JP2006112913A - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マスク8に形成されたパターンの微分干渉像を生成する微分干渉光学系7、10と、前記微分干渉光学系の微分干渉効果が生じる方向を時間的に変化させる制御部15、16と、前記制御部による前記微分干渉光学系の微分干渉効果が生じる方向の時間的な変化に対応して時間的に変化する微分干渉像を撮像する撮像部12と、前記撮像部で撮像された時間的に変化する微分干渉像に基づいて前記マスクに形成されたパターンの欠陥を検出する欠陥検出部18、19、20とを備える。
【選択図】 図3
Description
図3は、本発明の第1の実施形態に係る欠陥検査装置の一例を示したブロック図である。本実施形態は、微分干渉光学系の微分干渉効果が生じる方向を時間的に変化させるものである。
図5は、本発明の第2の実施形態に係る欠陥検査装置の一例を示したブロック図である。本実施形態は、微分干渉効果が生じる方向が互いに異なる複数の微分干渉光学系と、複数の撮像部を設けたものである。なお、図3に示した構成要素と対応する構成要素については、同一の参照番号を付し、それらの詳細な説明は省略する。また、動作についても、第1の実施形態で説明した動作と同様の動作については詳細な説明は省略する。
3…フライアイレンズ 4…干渉ノイズ低減機構
5…リレーレンズ 6…コンデンサレンズ
7、10、26、27、29、30…プリズム
8…マスク 9…対物レンズ
11、22、23…結像レンズ 12、24、25…撮像素子
13、14…偏光板 15、16…スピンドルモータ
17…ステージ 18…ホストコンピュータ
19…比較部 20…記憶部 21、28…ハーフミラー
101…光源 102…光学系 103…マスク
104…光学系 105…プリズム 106…撮像素子
Claims (4)
- マスクに形成されたパターンの微分干渉像を生成する微分干渉光学系と、
前記微分干渉光学系の微分干渉効果が生じる方向を時間的に変化させる制御部と、
前記制御部による前記微分干渉光学系の微分干渉効果が生じる方向の時間的な変化に対応して時間的に変化する微分干渉像を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された時間的に変化する微分干渉像に基づいて前記マスクに形成されたパターンの欠陥を検出する欠陥検出部と、
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記微分干渉光学系は、前記微分干渉効果を生じさせるプリズムを有し、
前記制御部は、前記プリズムを回転させることで前記微分干渉効果が生じる方向を時間的に変化させる
ことを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。 - マスクに形成されたパターンの微分干渉像を生成するものであって、微分干渉効果が生じる方向が互いに異なる複数の微分干渉光学系と、
前記複数の微分干渉光学系で生成された複数の微分干渉像を撮像する複数の撮像部と、
前記複数の撮像部で撮像された複数の微分干渉像に基づいて前記マスクに形成されたパターンの欠陥を検出する欠陥検出部と、
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記微分干渉光学系の数は2であり、一方の微分干渉光学系で微分干渉効果が生じる方向と、他方の微分干渉光学系で微分干渉効果が生じる方向とは、互いに直交している
ことを特徴とする請求項3に記載の欠陥検査装置。
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