JPS5871414A - 検査作業指示装置 - Google Patents

検査作業指示装置

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Publication number
JPS5871414A
JPS5871414A JP16861881A JP16861881A JPS5871414A JP S5871414 A JPS5871414 A JP S5871414A JP 16861881 A JP16861881 A JP 16861881A JP 16861881 A JP16861881 A JP 16861881A JP S5871414 A JPS5871414 A JP S5871414A
Authority
JP
Japan
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work
inspection
computer
information
procedure
Prior art date
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Pending
Application number
JP16861881A
Other languages
English (en)
Inventor
Tsutomu Takahashi
勉 高橋
Takemasa Iwasaki
岩崎 武正
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS5871414A publication Critical patent/JPS5871414A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D21/00Measuring or testing not otherwise provided for

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、製造工場の検査工程において作業者11 に適切な検査作業手順を指示するための検査作業指示装
置Kljllするものである。
豪雑な作業手順が要求される半導体製品等の検査作業は
、検査作業の対象となる単位(検査ロット)の品樵名や
検査項目あるいはそれまでの作業履歴によってそれぞれ
異なる。また、この様な検査作業の多くは抜取検査方式
である几め、サンプリング数やサンプル当りの測定回数
(点数)もそれまでの測定結果に基づいて推定された平
均的な品質によって逐次変′更しなければならないのが
普通であり、作業能率の向上や作業誤り防止の観点から
適確な作業指示が要求される。
従来から種々の検査作業装置が考案されているが、方式
的には作業指示票による方式、作業手順のみをCRT表
示や音声により指示する方式の二つに分けられる。
しかし、作業指示票による方式では、作業者が品種名や
検査項目あるいは作業履歴側に作成された手順表を探し
たり、全体の内容を読みそのうちの一部分だけを実施す
るという作業が必要となり、3−1 作業能率が低いとともに作業−りも多いという欠点がお
った。
また、作業手順のみをCR7表示や音声により指示する
方式では、それまでの測定結果の判定により適宜に表示
画面の読みとばしゃ音声指示の聞きとげしか必IPKな
る。また、測定結果の判定は作業者が行なわなければな
らない。そのため、作業W@率が低いとともに作業誤り
も多いという欠点があった。
本発明は、かかる従来技術の欠点に鑑みなされたもので
、それぞれ相異なる検査作業を行う作業者に対して、作
業能率の向上と作業誤り防止のための適確な指示を行う
検査作業指示装置を提供することを目的としている。
本発明の検査作業指示装置仲、検査対象の検査手順情報
と各検査作業単位の作業履歴情報を格納する記憶装置と
、各検査作業単位に付与された選択識別情報を読み込む
第1の入力装置と、上記検査子1@情報と作業履歴情報
を表示する表示装置と、表示装置に表示された未着手検
査手順情報に基づいてなされた検査作業の結果を入力す
る第2の入力・装置と、第1の入力装置の出力に応じて
記憶装置から必畳な検査手順情報と作業履歴情報を読み
出し、該検査作業単位の未着手検査手順情報を算出して
表示装置に出力し、更に第2の入力装置から入力された
未着手検査手順情報に基づく検査作業結果により、作業
結果の判定や作業履歴情報の更新をくり返して行う計算
機とから構成されている。
以下添付の図面に示す実施例九より、更に詳細に本発明
について説明する。
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図である。同
図に示す様に、各検査作業単位1又は七の収納容器に該
検査作業単位1を識別するためのバーコード2が印刷さ
れている。検査装置3は各検査作業単位1を検査するも
のであり、バコード+7− / 41d /<コード2
を読み取るためのものである。計算機6は、バーコード
2に該当する検査作業単位1に関する作業履歴情報を外
m記憶装置7から読み出し、該検査作業単位lの未着手
検査子5頁 順名を算出し、更に該当する検査手順名に関する検査手
順をタッチパネル式タプレツ)5[1!示する機能を有
するものである。尚、検査手順は予め品種別に各検査作
業別にランダムアクセス可能な形で外部記憶装置7に格
納しておく。
作業者が検査対象のバーコード2をバーコードリーダ4
から読み込tぜると、該バーコード2に対応する作業履
歴情報が外部記憶装置)から計算sI6内に絖み込まれ
る。計算機6は、この作業履歴情報から未着手の検査作
業を−出し、更にこれらの未着手の検査作業の中から最
早作業を選択する。そして、計算機6は、該最早作業に
関する検査手順を外部記憶装置7から読み込み、タッチ
パネル式タブレット5に表示する。
作業者は上記タッチパネル式タブレット5上に逐次表示
される検査手順に従って作業を行なう。
測定結果は同じタッチパネル式タブレット5の画面上に
表示されている選択肢のいづれかを触れるか、または同
じ画面上に表示されているテンキー状の部分を順次触れ
ることKよって計算機6内に6頁 取り込まれる。計算機6は、この測定結果の入力を判定
し、判定に応じてそれぞれ異なる検査手順を表示する。
例えば、静りを発見した時は、警告をタッチパネル式タ
ブレット5上に表示する。また、鼠常な判定結果であれ
ば、該検査対象の作業履歴を更新する。
第2図は上記タッチパネル式タブレット5の一例を示す
ブロック図であり、以下にその動作を説明する。第2図
に示す装置は、6稲の表示を行うCRT表示装置11と
、CRT表示装置1の前面にカンチレバー13によって
三点支持された透明パネル12と、透明パネル12の任
意の点を圧すると該圧迫点と各支持支点の距離に応じた
圧力を検出するストレインゲージ14と、各ストレイン
ゲージ14からの検出出力t−AD変換するAD変換器
15と、AD変換器15の出力を基に圧迫点のCR7表
示画面上の位置を算出する計算機6と、該画面上の表示
情報を計算機6に取り込むCRT制御装置16とから構
成されている。これKより、CR7表示画面上に表示さ
れた任意の情報を透明パネル12の該当する位置に触れ
7頁 るだけで計算機6に入力することが可能忙なる。
以上の説明から明らかな様に、本発明によれは以下の様
な効果が得られる。
(1)  検査対象のバーコードをコードリーグで読み
込まぜるため、品種別・検査項目別・作業履歴別の検査
手順を自動表示でき、そのため作業能率が向上し、作業
誤シ防止も期待できる。
(2)  表示画面に直接触れることにより、指示を確
認しながら検査作業が行われ、同時に測定結果の計算機
への入力も行われるので、作業能率が向上し、検査作業
の信頼性も向上する。
(3)  測定結果の判定は計算機が行うので、迅速・
確実な判定が得られる。
(4)  計算機は複数台の検査装置を同時に制御で龜
るので、安価に検査作業指示装置を構成できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の検査作業指示装置の一実施例を示すブ
ロック図、第2図は第1図に示すタッチパネル式タブレ
ットの一例を示すブロック図である。 特開昭58−71414 (3)8   il・・・検
査作業単位、2・・・バーコード、3・・・検査装置、
4・・・バーコードリーグ、5・・・タッチパネル式タ
ブレット、6・・・計算機、7・・・外部記憶装置、1
1・・・CRT表示装置、12・・・透明パネル、13
・・・力/チレバー、14・・・ストレインゲージ、1
5・・・AD変換器、16・・・CRT制御装置。 代理人 弁理士  秋  本  正  実第1図 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 検査対象の検査手順情報と各検査作業単位の作業履歴情
    @を格納する記憶装置と、各検査作業単位に付与された
    選択識別情報を読み込む纂1の入力装置と、上記検査手
    順情報と作業履歴情報を表示する表示装置と、表示装置
    に表示された未着手検査手順情報に基づいてなされた検
    査作業の結果を入力する第2の入力装置と、第1の入力
    装置の出力に応じて上記記憶装置から心壁な検査手順情
    報と作業履歴情報を読み出し、該検査作業単位の未着手
    検査手順情報を算出して表示装置に出力し、更に第2の
    入力装置から入力され九未着手検査手順情報に基づく検
    査作業結果により、作業結果の判定や作業履歴情報の更
    新をくり返し行う計算嶺とから構成されていることt−
    特徴とする検査作業指示装置。
JP16861881A 1981-10-23 1981-10-23 検査作業指示装置 Pending JPS5871414A (ja)

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JP16861881A JPS5871414A (ja) 1981-10-23 1981-10-23 検査作業指示装置

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JP16861881A JPS5871414A (ja) 1981-10-23 1981-10-23 検査作業指示装置

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JPS5871414A true JPS5871414A (ja) 1983-04-28

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ID=15871392

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JP16861881A Pending JPS5871414A (ja) 1981-10-23 1981-10-23 検査作業指示装置

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0457924A1 (en) * 1990-01-11 1991-11-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Apparatus for supporting inspection of plant

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