KR100818324B1

KR100818324B1 - 테스트핸들러의 테스트 지원방법 및 테스트핸들러

Info

Publication number: KR100818324B1
Application number: KR1020060096873A
Authority: KR
Inventors: 심재균; 나윤성; 전인구; 이윤열
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2006-10-02
Filing date: 2006-10-02
Publication date: 2008-03-31

Abstract

본 발명은 테스트핸들러의 테스트지원방법 및 테스트핸들러에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 테스트트레이에 로딩되기 전, 고객트레이에 적재된 반도체소자들을 촬영하여 반도체소자들에 표시된 랏별 구분표시를 판독한 후, 로딩시에 판독된 랏별 구분표시에 따른 반도체소자들의 랏정보를 기억한 다음, 테스트완료 후 반도체소자들을 랏정보에 따라 랏별로 분류하여 빈 고객트레이로 언로딩시킴으로써, 서로 다른 랏의 반도체소자들이 동일한 테스트트레이에 로딩되어도 언로딩 과정에서 분류될 수 있도록 하여 궁극적으로 테스터의 가동률을 높여 복수의 랏에 대한 전체 테스트 시간을 절감할 수 있는 기술이 개시된다.

테스트핸들러, 랏(LOT), 트랜스퍼

Description

테스트핸들러의 테스트 지원방법 및 테스트핸들러{TEST SUPPORT METHOD OF TEST HANDLER AND TEST HANDLER}

도1 내지 도2는 종래 기술에 따른 전(前) 랏에 대한 테스트지원 후에 후(後) 랏에 대한 테스트지원이 이루어지는 문제점을 설명하기 위한 개념도이다.

도3은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러에 대한 블록도이다.

도4는 도3에 도시된 테스트핸들러의 고객트레이이송부를 설명하기 위한 도면이다.

도5는 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러에서 이루어지는 테스트지원방법을 설명하기 위한 흐름도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

310:로딩부 320:테스트지원부

330:언로딩부 340:고객트레이이송부

350:카메라부 360:제어부

370:아이디판독부

본 발명은 테스트핸들러(TEST HANDLER)의 테스트(TEST) 지원방법 및 테스트핸들러(TEST HANDLER)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 다른 랏(LOT)의 연속적인 테스트지원을 위한 기술에 관한 것이다.

테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 고객트레이(CUSTOMER TRAY)로부터 테스트트레이(TEST TRAY)로 로딩(LOADING)시킨 후, 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터(TESTER)에 의해 테스트(TEST)될 수 있도록 한 다음, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 다시 테스트트레이에서 고객트레이로 언로딩(UNLOADING)시킴으로써 테스터에 의한 반도체소자들의 테스트를 지원하는 기기이다. 이러한 테스트핸들러에 관한 기술은 이미 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있으며, 또한, 본 발명의 출원인에 의해서도 이미 다수가 출원(출원번호 : 10-2005-0109164, 10-2005-0112390, 10-2005-0124222, 10-2005-0124224, 10-2006-0006842, 10-2006-0007763, 10-2006-0013054, 10-2006-0018087 등) 및 등록되어 있다.

일반적으로, 반도체소자는 일정한 물량(랏, LOT, 이하 "랏"으로 표기함) 별로 관리되고 테스트되는 데, 이는 반도체소자의 생산라인의 구별(예를 들어 특정 랏에 불량률이 높다면 해당 특정 랏이 생산된 생산라인을 쉽게 추적할 수 있음), 수요자의 구별(예를 들어 동일한 성능이나 기능의 반도체소자를 수요자에게 납품해야 하는 경우를 들 수 있음) 등의 필요성에 기인한다. 따라서 반도체소자들은 랏별로 구분되어 테스트핸들러에 공급되고, 해당 랏의 반도체소자들에 대한 테스트가 종료되면 다음 랏의 반도체소자들을 테스트핸들러에 공급하는 방식을 취하게 된다.

종래의 테스트핸들러는 전(前) 랏의 반도체소자들에 대한 테스트지원이 모두 종료되면, 후(後) 랏의 반도체소자들에 대한 테스트지원을 수행하였다. 즉, 도1에서 참조되는 바와 같이 전 랏의 반도체소자들에 대한 테스트가 종료된 후 양부(良否)에 따라서 모두 분류되어 전 랏의 테스트지원이 종료되고 나서야 후 랏의 반도체소자들에 대한 테스트지원이 이루어졌던 것이다. 그런데, 이러한 종래기술에 의하는 경우, 도2에서 참조되는 바와 같이 전 랏의 마지막 물량을 적재한 테스트트레이가 테스트위치(Tp)에서 벗어나 언로딩위치(Up)로 향한 후, 후 랏의 최초 물량들을 적재한 테스트트레이가 로딩위치(Lp)에서 테스트위치(Tp)로 오는 시점까지(화살표 a+b) 테스터가 후랏 대기시간(테스터의 공회전 시간)을 가진다. 이러한 점은 복수의 랏이 궁극적으로 테스트완료되는 데 걸리는 시간의 증가 및 테스터의 가동효율 저하라는 문제요인으로 작용한다.

따라서 본 발명의 발명자들은 본 발명에 앞서 전 랏의 마지막 물량이 모두 로딩된 후 언로딩위치에서 로딩위치로 순차적으로 오는 2장의 테스트트레이를 빈 상태로 테스트위치로 보낸 다음 전 랏의 마지막 물량이 모두 로딩된 후 3번째로 오는 테스트트레이부터 후 랏의 물량을 로딩시킴으로써, 테스터의 후 랏 대기시간을 크게 줄여 테스터의 가동률을 향상시킬 수 있는 기술을 개발한 바 있었다. 전 랏의 마지막 물량이 모두 로딩된 후 로딩위치로 순차적으로 오는 2장의 테스트트레이를 빈 상태로 테스터 측으로 보내는 이유는 전 랏과 후 랏의 반도체소자들을 구분하기 위해서이다.

그런데, 그러한 경우에도 여전히 빈 테스트트레이 2개를 순환시키는 데 따른 테스터의 후 랏 대기시간 및 가동률의 감소는 여전히 있게 된다.

또한, 테스트트레이 별로 전후 랏을 구별하기 때문에 하나의 테스트트레이에 로딩된 전 랏의 마지막 물량이 적은 경우, 예를 들어 32개의 반도체소자를 배열시킬 수 있는 테스트트레이에 전 랏의 마지막 남은 2개의 물량만을 배열시킨 후 테스터를 가동시킨다는 것은 매우 비효율적일 뿐만 아니라 경우에 따라 테스트시간을 크게 지연시키는 요소로 작용할 수 있다. 왜냐하면 반도체소자의 종류에 따라서는 용량이 크고 여러 테스트조건이 필요하여 반도체소자의 양부를 테스트하기 위한 시간이 수 시간에 이를 수도 있는 데, 이러한 경우에는 테스트트레이에 단 몇 개의 반도체소자만을 배열시킨 후 테스트를 지원해야 하기 때문이다.

한편, 근자에 들어서는 반도체소자의 수요량이 날로 증폭하면서 테스터에 의해 1회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘려야만 하는 필요성에 당면하게 되었다. 따라서 복수의 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 한꺼번에 테스트하도록 하거나, 테스트트레이에 적재될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘리는 기술이 개발 및 제안되고 있다. 그런데, 이렇게 1회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘리는 경우에는 상기한 문제점들이 더욱 더 커지게 된다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 카메라를 이용하여 고객트레이에 적재된 반도체소자들을 랏을 식별할 수 있도록 하는 기술을 제공하는 데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 테스트지원방법은, 고객트레이에 적재된 반도체소자를 촬영하는 촬영단계; 상기 촬영단계에서 촬영된 반도체소자의 랏별 구분표시를 판독하는 구분표시판독단계; 상기 고객트레이로부터 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시키는 로딩단계; 상기 구분표시판독단계에서 판독된 랏별 구분표시에 따라 상기 로딩단계에서 로딩되는 반도체소자들의 랏정보를 기억하는 기억단계; 상기 로딩단계에서 로딩이 완료된 테스트트레이가 테스트위치로 오면 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 테스트지원단계; 상기 테스트지원단계에서 반도체소자들의 테스트가 완료된 후 테스트트레이가 언로딩위치로 이송되어 오면, 테스트완료된 반도체소자들을 상기 기억단계에서 기억된 랏정보에 따라 랏별로 분류하여 언로딩시키는 언로딩단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 테스트지원방법은, 테스트트레이의 아이디를 판독하는 아이디판독단계; 를 더 포함하고, 상기 기억단계는 상기 아이디판독단계에서 판독된 테스트트레이의 아이디에 반도체소자들의 랏정보를 매칭시켜 기억하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 촬영단계는 고객트레이를 로딩셋플레이트 상에 위치시키기 이전에 이루어지는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 촬영단계는 고객트레이를 로딩셋플레이트 상에 위치시킨 후에 이루어지는 것을 더 구제적인 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 미테스트된 반도체소자들이 적재된 고객트레이를 로딩셋플레이트 상에 위치시키고, 상기 로딩셋플레이트 상에서 테스트트레이로 로딩을 완료한 빈 고객트레이를 상기 로딩셋플레이트 상에서 제거하는 고객트레이이송부; 상기 로딩셋플레이트 상의 고객트레이로부터 로딩위치, 테스트위치 및 언로딩위치를 포함하는 일정한 경로를 순환하는 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시키는 로딩부; 상기 로딩부에 의해 로딩이 완료된 테스트트레이가 상기 테스트위치로 오면 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 테스트지원부; 상기 테스트지원부의 지원에 의해 테스트가 완료된 테스트트레이가 상기 언로딩위치로 도착하면, 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키는 언로딩부; 고객트레이에 적재된 미테스트된 반도체소자를 촬영하는 카메라부; 및 상기 카메라부에 의해 촬영된 반도체소자의 랏별 구분표시를 판독한 후 테스트트레이로 로딩되는 반도체소자들의 랏정보를 기억하고, 상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이로부터 반도체소자들을 기억된 랏정보에 따라 랏별로 분류하여 고객트레이들로 언로딩시키도록 상기한 각부를 제어하는 제어부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 테스트핸들러는 테스트트레이의 아이디를 판독하는 아이디판독부; 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 제어부는, 상기 카메라부에 의해 촬영된 반도체소자의 랏별 구분표시를 판독하는 구분표시판독수단; 상기 아이디판독부에 의해 판독된 테스트트레이의 아 이디 및 상기 구분표시판독수단에 의해 판독된 반도체소자의 랏정보를 매칭시켜 기억하는 기억수단; 및 상기 기억수단에 의해 기억된 랏정보에 따라 반도체소자들을 랏별로 분류하여 고객트레이로 언로딩시키도록 상기 언로딩부를 제어하는 제어수단; 을 포함하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 고객트레이이송부는 상기 로딩셋플레이트 상에 고객트레이를 위치시키기 위한 트랜스퍼를 구비하며, 상기 카메라부는 상기 트랜스퍼에 설치되는 것을 더 구체적인 특징으로 하며, 상기 트랜스퍼는 고객트레이를 파지하거나 파지해제하는 파지부를 구비하며, 상기 카메라부는 상기 파지부에 설치되는 것을 더욱 더 구체적인 특징으로 한다.

이하에서는 상술한 본 발명에 대하여 보다 구체적으로 이해할 수 있도록 바람직한 실시예를 들어 설명한다.

도3은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러에 대한 블록도이고, 도4는 도3에 도시된 테스트핸들러의 고객트레이이송부(340)를 설명하기 위한 도면이다. 도3 및 도4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 테스트핸들러는, 로딩부(310), 테스트지원부(320), 언로딩부(330), 고객트레이이송부(340), 카메라부(350), 아이디판독부(370) 및 제어부(360)를 포함한다.

로딩부(310)는, 테스트 대상이 되는 반도체소자들을 고객트레이로부터, 로딩위치(Lp), 테스트위치(Tp) 및 언로딩위치(Up)를 포함하는 일정한 경로(C)상을 순환 하는 테스트트레이들 중 로딩위치(Lp)에 있는 테스트트레이로 로딩시키는 역할을 수행한다.

테스트지원부(320)는, 테스트위치(Tp)에 있는 테스트트레이를 테스터 측에 도킹시켜 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터의 소켓에 교합되어 테스트가 이루어질 수 있도록 지원한다.

언로딩부(330)는 테스트완료된 반도체소자들을 테스트 결과의 양부(良否)에 따라 분류하면서 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이로부터 고객트레이들로 언로딩시키는 역할을 수행한다.

고객트레이이송부(340)는, 미테스트된 반도체소자들이 적재되어 있는 고객트레이를 로딩위치(Lp)로 이송시키고, 빈 고객트레이를 언로딩위치(Up)로 이송시키며, 테스트가 완료된 테스트트레이로부터 언로딩을 완료한 고객트레이를 스태커(410)로 이송시킨다.

이러한 고객트레이이송부(340)는 주지된 바와 같이, 고객트레이를 선택적으로 파지 및 파지해제하는 파지부와 상기 파지부를 수직이동시키는 수직이동장치를 구비하는 트랜스퍼와, 상기 트랜스퍼를 수평이동시키는 수평이동장치를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 트랜스퍼와 관련하여서는 본 출원인의 선행 출원된 출원번호 10-2005-0075564호(발명의 명칭 : 테스트 핸들러)에 개시되어 있으며, 해당 선행 출원에서 개시된 트랜스퍼를 인용한 도4를 참조하여 고객트레이이송부(340)에 대하여 설명하면 다음과 같다.

도4에 도시된 고객트레이이송부(340)는 3개의 트랜스퍼(341,342,343)를 갖는 데, 여기서 제1트랜스퍼(341)는 로딩셋플레이트(430) 하측에 위치하는 스태커(410)에서 미테스트된 반도체소자로 채워진 고객트레이(420)를 파지부(341a)로 파지한 후 로딩셋플레이트(430)로 이송시키는 역할을 하고, 제2트랜스퍼는 빈 고객트레이를 로딩셋플레이트(430)나 스태커(410)에서 파지한 후 언로딩셋플레이트(440)로 이송시키는 역할을 하며, 제3트랜스퍼(343)는, 언로딩셋플레이트(440)에 위치한 고객트레이가 테스트완료된 반도체소자에 의해 모두 채워지면 해당 고객트레이를 스태커(410)로 이송시키는 역할을 한다. 즉, 제1 내지 제3트랜스퍼(341 내지 343)는 각각의 역할이 분담되어 있다.

카메라부(350)는 로딩셋플레이트(430) 하측에 위치하는 스태커(410)에서 로딩셋플레이트(430)로 이송되는 고객트레이에 적재되어 있는 미테스트된 반도체소자들을 촬영한다. 이를 위해 카메라부(350)는 도4에 도시된 바와 같이 고객트레이를 스태커(410)로부터 로딩셋플레이트(430)로 이송시키는 고객트레이이송부(340)의 제1트랜스퍼(341)에 설치되며, 더 자세하게는 제1트랜스퍼(341)의 파지부(341a)에 설치된다. 물론, 제2트랜스퍼(342) 및 제3트랜스퍼(343)의 경우에도 각각 파지부(342a, 343a)를 가지고 있지만, 본 발명은 로딩되기 전에 반도체소자의 랏별 구분표시를 판독한 후 로딩되는 반도체소자들의 랏별 구분표시에 따른 랏정보를 기억하여 언로딩시에 활용하기 위한 것이므로, 카메라부(350)는 미테스트된 반도체소자들로 채워진 고객트레이를 로딩셋플레이트(430)에 위치시키기 위하여 마련되는 제1트랜스퍼(341)에 설치되는 것이 바람직하다. 또한, 본 실시예에서는 카메라부(350)의 촬영시점을 제1트랜스퍼(341)의 파지부(341a)가 고객트레이를 파지하기 전으로 설정하고 있지만, 실시하기에 따라서는 제1트랜스퍼(341)가 고객트레이를 로딩셋플레이트(340)에 위치시킨 후를 촬영시점으로 설정하는 것도 가능하며, 제1트랜스퍼(341)가 고객트레이를 로딩셋플레이트(430)로 이송시키는 도중에 촬영이 이루어지도록 하는 것도 가능하다. 그리고 본 실시예에서는 카메라부(350)가 제1트랜스퍼(341)의 파지부(341a)에 설치되는 예를 취하고 있지만, 로딩되기 전에 고객트레이에 적재된 상태의 반도체소자를 촬영하기에 적절한 위치라면 어디에 설치되어도 바람직하다.

아이디판독부(370)는 테스트트레이의 아이디를 판독한다. 아이디판독 기술과 관련하여서 현재 테스트핸들러에 적용된 주지기술은 테스트트레이마다 형성된 구멍의 개수, 크기나 위치 등을 서로 다르게 하여 테스트레이마다 고유의 자기 아이디를 가지도록 하고, 그러한 구멍의 개수, 크기나 위치 등을 판독함으로써 판독된 테스트트레이를 특정할 수 있도록 하는 것이다. 본 실시예에서는 아이디판독부(370)가 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이의 아이디를 판독하도록 구성된다. 이는 테스트지원이 이루어지기에 앞서 아이디판독부(370)에 의해 모든 테스트트레이의 아이디를 판독하도록 한 후, 추후 언로딩시에 필요할 경우에는 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이를 재차 확인할 수 있도록 하기 위한 것이다.

제어부(360)는, 로딩부(310)를 제어하여 미테스트된 반도체소자들을 로딩시키고, 테스트지원부(320)를 제어하여 테스트가 이루어질 수 있도록 지원하며, 언로딩부(330)를 제어하여 테스트된 반도체소자들을 언로딩시킨다. 특히, 카메라 부(350)에 의해 촬영된 영상을 통해 반도체소자들의 랏별 구분표시(랏번호)를 판독한 후, 테스트트레이로 로딩되는 반도체소자들의 랏정보를 기억한 다음, 테스트완료된 반도체소자들을 기억된 랏정보에 따라 분류하여 고객트레이들로 언로딩하도록 제어한다. 이러한 역할을 수행하기 위해 제어부(360)는 구분표시판독수단(361), 기억수단(362) 및 제어수단(363)을 가진다.

구분표시판독수단(361)은 카메라부(350)에 의해 촬영된 영상들로부터 반도체소자들의 표면에 인자된 랏별 구분표시(랏번호)를 판독하기 때문에 문자판독을 할 수 있도록 구비된다.

기억수단(362)은 아이디판독부(370)에 의해 판독된 테스트트레이의 아이디, 구분표시판독수단(361)에 의해 판독된 반도체소자들의 로딩시에 랏별 구분표시에 따른 랏정보 등을 기억한다. 여기서 랏정보는 테스트트레이의 특정한 위치에 배열된 반도체소자의 랏에 대한 정보이다.

제어수단(363)은 기억수단(362)에 의해 기억된 반도체소자별 랏정보에 따라 반도체소자들을 랏별로 분류하여 빈 고객트레이들로 언로딩시키도록 언로딩부(330)를 제어한다. 따라서 서로 다른 랏의 반도체소자들이 동일한 테스트트레이에 함께 로딩된 경우에도 언로딩과정을 통해 랏별로 분류될 수 있게 되는 것이다.

상기와 같은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러에서 이루어지는 테스트지원방법에 대하여 도5의 흐름도를 참조하여 설명한다.

1. 아이디판독<S510>

먼저, 반도체소자들의 테스트를 지원하기에 앞서, 제어부(360)는 테스트트레이들을 빈 상태로 로딩위치(Lp), 테스트위치(Tp) 및 언로딩위치(Up)를 포함하는 일정한 경로(C,도3참조) 상을 순환시키도록 한다. 이때, 제어부(360)는 아이디판독부(370)를 가동시켜 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이들의 아이디를 판독하도록 하여 언로딩위치(Up)를 거치는 테스트트레이들을 각각 특정한다. 이러한 아이디판독단계를 가짐으로써 제어부(360)는 추후 일정한 경로(C) 상을 순환하는 임의의 테스트트레이가 현재 어느 위치에 있는지를 파악할 수 있게 된다.

아이디판독 단계는 테스트핸들러의 최초구동 시, 테스트트레이들의 교환 시, 테스트트레이들의 위치가 바뀌었을 시 등 기억장치에 테스트트레이의 상황이 기억되어 있지 않거나 기억장치에 기억되어 있던 테스트트레이의 상황과 현재의 테스트트레이 상황이 다를 시에만 실시한다.

2. 촬영<S520>

단계 S510이 완료되어 모든 테스트트레이들에 대한 아이디가 판독되면, 고객트레이이송부(340)를 제어하여 미테스트된 반도체소자들을 로딩셋플레이트(341)로 이송시키기에 앞서, 카메라부(350)는 제1트랜스퍼(341)가 이송하고자 하는 고객트레이에 적재된 반도체소자에 대하여 촬영한다. 이러한 과정은 앞서 설명한 바와 같이 제1트랜스퍼(341)가 고객트레이를 로딩셋플레이트(430) 상에 위치시킨 후에 수행되도록 하는 것도 가능하다.

일반적으로 하나의 고객트레이에 적재된 반도체소자들은 동일 랏에 대한 물량이기 때문에, 고객트레이에 적재된 임의의 반도체소자에 대한 랏별 구분표시를 판독하게 되면 해당 고객트레이에 적재된 모든 반도체소자들의 랏을 알 수 있게 된다. 따라서 카메라부(350)가 고객트레이에 적재된 모든 반도체소자들을 한꺼번에 촬영하도록 구현되는 것도 가능하지만, 고객트레이의 임의의 위치에 있는 하나의 반도체소자를 촬영하도록 구현되는 것도 바람직하다.

3. 고객트레이이송<S530>

단계 S520에서 반도체소자들에 대한 촬영이 이루어지면 제어수단(363)은 고객트레이이송부(340)를 제어하여 고객트레이를 로딩위치(Lp)로 이송시킨다. 물론 고객트레이이송부(340)에서는 도4에서 참조되는 바와 같이, 3개의 트랜스퍼(341, 342, 343)가 각각 역할을 분담하여 작업을 수행하지만, 설명의 편의상 제1트랜스퍼(341)에 의한 스태커(410)에서 로딩셋플레이트(430)로의 고객트레이 이송에 대하여만 특정하여 설명하도록 한다.

4. 구분표시판독<S540>

단계 S520에서 카메라부(350)에 의해 촬영된 영상정보는 제어부(360)로 보내지는데, 제어부(360)의 구분표시판독수단(361)은 카메라부(350)로부터 오는 영상정보에서 고객트레이에 적재된 반도체소자의 랏별 구분표시를 판독한다.

물론, 위의 단계 S530 및 S540은 순차적으로 수행될 수도 있지만, 시간의 절약상 동시적으로 수행되는 것이 더 바람직하다.

5. 로딩<S550>

단계 S510에서 모든 테스트트레이에 대한 아이디가 판독되어 각각의 테스트트레이들이 특정되고, 단계 S540에 의해 로딩셋플레이트(430)에 있는 고객트레이에 채워진 반도체소자들의 랏별 구분표시를 판독하고 나면, 로딩위치(Lp)에 있는 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시킨다.

6. 기억<S560>

기억수단(362)은 단계 S550에서 테스트트레이로 로딩되는 반도체소자들의 랏정보를 기억한다. 여기서 랏정보는 테스트트레이의 임의의 위치에 로딩되는 반도체소자들의 랏을 알 수 있는 정보이다.

본 실시예에 따르면, 제어부(360)는 로딩되는 반도체소자들의 랏별 구분표시를 판독한 상태이기 때문에 테스트트레이에 로딩되는 반도체소자들의 랏을 알 수 있고, 로딩되는 반도체소자들이 테스트트레이 상에 배열되는 위치 또한 알 수 있게 된다. 예를 들어, 테스트트레이에는 행렬행태로 구비되는 다수의 인서트가 구비되는 데, 이러한 인서트에 반도체소자들이 안착된다. 이 때, 전 랏의 마지막 물량이 테스트트레이의 1열을 모두 채운 상태라면, 2열부터는 후 랏의 물량이 로딩될 것이므로, 제어부는 2열, 3열 등 후열에 로딩되는 반도체소자들은 후 랏의 반도체소자들이라는 정보를 알 수 있게 되는 것이며, 상기한 랏정보는 이러한 정보를 말한다. 또한, 이러한 랏정보는 로딩위치(Lp)에 있는 테스트트레이의 아이디에 매칭시켜 기억한다. 이를 통해 제어부(360)는 특정 아이디를 가지는 테스트트레이의 어느 위치에 어떠한 랏의 반도체소자들이 적재되는지를 알 수가 있다. 즉, 테스트트레이에는 행렬형태로 순서적으로 반도체소자들이 로딩되는데, 고객트레이의 반도체소자들이 로딩되어야 할 테스트트레이의 일부 영역에 이미 전 랏의 반도체소자들이 채워져 있다면, 그 이후의 다른 영역에 채워지는 반도체소자들(현재 로딩셋플레이트에 있 는 고객트레이에 적재된 반도체소자들)은 후 랏의 반도체소자들인 것이며, 이 반도체소자들이 테스트트레이의 어느 영역(위치)에 적재되는 지를 판단하고 기억할 수 있는 것이다.

7. 테스트지원<S570>

계속하여 테스트트레이에 반도체소자들의 로딩이 완료된 후, 해당 테스트트레이가 테스트위치(Tp)로 이송되어 오면, 제어부(360)는 테스트지원부(320)로 하여금 해당 테스트트레이에 배열된 전 랏과 후 랏의 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원한다.

8. 확인<S580>

단계 S570에 따른 지원에 의해 테스트트레이에 배열된 반도체소자들의 테스트가 완료된 후, 해당 테스트트레이가 언로딩위치(Up)로 이송되어 오면, 아이디판독부(370)는 해당 테스트트레이의 아이디를 판독하여 그 결과를 제어부(360)로 보내고, 제어부(360)는 아이디판독부(370)로부터 온 판독결과에 의해 현재 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이가 어떠한 테스트트레이인지를 확인한다. 물론, 일정한 경로(C) 상에서 테스트트레이들은 순차적으로 순환하게 되기 때문에 제어부(360)는 현재 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이가 어떠한 테스트트레이인지를 알 수 있으나, 본 과정이 더 추가됨으로 인하여 더욱 확실하게 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이를 확인할 수 있게 되는 것이다. 따라서 본 단계는 필수적으로 구성되어질 필요는 없으며, 실시하기에 따라서 요구되어질 경우에만 구성시키면 족하다.

9. 언로딩<S590>

제어부(360)는 현재 언로딩위치(Up)에 있는 테스트트레이에 적재된 반도체소자들의 랏정보를 토대로 반도체소자들을 랏별로 분류하여 빈 고객트레이들에 언로딩시킨다. 따라서 궁극적으로 같은 테스트트레이에 함께 배열된 서로 다른 랏의 반도체소자들이 언로딩과정을 통해 다시 랏이 구분될 수 있게 되는 것이다.

한편, 본 실시예에는 테스트트레이의 아이디를 판독함으로써 각 테스트트레이들을 특정하고, 언로딩시에 활용하여 반도체소자들을 랏별로 분류하고 있지만, 실시하기에 따라서는 로딩위치에서 언로딩위치까지 오는 순번을 통해서도 전 랏과 후 랏의 반도체소자들이 함께 배열된 테스트트레이를 확인할 수도 있는 등 여러 응용들이 가능할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 실시예에서는 카메라에 의해 촬영된 영상에 의해 랏별 구분표시를 판독하여 반도체소자들을 식별하고 있지만, 더 넓게는 카메라에 의해 촬영된 영상에서 반도체소자들을 식별할 수 있는 표식을 판독하여 반도체소자들을 식별하도록 하는 것도 본 발명의 일예임을 알 수 있을 것이다.

이상과 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 카메라에 의해 촬영된 영상정보에 의해 각 반도체소자의 랏을 구분할 수 있도록 함으로써 서로 다른 랏의 반도체소자들이 테스트트레이에 함께 로딩된 경우에도 언로딩과정에서 전 랏과 후 랏의 반도체소자들을 분류할 수 있도록 하여 궁극적으로 테스터의 가동률을 높이고 복수의 랏에 대한 테스트시간이 단축될 수 있도록 하는 효과가 있다.

Claims

고객트레이에 적재된 반도체소자를 촬영하는 촬영단계;

상기 촬영단계에서 촬영된 반도체소자의 랏별 구분표시를 판독하는 구분표시판독단계;

상기 고객트레이로부터 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시키는 로딩단계;

상기 구분표시판독단계에서 판독된 랏별 구분표시에 따라 상기 로딩단계에서 로딩되는 반도체소자들의 랏정보를 기억하는 기억단계;

상기 로딩단계에서 로딩이 완료된 테스트트레이가 테스트위치로 오면 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 테스트지원단계;

상기 테스트지원단계에서 반도체소자들의 테스트가 완료된 후 테스트트레이가 언로딩위치로 이송되어 오면, 테스트완료된 반도체소자들을 상기 기억단계에서 기억된 랏정보에 따라 랏별로 분류하여 언로딩시키는 언로딩단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러의 테스트지원방법.
제1항에 있어서,

상기 기억단계 이전에 테스트트레이의 아이디를 판독하는 아이디판독단계; 를 더 포함하고,

상기 기억단계는 상기 아이디판독단계에서 판독된 테스트트레이의 아이디에 반도체소자들의 랏정보를 매칭시켜 기억하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러의 테스트지원방법.
제1항에 있어서,

상기 촬영단계는 고객트레이를 로딩셋플레이트 상에 위치시키기 이전에 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러의 테스트지원방법.
제1항에 있어서,

상기 촬영단계는 고객트레이를 로딩셋플레이트 상에 위치시킨 후에 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러의 테스트지원방법.
미테스트된 반도체소자들이 적재된 고객트레이를 로딩셋플레이트 상에 위치시키고, 상기 로딩셋플레이트 상에서 테스트트레이로 로딩을 완료한 빈 고객트레이를 상기 로딩셋플레이트 상에서 제거하는 고객트레이이송부;

상기 로딩셋플레이트 상의 고객트레이로부터 로딩위치, 테스트위치 및 언로딩위치를 포함하는 일정한 경로를 순환하는 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시키는 로딩부;

상기 로딩부에 의해 로딩이 완료된 테스트트레이가 상기 테스트위치로 오면 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 테스트지원부;

상기 테스트지원부의 지원에 의해 테스트가 완료된 테스트트레이가 상기 언로딩위치로 도착하면, 테스트트레이로부터 고객트레이들로 반도체소자들을 언로딩시키는 언로딩부;

고객트레이에 적재된 미테스트된 반도체소자를 촬영하는 카메라부; 및

상기 카메라부에 의해 촬영된 반도체소자의 랏별 구분표시를 판독한 후 테스트트레이로 로딩되는 반도체소자들의 랏정보를 기억하고, 상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이로부터 반도체소자들을 기억된 랏정보에 따라 랏별로 분류하여 고객트레이들로 언로딩시키도록 상기한 각부를 제어하는 제어부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.
제5항에 있어서,

테스트트레이의 아이디를 판독하는 아이디판독부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.
제6항에 있어서,

상기 제어부는,

상기 카메라부에 의해 촬영된 반도체소자의 랏별 구분표시를 판독하는 구분표시판독수단;

상기 아이디판독부에 의해 판독된 테스트트레이의 아이디 및 상기 구분표시판독수단에 의해 판독된 반도체소자의 랏정보를 매칭시켜 기억하는 기억수 단; 및

상기 기억수단에 의해 기억된 랏정보에 따라 반도체소자들을 랏별로 분류하여 고객트레이로 언로딩시키도록 상기 언로딩부를 제어하는 제어수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.
제6항에 있어서,

상기 고객트레이이송부는 상기 로딩셋플레이트 상에 고객트레이를 위치시키기 위한 트랜스퍼를 구비하며,

상기 카메라부는 상기 트랜스퍼에 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.
제8항에 있어서,

상기 트랜스퍼는 고객트레이를 파지하거나 파지해제하는 파지부를 구비하며,

상기 카메라부는 상기 파지부에 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.