JP6642092B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents

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Description

本発明は、被検査試料のパターン検査を行う検査装置及び検査方法に関する。
LSIの高集積化に伴い、半導体デバイスの回路線幅はさらに微細化されてきている。半導体デバイスの製造には、回路パターンが形成された露光用マスク(ステッパやスキャナで用いられるものはレチクルともいう。)が用いられ、露光装置でウェーハ上にパターンが転写される。
半導体デバイス製造の歩留まりを低下させる要因に、マスクやウェーハ等に形成されたパターンの欠陥がある。そのため、パターン欠陥を高精度に検査することが求められている。例えば、複数の電子線(マルチビーム)を試料に照射し、試料から放出される反射電子又は二次電子を検出器で検出して、パターン欠陥を検査する装置が知られている。マルチビームを用いることで、単一の電子線(シングルビーム)を用いる検査装置と比較して、欠陥検査のスループットを向上させることができる。
従来のマルチビームを用いた検査装置では、検出器面上でビームがぼけたり、ビームが移動したりすることで、ビームが検出器の受光領域から外れ、検査精度が低下するという問題があった。
特開2003−167061号公報 特開平11−83753号公報 特開平11−16967号公報 特開平11−37957号公報
本発明は、ビームのぼけや移動に伴う検査精度の低下を防止することができる検査装置及び検査方法を提供することを課題とする。
本発明の一態様による検査装置は、複数のエネルギービームを含むマルチビームを検査対象基板に照射する照射部と、前記検査対象基板から放出される荷電粒子による複数の荷電粒子ビームが結像し、各荷電粒子ビームを電気信号として検出する検出器と、検出された電気信号に基づいて再構成された前記検査対象基板に形成されたパターンの画像データと、参照画像データとを比較し、パターン検査を行う比較部と、を備え、前記検出器は、各荷電粒子ビームに対応した複数の検出素子を有し、前記検出素子のサイズは、前記検出器に結像する荷電粒子ビームの像のビームぼけを含めたサイズよりも大きく、前記照射部は、前記複数のエネルギービームの一部のみを前記検査対象基板に照射し、前記検査対象基板に照射するエネルギービームを順次切り替えることを特徴とするものである。
本発明の一態様による検査装置において、前記検査対象基板は、連続移動するステージ上に載置されており、前記照射部は、前記マルチビームの照射位置が前記ステージの移動に合わせて移動するように前記マルチビームを偏向し、前記検出素子のサイズは、前記検出器に結像する荷電粒子ビームの像のビームぼけを含めたサイズに、前記マルチビームの照射位置の移動に伴う前記検出器上での荷電粒子ビームの結像位置の移動量を加算したサイズよりも大きいことを特徴とする。
本発明の一態様による検査装置は、前記複数のエネルギービームの強度の分布、又は前記複数の検出素子の感度の分布に基づいて、前記画像データを補正することを特徴とする。
本発明の一態様による検査方法は、複数のエネルギービームを含むマルチビームを検査対象基板に照射する工程と、前記検査対象基板から放出される荷電粒子による複数の荷電粒子ビームが結像する検出器を用いて、各荷電粒子ビームの電流量を検出する工程と、検出された電流量に基づいて再構成された前記検査対象基板に形成されたパターンの画像データと、参照画像データとを比較し、パターン検査を行う工程と、を備え、前記検出器に設けられた、前記検出器に結像する荷電粒子ビームの像のビームぼけを含めたサイズよりもサイズの大きい複数の検出素子を用いて、前記電流量を検出し、前記複数のエネルギービームの一部のみを前記検査対象基板に照射し、前記検査対象基板に照射するエネルギービームを順次切り替えることを特徴とするものである。
本発明によれば、ビームのぼけや移動に伴う検査精度の低下を防止することができる。
本発明の実施形態による検査装置の概略構成図である。 アパーチャマスクの概略構成図である。 (a)は基板上でのビーム照射位置を示し、(b)は検出器に設けられた検出素子を示す図である。 検査動作の一例を説明する図である。 (a)〜(c)はステージの移動に追従する電子ビームを示す図である。 (a)〜(e)はマルチビームの走査方法の一例を説明する図である。 (f)〜(i)はマルチビームの走査方法の一例を説明する図である。 (a)〜(e)はマルチビームの走査方法の一例を説明する図である。 (f)〜(i)はマルチビームの走査方法の一例を説明する図である。 (a)〜(d)はマルチビームの走査方法の一例を説明する図である。 (e)〜(g)はマルチビームの走査方法の一例を説明する図である。 比較例による検出素子を示す図である。 本実施形態による検出素子を示す図である。 検出器上で隣接するビームを示す図である。 比較例による検出素子を示す図である。 本実施形態による検出素子を示す図である。 本実施形態による検出素子を示す図である。 検出器上でのビームぼけが大きい状態を示す図である。 本実施形態によるオンビームの切り替え例を示す図である。 変形例による検査装置の概略構成図である。 変形例による検査装置の概略構成図である。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施形態による検査装置の概略構成図である。図1に示すように、検査装置は、検査対象となる基板110の画像データを取得するための画像取得部100と、検査装置全体の制御を行うと共に、画像取得部100により取得された画像データを用いて基板110の検査処理を行う演算制御部200とを備えている。
画像取得部100は、電子源101、照明レンズ102、アパーチャマスク103、レンズ104、ウィーンフィルタ105、対物レンズ106、偏向器107、加速電極108、ステージ109、ステージ位置測定部111、レンズ120、偏向器121、及び検出器130を備える。ステージ109上には、検査対象の基板110が載置される。基板110は、例えば、半導体装置を製造する際に用いられる露光用マスクである。
図2はアパーチャマスク103の構成を示す概念図である。図2に示すように、アパーチャマスク103には、縦(y方向)m列×横(x方向)n列(m,n≧2)の穴(開口部)Hが所定の配列ピッチでマトリクス状に形成されている。例えば、各穴Hは、同じ寸法形状の矩形又は円形である。
電子源101から鉛直下向きに放出された電子ビームは、照明レンズ102によりほぼ垂直にアパーチャマスク103全体を照明する。電子ビームは、アパーチャマスク103のすべての穴Hが含まれる領域を照明する。電子ビームが複数の穴Hを通過することによって、マルチビームが形成される。
ここで、アパーチャマスク103を各穴Hの上流側、下流側又は穴Hの内壁内に偏向電極を有するブランキングアパーチャアレイとして、各穴Hを通過する電子ビームの偏向を制御し、偏向された電子をブロックするアパーチャを設けることとで電子ビームの試料面への到達電流を個別に制御する様にすることもできる。
ウィーンフィルタ105は、鉛直方向に対して、電場及び磁場が直交するように印加されている。ウィーンフィルタ105の上方から入射した電子は、電場と磁場による力が打ち消し合う方向に働き、直進する。そのため、レンズ104によって縮小されたマルチビームは、上方からウィーンフィルタ105に入射し、ウィーンフィルタ105内を下方へ直進して通過する。
ウィーンフィルタ105を通過したマルチビームは、対物レンズ106により焦点が合わされ、偏向器107によって偏向され、基板110上に照射される。このように、電子源101、照明レンズ102、アパーチャマスク103、レンズ104、ウィーンフィルタ105、対物レンズ106、及び偏向器107が、基板110にマルチビームを照射する照射部となる。
基板110で反射した反射電子は、対物レンズ106によって集光され、ウィーンフィルタ105に下方から入射する。ウィーンフィルタ105に下方から入射した反射電子は、電場と磁場による力が同じ向きに働き、検出器130が配置された方向に曲げられる。このように、ウィーンフィルタ105は、基板110に照射される電子と、基板110で反射した電子とを分離することができる。
ウィーンフィルタ105で進行方向が曲げられた反射電子は、レンズ120により検出器130上に結像される。偏向器121は、反射電子を偏向して、検出器130上での結像位置を調整することができる。
本実施形態では、反射電子を用いるものとして説明を行うが、反射電子の代わりに二次電子を用いることもできる。この場合、電位印加回路204により基板110を負にバイアスすると共に、加速電極108を接地電位にバイアスすることで、二次電子を加速することができる。
基板110にはマルチビームが照射され、検出器130においてもマルチビームが結像する。検出器130は、マルチビームの各ビームに対応した複数の検出素子を有する。図3(a)は基板110に照射されるビームBの例を示し、図3(b)は検出器130に二次元アレイ状に設けられた検出素子132を示す。検出器130はマルチチャンネルの検出素子を有するものであり、例えばマイクロチャンネルプレートを使用できる。各検出素子132は、照射された反射電子ビームを電気信号として検出し、その検出値が、検出器130上に結像されたパターン像の画素データとなる。
検出器130の検出素子132は、基板110のパターン面と共役な位置に設けられている。
偏向器107によるマルチビームの偏向量は、基板110の検査領域よりも小さく、検査領域全体を検査するために、ステージ109を移動させながらマルチビームを照射する。図4は、検査動作の一例を説明するための概念図である。図4に示すように、基板110の検査領域40は、例えば、y方向に向かって所定の幅で短冊状の複数のストライプ領域42に仮想分割される。まず、ステージ109を移動させて、第1番目のストライプ領域42の左端、或いはさらに左側の位置に一回のマルチビームの照射で照射可能な照射領域44が位置するように調整し、照射が開始される。
第1番目のストライプ領域42を検査する際には、ステージ109を例えば−x方向に移動させることにより、相対的にx方向へとビームを走査する。ステージ109は所定の速度で連続移動させる。第1番目のストライプ領域42の照射終了後、ステージ位置を−y方向に移動させて、第2番目のストライプ領域42の右端、或いはさらに右側の位置に照射領域が相対的にy方向に位置するように調整し、今度は、ステージ109をx方向に移動させることにより、−x方向にむかって同様に照射を行う。第3番目のストライプ領域42では、x方向に向かって照射し、第4番目のストライプ領域42では、−x方向に向かって照射するといったように、交互に向きを変えながらマルチビームを照射することで検査時間を短縮できる。
このように交互に向きを変えながら照射する場合に限らず、各ストライプ領域42を検査する際、同じ方向に向かって照射を進めるようにしてもよい。アパーチャマスク103の各穴Hを通過することによって形成されたマルチビームによって、各穴Hと同数の複数のビームパターンが一度に照射される。
偏向器107は、図5(a)、(b)に示すように、ステージ109の移動に追従して、電子ビームBが基板110の同じ位置に、単位時間をTとして、所定時間n*T(nは自然数)照射されるように電子ビームBを偏向する。これをトラッキング偏向と呼ぶ。更に、トラッキング偏向に加えて、図6〜11に示す様に、試料面上の複数の位置に電子ビームBを照射する為の小偏向もm回(m:0又は自然数)行う。所定時間n*T経過後、図5(c)に示すように、偏向器107は電子ビームBを元の位置に戻したりして、基板110上でのビーム照射位置をずらす。
ステージ109の移動位置は、ステージ位置測定部111により測定される。ステージ位置測定部111には、例えばレーザ測長システムが用いられる。
図6(a)〜(e)、図7(f)〜(i)は、マルチビームの走査方法の一例を説明する概念図である。図6(a)は、最初に照射される領域(ピクセル)を示す。以降、図6(b)〜(e)、図7(f)〜(i)に示すように、x方向及び/又はy方向に、まだ照射されていないピクセルに位置をずらして、ビームを照射する。
図8(a)〜(e)、図9(f)〜(i)は、マルチビームの走査方法の別の一例を説明する概念図である。図8(a)は、最初に照射される領域(ピクセル)を示す。次に、図8(b)、(c)に示すように、y方向に、まだ照射されていないピクセルに1つずつ位置をずらしながら、2,3回目の照射を順に行う。次に、図8(d)に示すように、x方向にまだ照射されていないピクセルに1つ位置をずらし、4回目の照射を行う。次に、図8(e)、図9(f)に示すように、y方向に、まだ照射されていないピクセルに1つずつ位置をずらしながら、5、6回目の照射を行う。以降、図9(g)〜(i)に示すように、x方向又はy方向に、まだ照射されていないピクセルに位置をずらして、ビームを照射する。
図10(a)〜(d)、図11(e)〜(g)は、マルチビームの走査方法の別の一例を説明する概念図である。例えば、x,y方向に3×4のマルチビームを用いて検査を行う例を示している。図10(a)は、最初に照射される領域(ピクセル)を示す。次に、図10(b)、(c)に示すように、y方向に、まだ照射されていないピクセルに1つずつ位置をずらしながら、2,3回目の照射を順に行う。次に、図10(d)に示すように、x方向にまだ照射されていないピクセルに1つ位置をずらし、4回目の照射を行う。次に、図11(e)、(f)に示すように、y方向に、まだ照射されていないピクセルに1つずつ位置をずらしながら、5、6回目の照射を行う。次に、11(g)に示すように、マルチビーム全体の照射領域サイズだけx方向に移動して、同様にビームを照射する。
このような方法で基板110の検査領域をマルチビームで走査し、検出器130において、反射電子による基板110のパターン像が結像する。このパターン像(反射電子)は検出器130で検出される。例えば、反射電子を光に変換し、光を電気信号へ変換することで、反射電子の信号量が検出される。
図1に示すように、演算制御部200は、制御計算機201、検出信号処理部202、偏向制御回路203、電位印加回路204、参照画像生成部211、比較部212、及び磁気ディスク装置等の記憶装置220を有している。記憶装置220(記憶部)には、基板110の設計データが格納されている。
検出信号処理部202は、検出器130からパターン像(画像)の画素データとなる反射電子の電気信号量を取得し、制御計算機201へ転送する。制御計算機201では、この画素データを用いて、基板110に形成されたパターンの画像データが再構成される。
偏向制御回路203は、基板110上の所望の位置にマルチビームが照射されるように、偏向器107によるビーム偏向量を制御する。また、偏向制御回路203は、反射電子によるマルチビーム(反射マルチビーム)が、検出器130上の所望の位置に結像するように、偏向器121によるビーム偏向量を制御する。偏向制御回路203は、基板110の移動に追従するビームの反射ビームが、同一の検出素子132上に結像されるように、偏向器121によるビーム偏向量を調整する。
電位印加回路204は、二次電子を加速する際に、基板110に電位を印加する。
参照画像生成部211は、記憶装置220内の設計データをイメージデータに変換して、参照画像データを生成する。参照画像データは、例えば、画素毎に8ビットの符号なしデータであり、各画素の明るさの階調(光量)を表現している。
比較部212は、検出信号処理部202が検出器130から取得した画素データに基づいて再構成された画像データと、参照画像生成部211により生成された参照画像データとを位置合わせして比較する。このようにして、基板110に形成されたパターンの欠陥を検出することができる。
ここで、図12に示すように、検出器上に結像されるビームBのサイズより(受光領域の)サイズが小さい検出素子32を用いる場合、反射電子の信号量を精度良く検出できず、検査精度の低下につながる。
そのため、本実施形態では、図13に示すように、検出器130上に結像されるビームBのビームぼけを含めたサイズを予め求め、求めたサイズよりも大きい検出素子132を有する検出器130を用いるようにする。これにより、反射電子の信号量を精度良く検出でき、検査精度の低下を防止できる。検出素子132の配置間隔Pは、ビームBのビームぼけを含めたサイズよりも大きくなっている。
図14に示すように、検出器130上で隣接するビームB1、B2間の距離Dが、ビームB1の大きさの半分r1と、ビームB2の大きさの半分r2との合計より大きく、隣接するビームB1、B2が重ならないようになっていることが好ましい。
上述したように、基板110に照射されるマルチビームは、ステージ109の移動に追従して移動する。ステージ109は、等速で移動するように図示しないステージ駆動機構により駆動されるが、ステージ速度にゆらぎが生じ得る。ステージ速度にゆらぎが生じた場合、ステージ位置の変化はステージ位置測定部111の信号に基づいて基板110上の所定の位置にマルチビームを照射できるように偏向器107を制御する。しかし、ステージ速度が所定の値からずれた場合の偏向器121の調整が偏向器107による偏向を補正しきれない場合は、偏向器121でビームを偏向しても、図15に示すように、検出器上でのビーム結像位置が移動する。サイズの小さい検出素子32を使用している場合、ビームBが検出素子32から外れ、反射電子の信号量を精度良く検出できず、検査精度の低下につながる。
そのため、図16に示すように、検出素子132のサイズを、ビームBのビームぼけを含めたサイズに、検出器130でのビーム移動量を加算したものより大きくすることが好ましい。これにより、検出器130上でビームが移動しても、各ビームは同一の検出素子132上に位置し続け、反射電子の信号量を精度良く検出することができる。
図17に示すように、複数の検出素子132で1つのビームBの信号量を検出してもよい。すなわち、複数の小サイズの検出素子132をグループ化し、1つの検出素子のように疑似的に取り扱ってもよい。図17は、9個の検出素子132をグループ化して1つの検出素子のように取り扱う例を示している。グループ化した9個の検出素子132が検出した信号量を加算して、1本の反射電子ビームを検出する。これにより、複数の検出素子132に跨るビームBの信号量を精度良く検出できる。
検出器130上でのビームぼけが大きい場合、図18に示すように、隣接するビーム同士が重なり、各ビームBの信号量の検出精度が低下する。このような場合は、マルチビームのうち、基板110に照射するビーム(オンビーム)と、照射しないビーム(オフビーム)とを切り替えることが好ましい。オンビームとオフビームの切り替えには例えばブランキングアパーチャを用いることで可能である。
例えば、x方向及びy方向に隣接する複数本のビームをグループ化し、各グループのうち1本をオンビームとし、その他をオフビームとする。オンビームとするビームは順次切り替える。同一のグループのビームの反射電子は、同じ検出素子132で検出されるように偏向器121の偏向量を制御し、結像位置を補正する。
図19は、隣接する4本のビームB1〜B4をグループ化する例を示している。ビームB1〜B4が順次オンビームとなる。ビームB1〜B4の反射電子は、それぞれ同じ検出素子132aで検出される。図19の例では、x方向、y方向それぞれ交互にオンビームとオフビームとが並ぶ。言い換えれば、オンビームの周囲はオフビームとなる。これにより、オンビームの間隔が広がり、検出器130上で像が重なることを防止できる。
オンビームの切り替えは、例えば、アパーチャマスク103の下方に設けた、各ビームを個別にブランキングするブランキングプレート(図示略)と、中心部に開口部が形成された制限アパーチャ部材(図示略)とを用いることで行うことができる。ブランキングプレートには、アパーチャマスク103の各穴Hの配置位置に合わせて通過孔が形成され、各通過孔には、対となる2つの電極の組(ブランカ:ブランキング偏向器)が配置される。
各通過孔を通過する電子ビームは、ブランカによって、それぞれ独立に偏向される。ブランカによって偏向されなかった電子ビームは、制限アパーチャ部材の開口部を通過して基板110に照射されるオンビームとなる。ブランカによって偏向された電子ビームは、制限アパーチャ部材によって遮蔽され、オフビームとなる。
上記実施形態において、マルチビームを構成する複数のビーム間でビーム強度が異なることがある。マルチビームに強度の強いビームと弱いビームとが含まれている場合、強弱を考慮して検出素子132で検出された信号量を補正する必要がある。
例えば、予め試験用基板にマルチビームを照射し、偏向器121で反射電子の結像位置を変えて、各ビームの反射電子を順に同一の検出素子132で検出する。各ビームの強度が同じであれば、検出素子132の検出値も同じとなる。検出素子132の検出結果から、各ビームの強度(強度分布)を求め、補正テーブルとして記憶部(図示略)に格納しておく。検出信号処理部202又は比較部212は、補正テーブルを参照して、パターン像の画素データを補正する。
上記実施形態において、検出器130に設けられた複数の検出素子132は、検出素子132間で感度が異なることがある。検出器130に感度の高い検出素子132と、感度の低い検出素子132とが含まれている場合、感度の高低を考慮して検出素子132で検出された信号量を補正する必要がある。
例えば、予め試験用基板にビームを照射し、偏向器121で反射電子の結像位置を変えて、1つのビームの反射電子を全ての検出素子132で順に検出する。各検出素子132の感度が同じであれば、検出値も同じとなる。検出素子132の検出結果から、各検出素子132の感度(感度分布)を求め、補正テーブルとして記憶部(図示略)に格納しておく。検出信号処理部202又は比較部212は、補正テーブルを参照して、パターン像の画素データを補正する。
上記実施形態では、基板110に照射される電子と基板110で反射した電子とを分離するものとしてウィーンフィルタ105を用いていたが、図20に示すように、ウィーンフィルタ105の代わりに電磁プリズム140を用いてもよい。図20において、図1に示す構成と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。
図1のウィーンフィルタ105は上方から入射した電子を直進させ、下方から入射する電子の軌道を曲げるものであったが、図20の電磁プリズム140は、入射方向によらず、入射した電子の軌道を曲げる。電磁プリズム140は、レンズ104によって縮小されたマルチビームの軌道を基板110の方向に向ける。また、電磁プリズム140は、基板110で発生した反射電子の軌道を検出器130の方向に向ける。
上記実施形態では、電子源101から放出された電子ビーム(シングルビーム)を、アパーチャマスク103の複数の穴Hを通過させることでマルチビームを形成していたが、図21に示すように、複数の電子源101を設け、各電子源101から電子ビーム(シングルビーム)を放出することでマルチビームを形成してもよい。このとき、各電子源101を個別に制御することで、各電子源101から放出される電子ビームのオン、オフを制御することもできる
上記実施形態において、図5(c)に示すように、偏向器107が電子ビームBを元の位置に戻している間は、検出器130での信号検出を停止することが好ましい。例えば、偏向器121が検出素子132上にビームが結像されないようにビームを偏向する。アパーチャマスク103の下方に、上述のブランキングプレート及び制限アパーチャ部材が設けられている場合は、これらを用いて、マルチビームをオフとしてもよい。また、検出素子132が信号取得を停止してもよい。
上記実施形態ではマルチビーム及び検出素子132が2次元アレイ状に並ぶ例について説明したが、1次元に並んでいてもよい。
上記実施形態では、参照画像データとして、検査対象基板の設計データに基づく参照画像データを用いていたが、参照画像データはこれに限るものではない。例えば、同一基板上の異なる位置、又は異なる基板上に形成された同一パターンを検査して得られる画像データを、参照画像データとして用いてもよい。
上記実施形態では、基板110に電子ビームを照射する構成について説明したが、イオンビーム、中性粒子ビーム、X線レーザ等の他のエネルギービームを照射してもよい。イオンビームを照射する場合、検出器130は、基板110から放出される電子による電子ビームでなく、基板110から放出されるイオンによるイオンビームを検出してもよい。
上述した実施形態で説明した演算制御部200の少なくとも一部は、電気回路等のハードウェアで構成してもよいし、ソフトウェアで構成してもよい。ソフトウェアで構成する場合には、演算制御部200の少なくとも一部の機能を実現するプログラムを記録媒体に収納し、電気回路を含むコンピュータに読み込ませて実行させてもよい。記録媒体は、磁気ディスクや光ディスク等の着脱可能なものに限定されず、ハードディスク装置やメモリなどの固定型の記録媒体でもよい。
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
100 画像取得部
101 電子源
102 照明レンズ
103 アパーチャマスク
104 レンズ
105 ウィーンフィルタ
106 対物レンズ
107 偏向器
108 加速電極
109 ステージ
110 基板
111 ステージ位置測定部
120 レンズ
121 偏向器
130 検出器
200 演算制御部
201 制御計算機
202 検出信号処理部
203 偏向制御回路
204 電位印加回路
211 参照画像生成部
212 比較部
220 記憶装置

Claims (4)

  1. 複数のエネルギービームを含むマルチビームを検査対象基板に照射する照射部と、
    前記検査対象基板から放出される荷電粒子による複数の荷電粒子ビームが結像し、各荷電粒子ビームを電気信号として検出する検出器と、
    検出された電気信号に基づいて再構成された前記検査対象基板に形成されたパターンの画像データと、参照画像データとを比較し、パターン検査を行う比較部と、
    を備え、
    前記検出器は、各荷電粒子ビームに対応した複数の検出素子を有し、前記検出素子のサイズは、前記検出器に結像する荷電粒子ビームの像のビームぼけを含めたサイズよりも大きく、
    前記照射部は、前記複数のエネルギービームの一部のみを前記検査対象基板に照射し、前記検査対象基板に照射するエネルギービームを順次切り替えることを特徴とする検査装置。
  2. 前記検査対象基板は、連続移動するステージ上に載置されており、
    前記照射部は、前記マルチビームの照射位置が前記ステージの移動に合わせて移動するように前記マルチビームを偏向し、
    前記検出素子のサイズは、前記検出器に結像する荷電粒子ビームの像のビームぼけを含めたサイズに、前記マルチビームの照射位置の移動に伴う前記検出器上での荷電粒子ビームの結像位置の移動量を加算したサイズよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
  3. 前記複数のエネルギービームの強度の分布、又は前記複数の検出素子の感度の分布に基づいて、前記画像データを補正することを特徴とする請求項1又は2に記載の検査装置。
  4. 複数のエネルギービームを含むマルチビームを検査対象基板に照射する工程と、
    前記検査対象基板から放出される荷電粒子による複数の荷電粒子ビームが結像する検出器を用いて、各荷電粒子ビームの電流量を検出する工程と、
    検出された電流量に基づいて再構成された前記検査対象基板に形成されたパターンの画像データと、参照画像データとを比較し、パターン検査を行う工程と、
    を備え、
    前記検出器に設けられた、前記検出器に結像する荷電粒子ビームの像のビームぼけを含めたサイズよりもサイズの大きい複数の検出素子を用いて、前記電流量を検出し、
    前記複数のエネルギービームの一部のみを前記検査対象基板に照射し、前記検査対象基板に照射するエネルギービームを順次切り替えることを特徴とする検査方法。
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