JPH10321690A - ウエハ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハカセット内の特定のウエハを選んで欠
陥検査を行うウエハ検査装置において、スロット位置の
指定と所望のウエハとの対応が取れなくなると、所望の
ウエハを自動で選び出すことが困難であった。 【解決手段】 ウエハ番号１１を識別するＣＣＤカメラ
２２と、その識別情報に基づいてウエハ１０を選別する
手段とを、ウエハ検査装置に備え、ウエハ１０を検査ス
テージ１８に搬送する前に、ウエハ番号１１を識別して
所望のウエハ１０のみ選んで欠陥検査を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置の製
造における半導体ウエハの欠陥検査に用いる検査装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は、従来のウエハ検査装置の構造
を、ウエハ異物検査装置について示す模式図である。図
において、１は被検査物である半導体ウエハ（以下、ウ
エハと称する）、２はウエハ１が収納されるウエハカセ
ット、３はウエハカセット２が置かれるカセットステー
ション、４はウエハ１の搬送機構であるウエハハンドリ
ングロボット、５はウエハ１の向きを合わせるプリアラ
イナー、６はその上にウエハ１を載置して異物検査を行
う検査ステージ、７は異物検査を行うための光学系部、
８は検査ステージ６を動かすためのステージ駆動機構
部、９は装置各部の動作の制御、測定結果の演算等を行
うコントロール部である。

【０００３】次に、動作について説明する。カセットス
テーション３に置かれたウエハカセット２からウエハハ
ンドリングロボット４によって、所定のスロットのウエ
ハ１が搬出される。搬出されたウエハ１は、プリアライ
ナー５によってノッチあるいはオリフラの位置が検出さ
れて一定の向きに揃えられ、再びウエハハンドリングロ
ボット４によって検査ステージ６に運ばれる。検査ステ
ージ６の上に載置されたウエハ１は、光学系部７によっ
て異物検査が施され、その後、検査が終了したウエハ１
はウエハハンドリングロボット４により元のウエハカセ
ット２に戻される。

【０００４】ところで、ウエハ１はウエハカセット２内
に通常２５枚収納されるが、ウエハ１の異物検査はウエ
ハ１一枚当たりの検査に時間がかかるため、何枚かを選
んで検査を行う。また、異物検査は、前工程の各プロセ
ス毎に行われる異物検査等の欠陥検査や測定の履歴デー
タに基づいて行い、異物検査に用いられる個々のウエハ
１を追跡した履歴データを得ることにより、有効な検査
が行える。このため、ウエハカセットのスロット位置を
指定することにより、所望のウエハ１を選び異物検査を
行っていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来のウエハ異物検査
装置は以上のように構成されているため、ウエハカセッ
ト２内でウエハ１の位置が何かの原因で変わってしま
い、スロット位置の指定と所望のウエハ１との対応が取
れなくなると、所望のウエハ１を自動で選び出すことが
困難であった。ウエハ１には、個々のウエハ１を識別す
るためにウエハ番号が印字されており、上記のようにス
ロット位置の指定と所望のウエハ１との対応が取れない
場合には、前もって作業者がウエハ番号を目視により確
認し、ウエハカセット２内の指定のスロットに所望のウ
エハ１の移し替えを行った後、ウエハ異物検査装置によ
る検査を行っていた。このため、工程が複雑になり所要
時間が増大するだけでなく、ウエハ番号の確認作業やウ
エハ１の移し替え作業の際、ウエハ１が異物付着等によ
り汚染される恐れがあるという問題点があった。

【０００６】また、特開平２−２０９８４９号公報に記
載の従来の別例によるウエハ検査装置では、ウエハカセ
ット２から検査ステージ６までウエハ１を搬送する範囲
内にウエハ番号の自動読み取り機構を設け、ウエハ番号
を読み取った後、そのウエハ１を検査することにより、
ウエハ番号と検査結果とを対応させることができる。し
かしながら、このようなウエハ検査装置でも、ウエハカ
セット２内の所望のウエハ１のみを選び出して検査する
ことは困難であった。

【０００７】この発明は、上記のような問題点を解消す
るために成されたものであって、ウエハの汚染等の問題
がなく、所望のウエハのみを容易に選び出して欠陥検査
が行えるウエハ検査装置を得ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
わるウエハ検査装置は、試料番号を付した半導体ウエハ
を供給部から検査部に搬送して検査する装置であって、
上記半導体ウエハが検査部に至る前に上記試料番号を識
別する手段と、この識別情報に基づいて、所望の上記半
導体ウエハを選んで上記検査部に搬送する選別手段とを
備えたものである。

【０００９】この発明の請求項２に係わるウエハ検査装
置は、半導体ウエハを供給部から搬出せずに上記供給部
内において試料番号を識別するものである。

【００１０】この発明の請求項３に係わるウエハ検査装
置は、供給部内に半導体ウエハを収納する収納部を有
し、予め保持する上記半導体ウエハの収納位置情報に基
づいて上記収納部内の所定の位置の半導体ウエハの試料
番号を識別した後、当該半導体ウエハが所望のものであ
れば検査部に搬送し、所望のものでなければ上記所定の
位置と近接する位置の半導体ウエハから順次試料番号を
識別し、所望の半導体ウエハを選んで上記検査部に搬送
するものである。

【００１１】この発明の請求項４に係わるウエハ検査装
置は、供給部内の全ての半導体ウエハの試料番号を識別
した後、所望の上記半導体ウエハを検査部に搬送するも
のである。

【００１２】この発明の請求項５に係わるウエハ検査装
置は、供給部内に半導体ウエハを収納する収納部を有
し、ウエハ突き出し手段により、上記半導体ウエハの試
料番号印字部を上記収納部の開口部から突出させて試料
番号を識別するものである。

【００１３】この発明の請求項６に係わるウエハ検査装
置は、収納部内の全ての半導体ウエハの試料番号印字部
を、傾斜を有して同時に上記収納部の開口部から突出さ
せ、試料番号を識別するものである。

【００１４】この発明の請求項７に係わるウエハ検査装
置は、収納部内の半導体ウエハを、一枚ずつその試料番
号印字部を上記収納部の開口部から突出させ、試料番号
を識別するものである。

【００１５】この発明の請求項８に係わるウエハ検査装
置は、供給部内に半導体ウエハを収納する収納部を有
し、上記半導体ウエハの試料番号を識別する手段を可動
式の画像読取り装置で構成し、上記半導体ウエハが上記
収納部内に収納された状態で上記半導体ウエハの試料番
号を識別するものである。

【００１６】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．以下、この発明の実施の形態１を図につ
いて説明する。図１は、この発明の実施の形態１による
ウエハ検査装置の構造を、ウエハ異物検査装置について
示す模式図である。図において、１０は被検査物である
半導体ウエハ（以下、ウエハと称する）で、ウエハ１０
面内のパターンが形成されていない周辺部に試料番号と
してのウエハ番号１１（図示せず）が印字されたもの、
１２はウエハ１０を供給する供給部であり、ウエハ１０
が収納される収納部としてのウエハカセット１３、およ
びウエハカセット１３が置かれるカセットステーション
１４で構成される。１５はウエハ１０の搬送機構である
ウエハハンドリングロボット、１６はウエハ１０の向き
を合わせるプリアライナー、１７はウエハ異物検査を行
う検査部であり、その上にウエハ１０を載置して異物検
査を行う検査ステージ１８、異物検査を行うための光学
系部１９、および検査ステージ１８を動かすためのステ
ージ駆動機構部２０で構成される。２１はウエハ１０の
ウエハ番号１１の識別部であり、プリアライナー１６の
上部に設けられ、ウエハ番号１１を画像として読み取る
画像読み取り機構としてのＣＣＤカメラ２２、およびＣ
ＣＤカメラ２２で読み取った画像からウエハ番号１１の
認識を行う認識部２３で構成される。２４は認識された
ウエハ番号１１に基づいたウエハ１０の選別等、装置各
部の動作の制御、測定結果の演算等を行うコントロール
部である。

【００１７】次に、上記のように構成されたウエハ異物
検査装置における動作について、図２に基づいて以下に
説明する。なおここでは、ウエハカセット１３内の指定
された一枚のウエハ１０を選別して異物検査を行うもの
であり、ウエハカセット１３内の収納位置情報を予め有
している。まず、ウエハ１０の搬送回数Ｘの初期値（Ｘ
＝１）を設定する（ステップＳ１）。次いで、予め有し
た収納位置情報によりウエハカセット１３内のスロット
位置（ｎ番目）を指定し、カセットステーション１４に
置かれたウエハカセット１３からウエハハンドリングロ
ボット１５により指定スロットのウエハ１０を搬出する
（ステップＳ２）。次いで、搬出したウエハ１０をプリ
アライナー１６に搬送し（ステップＳ３）、ノッチまた
はオリフラの位置を検出した後（ステップＳ４）、ウエ
ハ番号１１がプリアライナー１６上のＣＣＤカメラ２２
での読み取り位置に来るように、ウエハ１０を回転させ
る（ステップＳ５）。

【００１８】次いで、ＣＣＤカメラ２２によりウエハ番
号１１の画像を読み取り、その画像を認識部２３により
ウエハ番号１１として認識することによってウエハ番号
１１の識別を行い（ステップＳ６）、認識されたウエハ
番号１１が、予め指定された所望のウエハ１０のウエハ
番号１１と一致するか、どうか判定する（ステップＳ
７）。ステップＳ７による判定でウエハ番号１１が一致
する場合、プリアライナー１６によりウエハ１０を回転
させて、異物検査のための所定の向きに揃えた後（ステ
ップＳ８）、再びウエハハンドリングロボット１５によ
りウエハ１０を検査ステージ１８に搬送する（ステップ
Ｓ９）。検査ステージ１８はステージ駆動機構部２０で
動かされ、検査ステージ１８上に載置されたウエハ１０
に光学系部１９により異物の検出等の異物検査を実施す
る（ステップＳ１０）。次いで、異物検査の終了したウ
エハ１０をウエハハンドリングロボット１５により搬送
して、ウエハカセット１３内の元の位置に戻し（ステッ
プＳ１１）、検査を終了する（ステップＳ１２）。

【００１９】ステップＳ７による判定でウエハ番号１１
が一致しない場合、そのウエハ１０をウエハハンドリン
グロボット１５により搬送して、ウエハカセット１３内
の元の位置に戻す（ステップＳ１３）。次いで、ウエハ
１０の搬送回数Ｘに１を加えてＸ＝Ｘ＋１にした後（ス
テップＳ１４）、搬送回数Ｘが偶数か奇数か判定する
（ステップＳ１５）。ステップＳ１５による判定で搬送
回数Ｘが偶数の場合、初回の搬送時（Ｘ＝１）に指定し
たウエハカセット１３内のスロット位置を示すｎにＸ／
２を加えた数（ｎ＋Ｘ／２）が、ウエハカセット１３内
のウエハ１０の最大枚数以下か、どうか判定し（ステッ
プＳ１６）、最大枚数以下であれば、ウエハカセット１
３内のスロット位置に（ｎ＋Ｘ／２）番目を指定し、ウ
エハカセット１３からウエハハンドリングロボット１５
により指定スロットのウエハ１０を搬出し（ステップＳ
１７）、ステップＳ３に戻る。

【００２０】ステップＳ１６による判定で、（ｎ＋Ｘ／
２）が最大枚数を越える場合、（ｎ＋０．５−Ｘ／２）
が１以上か、どうか再度判定し（ステップＳ１８）、１
以上であれば、ステップＳ１４に戻る。ステップＳ１８
による判定で、（ｎ＋０．５−Ｘ／２）が１未満であれ
ば指定したウエハ１０が存在しないため、検査を中止し
てエラーを表示させる（ステップＳ１９）。ステップＳ
１５による判定で搬送回数Ｘが奇数の場合、（ｎ＋０．
５−Ｘ／２）が１以上か、どうか判定し（ステップＳ２
０）、１以上であれば、ウエハカセット１３内のスロッ
ト位置に（ｎ＋０．５−Ｘ／２）番目を指定し、ウエハ
カセット１３からウエハハンドリングロボット１５によ
り指定スロットのウエハ１０を搬出し（ステップＳ２
１）、ステップＳ３に戻る。

【００２１】ステップＳ２０による判定で、（ｎ＋０．
５−Ｘ／２）が１未満の場合、（ｎ＋Ｘ／２）がウエハ
カセット１３内のウエハ１０の最大枚数以下か、どうか
再度判定し（ステップＳ２２）、最大枚数以下であれ
ば、ステップＳ１４に戻る。ステップＳ２２による判定
で、（ｎ＋Ｘ／２）が最大枚数を越えれば、指定したウ
エハ１０が存在しないためステップＳ１９に戻る。この
様にして、ウエハカセット１３内の指定された一枚のウ
エハ１０を選別して異物検査を行う。

【００２２】この実施の形態では、予め有した収納位置
情報によりウエハカセット１３内のスロット位置（ｎ番
目）を指定し、ｎ番目のウエハ１０のウエハ番号１１を
識別して所望のものであれば異物検査を実施し、所望の
もので無ければ、ｎ＋１番目、ｎ−１番目、ｎ＋２番
目、ｎ−２番目、…という様に、ｎ番目のウエハ１０の
近接位置のウエハ１０から順次ウエハ番号１１の識別
を、所望のウエハ１０が見つかるまで行い、所望のウエ
ハ１０が見つかった時点で、そのウエハ１０の異物検査
を実施する。このため、予め有する収納位置情報が正し
い場合は、短時間で異物検査が実施でき、ウエハカセッ
ト１３内でウエハ１０の位置が何かの原因で変わってし
まい異物検査のための指定ウエハ１０とウエハカセット
１３内の収納位置情報との対応が取れない場合でも、指
定ウエハ１０である可能性の高い近接位置のウエハ１０
から順次ウエハ番号１１の識別を行うため、指定された
所望のウエハ１０を短時間で自動で選び出して異物検査
をすることができる。この様に、特定のウエハ１０のみ
を効果的に短時間で選別し、確実に異物検査を行うこと
ができる。

【００２３】なお、複数のウエハ１０を指定して異物検
査を行う場合、従来と同様にスロット位置の指定により
ウエハ番号１１の識別および異物検査を行い、ウエハ番
号１１が指定されたものと異なるウエハ１０が存在する
時のみ、そのウエハ１０について一枚づつ上記実施の形
態と同様に異物検査のやり直しを行うことができる。

【００２４】実施の形態２．次に、図１で示したウエハ
異物検査装置における動作の別例を、図３に基づいて以
下に説明する。なおここでは、ウエハカセット１３内の
指定された複数枚のウエハ１０を選別して異物検査を行
うものである。まず、ウエハ１０の搬送回数Ｘの初期値
（Ｘ＝１）を設定する（ステップＳ１）。次いで、カセ
ットステーション１４に置かれたウエハカセット１３か
らウエハハンドリングロボット１５によりウエハカセッ
ト１３内のＸ番目のスロットのウエハ１０を搬出する
（ステップＳ２）。次いで、搬出したウエハ１０をプリ
アライナー１６に搬送し（ステップＳ３）、ノッチまた
はオリフラの位置を検出した後（ステップＳ４）、ウエ
ハ番号１１がプリアライナー１６上のＣＣＤカメラ２２
での読み取り位置に来るように、ウエハ１０を回転させ
（ステップＳ５）、ＣＣＤカメラ２２によりウエハ番号
１１の画像を読み込み、その画像を認識部２３によりウ
エハ番号１１として認識することによってウエハ番号１
１の識別を行う（ステップＳ６）。

【００２５】次いで、そのウエハ１０をウエハハンドリ
ングロボット１５により搬送して、ウエハカセット１３
内の元の位置に戻し（ステップＳ７）、ウエハ１０の搬
送回数Ｘに１を加えてＸ＝Ｘ＋１にした後（ステップＳ
８）、搬送回数Ｘがウエハカセット１３内のウエハ１０
の最大枚数以下か、どうか判定し（ステップＳ９）、最
大枚数以下であれば、ステップＳ２に戻る。ステップＳ
９による判定で、Ｘが最大枚数を越える場合、ステップ
Ｓ６で認識されたウエハ番号１１の情報から、指定され
たウエハ１０で未検査のものをウエハカセット１３から
選び出してウエハハンドリングロボット１５により搬出
し（ステップＳ１０）、搬出したウエハ１０をプリアラ
イナー１６に搬送し（ステップＳ１１）、ノッチまたは
オリフラの位置を検出した後（ステップＳ１２）、プリ
アライナー１６によりウエハ１０を回転させて、異物検
査のための所定の向きに揃えた後（ステップＳ１３）、
再びウエハハンドリングロボット１５によりウエハ１０
を検査ステージ１８に搬送する（ステップＳ１４）。

【００２６】検査ステージ１８はステージ駆動機構部２
０で動かされ、検査ステージ１８上に載置されたウエハ
１０に光学系部１９により異物の検出等の異物検査を実
施する（ステップＳ１５）。次いで、異物検査の終了し
たウエハ１０をウエハハンドリングロボット１５により
搬送して、ウエハカセット１３内の元の位置に戻し（ス
テップＳ１６）、指定された複数枚のウエハ１０に全て
異物検査を行ったか、どうか判定し（ステップＳ１
７）、全て異物検査を行った場合は検査を終了する（ス
テップＳ１８）。ステップＳ１７による判定で、指定さ
れた複数枚のウエハ１０の内、未検査のものがある場
合、ステップＳ１０に戻り検査を続行する。この様にし
て、ウエハカセット１３内の指定された複数枚のウエハ
１０を選別して異物検査を行う。

【００２７】この実施の形態では、ウエハカセット１３
内の全てのウエハ１０のウエハ番号１１を識別した後、
認識されたウエハ番号１１の情報に基づいて、指定され
たウエハ１０のみを選び出して異物検査を行うものであ
る。このため、上記実施の形態１と同様に、ウエハカセ
ット１３内でウエハ１０の位置が何かの原因で変わった
場合でも、指定された所望のウエハ１０を自動で選び出
して異物検査をすることができる。特に、指定されたウ
エハ１０の枚数が比較的多い場合、効果的に短時間で確
実に検査することができる。

【００２８】実施の形態３．次に、上記実施の形態１と
上記実施の形態２とを組み合わせた実施の形態３につい
て、以下に示す。上記実施の形態２と同様に、ウエハカ
セット１３内の最初のスロット位置のウエハ１０から順
次搬出して、ウエハ番号１１を識別し、その後上記実施
の形態１と同様に、ウエハ番号１１を識別したウエハ１
０が指定された所望のウエハ１０であれば続いて異物検
査を実施し、所望のウエハ１０でなければウエハカセッ
ト１３内の元の位置に戻す。この場合も、上記実施の形
態２と同様の効果を奏することが出来る。

【００２９】実施の形態４．上記実施の形態１〜３で
は、ウエハ１０をウエハハンドリングロボット１５によ
りウエハカセット１３から搬出し、プリアライナー１６
により所定の向きに揃えた後にＣＣＤカメラ２２により
ウエハ番号１１の画像読み込みをおこなっていた。すな
わち、ウエハカセット１３から検査ステージ１８までウ
エハ１０を搬送する範囲内でウエハ番号１１の識別を行
っていたが、ウエハカセット１３内のウエハ１０を搬出
すること無く、ウエハ番号１１の識別を行う形態につい
て以下に示す。図４（ａ）〜図４（ｃ）は、この発明の
実施の形態４によるウエハ異物検査装置を部分的に示し
た断面図である。

【００３０】まず、ウエハカセット１３内の全てのウエ
ハ１０を、そのウエハ番号１１の印字部を同時にウエハ
カセット１３から突出させてウエハ番号１１の識別を行
うものを、図４（ａ）に示す。図４（ａ）に示すよう
に、カセットステーション１４上に置かれるウエハカセ
ット１３を、その開口部１３ａを上にして内部のウエハ
１０が開口部１３ａに対して垂直になるようにして置
き、ウエハ突き出し機構２５によって、全てのウエハ１
０を傾斜を有して開口部１３ａから一部突出させる。こ
の時ウエハ１０は、カセットステーション１４に設けら
れたローラーおよびストッパー（ともに図示せず）で、
予めウエハ番号印字部が最上部に来るように向きを揃え
られ、全てのウエハ１０のウエハ番号印字部が、ＣＣＤ
カメラ２２で読み取れるように傾斜を有して開口部１３
ａから突出される。またウエハカセット１３を９０度倒
す機能を持つウエハステージ２６を設け、全てのウエハ
１０のウエハ番号１１を識別した後、ウエハ１０が水平
になるようにウエハカセット１３を倒し、指定された所
望のウエハ１０のみを順次搬出して異物検査を行う。

【００３１】この様に構成されたウエハ異物検査装置で
は、ウエハカセット１３内のウエハ１０を搬出すること
無く、ウエハ番号１１の識別を行うことができるため、
ウエハ番号１１の識別に要する時間を格段と短縮するこ
とができ、指定された所望のウエハ１０を短時間で自動
で選び出して異物検査を行うことができる。

【００３２】なお、ウエハカセット１３の開口部１３ａ
を横にして、ウエハ１０が水平な状態で、ウエハ１０を
ウエハカセット１３から突出させて、ウエハ番号１１の
識別を行うこともでき、その場合、ＣＣＤカメラ２２は
ウエハカセット１３の上に下向きに設置すればよい。

【００３３】次に、ウエハ突き出し機構２５によって、
ウエハ１０を一枚ずつそのウエハ番号１１の印字部をウ
エハカセット１３の開口部１３ａから突出させて、ウエ
ハ番号１１の識別を行うものを、図４（ｂ）に示す。こ
の場合も、ウエハ１０はカセットステーション１４に設
けられたローラーおよびストッパー（ともに図示せず）
で、予めウエハ番号印字部が最上部に来るように向きを
揃えられる。ウエハ１０は一枚ずつウエハカセット１３
の開口部１３ａから突出されるが、その際、上記実施の
形態１と同様に、予め有した収納位置情報によりウエハ
カセット１３内のスロット位置を指定し、そのウエハ１
０のウエハ番号１１を識別して、所望のものであればウ
エハカセット１３から搬出して異物検査を実施し、所望
のもので無ければ近接位置のウエハ１０から順次ウエハ
番号１１の識別を行ってもよい。また、ウエハカセット
１３内の最初のスロット位置のウエハ１０から順次突出
させてウエハ番号１１を識別させても、さらに、ウエハ
１０を順次突出させて全てのウエハ１０のウエハ番号１
１の識別を行った後、指定された所望のウエハ１０のみ
を順次搬出して異物検査を行ってもよい。

【００３４】この場合も、ウエハカセット１３内のウエ
ハ１０を搬出すること無く、ウエハ番号１１の識別を行
うことができるため、ウエハ番号１１の識別に要する時
間を格段と短縮することができ、指定された所望のウエ
ハ１０を短時間で自動で選び出して異物検査をすること
ができる。

【００３５】次に、カメラ支持部材２７によってＣＣＤ
カメラ２２を可動式にして、ウエハ１０がウエハカセッ
ト１３内に確実に収納された状態で、ウエハ番号１１の
識別を行うものを、図４（ｃ）に示す。この場合、それ
ぞれのウエハ１０のウエハ番号１１を読み取れる位置に
ＣＣＤカメラ２２を動かして、ウエハ番号１１の識別を
行うため、ウエハ番号１１の識別に要する時間を格段と
短縮することができ、指定された所望のウエハ１０を短
時間で自動で選び出して異物検査を行うことができる。

【００３６】なお、上記実施の形態１〜４において、ウ
エハ番号１１の識別に用いたＣＣＤカメラ２２は、読み
取り性能を向上させるために、カメラに照明を設けたも
のでもよく、また、ＣＣＤカメラ２２に限るものではな
く、別の方式の画像読み取り機構でもよい。さらに、Ｃ
ＣＤカメラ２２の設置場所についても、上記実施の形態
に限るものではない。

【００３７】また、上記実施の形態１〜４ではウエハ異
物検査装置について説明したが、異物検査に限らず、特
定のウエハ１０を選び出して検査を行う他のウエハ検査
装置についても適用でき、同様の効果が得られる。

【００３８】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、ウエハ
検査装置に、半導体ウエハが検査部に至る前に、その試
料番号を識別する手段と、この識別情報に基づいて、所
望の上記半導体ウエハを選んで上記検査部に搬送する選
別手段とを備えたため、特定の半導体ウエハのみを容易
に選び出して確実に検査をすることができる。

【００３９】またこの発明によれば、半導体ウエハを供
給部から搬出せずに供給部内において試料番号を識別す
るため、試料番号の識別に要する時間を格段と短縮する
ことができ、特定の半導体ウエハのみを短時間で容易に
選び出して確実に検査をすることができる。

【００４０】またこの発明によれば、予め保持する上記
半導体ウエハの収納位置情報に基づいて、半導体ウエハ
を収納する収納部内の所定の位置の半導体ウエハの試料
番号を識別し、所望のものであれば検査部に搬送し、所
望のものでなければ近接する位置の半導体ウエハから順
次試料番号を識別し、所望の半導体ウエハを選んで上記
検査部に搬送するため、特定の半導体ウエハのみを効果
的に短時間で選び出して、確実に異物検査することがで
きる。

【００４１】またこの発明によれば、供給部内の全ての
半導体ウエハの試料番号を識別した後、所望の半導体ウ
エハを検査部に搬送するため、特定の半導体ウエハのみ
を容易に選び出して確実に検査をすることができ、特に
所望の半導体ウエハの枚数が比較的多い場合、効果的に
短時間で検査することができる。

【００４２】またこの発明によれば、ウエハ突き出し手
段により、半導体ウエハの試料番号印字部を収納部の開
口部から突出させて試料番号を識別するため、試料番号
の識別に要する時間を格段と短縮することができ、特定
の半導体ウエハのみを短時間で容易に選び出して確実に
検査をすることができる。

【００４３】またこの発明によれば、収納部内の全ての
半導体ウエハの試料番号印字部を、傾斜を有して同時に
収納部の開口部から突出させ、試料番号を識別するた
め、試料番号の識別に要する時間を格段と短縮すること
ができ、特定の半導体ウエハのみを短時間で容易に選び
出して確実に検査をすることができる。

【００４４】またこの発明によれば、収納部内の半導体
ウエハを、一枚ずつその試料番号印字部を上記収納部の
開口部から突出させ、試料番号を識別するため、試料番
号の識別に要する時間を格段と短縮することができ、特
定の半導体ウエハのみを短時間で容易に選び出して確実
に検査をすることができる。

【００４５】またこの発明によれば、半導体ウエハの試
料番号を識別する手段を可動式の画像読み取り装置で構
成し、半導体ウエハが収納部内に収納された状態で試料
番号を識別するめ、試料番号の識別に要する時間を格段
と短縮することができ、特定の半導体ウエハのみを短時
間で容易に選び出して確実に検査をすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１によるウエハ異物検
査装置の構造を示す模式図である。

【図２】 この発明の実施の形態１によるウエハ異物検
査装置の動作を説明する図である。

【図３】 この発明の実施の形態２によるウエハ異物検
査装置の動作を説明する図である。

【図４】 この発明の実施の形態３によるウエハ異物検
査装置の部分断面図である。

【図５】 従来のウエハ異物検査装置の構造を示す模式
図である。

【符号の説明】

１０ 半導体ウエハ、１１ 試料番号としてのウエハ番
号、１２ 供給部、１３ 収納部としてのウエハカセッ
ト、１３ａ 開口部、１７ 検査部、２１ 識別部、２
２ 画像読み取り機構としてのＣＣＤカメラ、２５ ウ
エハ突き出し機構。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料番号を付した半導体ウエハを供給部
   から検査部に搬送して検査するウエハ検査装置におい
   て、上記半導体ウエハが検査部に至る前に上記試料番号
   を識別する手段と、この識別情報に基づいて、所望の上
   記半導体ウエハを選んで上記検査部に搬送する選別手段
   とを備えたことを特徴とするウエハ検査装置。
2. 【請求項２】 半導体ウエハを供給部から搬出せずに上
   記供給部内において試料番号を識別することを特徴とす
   る請求項１記載のウエハ検査装置。
3. 【請求項３】 供給部内に半導体ウエハを収納する収納
   部を有し、予め保持する上記半導体ウエハの収納位置情
   報に基づいて上記収納部内の所定の位置の半導体ウエハ
   の試料番号を識別した後、当該半導体ウエハが所望のも
   のであれば検査部に搬送し、所望のものでなければ上記
   所定の位置と近接する位置の半導体ウエハから順次試料
   番号を識別し、所望の半導体ウエハを選んで上記検査部
   に搬送することを特徴とする請求項１または２記載のウ
   エハ検査装置。
4. 【請求項４】 供給部内の全ての半導体ウエハの試料番
   号を識別した後、所望の上記半導体ウエハを検査部に搬
   送することを特徴とする請求項１または２記載のウエハ
   検査装置。
5. 【請求項５】 供給部内に半導体ウエハを収納する収納
   部を有し、ウエハ突き出し手段により、上記半導体ウエ
   ハの試料番号印字部を上記収納部の開口部から突出させ
   て試料番号を識別することを特徴とする請求項２記載の
   ウエハ検査装置。
6. 【請求項６】 収納部内の全ての半導体ウエハの試料番
   号印字部を、傾斜を有して同時に上記収納部の開口部か
   ら突出させ、試料番号を識別することを特徴とする請求
   項５記載のウエハ検査装置。
7. 【請求項７】 収納部内の半導体ウエハを、一枚ずつそ
   の試料番号印字部を上記収納部の開口部から突出させ、
   試料番号を識別することを特徴とする請求項５記載のウ
   エハ検査装置。
8. 【請求項８】 供給部内に半導体ウエハを収納する収納
   部を有し、上記半導体ウエハの試料番号を識別する手段
   を可動式の画像読み取り装置で構成し、上記半導体ウエ
   ハが上記収納部内に収納された状態で上記半導体ウエハ
   の試料番号を識別することを特徴とする請求項２記載の
   ウエハ検査装置。