた照明光源であり、被検物体10Aの表面と平行に配置される。ラインセンサ2Bは、複数の受光部を一列(または複数列)に並べた撮像素子であり、上記と同様、被検物体10Aの表面と平行に配置される。また、LEDアレイ2Aとラインセンサ2Bは互いに平行である。LEDアレイ2Aとラインセンサ2Bの各長さは、被検物体10Aの最大幅(直径)と同程度である。
この光学ブロック12では、ライン状の照明系(2A)と撮像系(2B)とを用いるため、検査装置10の光学系を小型化できる。また、LEDアレイ2Aを用いることで照明光源を小型軽量にできる。ただし、LEDアレイ2Aに限らず、他のライン状の照明光源を用いてもよい。なお、光学ブロック12としては、ライン状の照明系と撮像系をコンパクトに組み合わせた周知のコンタクトイメージセンサ(CIS)を用いてもよい。
さらに、光学ブロック12には不図示の駆動部も設けられる。この駆動部は、例えば、モータとボールネジなどにより構成され、光学ブロック12のLEDアレイ2Aとラインセンサ2Bとを一体的に移動させる。その移動方向は、被検物体10Aの表面と平行で、かつ、LEDアレイ2Aとラインセンサ2Bの長手方向に垂直な 副走査方向である。ちなみに、LEDアレイ2Aとラインセンサ2Bの移動は、被検物体10Aを固定した状態で行われる。
このように、第1実施形態の検査装置10では、光学ブロック12のLEDアレイ2Aとラインセンサ2Bとを移動可能とするため、この移動によって光学ブロック12の駆動部(不図示)の接触面などから異物が発生することもある。発生する異物は、微小(例えば1μm程度の大きさ)で微量と考えられる。しかし、半導体ウエハや液晶ガラス基板などのように異物の付着を非常に嫌う被検物体10Aの場合は、微小で微量の異物であっても、その付着を回避する必要がある。
また、光学ブロック12のLEDアレイ2Aとラインセンサ2の移動は被検物体10Aの上方で行われ、その移動によって発生した異物は被検物体10Aの方に落下するため、異物が被検物体10Aに付着しないようにするには、異物の落下を途中で(被検物体10Aに到達する前に)阻止しなければならない。
そこで、本実施形態の検査装置10では、被検物体10Aと光学ブロック12との間にセパレータ13を配置する。セパレータ13は、透明な板状部材(例えばガラス板など)であり、その大きさは被検物体10Aの全面よりも大きい。透明とは、検査の使用波長域(例えば可視域や紫外域など)で所定の透過率が確保されていることを意味する。このため、目視したときにセパレータ13が色付きであっても色無しであっても構わない。また、セパレータ13は、被検物体10Aの表面と平行に配置することが好ましい。
そこで、本実施形態の検査装置10では、被検物体10Aと光学ブロック12との間にセパレータ13を配置する。セパレータ13は、透明な板状部材(例えばガラス板など)であり、その大きさは被検物体10Aの全面よりも大きい。透明とは、検査の使用波長域(例えば可視域や紫外域など)で所定の透過率が確保されていることを意味する。このため、目視したときにセパレータ13が色付きであっても色無しであっても構わない。また、セパレータ13は、被検物体10Aの表面と平行に配置することが好ましい。
被検物体10Aと光学ブロック12との間にセパレータ13を配置した状態で、LEDアレイ2Aとラインセンサ2を移動させれば、その移動により発生した異物の落下を途中で(被検物体10Aに到達する前に)阻止することができ、異物が被検物体10Aに付着することはない。LEDアレイ2Aとラインセンサ2Bの移動制御は、被検物体10Aの欠陥検査の際に不図示の制御部が行う。
また、被検物体10Aの欠陥検査の際、検査装置10の制御部(不図示)は、LEDアレイ2Aの点灯/消灯を制御し、上記のLEDアレイ2Aとラインセンサ2Bの移動制御と並行してラインセンサ2Bの読み出し制御も行う。
LEDアレイ2Aを点灯すると、LEDアレイ2Aからの照明光は、透明なセパレータ13を通過した後、斜め方向から被検物体10Aの表面に入射する。図1(b)に点ハッチングを付して示した通り、被検物体10Aの照明領域14はライン状となる。照明領域14では、被検物体10Aの表面の状態(例えば最上層の欠陥など)に応じて、正反射光や回折光や散乱光などが発生する。
LEDアレイ2Aを点灯すると、LEDアレイ2Aからの照明光は、透明なセパレータ13を通過した後、斜め方向から被検物体10Aの表面に入射する。図1(b)に点ハッチングを付して示した通り、被検物体10Aの照明領域14はライン状となる。照明領域14では、被検物体10Aの表面の状態(例えば最上層の欠陥など)に応じて、正反射光や回折光や散乱光などが発生する。
そして、被検物体10Aからの光の一部は、透明なセパレータ13を通過した後、ラインセンサ2Bに入射する。ラインセンサ2Bの配置の傾き角に応じてラインセンサ2Bへの入射光の種類(例えば正反射光)を選択することができる。ラインセンサ2Bは、被検物体10Aからの光に基づいて、被検物体10Aのライン状の領域(照明領域14の全体または一部に相当)を撮像し、得られた撮像信号を不図示の制御部に出力する。
このようなラインセンサ2Bの読み出し制御は、被検物体10Aを固定して、LEDアレイ2Aとラインセンサ2Bとを例えば一定速度で移動させながら、繰り返し行われる。光学ブロック12の可動部(2A,2B)を移動させて、ラインセンサ2Bの読み出し制御を繰り返し行うことにより、被検物体10Aを2次元的に走査することができる。
その結果、検査装置10の制御部では、ラインセンサ2Bからの撮像信号に基づいて、被検物体10Aの比較的広い領域(全領域または一部領域)の2次元的な画像を得ることができる。この画像はマクロ画像とも呼ばれる。制御部では、被検物体10Aを走査して取り込んだ画像の各部を処理して、被検物体10Aの欠陥を検出する。被検物体10Aの欠陥とは、最上層の欠陥(膜厚ムラやパターン欠陥など)である。
その結果、検査装置10の制御部では、ラインセンサ2Bからの撮像信号に基づいて、被検物体10Aの比較的広い領域(全領域または一部領域)の2次元的な画像を得ることができる。この画像はマクロ画像とも呼ばれる。制御部では、被検物体10Aを走査して取り込んだ画像の各部を処理して、被検物体10Aの欠陥を検出する。被検物体10Aの欠陥とは、最上層の欠陥(膜厚ムラやパターン欠陥など)である。
上記の通り、本実施形態の検査装置10では、被検物体10Aと光学ブロック12との間に透明なセパレータ13を配置し、光学ブロック12の可動部(2A,2B)を移動させて被検物体10Aを走査し、検査用の画像を取り込む。このため、装置全体を小型化でき、かつ、被検物体10Aへの異物の付着も回避できる。
検査装置10の水平方向の大きさは、ステージ11が被検物体10Aを水平方向に移動させる機構を持たないため、被検物体10Aのサイズと同程度になる。さらに、検査装置10の高さ方向も抑えることができ、非常に小型の検査装置10が実現する。
検査装置10の水平方向の大きさは、ステージ11が被検物体10Aを水平方向に移動させる機構を持たないため、被検物体10Aのサイズと同程度になる。さらに、検査装置10の高さ方向も抑えることができ、非常に小型の検査装置10が実現する。
また、異物の付着を回避するために設けたセパレータ13は、簡素な構成の透明な板状部材である。このため、セパレータ13を設けたことによって装置の構成が複雑化したり大型化することはない。
また、本実施形態の検査装置10では、光学ブロック12の可動部(2A,2B)の長さを被検物体10Aの最大幅(直径)と同程度にしたので、可動部(2A,2B)を被検物体10Aの一端側から他端側まで(主走査方向に)1回移動させるだけで、被検物体10Aの全領域を走査することができる。したがって、検査用の画像を短時間で取り込むことができる。ただし、可動部(2A,2B)の長さを被検物体10Aの最大幅(直径)より短くして、可動部(2A,2B)を主走査方向と直交する方向に移動させて、主走査方向に複数回移動させ、被検物体10Aを走査してもよい。なお、この場合には、被検物体10Aをライン状に照明してもよいし、ポイントで照明しても構わない。
また、本実施形態の検査装置10では、光学ブロック12の可動部(2A,2B)の長さを被検物体10Aの最大幅(直径)と同程度にしたので、可動部(2A,2B)を被検物体10Aの一端側から他端側まで(主走査方向に)1回移動させるだけで、被検物体10Aの全領域を走査することができる。したがって、検査用の画像を短時間で取り込むことができる。ただし、可動部(2A,2B)の長さを被検物体10Aの最大幅(直径)より短くして、可動部(2A,2B)を主走査方向と直交する方向に移動させて、主走査方向に複数回移動させ、被検物体10Aを走査してもよい。なお、この場合には、被検物体10Aをライン状に照明してもよいし、ポイントで照明しても構わない。
さらに、本実施形態の検査装置10では、光学ブロック12の可動部(2A,2B)を移動させたときに異物が発生すると、この異物がセパレータ13の上面に付着する。しかし、異物は微小で微量なため、LEDアレイ2Aからの照明光路やラインセンサ2Bへの撮像光路を遮るように異物が付着しても、検査用の画像への影響(異物の影)はほとんど無視することができる。つまり、セパレータ13への異物の付着によって検査品質が低下することはほとんどないと考えられる。
検査用の画像への影響を確実に小さくするためには、セパレータ13の配置を次のようにすることが好ましい。すなわち、ラインセンサ2Bの撮像面とは非共役な位置にセパレータ13を配置することが好ましい。非共役な位置とは、ラインセンサ2Bの撮像面における結像に寄与しない位置である。このような配置とすれば、セパレータ13に付着した異物によって光が遮られても、ラインセンサ2Bの撮像面に異物の鮮明な像が形成されることはなく、検査用の画像への影響を確実に小さくできる。
(第2実施形態)
第2実施形態の検査装置20は、図2に示す通り、上記の光学ブロック12を筐体21により囲い込むようにして、筐体21の中を排気機構22により負圧にしたものである。また、上記のセパレータ13は、筐体21の一部として設けられている。
この場合、被検物体10Aの走査は、光学ブロック12の可動部(2A,2B)を筐体21の中で移動させることにより行われる。したがって、可動部(2A,2B)の移動により異物が発生しても、この異物が被検物体10Aに付着する事態を確実に回避することができ、さらに、被検物体10Aの周囲(つまり筐体21の外部)に異物が飛散しないようにすることもできる。
第2実施形態の検査装置20は、図2に示す通り、上記の光学ブロック12を筐体21により囲い込むようにして、筐体21の中を排気機構22により負圧にしたものである。また、上記のセパレータ13は、筐体21の一部として設けられている。
この場合、被検物体10Aの走査は、光学ブロック12の可動部(2A,2B)を筐体21の中で移動させることにより行われる。したがって、可動部(2A,2B)の移動により異物が発生しても、この異物が被検物体10Aに付着する事態を確実に回避することができ、さらに、被検物体10Aの周囲(つまり筐体21の外部)に異物が飛散しないようにすることもできる。
また、第2実施形態の検査装置20では、筐体21を排気機構22に連結し、排気機構22によって筐体21の中の空気を弱く引くことにより、筐体21の中を負圧にしている。負圧とは、筐体21の中の気圧を周囲より低く(例えば5%〜10%程度低く)した状態である。したがって、被検物体10Aの周囲(つまり筐体21の外部)に異物が飛散する事態を確実に回避することができる。
(第3実施形態)
第3実施形態の検査装置30は、図3に示す通り、上記のセパレータ13の上面(光学ブロック12と対向する側の面)に付着した異物を除去するため、クリーニング機構31を備えたものである。
上記の通り、セパレータ13の上面に異物が付着しても、検査用の画像への影響(異物の影)はほとんど無視できるため、被検物体10Aの欠陥検査に支障はない。ところが、長期間使用している間にセパレータ13の透過率が低下し、検査用の画像の明るさが低下する可能性がある。
第3実施形態の検査装置30は、図3に示す通り、上記のセパレータ13の上面(光学ブロック12と対向する側の面)に付着した異物を除去するため、クリーニング機構31を備えたものである。
上記の通り、セパレータ13の上面に異物が付着しても、検査用の画像への影響(異物の影)はほとんど無視できるため、被検物体10Aの欠陥検査に支障はない。ところが、長期間使用している間にセパレータ13の透過率が低下し、検査用の画像の明るさが低下する可能性がある。
このため、クリーニング機構31を用いて、セパレータ13の上面から異物を除去し、定期的にクリーニングすることが好ましい。クリーニング機構31は、例えば、被検物体10Aの最大幅(直径)と同程度の長さのブラシと、ブラシを光学ブロック12の可動部(2A,2B)と同様の主走査方向へ移動させる駆動部とを備える。
クリーニング機構31によってセパレータ13の上面をクリーニングする際には、光学ブロック12をセパレータ13の周囲へ退避させることが好ましい。
クリーニング機構31によってセパレータ13の上面をクリーニングする際には、光学ブロック12をセパレータ13の周囲へ退避させることが好ましい。
セパレータ13の上面を定期的にクリーニングすることで、セパレータ13の透過率の低下を防止し、検査用の画像を一定の明るさに保つことができる。また、検査装置10の内部にクリーニング機構31を設けることで、セパレータ13のクリーニングを自動的に行うことができる。
また、セパレータ13の下面(被検物体10Aと対向する側の面)には、光学ブロック12の可動部(2A,2B)の移動による異物が付着することはないが、長期的には何らかの汚れが付着する可能性はある。したがって、同様のクリーニング機構をセパレータ13の下面側にも設け、この下面を定期的にクリーニングすることが好ましい。さらに、下面のクリーニングを行う際には、ステージ11から被検物体10Aを取り除き、クリーニングが終わって一定時間が経過した後、被検物体10Aをステージ11の上面に載置することが好ましい。
また、セパレータ13の下面(被検物体10Aと対向する側の面)には、光学ブロック12の可動部(2A,2B)の移動による異物が付着することはないが、長期的には何らかの汚れが付着する可能性はある。したがって、同様のクリーニング機構をセパレータ13の下面側にも設け、この下面を定期的にクリーニングすることが好ましい。さらに、下面のクリーニングを行う際には、ステージ11から被検物体10Aを取り除き、クリーニングが終わって一定時間が経過した後、被検物体10Aをステージ11の上面に載置することが好ましい。
なお、検査装置10の内部にクリーニング機構31などを設ける代わりに、セパレータ13を着脱可能とし、つまり、セパレータ13を検査装置10から簡単に取り外せるようにして、セパレータ13の上面および/または下面を手動で定期的にクリーニングするようにしてもよい。
(第4実施形態)
第4実施形態の検査装置40は、図4に示す通り、上記した光学ブロック12に代えて光学ブロック41を設けたものである。光学ブロック41には、2本のLEDアレイ4A,4Bと1本のラインセンサ4Cとが設けられる。
(第4実施形態)
第4実施形態の検査装置40は、図4に示す通り、上記した光学ブロック12に代えて光学ブロック41を設けたものである。光学ブロック41には、2本のLEDアレイ4A,4Bと1本のラインセンサ4Cとが設けられる。
また、ラインセンサ4Cの配置の傾き角は、外側のLEDアレイ4Aを点灯したときに被検物体10Aからの正反射光が入射せず(被検物体10Aからの回折光や散乱光が入射し)、かつ、内側のLEDアレイ4Bを点灯したときに被検物体10Aからの正反射光が入射するように設定される。
外側のLEDアレイ4Aによる照明は、暗視野照明であり、正反射光を排除して高感度な検査が可能となる。回折光をラインセンサ4Cに入射させる場合には、被検物体10Aの傷や異物などの検出を良好に行える。散乱光は被検物体10Aのパターンのエッジから発生するため、散乱光をラインセンサ4Cに入射させれば、パターンの欠陥の検出を良好に行える。
外側のLEDアレイ4Aによる照明は、暗視野照明であり、正反射光を排除して高感度な検査が可能となる。回折光をラインセンサ4Cに入射させる場合には、被検物体10Aの傷や異物などの検出を良好に行える。散乱光は被検物体10Aのパターンのエッジから発生するため、散乱光をラインセンサ4Cに入射させれば、パターンの欠陥の検出を良好に行える。
内側のLEDアレイ4Bによる照明は、明視野照明であり、被検物体10Aのレジスト塗布不良やデフォーカスなどの検出に好適である。
検査対象となる被検物体10Aの種類や、検査したい欠陥の種類などに応じて、2つの照明系(暗視野照明/明視野照明)を使い分けてもよいし、暗視野照明と明視野照明とを同時に行ってもよい。同時に行う場合には、両方の検査を1回の走査で行うことができる。ただし、この場合には、例えば照明光の色を変えるなどの方法で、暗視野および/または明視野照明による欠陥を区別することが好ましい。
検査対象となる被検物体10Aの種類や、検査したい欠陥の種類などに応じて、2つの照明系(暗視野照明/明視野照明)を使い分けてもよいし、暗視野照明と明視野照明とを同時に行ってもよい。同時に行う場合には、両方の検査を1回の走査で行うことができる。ただし、この場合には、例えば照明光の色を変えるなどの方法で、暗視野および/または明視野照明による欠陥を区別することが好ましい。
なお、被検物体10Aからの回折光をラインセンサ4Cに入射させる場合には、被検物体10Aの表面に形成されているパターンのピッチに応じて、LEDアレイ4Aやラインセンサ4Cの傾き角を調整してもよい。
(第5実施形態)
第5実施形態の検査装置50は、図5に示す通り、ステージ11の上面に校正用の反射部材51を設けたものである。反射部材51は、反射特性(反射率分布)が既知である。このため、光学ブロック12を用いて反射部材51のライン画像を取り込むことで、LEDアレイ2Aの照明不均一性や照明光量の変動、ラインセンサ2Bの感度の不均一性などを校正することができる。また、ラインセンサ2Bがカラーセンサの場合には、カラーバランスの校正も行える。
(変形例)
なお、上記した実施形態では、ステージ11の上面が水平方向に平行であり、被検物体10Aを水平な状態に保持して検査する例を説明したが、本発明はこれに限定されない。被検物体を例えば鉛直方向に平行となるように保持して検査する装置にも、本発明を適用できる。
(第5実施形態)
第5実施形態の検査装置50は、図5に示す通り、ステージ11の上面に校正用の反射部材51を設けたものである。反射部材51は、反射特性(反射率分布)が既知である。このため、光学ブロック12を用いて反射部材51のライン画像を取り込むことで、LEDアレイ2Aの照明不均一性や照明光量の変動、ラインセンサ2Bの感度の不均一性などを校正することができる。また、ラインセンサ2Bがカラーセンサの場合には、カラーバランスの校正も行える。
(変形例)
なお、上記した実施形態では、ステージ11の上面が水平方向に平行であり、被検物体10Aを水平な状態に保持して検査する例を説明したが、本発明はこれに限定されない。被検物体を例えば鉛直方向に平行となるように保持して検査する装置にも、本発明を適用できる。
10,20,30,40,50検査装置 ; 10A被検物体 ; 11ステージ ;
12,41光学ブロック ; 2A,4A,4BLEDアレイ ; 2B,4Cラインセンサ ;
13セパレータ ; 21筐体 ; 22排気機構 ; 31クリーニング機構 ; 51反射部材
12,41光学ブロック ; 2A,4A,4BLEDアレイ ; 2B,4Cラインセンサ ;
13セパレータ ; 21筐体 ; 22排気機構 ; 31クリーニング機構 ; 51反射部材
Claims (9)
- 被検物体を支持する支持手段と、
前記被検物体を照明して撮像する可動部を有し、該可動部を移動させて前記被検物体を走査する走査手段と、
前記走査手段と前記被検物体との間に配置された透明な板状部材とを備えた
ことを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記可動部は、前記被検物体をライン状に照明して撮像する
ことを特徴とする検査装置。 - 請求項1または請求項2に記載の検査装置において、
前記板状部材は、前記可動部の撮像面とは非共役な位置に配置される
ことを特徴とする検査装置。 - 請求項1から請求項3の何れか1項に記載の検査装置において、
前記走査手段を囲い込む筐体を備え、
前記板状部材は、前記筐体の一部として設けられる
ことを特徴とする検査装置。 - 請求項4に記載の検査装置において、
前記筐体の中を負圧にする排気手段を備えた
ことを特徴とする検査装置。 - 請求項1から請求項5の何れか1項に記載の検査装置において、
前記板状部材の少なくとも前記走査手段と対向する側の面から異物を除去する除去手段を備えた
ことを特徴とする検査装置。 - 請求項1から請求項5の何れか1項に記載の検査装置において、
前記板状部材は、着脱可能である
ことを特徴とする検査装置。 - 請求項1から請求項7の何れか1項に記載の検査装置において、
前記可動部による前記被検物体の照明は、明視野および/または暗視野照明である
ことを特徴とする検査装置。 - 請求項1から請求項8の何れか1項に記載の検査装置において、
反射特性が既知の反射部材を備えた
ことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
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2005
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