CN113533351A - 一种面板缺陷检测装置及检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种面板缺陷检测装置及检测方法。其中装置包括光源模块、分束模块、聚焦模块、光阑模块、成像模块及处理模块，光源模块包括多个平行设置的线状光源，光阑模块包括多个平行设置的透光区；线状光源用于出射检测光线，检测光线经过分束模块后入射至聚焦模块，聚焦模块用于将检测光线汇聚在待测面板的表面，返回的光线经过分束模块后入射至与线状光源共轭的透光区；成像模块的感光面朝向透光区，用于将接收到的光信号转换为电信号；处理模块与成像模块电连接，用于根据电信号检测待测面板的表面缺陷。本发明实施例的技术方案，可以降低面板缺陷检测装置对于面板背部污染和支撑杆接触区的误检率，有效提高面板生产检测的速度。

Description

一种面板缺陷检测装置及检测方法

技术领域

本发明实施例涉及光学检测技术，尤其涉及一种面板缺陷检测装置及检测方法。

背景技术

自动光学检查(Automated Optical Inspection，AOI)设备作为一种基于光学的缺陷检测工具，被广泛应用于太阳能电池、集成电路、显示面板等行业，以实现掩膜版、硅片缺陷的快速无损检测。其中，面板缺陷自动光学检测设备，具备对大面积面板物料(以6代面板为例，其玻璃基板的尺寸达到1.85m×1.5m)进行实时缺陷检测的能力，被广泛应用于国内外的面板制造厂商。

面板缺陷自动光学检测装置，通常利用明场照明对待测物料进行照明，通过调节照明光源配置增大待测缺陷信号，抑制样品背景信号及环境噪声，提高缺陷信号信噪比。然后通过高分辨率显微镜头与时间延迟积分(Time Delay Integration，TDI)相机，对待测样品缺陷进行高速检测。最后通过软件算法，实现缺陷的正确识别与分类筛选，并将检测到的缺陷反馈给使用者进行复检、清除或者缺陷修复。缺陷识别与分类的正确性，直接影响到后续复检、清除或者缺陷修复操作的工作量以及效果，从而影响整条集成电路、显示面板产线的生产效率。

但是玻璃面板为厚度0.5mm左右的透明材质。玻璃面板背面的污染、划痕，支撑面板的支杆接触区域等反射的光束透过玻璃面板，与面板正面的反射光一同经过显微光路，被TDI相机采集并转换为电信号。由于背面污染、划痕等的离焦像与正面清晰成像混合在一起，导致缺陷检测算法可能将背污和接触杆的离焦像识别为缺陷。错误的缺陷识别结果会提高面板自动缺陷检测装置的误检率，增加缺陷复检的工作量，降低面板生产检测的速度，从而导致客户的成本损失。

发明内容

本发明实施例提供一种面板缺陷检测装置及检测方法，以降低面板缺陷检测装置对于面板背部污染和支撑杆接触区的误检率，有效提高面板生产检测的速度；同时该装置可实现对物料表面极小区域的定向照明，可以避免照明光对其他区域的辐照，避免其他区域的影响，能量利用效率更高，同时也更易用于紫外缺陷检测场景。

第一方面，本发明实施例提供一种面板缺陷检测装置，包括光源模块、分束模块、聚焦模块、光阑模块、成像模块以及处理模块，所述光源模块包括多个平行设置的线状光源，所述光阑模块包括多个平行设置的透光区，所述透光区与所述线状光源关于所述聚焦模块一一共轭设置；

所述线状光源用于出射检测光线，所述检测光线经过所述分束模块后入射至所述聚焦模块，所述聚焦模块用于将所述检测光线汇聚在待测面板的表面，所述待测面板的表面返回的光线经过所述分束模块后入射至与所述线状光源共轭的所述透光区；

所述成像模块的感光面朝向所述透光区，用于将接收到的光信号转换为电信号；

所述处理模块与所述成像模块电连接，用于根据所述电信号检测所述待测面板的表面缺陷。

可选的，还包括移动模块，所述移动模块用于带动所述待测面板平移，和/或所述移动模块用于带动所述光源模块、所述分束模块、所述聚焦模块、所述光阑模块和所述成像模块平移，以实现所述待测面板的表面所有区域检测。

可选的，所述光源模块包括多个平行且间隔设置的线状光源；

所述光阑模块包括光栅光阑，所述光栅光阑包括交替排布的多个透光区和多个不透光区。

可选的，所述光源模块包括多个平行且相邻设置的单色线状光源，至少两个相邻的所述单色线状光源出射光线的颜色不同；

所述光阑模块包括多个平行且相邻设置的单色滤光片，所述单色滤光片仅透射与所述聚焦模块共轭位置处的所述单色线状光源的色光。

可选的，所述成像模块、所述光阑模块、所述分束模块和所述聚焦模块沿第一方向共光轴设置，所述分束模块和所述光源模块沿第二方向共光轴设置，所述第一方向和所述第二方向交叉；

所述光源模块出射的检测光线，经过所述分束模块反射后入射至所述聚焦模块，所述聚焦模块出射的所述待测面板的表面返回的光线，经过所述分束模块透射后入射至所述光阑模块。

可选的，所述光源模块、所述分束模块和所述聚焦模块沿第一方向共光轴设置，所述成像模块、所述光阑模块和所述分束模块沿第二方向共光轴设置，所述第一方向和所述第二方向交叉；

所述光源模块出射的检测光线，经过所述分束模块透射后入射至所述聚焦模块，所述聚焦模块出射的所述待测面板的表面返回的光线，经过所述分束模块反射后入射至所述光阑模块。

可选的，所述分束模块包括半透半反镜。

可选的，所述分束模块包括偏振分束镜以及位于所述偏振分束镜和所述聚焦模块之间的四分之一波片。

可选的，所述聚焦模块包括显微镜头，所述成像模块包括时间延迟积分相机传感器。

第二方面，本发明实施例还提供一种面板缺陷检测方法，由上述任一所述的面板缺陷检测装置执行，所述面板缺陷检测方法包括：

线状光源出射检测光线；

分束模块将所述检测光线传输至聚焦模块；

聚焦模块将所述检测光线汇聚在待测面板的表面，所述待测面板的表面返回的光线经过所述分束模块后入射至与所述线状光源共轭的透光区；

成像模块的感光面将接收到的光信号转换为电信号；

处理模块根据所述电信号检测所述待测面板的表面缺陷。

本发明实施例提供的面板缺陷检测装置，包括光源模块、分束模块、聚焦模块、光阑模块、成像模块以及处理模块，光源模块包括多个平行设置的线状光源，光阑模块包括多个平行设置的透光区，透光区与线状光源关于所述聚焦模块一一共轭设置；通过线状光源出射检测光线，检测光线经过分束模块后入射至聚焦模块，通过聚焦模块将检测光线汇聚在待测面板的表面，待测面板的表面返回的光线经过分束模块后入射至与线状光源共轭的透光区；通过成像模块接收透光区透光的光线，并将接收到的光信号转换为电信号；通过处理模块根据电信号检测待测面板的表面缺陷。通过线状光源、光阑模块和聚焦模块组成共聚焦光路，降低了面板缺陷检测装置对于面板背部污染和支撑杆接触区的误检率，有效提高了面板生产检测的速度；同时该装置可实现对物料表面极小区域的定向照明，可以避免照明光对其他区域的辐照，避免其他区域的影响，能量利用效率更高，同时也更易用于紫外缺陷检测场景。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种面板缺陷检测装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的另一种面板缺陷检测装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的又一种面板缺陷检测装置的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的又一种面板缺陷检测装置的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的又一种面板缺陷检测装置的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的又一种面板缺陷检测装置的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的又一种面板缺陷检测装置的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的一种面板缺陷检测装置的光路示意图；

图9为本发明实施例提供的面板缺陷检测装置的限制焦深的原理示意图；

图10为本发明实施例提供的另一种面板缺陷检测装置的光路示意图；

图11为本发明实施例提供的一种面板缺陷检测方法的流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在本发明实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本发明。需要注意的是，本发明实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本发明实施例的限定。此外在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件被形成在另一个元件“上”或“下”时，其不仅能够直接形成在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接形成在另一元件“上”或者“下”。术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

图1为本发明实施例提供的一种面板缺陷检测装置的结构示意图，参考图1，本发明实施例的面板缺陷检测装置包括光源模块10、分束模块20、聚焦模块30、光阑模块40、成像模块50以及处理模块60，光源模块10包括多个平行设置的线状光源11，光阑模块40包括多个平行设置的透光区41，透光区41与线状光源11关于聚焦模块30一一共轭设置；线状光源11用于出射检测光线，检测光线经过分束模块20后入射至聚焦模块30，聚焦模块30用于将检测光线汇聚在待测面板100的表面，待测面板100的表面返回的光线经过分束模块20后入射至与线状光源11共轭的透光区40；成像模块50的感光面朝向透光区40，用于将接收到的光信号转换为电信号；处理模块60与成像模块50电连接，用于根据电信号检测待测面板100的表面缺陷。

其中，图1示出的是光源模块10的侧视图，即每个矩形表示一个垂直于纸面延伸的线状光源11，具体实施时线状光源11的种类可以根据实际情况设计，光阑模块40包括多个垂直于纸面延伸的透光区41，透光区41的位置与线状光源11相对于聚焦模块30共轭(例如图中1a与4a共轭，1b与4b共轭，即1a出射的光线入射到4a，1b入射的光线入射到4b)，且透光区41的宽度与线状光源11的宽度相近或者小于线状光源11的宽度。图1示出的为侧视图，图中每个黑色矩形为垂直纸面的遮光条带，相邻两个遮光条带之间为垂直纸面的透光条形孔。本实施例提供的面板缺陷检测装置的光路过程为：线状光源11出射的探测光线入射到分束模块20，经过分束模块20反射或透射后入射到聚焦模块30，可选的，聚焦模块30可以包括显微镜头，通过显微镜头汇聚到待测面板100的上表面。待测面板100的上表面的反射或者散射光线，被显微镜头捕捉汇聚，然后入射到分束模块20，经过分束模块20透射或反射后入射到光阑模块40，经过光阑模块40之后，最终照射到成像模块50，可选的，成像模块50可以包括时间延迟积分TDI相机传感器。当待测面板100的上表面存在缺陷时，成像模块50的信号会发生变化，处理模块60进行信号处理后可以实现对缺陷的检测。对于待测面板100的下表面沾污、支撑或者吸附所用的机械结构，不属于本装置需要检测的缺陷，由于本装置采用线状光源及线状透光区形成共聚焦结构，下表面的结构不会在TDI相机传感器成像或成一个模糊的像，不会对需要检测的缺陷造成影响，从而提高检测精度。

本实施例的技术方案，通过线状光源出射检测光线，检测光线经过分束模块后入射至聚焦模块，通过聚焦模块将检测光线汇聚在待测面板的表面，待测面板的表面返回的光线经过分束模块后入射至与线状光源共轭的透光区；通过成像模块接收透光区透光的光线，并将接收到的光信号转换为电信号；通过处理模块根据电信号检测待测面板的表面缺陷。通过线状光源、光阑模块和聚焦模块组成共聚焦光路，从而有效限制了成像焦深，降低了面板缺陷检测装置对于面板背部污染和支撑杆接触区的误检率，有效提高了面板生产检测的速度；同时该装置可实现对物料表面极小区域的定向照明，可以避免照明光对其他区域的辐照，避免其他区域的影响，能量利用效率更高，同时也更易用于紫外缺陷检测场景。

在上述技术方案的基础上，可选的，本实施例提供的面板缺陷检测装置还包括移动模块，移动模块用于带动待测面板平移，和/或移动模块用于带动光源模块、分束模块、聚焦模块、光阑模块和成像模块平移，以实现待测面板的表面所有区域检测。

示例性的，图2为本发明实施例提供的另一种面板缺陷检测装置的结构示意图，参考图2，该面板缺陷检测装置还包括移动模块70，移动模块70与待测面板100连接，用于带动待测面板100平移，以实现待测面板100的表面所有区域检测；图3为本发明实施例提供的又一种面板缺陷检测装置的结构示意图，参考图3，该面板缺陷检测装置还包括移动模块70，移动模块70用于带动光源模块10、分束模块20、聚焦模块30、光阑模块40和成像模块50整体平移，以实现待测面板100的表面所有区域检测。在其他实施例中，处理模块60也可以随移动模块70移动，具体实施时可以根据实际情况设计。

可以理解的是，由于光源模块10设置的是线状光源，在照明时仅能照亮线状或条状区域，通过设置移动模块可以实现整面扫描，其中，图2中所描述的为样品运动方式，一般用在面板行业中，在其他行业(例如航天线扫)或者说在特定的条件下(例如样品运动带来的振动等的影响太大)可以选择样品不动，而检测装置整体移动的方式，在其他实施例中，还可以设计样品和检测装置同时移动(例如朝相反方向移动以加快扫描速率)，具体实施时可以根据实际情况设计。本实施例中，成像模块50采用TDI相机传感器，光信号被相机传感器转换为电信号后，不同点采集到的缺陷的信号，被准确的累加在一起，从而得到最终的缺陷的信号。这种被称为时间延迟积分的方法可以有效提高相机的信噪比，从而在弱光照明条件获得低噪声成像，或者在普通照明条件下支持高速成像。

继续参考图1，可选的，光源模块10包括多个平行且间隔设置的线状光源，例如每个线状光源11可以发出白光、红光、蓝光等；光阑模块40包括光栅光阑401，光栅光阑401包括交替排布的多个透光区41和多个不透光区42。

其中，不透光区42可以遮挡不需要的光线，从而有效限制装置的有效焦深，减少待测面板100下表面的结构(例如沾污或支撑结构，图1中未示出)对上表面成像的干扰，提高检测精度。

可选的，光源模块包括多个平行且相邻设置的单色线状光源，至少两个相邻的单色线状光源出射光线的颜色不同；光阑模块包括多个平行且相邻设置的单色滤光片，单色滤光片仅透射与聚焦模块共轭位置处的单色线状光源的色光。

示例性的，以每个单色线状光源发光颜色均不同为例，图4为本发明实施例提供的又一种面板缺陷检测装置的结构示意图，参考图4，光源模块10包括多个平行且相邻设置的单色线状光源11a，每个单色线状光源11a出射光线的颜色不同(图4中用不同的填充图形表示)；光阑模块40包括多个平行且相邻设置的单色滤光片43，与聚焦模块30共轭位置处单色滤光片43仅能透射对应单色线状光源11a的色光，从而起到类似光阑的作用，与共轭位置的色线状光源11a一起实现焦深的压窄，从而避免下表面沾污和支撑物对成像的影响。

在某一实施例中，可选的，分束模块包括半透半反镜，半透半反镜实现光束的分离，其中，聚焦模块可以位于分束模块的透射光路上，也可以位于分束模块的反射光路上。示例性的，以分束模块包括半透半反镜为例，图5为本发明实施例提供的又一种面板缺陷检测装置的结构示意图，参考图5，可选的，成像模块50、光阑模块40、分束模块20和聚焦模块30沿第一方向x共光轴设置，分束模块20和光源模块10沿第二方向y共光轴设置，第一方向x和第二方向y交叉；光源模块10出射的检测光线，经过分束模块20反射后入射至聚焦模块30，聚焦模块30出射的待测面板100的表面返回的光线，经过分束模块20透射后入射至光阑模块40。

当聚焦模块位于分束模块的透射光路上时，图6为本发明实施例提供的又一种面板缺陷检测装置的结构示意图，参考图6，可选的，光源模块10、分束模块20和聚焦模块30沿第一方向x共光轴设置，成像模块50、光阑模块40和分束模块20沿第二方向y共光轴设置，第一方向x和第二方向y交叉；光源模块10出射的检测光线，经过分束模块20透射后入射至聚焦模块30，聚焦模块30出射的待测面板100的表面返回的光线，经过分束模块20反射后入射至光阑模块40。

当分束模块包括半透半反镜时，在光路传输过程中会有较大的光能损失，在其他实施例中，可以使光源模块出射偏振光，可选的，分束模块包括偏振分束镜以及位于偏振分束镜和聚焦模块之间的四分之一波片。

示例性的，图7为本发明实施例提供的又一种面板缺陷检测装置的结构示意图，参考图7，分束模块20包括偏振分束镜21和位于偏振分束镜21和聚焦模块30之间的四分之一波片22，光源模块10出射的探测光线为s偏振光(偏振方向垂直于纸面)，探测光线入射到偏振分束镜21时发生反射，经过四分之一波片22后转换为圆偏振光，待测面板100返回的光线，经过四分之一波片22后变为p偏振光(偏振方向平行于纸面)，从而在偏振分束镜21发生透射，从而传输到光阑模块40。

可以理解的是，图7中示出的聚焦模块30位于分束模块20的反射光路上仅是示意性的，当光源模块出射p偏振光时，聚焦模块30位于分束模块的透射光路上，类似于图6的结构。

以分束模块包括半透半反镜，聚焦模块位于半透半反镜的反射光路上为例，图8为本发明实施例提供的一种面板缺陷检测装置的光路示意图，参考图8，线状光源11出射的光线经过半透半反镜23反射之后，通过显微镜头31汇聚到待测面板100的上表面。待测面板100上表面的反射或者散射光线，被显微镜头31捕捉汇聚，然后透过半透半反镜23，经过光阑模块40之后，最终照射到TDI相机传感器51上。

图中101为待测面板100上表面的缺陷或者颗粒，是本装置需要检测的缺陷。图中102为待测面板100下表面的沾污，图中103为支撑或者吸附待测面板100所用的机械机构，102和103不是本装置需要检测的缺陷，但是现有技术中，102和103离焦之后的图像会通过显微镜头31最终在TDI相机传感器51上得到一个模糊的像，从而影响101的检出效果。

该装置照明点1a出射的光线照明待测面板100上表面的区域100a，然后该区域的反射或散射光线被显微镜头31收集后，通过线光阑4a，最终被TDI相机传感器51的其中一行线传感器转换为电信号。相应的，照明点1b的光线照明区域100b，散射或反射后通过线光阑4b，并最终被转换为电信号。TDI相机传感器51工作时，光源、镜头与传感器等保持不动(类似于图2的实施例)，待测面板100沿着100b→100a的方向运动。因此当缺陷101依次通过100b和100a点时，TDI相机传感器51上对应光阑4b和4a区域的线传感器依次获得光信号。光信号被TDI相机传感器51转换为电信号后，不同点采集到的缺陷101的信号，被准确地累加在一起，从而得到最终的缺陷101的信号。这种被称为时间延迟积分的方法可以有效提高相机的信噪比，从而在弱光照明条件获得低噪声成像，或者在普通照明条件下支持高速成像。

本发明实施例提供的面板缺陷装置与一般的TDI时间延迟相机的AOI检测装置的主要区别是，采用了线状光源和线状光阑，两者构成共聚焦结构，从而：

1)有效地限制了装置的有效焦深，下表面的光不会在光阑位置处聚焦，而是散开的，这样大多数的能量会被遮挡，从而减少了待测面板下表面对上表面成像的影响；

2)限制了待测面板上表面照明的范围和参与成像的范围，线状光源在待测面板上表面的照明也是平行分隔开的条状照明区域，从而可以减少被测区域旁边的散射光对被测区域的影响，例如100a和100b之间的区域的散射光无法通过光阑4a和4b参与成像，大幅度减小了物料表面照明区域的宽度和高度，从而避免了无关区域的反光污染、提高了光源能量利用率；

3)待测面板在整个扫描范围内，仅在有平行照明光的区域才会被照射，假设照明和遮蔽区域的比例为n:1，那么可以减少1/(n+1)*100％的非必要光辐照，对于荧光测试，可以减少荧光物质被辐照的时间，避免荧光物质长时间辐照后失效。

图9为本发明实施例提供的面板缺陷检测装置的限制焦深的原理示意图，参考图9，线状光源11出射的光线被显微镜头31汇聚到待测面板100的上表面。其中刚好在最佳焦平面反射或散射的光线，通过显微镜头31和半透半反镜23之后，可以刚好通过与线状光源11共轭的线光阑中心(如光束80所示)，从而被TDI相机传感器51的其中一个线传感器采集并转换成为电信号，参与最终成像。而在焦平面景深范围之外散射的光束，则会落在线光阑之外，被光阑遮挡无法参与成像(如光束80a和80b所示)。

图10为本发明实施例提供的另一种面板缺陷检测装置的光路示意图，参考图10，光源模块10包括多个平行且相邻设置的单色线状光源11a，光阑模块40包括多个平行且相邻设置的单色滤光片43。其中单色线状光源11a与单色滤光片43的相应颜色区域相对显微镜头31共轭。光阑模块40由一组不同颜色的垂直于纸面的条形窄带滤波片组成，仅透过与显微镜头31共轭位置处的光源的色光，从而起到类似线光阑的作用，与共轭位置的单色线状光源11a一起实现焦深的压窄，从而避免下表面沾污和支撑物对成像的影响。

图11为本发明实施例提供的一种面板缺陷检测方法的流程示意图，本实施例提供一种面板缺陷检测方法由上述实施例提供的任意一种面板缺陷检测装置执行，面板缺陷检测方法包括：

步骤S110、线状光源出射检测光线。

其中，多个线状光源平行设置，构成光源模块，检测光线可以根据实际需求选用白光或是单色光，本发明实施例对此不作限定。

步骤S120、分束模块将检测光线传输至聚焦模块。

其中，分束模块可以包括半透半反镜，或者偏振分束镜与四分之一波片的组合，聚焦模块可以包括显微镜头，通过显微镜头汇聚到待测面板的上表面。

步骤S130、聚焦模块将检测光线汇聚在待测面板的表面，待测面板的表面返回的光线经过分束模块后入射至与线状光源共轭的透光区。

待测面板的上表面的反射或者散射光线，被显微镜头捕捉汇聚，然后入射到分束模块，经过分束模块透射或反射后入射到光阑模块，经过光阑模块之后，最终照射到成像模块。

步骤S140、成像模块的感光面将接收到的光信号转换为电信号。

步骤S150、处理模块根据电信号检测待测面板的表面缺陷。

其中，成像模块可以包括TDI相机传感器。当待测面板的上表面存在缺陷时，成像模块的信号会发生变化，处理模块进行信号处理后可以实现对缺陷的检测。

本实施例的技术方案，通过线状光源出射检测光线，检测光线经过分束模块后入射至聚焦模块，通过聚焦模块将检测光线汇聚在待测面板的表面，待测面板的表面返回的光线经过分束模块后入射至与线状光源共轭的透光区；通过成像模块接收透光区透光的光线，并将接收到的光信号转换为电信号；通过处理模块根据电信号检测待测面板的表面缺陷。通过线状光源、光阑模块和聚焦模块组成共聚焦光路，从而有效限制了成像焦深，降低了面板缺陷检测装置对于面板背部污染和支撑杆接触区的误检率，有效提高了面板生产检测的速度；同时该装置可实现对物料表面极小区域的定向照明，可以避免照明光对其他区域的辐照，避免其他区域的影响，能量利用效率更高，同时也更易用于紫外缺陷检测场景。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种面板缺陷检测装置，其特征在于，包括光源模块、分束模块、聚焦模块、光阑模块、成像模块以及处理模块，所述光源模块包括多个平行设置的线状光源，所述光阑模块包括多个平行设置的透光区，所述透光区与所述线状光源关于所述聚焦模块一一共轭设置；

所述线状光源用于出射检测光线，所述检测光线经过所述分束模块后入射至所述聚焦模块，所述聚焦模块用于将所述检测光线汇聚在待测面板的表面，所述待测面板的表面返回的光线经过所述分束模块后入射至与所述线状光源共轭的所述透光区；

所述成像模块的感光面朝向所述透光区，用于将接收到的光信号转换为电信号；

所述处理模块与所述成像模块电连接，用于根据所述电信号检测所述待测面板的表面缺陷。

2.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，还包括移动模块，所述移动模块用于带动所述待测面板平移，和/或所述移动模块用于带动所述光源模块、所述分束模块、所述聚焦模块、所述光阑模块和所述成像模块平移，以实现所述待测面板的表面所有区域检测。

3.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述光源模块包括多个平行且间隔设置的线状光源；

所述光阑模块包括光栅光阑，所述光栅光阑包括交替排布的多个透光区和多个不透光区。

4.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述光源模块包括多个平行且相邻设置的单色线状光源，至少两个相邻的所述单色线状光源出射光线的颜色不同；

所述光阑模块包括多个平行且相邻设置的单色滤光片，所述单色滤光片仅透射与所述聚焦模块共轭位置处的所述单色线状光源的色光。

5.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述成像模块、所述光阑模块、所述分束模块和所述聚焦模块沿第一方向共光轴设置，所述分束模块和所述光源模块沿第二方向共光轴设置，所述第一方向和所述第二方向交叉；

所述光源模块出射的检测光线，经过所述分束模块反射后入射至所述聚焦模块，所述聚焦模块出射的所述待测面板的表面返回的光线，经过所述分束模块透射后入射至所述光阑模块。

6.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述光源模块、所述分束模块和所述聚焦模块沿第一方向共光轴设置，所述成像模块、所述光阑模块和所述分束模块沿第二方向共光轴设置，所述第一方向和所述第二方向交叉；

所述光源模块出射的检测光线，经过所述分束模块透射后入射至所述聚焦模块，所述聚焦模块出射的所述待测面板的表面返回的光线，经过所述分束模块反射后入射至所述光阑模块。

7.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述分束模块包括半透半反镜。

8.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述分束模块包括偏振分束镜以及位于所述偏振分束镜和所述聚焦模块之间的四分之一波片。

9.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述聚焦模块包括显微镜头，所述成像模块包括时间延迟积分相机传感器。

10.一种面板缺陷检测方法，其特征在于，由权利要求1～9任一所述的面板缺陷检测装置执行，所述面板缺陷检测方法包括：

线状光源出射检测光线；

分束模块将所述检测光线传输至聚焦模块；

聚焦模块将所述检测光线汇聚在待测面板的表面，所述待测面板的表面返回的光线经过所述分束模块后入射至与所述线状光源共轭的透光区；

成像模块的感光面将接收到的光信号转换为电信号；

处理模块根据所述电信号检测所述待测面板的表面缺陷。

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