JP2009162563A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 検査対象物の撮影画像データを用いて、該検査対象物の外観検査を行う情報処理装置であって、
   第１の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第１の撮影画像データと、前記第１の撮影条件とは異なる第２の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第２の撮影画像データと、を記憶する第１の記憶手段と、
   前記第１の撮影画像データに含まれる異物画像の検出に用いる第１の基準画像データと、前記第２の撮影画像データに含まれる異物画像データの検出に用いる第２の基準画像データと、を記憶する第２の記憶手段と、
   前記第１の撮影画像データと前記第１の基準画像データを用いて、第１の差分画像データを作成する第１の作成手段と、
   前記第２の撮影画像データと前記第２の基準画像データを用いて、第２の差分画像データを作成する第２の作成手段と、
   前記第１の差分画像データと予め設定された第１の判定基準を用いて、前記第１の撮影画像データに含まれる異物画像を検出する第１の検出手段と、
   前記第２の差分画像データと予め設定された第２の判定基準を用いて、前記第２の撮影画像データに含まれる異物画像を検出する第２の検出手段と、
   を備え、
   前記第１の撮影条件及び第２の撮影条件にはそれぞれ照明の照射条件及び撮影倍率が含まれ、前記第１の撮影条件の照明の照射条件は暗視野照明、前記第２の撮影条件の照明条件は明視野照明であり、前記第１の撮影条件の撮影倍率より前記第２の撮影条件の撮影倍率が高いこと
   を特徴とする情報処理装置。
2. 前記第１の判定基準及び前記第２の判定基準には、異物画像を検出する基準となるサイズ条件が含まれ、前記第１の判定情報に含まれるサイズ条件の数値より、前記第２の判定情報に含まれるサイズ条件の数値が小さいこと
   を特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
3. 前記第１の判定基準のサイズ条件には、前記第２の検出手段による検出処理を必要とする異物画像のサイズ条件が含まれ、
   前記第１の検出手段で検出した異物画像に、第２の検出手段による検出処理を必要とする異物画像が含まれるかを判定する判定手段を更に備え、
   前記判定手段で、第２の検出手段による検出処理を必要とする異物画像が前記第１の検出手段で検出されたと判定した後に、前記第２の検出手段は、前記第２の差分画像データを予め設定された第２の判定基準とを用いて、前記第２の画像データに含まれる異物画像を検出すること
   を特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
4. 前記第１の検出手段で検出された前記第２の判定手段による判定処理が必要と判定された異物画像の位置情報を記憶する第３の記憶手段と、
   前記第３の記憶手段に記憶した位置情報に基づいて、前記検査対象物が設置された検査台の位置の変更指示を行う指示手段と、
   を更に備え、
   前記第２の作成手段は、指示手段での変更指示に従った検査台の位置の変更が行われた後に前記第２の撮影条件に従って前記撮影装置で撮影された第２の撮影画像データと、前記第２の基準画像データとを用いて、第２の差分画像データを作成すること
   を特徴とする請求項３に記載の情報処理装置。
5. 前記第１の検出手段で検出された異物画像の位置を認識可能に第１の撮影画像を、前記第２の検出手段で検出された異物画像の位置を認識可能に前記第２の撮影画像を表示する表示手段
   を更に備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
6. 前記表示手段はさらに、前記第１の検出手段で検出された異物画像の一覧情報及び前記第２の検出手段で検出された異物画像の一覧情報を表示すること
   を特徴とする請求項５に記載の情報処理装置。
7. 前記第１の判定基準及び／または前記第２の判定基準の設定変更をする変更手段と、
   前記変更手段で前記第１の判定基準の設定変更をした後に、前記第１の検出手段は、前記第１の差分画像データと変更された第１の判定基準を用いて、前記第１の撮影画像データに含まれる異物画像を検出し、
   前記変更手段で前記第２の判定基準の設定変更をした後に、前記第２の検出手段は、前記第２の差分画像データと変更された第２の判定基準を用いて、前記第２の撮影画像データに含まれる異物画像を検出すること
   を特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
8. 第１の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第１の画像データと、前記第１の撮影条件とは異なる第２の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第２の画像データと、を記憶する第１の記憶手段と、前記第１の画像データに含まれる異物画像の検出に用いる第１の基準画像データと、前記第２の画像データに含まれる異物画像データの検出に用いる第２の基準画像データと、を記憶する第２の記憶手段とを備える、検査対象物の撮影画像を用いて、該検査対象物の外観検査を行う情報処理装置によって行われる情報処理方法であって、
   前記第１の画像データと前記第１の基準画像データを用いて、第１の差分画像データを作成する第１の作成工程と、
   前記第２の画像データと前記第２の基準画像データを用いて、第２の差分画像データを作成する第２の作成工程と、
   前記第１の差分画像データと予め設定された第１の判定基準を用いて、前記第１の画像データに異物画像が含まれるかを判定する第１の判定工程と、
   前記第２の差分画像データと予め設定された第２の判定基準を用いて、前記第２の画像データに異物画像が含まれるかを判定する第２の判定工程と、
   を備え、
   前記第１の撮影条件及び第２の撮影条件にはそれぞれ照明の照射条件及び撮影倍率が含まれ、前記第１の撮影条件の照明の照射条件は暗視野照明、前記第２の撮影条件の照明条件は明視野照明であり、前記第１の撮影条件の撮影倍率より前記第２の撮影条件の撮影倍率が高いこと
   を特徴とする情報処理方法。
9. 前記第１の判定情報及び前記第２の判定情報には、異物画像を検出する基準となる面積情報が含まれ、前記第１の判定情報に含まれる面積情報の数値より、前記第２の判定情報に含まれる面積情報の数値が小さいこと
   を特徴とする請求項８に記載の情報処理装置。
10. 第１の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第１の画像データと、前記第１の撮影条件とは異なる第２の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第２の画像データと、を記憶する第１の記憶手段と、
    前記第１の画像データに含まれる異物画像の検出に用いる第１の基準画像データと、前記第２の画像データに含まれる異物画像データの検出に用いる第２の基準画像データと、を記憶する第２の記憶手段とを備える、検査対象物の撮影画像を用いて、該検査対象物の外観検査を行う情報処理装置を、
    前記第１の画像データと前記第１の基準画像データを用いて、第１の差分画像データを作成する第１の作成手段と、
    前記第２の画像データと前記第２の基準画像データを用いて、第２の差分画像データを作成する第２の作成手段と、
    前記第１の差分画像データと予め設定された第１の判定基準を用いて、前記第１の画像データに異物画像が含まれるかを判定する第１の判定手段と、
    前記第２の差分画像データと予め設定された第２の判定基準を用いて、前記第２の画像データに異物画像が含まれるかを判定する第２の判定手段として機能させ、
    前記第１の撮影条件及び第２の撮影条件にはそれぞれ照明の照射条件及び撮影倍率が含まれ、前記第１の撮影条件の照明の照射条件は暗視野照明、前記第２の撮影条件の照明条件は明視野照明であり、前記第１の撮影条件の撮影倍率より前記第２の撮影条件の撮影倍率が高いこと
    を特徴とするコンピュータプログラム。
11. 前記第１の判定情報及び前記第２の判定情報には、異物画像を検出する基準となる面積情報が含まれ、前記第１の判定情報に含まれる面積情報の数値より、前記第２の判定情報に含まれる面積情報の数値が小さいこと
    を特徴とする請求項１０に記載のコンピュータプログラム。