JP4529084B2 - 固体撮像素子検査システム - Google Patents
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Description
固体撮像素子検査装置に検査対象とする複数の固体撮像素子チップそれぞれに対応する複数の画像処理部が接続される固体撮像素子検査システムであって、
前記固体撮像素子検査装置には、検査装置上で動作するプログラムおよびパラメータが前記検査対象の種別に応じて複数組格納されるとともに前記各画像処理部を駆動するためのソフトおよびパラメータが前記検査対象の種別に応じたデータセットとして複数組格納された制御用メモリと、前記検査対象とする固体撮像素子の種別に対応した所定のデータセット切替命令を設定入力する操作設定部と、データセット切替命令に従って前記制御用メモリから読み出されたデータセットを前記各画像処理部に転送する画像処理データセット転送部と、前記各固体撮像素子チップの画像データを各チップ毎に編集して前記各チップに対応する画像処理部に出力する画像データ編集部を設け、
前記画像処理部には、前記固体撮像素子検査装置から転送されてきたデータセットに基づき所定の画像処理ソフトを起動させる制御部を設け、
前記各画像処理部は、前記固体撮像素子検査装置から転送されてきた画像処理ソフトに基づいて、前記検査装置には組み込まれていない画像処理検査を同時に並行して実行することを特徴とする。
前記システム全体が汎用ネットワークで接続され、前記固体撮像素子検査システムにおける画像データや検査データを汎用パソコンで利用できることを特徴とする。
4 光源
5 DUTボード
6 CPU
7 操作設定部
8 光源駆動制御部
9 素子駆動制御部
10 A/D変換器
11 データメモリ
12 DMAC
13 画像処理メモリ
14 DSP
15 表示部
17 制御用メモリ
18 画像処理データセット転送部
19 画像データ編集部
20 固体撮像素子検査装置
21 画像処理部
22 制御部
Claims (2)
- 固体撮像素子検査装置に検査対象とする複数の固体撮像素子チップそれぞれに対応する複数の画像処理部が接続される固体撮像素子検査システムであって、
前記固体撮像素子検査装置には、検査装置上で動作するプログラムおよびパラメータが前記検査対象の種別に応じて複数組格納されるとともに前記各画像処理部を駆動するためのソフトおよびパラメータが前記検査対象の種別に応じたデータセットとして複数組格納された制御用メモリと、前記検査対象とする固体撮像素子の種別に対応した所定のデータセット切替命令を設定入力する操作設定部と、データセット切替命令に従って前記制御用メモリから読み出されたデータセットを前記各画像処理部に転送する画像処理データセット転送部と、前記各固体撮像素子チップの画像データを各チップ毎に編集して前記各チップに対応する画像処理部に出力する画像データ編集部を設け、
前記画像処理部には、前記固体撮像素子検査装置から転送されてきたデータセットに基づき所定の画像処理ソフトを起動させる制御部を設け、
前記各画像処理部は、前記固体撮像素子検査装置から転送されてきた画像処理ソフトに基づいて、前記検査装置には組み込まれていない画像処理検査を同時に並行して実行することを特徴とする固体撮像素子検査システム。 - 前記システム全体が汎用ネットワークで接続され、前記固体撮像素子検査システムにおける画像データや検査データを汎用パソコンで利用できることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子検査システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005011075A JP4529084B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 固体撮像素子検査システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005011075A JP4529084B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 固体撮像素子検査システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006203388A JP2006203388A (ja) | 2006-08-03 |
JP4529084B2 true JP4529084B2 (ja) | 2010-08-25 |
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ID=36961014
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005011075A Expired - Fee Related JP4529084B2 (ja) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 固体撮像素子検査システム |
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JP (1) | JP4529084B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4683267B2 (ja) * | 2005-01-19 | 2011-05-18 | 横河電機株式会社 | 固体撮像素子検査システム |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997009629A1 (fr) * | 1995-09-04 | 1997-03-13 | Advantest Corporation | Appareil de transfert de dispositifs semi-conducteurs |
JPH09178807A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Nec Corp | Ic検査用オートハンドラ |
JP2001016623A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Agilent Technologies Japan Ltd | 撮像素子の試験方法 |
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2005
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO1997009629A1 (fr) * | 1995-09-04 | 1997-03-13 | Advantest Corporation | Appareil de transfert de dispositifs semi-conducteurs |
JPH09178807A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Nec Corp | Ic検査用オートハンドラ |
JP2001016623A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Agilent Technologies Japan Ltd | 撮像素子の試験方法 |
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JP2006203388A (ja) | 2006-08-03 |
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A621 | Written request for application examination |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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