KR101308624B1 - 플레이트 표면 결함 검사 장치 - Google Patents

플레이트 표면 결함 검사 장치 Download PDF

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Abstract

본원 발명은 비 투명체 플레이트(plate)의 표면 결함 검사에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 연주 후 스카핑 된 철강 슬리브의 표면 결함을 검사할 수 있도록하는 플레이트 표면 결함 검사 장치 및 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 하며,
합쳐지는 경우 백색광이 되도록 빨간, 초록, 파란색이 광원을 플레이트 표면에 조사하는 광원부와; 상기 광원부에 의해 백색광이 조사되는 플레이트 표면영역을 촬영하는 카메라와; 상기 카메라의 움직임을 제어하고, 상기 카메라에 의해 촬영된 영상신호를 주제어부로 출력하는 영상처리부와; 상기 영상처리부의 출력신호에 의한 영상을 화면에 출력하고, 상기 영상신호로부터 삼색 광원의 세기 값을 백색광원을 위해 설정된 값과 비교하여 다른 경우 결함으로 판단하는 주제어부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
플레이트, 전처리, 슬라브, 표면 결함, 백색광

Description

플레이트 표면 결함 검사 장치{The surface flaw detection apparatus}
도 1은 종래기술의 플레이트(Plate) 표면 결함 검사장치 개략도,
도 2는 본원발명의 일 실시 예에 따르는 플레이트 표면 결함 검사장치의 개략적인 블록 구성도,
도 3은 본원발명의 일 실시 예에 따르는 삼색 광원을 이용한 표면 결함 검사 방법의 처리과정을 나타내는 순서도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10: 종래기술의 플레이트 표면 결함 검사 장치
20: 본원발명의 플레이트 표면 결함 검사 장치
1: 카메라
3: 플레이트 4: 광조사영역
5: 결함 6: 조업자
11: 영상처리부 12: 메인PC
21: 표면영상처리부 22: 주제어부
23: 전원공급부
30: 광원부
31: 광원
31a: 빨간색 광원 31b: 녹색 광원
31c: 파란색 광원
32: 광원제어부 33: 광원움직임제어부
본원 발명은 비 투명체 플레이트(plate)의 표면 결함 검사에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 연주 후 스카핑 된 철강 슬리브의 표면 결함을 검사할 수 있도록하는 플레이트 표면 결함 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
연주 공정을 거친 철강 플레이트의 표면을 스카핑하면 제강공정에서 미쳐 빠져 나가지 못한 가스에 의해 발생되는 공극이 생성되고 가스가 냉각되거나 배출되면 플레이트 표면에 오목한 결함을 형성한다. 이러한 결함은 후 공정에서 열연재의 표면 결함에 결정적인 원인이 된다. 따라서, 상술한 바와 같은 플레이트 표면 결함에 의한 후 공정에서의 열연재의 표면 결함의 발생을 방지하기 위하여 플레이트 표면에 발생하는 결함을 검출하기 위한 여러 가지 방법들이 시도되고 있다.
도 1은 종래기술의 플레이트의 표면 결함 검사장치(10)의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래기술의 플레이트의 표면 결함 검사장치(10)(이하 '종래기술의 검사장치')는, 플레이트(3)의 스카핑된 표면의 영상을 획득할 수 있는 카메라(1)와 카메라(1)에 의해 획득된 영상에 대한 화소정보 등의 신호를 처리는 영상처리부(11)와 영상처리부(11)에서 처리된 영상신호를 화상신호로 출력하는 메인 PC(12)를 포함하여 구성된다.
상술한 구성을 가지는 종래기술의 검사장치(10)에서의 플레이트 표며 결함 검사의 처리과정을 설명하면 다음과 같다.
도 1의 종래기술의 검사장치(10)에서 카메라(1)에 의해 획득된 영상을 영상처리부(11)가 영상신호로 변환한 후 메인 PC(12)로 전송하면 메인 PC(12)는 수신된 영상신호를 모니터 상에 화면으로 출력하면, 조업자(6)가 화면영상을 확인하여 결함여부를 판단하게 된다. 이 경우 화면에서 검출되는 결함도 존재하지만 화면에서는 나타나지 않지만 육안에 의해 나타나는 결함도 상당히 많이 있어, 현재의 방법에서는 육안을 생략할 수가 없다. 따라서 조업자(6)는 화면에 출력된 표면 영상에 의한 결함 검사에 미진함이 있는 경우 현장에 직접 방문하여 육안으로 재확인하여 결함 여부를 검사하게 된다.
즉, 상술한 바와 같은 종래기술의 검사장치(10)는 작업자가 화면을 통해 검색하고 다시 현장에서 육안을 통하여 확인하는 이중의 검사를 수행해야 하므로 플레이트 표면 결함 검사에 시간과 인력 및 비용이 낭비되고, 신속한 결함 검출이 어려운 문제점을 가진다.
따라서, 본원발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 합쳐지는 경우 백생광으로 되도록 균질한 크기의 빨간, 초록, 파란색 광원을 이용하여 플레이트(plate) 표면의 일정한 면적을 조사한 후 카메라를 이용하여 이를 촬영하여 해당 부분의 색이 백색 이외의 색으로 변화되는 지의 여부를 검출하여 백색 이외의 색으로 변하는 경우 플레이트(plate)의 표면 결함으로 판단하여 플레이트 표면의 결함을 검사할 수 있도록 하는 플레이트 표면 결함 검사 장치 및 그 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본원발명의 플레이트 표면 검사 장치는, 합쳐지는 경우 백색광이 되도록 빨간, 초록, 파란색이 광원을 플레이트 표면에 조사하는 광원부와; 상기 광원부에 의해 백색광이 조사되는 플레이트 표면영역을 촬영하는 카메라와; 상기 카메라의 움직임을 제어하고, 상기 카메라에 의해 촬영된 영상신호를 주제어부로 출력하는 영상처리부와; 상기 영상처리부의 출력신호에 의한 영상을 화면에 출력하고, 상기 영상신호로부터 삼색 광원의 세기 값을 백색광원을 위해 설정된 값과 비교하여 다른 경우 결함으로 판단하는 주제어부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 광원부는, 빨간, 초록, 파란색 빛을 각각 조사하는 빨간색 광원, 초록색 광원, 파란색 광원을 구비한 광원과; 상기 광원의 광세기를 제어하는 광원제어 부와; 상기 광원의 움직임을 제어하는 광원움직임제어부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 영상처리부는 상기 광원움직임 제어부와 연동하여 광원이 비추는 플레이트 표면 영역을 촬영하도록 카메라의 움직임을 제어하는 카메라 움직임 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 영상처리부는 상기 카메라에 의해 촬영된 영상에서의 빨간, 초록, 파란 색의 광원의 세기를 RGB 또는 YUV 색신호로 변환하여 출력하는 것을 특징으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본원발명의 플레이트 표면 검사 방법은, 플레이의 검사영역에 백색광을 형성하도록 빨간, 초록, 파란색의 광원을 비추는 광원조사과정과; 상기 광원조사과정에 의해 광원이 조사된 영역을 촬영하는 촬영과정과; 상기 촬영과정에서 획득된 영상을 삼색 광원 값의 영상신호로 변환하여 출력하는 영상처리과정과; 상기 영상처리과정에서 출력되는 영상신호를 백색광의 삼색 광원 값과 비교하여 다른 경우 결함으로 판단하는 결함검출과정;으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상술한 본원발명에서 삼색 광은 RGB 또는 YUV 값 중 어느 하나로 표시되는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본원발명을 더욱 상세히 설명한다.
도 2는 본원발명의 일 실시 예에 따르는 플레이트 표면 결함 검사장치의 개략적인 블록 구성도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따르는 플레이트 표면의 결함 검사 장치(20)는, 빨간색, 초록색, 파란색을 백색광이 되도록 조절하여 플레이트 표면의 광조사영역(4)을 조사하는 광원부(30)와; 광원부(30)가 조사하는 플레이트 표면 영역을 촬영하는 카메라(1)와, 카메라(1)의 움직임을 제어하며, 카메라(1)의 촬영영상을 RGB 또는 YUV 방식으로 신호처리하여 출력하는 영상처리부(21)와; 영상처리부(22)의 출력 영상신호를 모니터 등의 표시장치에 출력하고, 영상신호의 RGB 또는 YUV 색 값과 백색광을 이루는 RGB 또는 YUV 색 값을 비교한 후 서로 다른 경우 결함으로 판단하는 주메인 PC 등으로 실시되는 주제어부(22), 및 상기 각 구성에 전원을 공급하는 전원공급부(23)를 포함하여 구성된다.
상술한 구성에서 상기 광원부(30)는 빨간색, 초록색, 파란색의 빛을 각각 조사하도록 하는 광조사기로서의 빨간색 광원(31a), 초록색 광원(31b), 파란색 광원(31c)으로 구성되는 광원(31)과, 상기 광원(31)의 각각의 색의 세기를 제어하는 광원제어부(32)와, 상기 광원(31)을 이루는 각각의 빨간색 광원(31a), 초록색 광원(31b), 파란색 광원(31c)의 움직임을 제어하여 조사영역을 설정할 수 있도록 하는 광원움직임제어부(33)를 포함하여 구성된다.
상술한 바와 같이 구성되는 광원부(30)는 균일한 세기를 가지는 빨간색, 초록색, 파란색의 빛 플레이트(3) 표면의 결함 검사 대상이 되는 표면으로서의 광조사영역(4)에 조사하여 조사된 플레이트 표면 영역에서 백색광이 생성되도록 한다.
그리고 상기 영상처리부(21)는 도면에는 미 도시되어 있으나 카메라(1)가 광원부(30)가 조사하는 플레이트(3) 표면의 광조사영역(4)의 영상을 촬영하도록 카메라의 움직임을 제어하는 카메라움직임제어부를 포함하여 구성된다.
이때, 카메라움직임제어부는 광원움직임제어부(33)로부터 광원(30)에 대한 제어값을 입력받아서 기 설정된 좌표축을 이용하여 백색광이 조사되는 플레이트 표면 광조사영역(4)을 촬영하도록 카메라(1)의 움직임을 제어하거나, 또는, 카메라(1)에 의해 촬영된 영상에서 빛의 세기를 검출하여 자동으로 백색광이 조사되는 영역을 카메라(1)가 촬영하도록 하는 것에 의해 카메라(1)가 광조사영역(4)을 자동으로 촬영하도록 카메라(1)의 움직임을 제어한다.
다음으로, 상기 주제어부(22)는 영상처리부(21)와 광원부(30)의 구동을 제어하며, 영상처리부(21)에서 입력되는 영상신호의 색 값을 백색광을 이루는 색값과 비교하는 것에 의해 플레이트(3) 표면에 결함(5)이 발생하였는지를 판단하다.
이때, 플레이트 표면의 광조사영역(4)이 결함(5)을 포함하는 경우, 결함(5)에서 빛의 반사각의 차이에 의해 결함(5)에서 반사되는 각각의 삼색 광의 세기가 달라지게 되어 백색광이 아닌 다른 색을 나타내게 되며, 이는 영상처리부(21)에 의해 색값신호로 변환되고, 주제어부(22)는 색 값 신호를 백색광을 이루는 색값 신호와 비교하여 서로 다른 경우 표면에 결함이 있는 것으로 판단하게 된다.
즉, 주제어부(22)는 영상처리부(21)에서 출력되는 값을 기본 결함 검지 알고리즘에 적용하여 결함 정도를 화면에 출력함과 동시에 결함발생에 따른 경고 신호의 출력 등의 후속절차를 수행한다.
도 3은 본원발명의 일 실시 예에 따르는 삼색 광원을 이용한 표면 결함 검사 방법의 처리과정을 나타내는 순서도이다.
다음으로, 도 2 및 도 3을 참조하여 본원발명에 따르는 플레이트 표면 결함 검사 방법을 상세히 설명한다.
표면의 결함(5)을 검출하고자 하는 플레이트(3)에 조사영역에 광원부(30)를 이용하여 삼색광을 조사하는 것에 의해 광조사영역(4)을 형성한다(S1).
이 후 영상처리부(21)는 광원부(30)의 광원움직임제어부(33)의 광원제어신호를 입력받거나, 또는 백색광 영역을 검출하는 것에 의해 카메라(1)를 광조사영역(4)을 향하도록 제어하여 광조사영역(4)을 촬영한다(S2).
S2 과정에서 카메라(1)에 의해 촬영된 광조사영역(4)의 영상은 영상신호처리(21)에 의해 삼색 값을 가지는 색신호 정보로 변환된 후 주제어부(22)로 출력된다. 이때 삼색 값은 RGB 또는 YUV의 방식으로 표현될 수 있다(S3).
S3 과정에 의해 영상처리부(21)에 의해 삼색 값을 가지는 색신호 정보로 변환된 영상신호를 수신한 주제어부(22)는 해당 영상을 표시부 등의 화면에 출력하고, 광조사영역(4)을 이루는 영상화면상의 화소별 삼색 값을 백색광을 형성하는 삼색 값과 비교하여 백색광을 이루는 삼색 값과 다른 경우 결함으로 판단한다. 그리고, 결함의 발생을 알리는 경고 신호를 출력하는 것에 의해 이 후의 작업의 불량을 해소할 수 있도록 하는 후속조치를 실행할 수 있도록 한다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치 환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
상술한 본원발명은 압연을 하기 전단에서 플레이트(슬라브) 표면에 존재하는 기공성 결함을 자동으로 검지할 수 있도록 함으로써, 이를 통하여 향후 열연 및 냉연 강판의 불량을 현저히 줄일 수 있도록 하고, 이에 의해 제조 원가를 절감하고 생산성을 향상시키는 효과를 제공한다.

Claims (6)

  1. 합쳐지는 경우 백색광이 되도록 빨간, 초록, 파란색이 광원을 플레이트 표면에 조사하는 광원부와;
    상기 광원부에 의해 백색광이 조사되는 플레이트 표면영역을 촬영하는 카메라와;
    상기 카메라의 움직임을 제어하고, 상기 카메라에 의해 촬영된 영상신호를 주제어부로 출력하는 영상처리부;를 포함하고,
    상기 광원부는, 빨간, 초록, 파란색 빛을 각각 조사하는 빨간색 광원, 초록색 광원, 파란색 광원을 구비하고 결함 검사 대상이 되는 플레이트 표면의 광조사영역에서 백색광이 생성되도록 하는 광원과; 상기 광원의 광세기를 제어하는 광원제어부와; 상기 광원의 움직임을 제어하는 광원움직임제어부;를 포함하며,
    상기 영상처리부는, 상기 광원움직임 제어부와 연동하여 광원이 비추는 플레이트 표면의 광조사영역을 촬영하도록, 광원제어신호를 입력받거나 또는 백색광영역을 검출하는 것에 의해 카메라의 움직임을 제어하는 카메라 움직임 제어부;를 구비하고,
    상기 영상처리부의 출력신호에 의한 영상을 화면에 출력하고, 상기 영상신호로부터 삼색 광원의 세기 값을 백색광원을 위해 설정된 값과 비교하여 다른 경우 결함으로 판단하는 주제어부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플레이트 표면 결함 검사장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 영상처리부는,
    상기 카메라에 의해 촬영된 영상에서의 빨간, 초록, 파란 색의 광원의 세기를 RGB 또는 YUV 색신호로 변환하여 출력하는 것을 특징으로 하는 플레이트 표면 결함 검사장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101233988B1 (ko) * 2009-09-01 2013-02-18 (주)나노인사이드 Ｖｃｍ 모듈의 동작 상태 및 틸트 모니터링 시스템
KR101129802B1 (ko) * 2010-02-26 2012-03-23 현대제철 주식회사 형강재 표면 형상 측정용 형틀
KR101499004B1 (ko) * 2013-12-10 2015-03-05 센시(주) 색 조명을 이용하여 촬영물 상에서 검사 대상을 검색하는 방법 및 장치
CN108398431A (zh) * 2017-12-29 2018-08-14 北京林业大学 一种木质材料缺陷检测的装置及方法
CN114354616A (zh) * 2021-12-03 2022-04-15 东莞市瑞图新智科技有限公司 一种cis芯片缺陷检测方法及装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020051990A (ko) * 2000-12-23 2002-07-02 이구택 칼라ｃｃｄ 카메라와 다파장 광을 이용한 강판의 표면결함검출 장치 및 그 방법
KR20030054630A (ko) * 2001-12-26 2003-07-02 주식회사 포스코 다파장 광을 이용한 코일 표면결함 검출장치
JP2005127989A (ja) * 2003-10-03 2005-05-19 Olympus Corp 傷検出装置および傷検出プログラム
KR20060024662A (ko) * 2004-09-14 2006-03-17 동부아남반도체 주식회사 웨이퍼의 표면을 검사하기 위한 스캐닝 장치 및 그 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020051990A (ko) * 2000-12-23 2002-07-02 이구택 칼라ｃｃｄ 카메라와 다파장 광을 이용한 강판의 표면결함검출 장치 및 그 방법
KR20030054630A (ko) * 2001-12-26 2003-07-02 주식회사 포스코 다파장 광을 이용한 코일 표면결함 검출장치
JP2005127989A (ja) * 2003-10-03 2005-05-19 Olympus Corp 傷検出装置および傷検出プログラム
KR20060024662A (ko) * 2004-09-14 2006-03-17 동부아남반도체 주식회사 웨이퍼의 표면을 검사하기 위한 스캐닝 장치 및 그 방법

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