KR100809365B1 - 테스트핸들러의 테스트지원방법 및 테스트핸들러 - Google Patents

테스트핸들러의 테스트지원방법 및 테스트핸들러 Download PDF

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김봉수
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(주)테크윙
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    • G—PHYSICS
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    • H01L21/67333—Trays for chips

Abstract

본 발명은 테스트핸들러의 테스트지원방법, 반도체소자 식별방법 및 테스트핸들러에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 테스트트레이에 적재되거나, 소팅테이블에 정렬된 반도체소자들을 촬영하여 반도체소자들에 표시된 랏별 구분표시를 판독한 후, 판독된 랏별 구분표시에 따라 분류하여 고객트레이로 언로딩시킴으로써, 서로 다른 랏의 반도체소자들이 동일한 테스트트레이에 로딩되어도 언로딩과정에서 분류될 수 있도록 하여 궁극적으로 테스터의 가동률을 높여 복수의 랏에 대한 전체 테스트 시간을 절감할 수 있는 기술이 개시된다.
테스트핸들러, 랏(LOT)

Description

테스트핸들러의 테스트지원방법 및 테스트핸들러{TEST SUPPORT METHOD OF TEST HANDLER AND TEST HANDLER}
도1은 내지 도2는 종래 기술에 따른 전(前)에 대한 테스트지원 후에 후(後) 랏에 대한 테스트지원이 이루어지는 문제점을 설명하기 위한 개념도이다.
도3은 본 발명의 제1실시예에 따른 테스트핸들러에 대한 블록도이다.
도4는 도3의 테스트핸들러에서 이루어지는 본 발명의 제1실시예에 따른 테스트지원방법에 대한 흐름도이다.
도5는 본 발명의 제2실시예에 따른 테스트핸들러에 대한 블록도이다.
도6은 도5의 테스트핸들러에서 이루어지는 본 발명의 제2실시예에 따른 테스트지원방법에 대한 흐름도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
310, 510 : 로딩부
320, 520 : 테스트지원부
330, 530 : 언로딩부
340, 540 : 카메라부
350, 560 : 제어부
351, 561 : 판독수단
352, 563 : 제어수단
562 : 기억수단
550 : 아이디판독부
본 발명은 테스트핸들러(TEST HANDLER)의 테스트(TEST) 지원방법, 반도체소자 식별방법 및 테스트핸들러(TEST HANDLER)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 다른 랏(LOT)의 연속적인 테스트지원을 위한 기술에 관한 것이다.
테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 고객트레이(CUSTOMER TRAY)로부터 테스트트레이(TEST TRAY)로 로딩(LOADING)시킨 후, 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터(TESTER)에 의해 테스트(TEST)될 수 있도록 한 다음, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 다시 테스트트레이에서 고객트레이로 언로딩(UNLOADING)시킴으로써 테스터에 의한 반도체소자들의 테스트를 지원하는 기기이다. 이러한 테스트핸들러에 관한 기술은 이미 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있으며, 또한, 본 발명의 출원인에 의해서도 이미 다수가 출원(출원번호 : 10-2005-0109164, 10-2005-0112390, 10-2005-0124222, 10-2005-0124224, 10-2006-0006842, 10-2006-0007763, 10-2006-0013054, 10-2006-0018087 등) 및 등록되어 있다.
일반적으로, 반도체소자는 일정한 물량(랏, LOT, 이하 "랏"으로 표기함) 별로 관리되고 테스트되는 데, 이는 반도체소자의 생산라인의 구별(예를 들어 특정 랏에 불량률이 높다면 해당 특정 랏이 생산된 생산라인을 쉽게 추적할 수 있음), 수요자의 구별(예를 들어 동일한 성능이나 기능의 반도체소자를 수요자에게 납품해야 하는 경우를 들 수 있음) 등의 필요성에 기인한다. 따라서 반도체소자들은 랏별로 구분되어 테스트핸들러에 공급되고, 해당 랏의 반도체소자들에 대한 테스트가 종료되면 다음 랏의 반도체소자들을 테스트핸들러에 공급하는 방식을 취하게 된다.
종래의 테스트핸들러는 전(前) 랏의 반도체소자들에 대한 테스트지원이 모두 종료되면, 후(後) 랏의 반도체소자들에 대한 테스트지원을 수행하였다. 즉, 도1에서 참조되는 바와 같이 전 랏의 반도체소자들에 대한 테스트가 종료된 후 양부(良否)에 따라서 모두 분류되어 전 랏의 테스트지원이 종료되고 나서야 후 랏의 반도체소자들에 대한 테스트지원이 이루어졌던 것이다. 그런데, 이러한 종래기술에 의하는 경우, 도2에서 참조되는 바와 같이 전 랏의 마지막 물량을 적재한 테스트트레이가 테스트위치(Tp)에서 벗어나 언로딩위치(Up)로 향한 후, 후 랏의 최초 물량들을 적재한 테스트트레이가 로딩위치(Lp)에서 테스트위치(Tp)로 오는 시점까지(화살표 a+b) 테스터가 후 랏 대기시간(테스터의 공회전 시간)을 가진다. 이러한 점은 복수의 랏이 궁극적으로 테스트 완료되는 데 걸리는 시간의 증가 및 테스터의 가동효율 저하라는 문제요인으로 작용한다.
따라서 본 발명의 발명자들은 본 발명에 앞서 전 랏의 마지막 물량이 모두 로딩된 후 언로딩위치에서 로딩위치로 순차적으로 오는 2장의 테스트트레이를 빈 상태로 테스트위치로 보낸 후, 전 랏의 마지막 물량이 모두 로딩된 후 3번째로 오는 테스트트레이부터 후 랏의 물량을 로딩시킴으로써 테스터의 후 랏 대기시간을 크게 줄여 테스터의 가동률을 향상시킬 수 있는 기술을 개발한 바 있었다. 전 랏의 마지막 물량이 모두 로딩된 후 로딩위치로 순차적으로 오는 2장의 테스트트레이를 빈 상태로 테스터 측으로 보내는 이유는 전 랏과 후 랏의 반도체소자들을 구분하기 위해서 이다.
그런데, 그러한 경우에도 여전히 빈 테스트트레이 2개를 순환시키는 데 따른 테스터의 후 랏 대기시간 및 가동률의 감소는 여전히 있게 된다.
또한, 테스트트레이 별로 전후 랏을 구별하기 때문에 하나의 테스트트레이에 로딩된 전 랏의 마지막 물량이 적은 경우, 예를 들어 32개의 반도체소자를 배열시킬 수 있는 테스트트레이에 전 랏의 마지막 남은 2개의 물량만을 배열시킨 후 테스터를 가동시킨다는 것은 매우 비효율적일 뿐만 아니라 경우에 따라 테스트시간을 크게 지연시키는 요소로 작용할 수 있다. 왜냐하면 반도체소자의 종류에 따라서는 용량이 크고 여러 테스트조건이 필요하여 반도체소자의 양부를 테스트하기 위한 시간이 수 시간에 이를 수도 있는데, 이러한 경우에도 테스트트레이에 단 몇 개의 반도체소자만을 배열시킨 후 테스트를 지원해야 하기 때문이다.
한편, 근래에 들어서는 반도체소자의 수요량이 날로 폭증하면서 테스터에 의해 1회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘려야만 하는 필요성에 당면하게 되었다. 따라서 복수의 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 한꺼번에 테스트하도록 하거나, 하나의 테스트트레이에 적재될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘리는 기술이 개발 및 제안되고 있다. 그런데, 이렇게 1회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘리는 경우에는 상기한 문제점들이 더욱 더 커지게 된다.
본 발명은 상술한 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 반도체소자들의 식별할 수 있도록 함으로써 서로 다른 랏의 반도체소자들을 하나의 테스트트레이에 적재시킬 수 있도록 하는 기술을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 테스트지원방법은, 로딩위치에서 반도체소자들을 테스트트레이로 로딩시키는 로딩단계; 상기 로딩단계에서 로딩이 완료된 상기 테스트트레이가 테스트위치로 오면, 상기 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 테스트지원단계; 상기 테스트지원단계에서 반도체소자들의 테스트가 완료된 상기 테스트트레이가 언로딩위치로 이송되어 오면, 상기 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키는 언로딩단계; 를 포함하며, 상기 언로딩단계는, 상기 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키는 과정 중 어느 한 시점에서 반도체소자들을 카메라로 촬영하는 단계; 상기 촬영하는 단계에서 촬영된 반도체소자들의 랏별 구분표시를 판독하는 단계; 및 상기 판독하는 단계에서 판독된 정보를 토대로 반도체소자들을 랏별로 분류하여 고객트레이들로 이동 및 적재시키는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 언로딩단계는, 반도체소자들을 상기 테스트트레이로부터 소팅테이블로 이동 및 정렬시키는 단계를 더 포함하고, 상기 촬영하는 단계는 반도체소자들이 상기 소팅테이블에 정렬된 상태에서 이루어지는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.
상기 촬영하는 단계는 반도체소자들이 상기 테스트트레이에 적재된 상태에서 이루어지는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 테스트지원방법은, 로딩위치에서 반도체소자들을 테스트트레이로 로딩시키는 로딩단계; 상기 로딩단계에서 로딩이 완료된 상기 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 촬영하는 촬영단계; 상기 촬영단계에서 촬영된 반도체소자들의 랏별 구분표시를 판독하는 판독단계; 상기 판독단계에서 판독된 정보를 기억하는 기억단계; 상기 로딩단계에서 로딩이 완료된 상기 테스트트레이가 테스트위치로 오면, 상기 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 테스트지원단계; 및 상기 테스트지원단계에서 반도체소자들의 테스트가 완료된 상기 테스트트레이가 언로딩위치로 이송되어 오면, 상기 기억단계에서 기억된 상기 랏별 구분표시에 따라 상기 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 분류하여 언로딩시키는 언로딩단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 테스트트레이의 아이디를 판독하는 아이디판독단계; 를 더 포함하고, 상기 기억단계는 상기 아이디판독단계에서 판독된 상기 테스트트레이의 아이디에 상기 랏별 구분정보를 매칭시켜 기억하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 테스트지원방법은, 테스트위치를 포함하는 일정한 경로 상으로 반도체소자를 이동시키면서 테스트 결과에 따른 양부에 의해서 반도체소자를 분류시키되, 반도체소자를 카메라로 촬영하여 반도체소자에 표시된 구분표시에 랏별 구분표시를 판독한 후, 판독된 정보를 토대로 반도체소자를 랏별로 구분하여 분류시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 반도체소자 식별방법은, 테스트트레이로 로딩되어 일정한 경로 상을 이동하면서 테스트된 후, 양부(良否)에 따라서 분류되는 반도체소자를 카메라로 촬영하여 반도체소자에 표시된 구분표시를 판독한 후, 판독된 정보를 토대로 반도체소자를 식별하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 반도체소자들이 적재된 고객트레이들로부터 로딩위치, 테스트위치 및 언로딩위치를 포함하는 일정한 경로를 순환하는 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시키는 로딩부; 상기 로딩부에 의해 로딩이 완료된 상기 테스트트레이가 상기 테스트위치로 오면, 상기 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 테스트지원부; 상기 테스트지원부에 의해 테스트가 완료된 상기 테스트트레이가 상기 언로딩위치로 도착하면, 상기 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키는 언로딩부; 상기 언로딩부에서 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키기에 앞서 반도체소자들을 촬영하는 카메라부; 및 상기 카메라부에 의해 촬영된 반도체소자들의 랏별 구분표시를 판독한 후, 판독된 정보를 토대로 반도체소자들을 랏별로 분류하여 고객트레이들로 언로딩시키도록 상기 언로딩부를 제어하는 제어부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제어부는, 상기 카메라부에 의해 촬영된 반도체소자들의 상기 랏별 구분표시를 판독하는 판독수단; 및 상기 판독수단에 의해 판독된 정보를 토대로 반도체소자들을 랏별로 분류하여 고객트레이들로 언로딩시키도록 상기 언로딩부를 제어하는 제어수단; 을 포함하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.
상기 언로딩부는 상기 테스트트레이로부터 반도체소자들을 정렬시키기 위한 소팅테이블을 포함함으로써, 반도체소자들을 상기 테스트트레이로부터 상기 소팅테이블을 거쳐 고객트레이로 언로딩시키며, 상기 카메라부는 상기 소팅테이블 상에 정렬된 반도체소자들을 촬영하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.
상기 카메라부는 상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 촬영하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 반도체소자들이 적재된 고객트레이들로부터 로딩위치, 테스트위치 및 언로딩위치를 포함하는 일정한 경로를 순환하는 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시키는 로딩부; 상기 로딩부에 의해 로딩이 완료되면, 상기 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 촬영하는 카메라부; 상기 로딩부에 의해 로딩이 완료된 상기 테스트트레이가 상기 테스트위치로 오면, 상기 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 테스트지원부; 상기 테스트지원부에 의해 테스트가 완 료된 상기 테스트트레이가 상기 언로딩위치로 도착하면, 상기 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키는 언로딩부; 상기 카메라부에 의해 촬영된 반도체소자들의 랏별 구분표시를 판독한 후, 판독된 정보를 토대로 반도체소자들을 랏별로 분류하여 기억하고, 상기 테스트트레이가 상기 언로딩위치로 도착하면, 반도체소자들을 랏별로 분류하여 고객트레이들로 언로딩시키도록 상기 언로딩부를 제어하는 제어부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 테스트트레이의 아이디를 판독하는 아이디판독부; 를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 아이디판독부에 의해 판독된 상기 테스트트레이의 아이디에 상기 랏별 구분표시를 매칭시켜 기억한 후, 상기 언로딩부가 상기 테스트트레이로부터 상기 랏별 구분표시에 따라 분류하여 언로딩하도록 제어하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.
이하에서는 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 테스트핸들러의 테스트지원방법 및 테스트핸들러에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더 상세히 설명하되, 주지된 기술이나 중복되는 설명에 대하여는 설명의 편의와 간결함을 위하여 가급적 생략하거나 압축하기로 한다.
<제1실시예>
도3은 본 발명의 제1실시예에 따른 테스트핸들러에 대한 블록도이다.
도3에서 참조되는 바와 같이, 본 실시예에 따른 테스트핸들러는 로딩 부(310), 테스트지원부(320), 언로딩부(330), 카메라부(340), 제어부(350) 등을 포함한다.
로딩부(310)는 반도체소자들을 고객트레이로부터 일정한 경로(C) 상을 순환하는 테스트트레이들 중 로딩위치(Lp)에 있는 테스트트레이로 로딩시키는 역할을 수행한다.
테스트지원부(320)는 테스트위치(Tp)에 있는 테스트트레이를 테스터 측에 도킹시켜 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터의 소켓에 교합되어 테스트가 이루어질 수 있도록 지원한다.
언로딩부(330)는 테스트 완료된 반도체소자들을 테스트 결과의 양부(良否)에 따라 분류하면서 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이로부터 고객트레이들로 언로딩시키는 역할을 수행한다. 이러한 언로딩부는 주지된 바와 같이, 반도체소자를 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이로부터 고객트레이로 이동시키기에 앞서 반도체소자들을 양부(良否)에 따라 정렬시키기 위해 마련되는 소팅테이블(331)을 포함한다. 물론 소팅테이블(331)은 복수개로 구비될 수 있다.
카메라부(340)는 소팅테이블(331) 상에 있는 반도체소자들을 촬영하기 위해 마련된다. 일반적으로 반도체소자들은 제조국, 제조회사, 제조라인, 랏 표시 등이 반도체소자의 표면에 인자되어 있는데, 카메라부(340)는 소팅테이블(331)에 정렬된 반도체소자들로부터 이러한 정보들을 읽어내기 위해 마련되는 것이다. 물론 실시하기에 따라서는 카메라부(340)가 상기 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이에 적재되어 있는 상태의 반도체소자들을 촬영할 수 있도록 하는 것도 가능하다.
제어부(350)는, 로딩부(310)를 제어하여 미테스트된 반도체소자들을 로딩시키고, 테스트지원부(320)를 제어하여 테스트가 이루어질 수 있도록 지원하며, 언로딩부(330)를 제어하여 테스트된 반도체소자들을 언로딩시킨다. 특히, 카메라부(340)에 의해 촬영된 영상을 통해 반도체소자들의 랏별 구분표시를 판독한 후, 판독된 정보에 따라 반도체소자들이 랏별로 분류되어 고객트레이들로 이동 적재될 수 있도록 언로딩부(330)를 제어한다. 이러한 역할을 수행하기 위해 제어부(350)는 판독수단(351) 및 제어수단(352)을 가진다.
판독수단(351)은 카메라부(340)에 의해 촬영된 영상들로부터 반도체소자들의 표면에 인자된 랏별 구분표시를 판독하기 때문에 문자판독을 할 수 있도록 구비된다. 일반적으로 반도체소자들은 고객트레이, 테스트트레이 및 소팅테이블(331) 등에 행렬형태로 배열되므로, 카메라부(340)에 의해 촬영된 반도체소자들의 영상의 경우에도 각 반도체소자들이 행렬형태로 위치하게 되고, 랏별 구분표시 또한 행렬형태로 위치하게 된다. 따라서 판독수단(351)이 특정한 행 및 열에 위치한 반도체소자의 랏별 구분표시를 판독하게 되면, 해당 반도체소자의 소팅테이블(331) 상에서의 배열위치 및 랏을 알 수 있게 되는 것이다.
제어수단(352)은 판독수단(351)에 의해 판독된 반도체소자별 랏별 구분표시에 따라 반도체소자들을 랏별로 분류하여 고객트레이들로 언로딩시키도록 언로딩부(330)를 제어한다. 따라서 서로 다른 랏의 반도체소자들이 동일한 테스트트레이에 함께 로딩된 경우에도 언로딩과정을 통해 랏별로 분류될 수 있게 되는 것이다.
상기와 같은 본 발명에 따른 테스트핸들러에서 이루어지는 테스트지원방법에 대하여 도4의 흐름도를 참조하여 설명한다. 다만, 본 발명의 특징을 명확히 하기 위해 일정한 경로(C, 도3참조) 상을 순환하는 하나의 테스트트레이를 기준으로 하여 설명하도록 하겠다.
1. 로딩<S401>
로딩부(310)는 고객트레이들로부터 현재 로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩한다.
2. 테스트지원<S402>
단계 S401에서 로딩이 완료된 테스트트레이가 테스트위치(Tp)로 이송되어 오면, 테스트지원부(320)는 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원한다.
단계 S402에 의해 반도체소자들의 테스트가 완료된 후 테스트트레이가 언로딩위치(Up)로 이송되어 오면, 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키는 데, 이러한 언로딩단계는 이하의 더 구체적인 단계들로 나누어 설명할 수 있다.
3. 이동 및 정렬<S403>
단계 S402 후에 테스트트레이가 언로딩위치(Up)로 오면, 언로딩부(330)는 언로딩위치(Up) 상에 있는 테스트트레이로부터 언로딩부(330)에 구성되는 소팅테이블(331)로 반도체소자들을 이동 및 정렬시킨다.
4. 촬영<S404>
계속하여 단계 S403에서 소팅테이블(331)에 반도체소자들이 정렬되고 나면, 카메라부(340)가 작동하여 소팅테이블(331)에 정렬된 반도체소자들을 촬영한다.
5. 판독<S405>
단계 S404에서 카메라부(340)에 의해 촬영된 영상정보는 제어부(350)로 보내지는데, 제어부(350)의 판독수단(351)은 카메라부(340)로부터 오는 영상정보에서 소팅테이블(331)에 행렬형태로 배열된 랏별 구분표시를 판독한다. 이러한 판독에 의해서 소팅테이블(331)에 배열된 반도체소자들의 행과 열의 위치에 결부된 랏을 알 수 있게 된다.
6. 이동 및 적재<S406>
단계 S405에서 판독수단(351)에 의해 반도체소자들의 랏별 구분표시가 판독되면, 제어수단(352)은 그러한 판독정보를 토대로 언로딩부(330)를 제어하여, 반도체소자들을 소팅테이블(331)로부터 빈 고객트레이들로 이동 및 적재시킨다.
<제2실시예>
도5는 본 발명의 제2실시예에 따른 테스트핸들러에 대한 블록도이다.
도5에서 참조되는 바와 같이, 본 실시예에 따른 테스트핸들러는 로딩부(510), 테스트지원부(520), 언로딩부(530), 카메라부(540), 아이디판독부(550) 및 제어부(560) 등을 포함한다.
로딩부(510)는 반도체소자들을 고객트레이로부터 일정한 경로(C) 상을 순환하는 테스트트레이들 중 로딩위치(Lp)에 있는 테스트트레이로 로딩시키는 역할을 수행한다.
테스트지원부(520)는 테스트위치(Tp)에 있는 테스트트레이를 테스터 측에 도킹시켜 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터의 소켓에 교합되어 테스트가 이루어질 수 있도록 지원한다.
언로딩부(530)는 테스트 완료된 반도체소자들을 테스트 결과의 양부(良否)에 따라 분류하면서 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이로부터 고객트레이들로 언로딩시키는 역할을 수행한다.
카메라부(540)는 로딩위치(Lp)에 있는 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 촬영하기 위해 마련된다.
아이디판독부(550)는 테스트트레이의 아이디를 판독한다. 아이디판독 기술과 관련하여서 현재 테스터핸들러에 적용된 주지기술은 테스트트레이마다 형성된 구멍의 개수, 크기나 위치 등을 서로 다르게 하여 테스트트레이마다 고유의 자기 아이디를 가지도록 하고, 그러한 구멍의 개수, 크기나 위치 등을 판독함으로써 판독된 테스트트레이를 특정할 수 있도록 하는 것이다. 본 실시예에서는 아이디판독부(550)가 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이의 아이디를 판독하도록 구성된다. 이는 테스트지원이 이루어지기에 앞서 아이디판독부(550)에 의해 모든 테스트트레이의 아이디를 판독하도록 한 후, 추후 언로딩 시에도 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이를 재차 확인할 수 있도록 하기 위한 것이다.
제어부(560)는, 로딩부(510)를 제어하여 미테스트된 반도체소자들을 로딩시키고, 테스트지원부(520)를 제어하여 테스트가 이루어질 수 있도록 지원하며, 언로 딩부(530)를 제어하여 테스트된 반도체소자들을 언로딩시킨다. 특히, 카메라부(540)에 의해 촬영된 영상을 통해 반도체소자들의 랏별 구분표시를 판독하여 기억한 후, 판독된 정보에 따라 반도체소자들이 랏별로 분류되어 고객트레이들로 이동 적재될 수 있도록 언로딩부(530)를 제어한다. 이러한 역할을 수행하기 위해 제어부(560)는 판독수단(561), 기억수단(562) 및 제어수단(563)을 가진다.
판독수단(561)은 카메라부(540)에 의해 촬영된 영상들로부터 반도체소자들의 표면에 인자된 랏별 구분표시를 판독하기 때문에 문자판독을 할 수 있도록 구비된다.
기억수단(562)은 아이디판독부(550)에 의해 판독된 테스트트레이의 아이디, 판독수단(561)에 의해 판독된 반도체소자들의 랏별 구분표시 등을 기억한다. 여기서 랏별 구분표시는 테스트트레이의 특정한 위치에 배열된 반도체소자의 랏을 구분할 수 있는 정보이다.
제어수단(563)은 기억수단(562)에 의해 기억된 반도체소자별 랏별 구분표시에 따라 반도체소자들을 랏별로 분류하여 고객트레이들로 언로딩시키도록 언로딩부(530)를 제어한다. 따라서 서로 다른 랏의 반도체소자들이 동일한 테스트트레이에 함께 로딩된 경우에도 언로딩과정을 통해 랏별로 분류될 수 있게 되는 것이다.
상기와 같은 본 발명의 제2실시예에 따른 테스트핸들러에서 이루어지는 테스트지원방법에 대하여 도6의 흐름도를 참조하여 설명한다.
1. 아이디판독<S601>
먼저, 반도체소자들의 테스트를 지원하기에 앞서, 제어부(560)는 테스트트레이들을 빈 상태로 로딩위치(Lp), 테스트위치(Tp) 및 언로딩위치(Up)를 포함하는 일정한 경로(C, 도3참조) 상을 순환시키도록 한다. 이 때, 제어부(350)는 아이디판독부(550)를 가동시켜 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이들의 아이디를 판독하도록 하여 언로딩위치(Up)를 거치는 테스트트레이들을 각각 특정한다. 이러한 아이디판독단계를 가짐으로써 제어부(560)는 추후 일정한 경로(C) 상을 순환하는 임의의 테스트트레이가 현재 어느 위치에 있는 지를 파악할 수 있게 된다.
아이디판독 단계는 테스트핸들러의 최초구동 시, 테스트트레이들의 교환 시, 테스트트레이들의 위치가 바뀌었을 시 등 기억장치에 테스트트레이의 상황이 기억되어 있지 않거나 기억장치에 기억되어 있던 테스트트레이의 상황과 현재의 테스트트레이 상황이 다를 시에만 실시한다.
2. 로딩<S602>
단계 S601에서 모든 테스트트레이들에 대한 아이디가 판독되어 각각의 테스트트레이들이 특정되면, 제어부(560)는 로딩부(510)를 제어하여 고객트레이들로부터 로딩위치(Lp)에 있는 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시킨다.
3. 촬영<S603>
단계S602에 의해 로딩위치(Lp) 상에 있는 테스트트레이에 반도체소자들이 모두 적재되고 나면, 카메라부(540)가 작동하여 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 촬영한다.
4. 판독<S604>
단계 S603에서 카메라부(540)에 의해 촬영된 영상정보는 제어부(560)로 보내지는데, 제어부(560)의 판독수단(561)은 카메라부(540)로부터 오는 영상정보에서 테스트트레이에 행렬형태로 배열된 랏별 구분표시를 판독한다. 이러한 판독에 의해서 테스트트레이에 배열된 반도체소자들의 행과 열의 위치에 결부된 랏을 알 수 있게 된다.
5. 기억<S605>
기억수단(351)은 단계 S604에서 판독수단(561)에 의해 판독된 랏별 구분표시에 대한 정보를 로딩위치(Lp)에 있는 테스트트레이의 아이디에 매칭시켜 기억한다.
이로써 제어부(560)는 어떠한 특정 테스트트레이의 임의의 행과 열에 위치한 반도체소자가 어느 랏의 것인지를 알 수 있게 되는 것이며, 따라서 하나의 테스트트레이에 전 랏과 후 랏이 함께 로딩된 경우에도 반도체소자별로 랏이 구분되어 기억될 수 있게 되는 것이다.
6. 테스트지원<S606>
테스트트레이에 반도체소자들의 로딩이 완료된 후, 테스트트레이가 테스트위치(Tp)로 이송되어 오면, 제어부(560)는 테스트지원부(520)로 하여금 테스트트레이에 배열된 전 랏과 후 랏의 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원한다.
7. 확인<S607>
단계 S606에 따른 지원에 의해 테스트트레이에 배열된 반도체소자들의 테스트가 완료된 후, 테스트트레이가 언로딩위치(Up)로 이송되어 오면, 아이디판독 부(550)는 테스트트레이의 아이디를 판독하여 그 결과를 제어부(560)로 보내고, 제어부(560)는 아이디판독부(550)로부터 온 판독결과에 의해 현재 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이가 어떠한 테스트트레이인지를 확인한다. 물론, 일정한 경로(C) 상에서 테스트트레이들은 순차적으로 순환하게 되기 때문에 제어부(560)는 현재 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이가 어떠한 테스트트레이인지를 알 수 있으나, 본 과정이 더 추가됨으로 인하여 더욱 확실하게 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이를 확인할 수 있게 되는 것이다.
8. 언로딩<S608>
제어부(560)는 단계 S607에 의해 아이디판독부(550)로부터 온 아이디를 기억되어 있는 특정된 테스트트레이의 아이디와 비교하여 현재 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이가 어떠한 테스트트레이인지를 확인한 후, 테스트트레이의 아이디에 매칭된 랏별 구분표시에 대한 정보를 토대로 분류하여 고객트레이들에 언로딩시킨다. 따라서 궁극적으로 같은 테스트트레이에 함께 배열된 서로 다른 랏의 반도체소자들이 언로딩과정을 통해 다시 랏이 구분되게 되는 것이다.
한편, 본 실시예는 테스트트레이의 아이디를 판독함으로써 각 테스트트레이들을 특정하고, 언로딩 시에 활용하여 반도체소자들을 랏별로 분류하고 있지만, 실시하기에 따라서는 로딩위치에서 언로딩위치까지 오는 순번을 통해서도 전 랏과 후 랏의 반도체소자들이 함께 배열된 테스트트레이를 확인할 수도 있는 등 여러 응용들이 가능할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 실시예에서는 카메라에 의해 촬영된 영상에 의해 랏별 구분표시를 판독하여 반도체소자들을 식별하고 있지만, 더 넓게는 카메라에 의해 촬영된 영상에서 반도체소자들을 식별할 수 있는 표시를 판독하여 반도체소자들을 식별하도록 하는 것도 본 발명의 일예임을 알 수 있을 것이다.
이상과 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면 카메라에 의해 촬영된 영상정보에 의해 각 반도체소자별로 랏별 구분표시를 판독한 후, 판독된 랏별 구분표시에 따라 언로딩시킴으로써 서로 다른 랏의 반도체소자들이 테스트트레이에 함께 로딩된 경우에도 언로딩과정에서 전 랏과 후 랏의 반도체소자들을 분류할 수 있도록 하여 궁극적으로 테스터의 가동률을 높이고 복수의 랏에 대한 테스트시간이 단축될 수 있도록 하는 효과가 있다.

Claims (12)

  1. 로딩위치에서 반도체소자들을 테스트트레이로 로딩시키는 로딩단계;
    상기 로딩단계에서 로딩이 완료된 상기 테스트트레이가 테스트위치로 오면, 상기 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 테스트지원단계;
    상기 테스트지원단계에서 반도체소자들의 테스트가 완료된 상기 테스트트레이가 언로딩위치로 이송되어 오면, 상기 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키는 언로딩단계; 를 포함하며,
    상기 언로딩단계는,
    상기 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키는 과정 중 어느 한 시점에서 반도체소자들을 카메라로 촬영하는 단계;
    상기 촬영하는 단계에서 촬영된 반도체소자들의 랏별 구분표시를 판독하는 단계; 및
    상기 판독하는 단계에서 판독된 정보를 토대로 반도체소자들을 랏별로 분류하여 고객트레이들로 이동 및 적재시키는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러의 테스트지원방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 언로딩단계는, 반도체소자들을 상기 테스트트레이로부터 소팅테이블로 이동 및 정렬시키는 단계를 더 포함하고,
    상기 촬영하는 단계는 반도체소자들이 상기 소팅테이블에 정렬된 상태에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러의 테스트지원방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 촬영하는 단계는 반도체소자들이 상기 테스트트레이에 적재된 상태에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러의 테스트지원방법.
  4. 로딩위치에서 반도체소자들을 테스트트레이로 로딩시키는 로딩단계;
    상기 로딩단계에서 로딩이 완료된 상기 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 촬영하는 촬영단계;
    상기 촬영단계에서 촬영된 반도체소자들의 랏별 구분표시를 판독하는 판독단계;
    상기 판독단계에서 판독된 정보를 기억하는 기억단계;
    상기 로딩단계에서 로딩이 완료된 상기 테스트트레이가 테스트위치로 오면, 상기 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 테스트지원단계; 및
    상기 테스트지원단계에서 반도체소자들의 테스트가 완료된 상기 테스트트레이가 언로딩위치로 이송되어 오면, 상기 기억단계에서 기억된 상기 랏별 구분표시에 따라 상기 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 분류하여 언로딩 시키는 언로딩단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러의 테스트지원방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 테스트트레이의 아이디를 판독하는 아이디판독단계; 를 더 포함하고,
    상기 기억단계는 상기 아이디판독단계에서 판독된 상기 테스트트레이의 아이디에 상기 랏별 구분정보를 매칭시켜 기억하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러의 테스트지원방법.
  6. 삭제
  7. 반도체소자들이 적재된 고객트레이들로부터 로딩위치, 테스트위치 및 언로딩위치를 포함하는 일정한 경로를 순환하는 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시키는 로딩부;
    상기 로딩부에 의해 로딩이 완료된 상기 테스트트레이가 상기 테스트위치로 오면, 상기 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 테스트지원부;
    상기 테스트지원부에 의해 테스트가 완료된 상기 테스트트레이가 상기 언로딩위치로 도착하면, 상기 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키는 언로딩부;
    상기 언로딩부에서 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키기에 앞서 반도체소자들을 촬영하는 카메라부; 및
    상기 카메라부에 의해 촬영된 반도체소자들의 랏별 구분표시를 판독한 후, 판독된 정보를 토대로 반도체소자들을 랏별로 분류하여 고객트레이들로 언로딩시키도록 상기 언로딩부를 제어하는 제어부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 카메라부에 의해 촬영된 반도체소자들의 상기 랏별 구분표시를 판독하는 판독수단; 및
    상기 판독수단에 의해 판독된 정보를 토대로 반도체소자들을 랏별로 분류하여 고객트레이들로 언로딩시키도록 상기 언로딩부를 제어하는 제어수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 언로딩부는 상기 테스트트레이로부터 반도체소자들을 정렬시키기 위한 소팅테이블을 포함함으로써, 반도체소자들을 상기 테스트트레이로부터 상기 소팅테이블을 거쳐 고객트레이로 언로딩시키며,
    상기 카메라부는 상기 소팅테이블 상에 정렬된 반도체소자들을 촬영하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 카메라부는 상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 촬영하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.
  11. 반도체소자들이 적재된 고객트레이들로부터 로딩위치, 테스트위치 및 언로딩위치를 포함하는 일정한 경로를 순환하는 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시키는 로딩부;
    상기 로딩부에 의해 로딩이 완료되면, 상기 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 촬영하는 카메라부;
    상기 로딩부에 의해 로딩이 완료된 상기 테스트트레이가 상기 테스트위치로 오면, 상기 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 테스트지원부;
    상기 테스트지원부에 의해 테스트가 완료된 상기 테스트트레이가 상기 언로딩위치로 도착하면, 상기 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키는 언로딩부;
    상기 카메라부에 의해 촬영된 반도체소자들의 랏별 구분표시를 판독한 후, 판독된 정보를 토대로 반도체소자들을 랏별로 분류하여 기억하고, 상기 테스트트레이가 상기 언로딩위치로 도착하면, 반도체소자들을 랏별로 분류하여 고객트레이들로 언로딩시키도록 상기 언로딩부를 제어하는 제어부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 테스트트레이의 아이디를 판독하는 아이디판독부; 를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 아이디판독부에 의해 판독된 상기 테스트트레이의 아이디에 상기 랏별 구분표시를 매칭시켜 기억한 후, 상기 언로딩부가 상기 테스트트레이로부터 상기 랏별 구분표시에 따라 분류하여 언로딩하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.
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