KR100705645B1 - 반도체 소자 분류 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자 분류 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기존의 반도체 소자에 대한 랏 엔드 소팅(Lot End Sorting) 작업을 계속하면서 동시에 대기 상태의 타 장비를 통해서 새로운 타입의 반도체 소자에 대한 검사 작업을 시작하여 반도체 소자의 외관 검사에 대한 생산성을 향상시킬 수 있는 반도체 소자 분류 방법에 관한 것이다.

본 발명에 따른 반도체 소자 분류 방법은 비전 카메라를 이용하여 피검사물의 외관을 검사하고 검사 결과에 따라 피검사물을 분류하는 반도체 소자 분류 방법에 있어서, 로딩부로부터 피검사물이 수납되어 있는 트레이를 이송하면서 상기 비전 카메라를 통해 획득되는 피검사물의 이미지 정보와 기 저장된 해당 피검사물의 이미지 정보를 상호 비교하여 피검사물의 불량 여부를 판독하는 단계와, 판독 결과에 따라 이송되는 트레이에 수납된 피검사물을 상태 별로 분류 배출하는 단계와, 해당 랏(Lot)의 피검사물 전체에 대한 분류 작업이 완료된 경우 버퍼 트레이에 존재하는 정상 품의 피검사물을 언로딩시키는 랏 엔드 소팅 작업을 실행하는 단계와, 상기 랏 엔드 소팅 작업 중 새로운 랏의 피검사물에 대한 설정 신호가 입력된 경우 기존의 랏에 대한 랏 엔드 소팅 작업을 진행하면서 새로운 랏의 피검사물에 대한 비전 검사를 수행하는 단계를 포함하되, 상기 새로운 랏의 피검사물에 대한 비전 검사를 수행하는 단계는 : 설정 신호에 따라 기 저장되어 있는 새로운 랏의 피검사물에 대한 각 구동장치의 구동 정보를 참조하여 분류 모듈 이외에 대기 중인 각 구동장치의 구동 환경을 재설정하는 단계와, 상기 로딩부로부터 새로운 랏의 트레이를 로딩하면서 상기 비전 카메라를 통해 획득되는 피검사물의 이미지 정보와 기 저장된 해당 피검사물의 이미지 정보를 상호 비교하여 피검사물의 불량 여부를 판독하는 단계와, 버퍼 트레이에 기존 랏의 피검사물이 존재하는지 존재 여부를 분석하는 단계와, 분석 결과 상기 버퍼 트레이에 피검사물이 존재하는 경우 버퍼로 이송되는 비전 검사 완료된 최초 트레이를 대기시키는 단계와, 분석 결과 버퍼 트레이에 피검사물이 존재하지 않는 경우 새로운 랏의 피검사물에 대한 구동 정보를 참조하여 피검사물을 픽업하는 피커(Picker) 사이의 간격을 조정하는 단계와, 소터에 대한 간격 조정이 완료된 경우 대기 중인 새로운 랏의 최초 트레이를 버퍼로 이송시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

반도체 소자, 비전 검사, 자동 전환, 분류

Description

반도체 소자 분류 방법{Method for a classifying semiconductor device}

도 1은 본 발명에 따른 반도체 소자 분류 방법이 적용되는 비전 검사 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 소자 분류 방법을 설명하기 위한 흐름도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 본체 21 : 로딩부

22 : 공 트레이부 23 : 불량품 저장부

24 : 언로딩부 25 : 버퍼

26 : 공 트레이 저장부 30 : 검사부

31 : 제1비전 카메라 32 : 제2비전 카메라

40 : 트레이 이송부 50 : 반전부

60 : 트랜스퍼 70 : 분류부

71 : 소터

본 발명은 반도체 소자 분류 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기존의 반도체 소자에 대한 랏 엔드 소팅(Lot End Sorting) 작업을 계속하면서 동시에 대기 상태의 타 장비를 통해서 새로운 타입의 반도체 소자에 대한 검사 작업을 시작하여 반도체 소자의 외관 검사에 대한 생산성을 향상시킬 수 있는 반도체 소자 분류 방법에 관한 것이다.

반도체 소자는 공정을 통하여 제조된 후 출하 전에 반드시 정밀한 검사를 거치게 된다. 반도체 소자는 패키지에 감싸여진 내부의 불량뿐만 아니라, 그 외관에 조금이라도 결함이 발생하면 성능에 치명적인 영향을 끼치게 된다.

이러한 반도체 소자의 외형적 결합, 예를 들면 리드 또는 볼의 결함은 반도체 소자를 인쇄회로기판 등에 조립하는 과정에서 발생할 염려가 있으므로, BGA(Ball Grid Array)와 QFP(Quadrature Flat Package) 등과 같은 반도체 소자의 리드 또는 볼의 상태 검사는 매우 중요한 공정 중의 하나이다.

통상적으로 이러한 반도체 소자들의 리드 또는 볼 등의 외형적 결함은 비전 카메라 등을 이용한 비전 검사에 의해 이루어지고 있다.

일례로 한국등록실용공보 제339601호에는 반도체 소자들의 외형적 결함 검사 및 검사 결과에 따른 반도체 소자의 분류 작업을 신속하고 효율적으로 수행할 수 있는 기술이 개시되어 있다.

그러나 종래 기술에서는 반도체 소자의 배면에 위치하는 리드 또는 볼의 결함만을 검사하고 반도체 소자의 상면에 기록된 마킹 및 전체적인 외관을 검사하고자 하는 경우에는 별도의 검사 장치에서 검사 작업을 진행하여야 하는 불편한 문제가 있었다.

이에 따라 최근에는 본 발명의 출원인에 의해 상기와 같은 문제점을 해결하는 새로운 검사 장치가 개발되었다. 이 기술에 따른 반도체 검사 장치는 반도체 소자가 수납되어 있는 트레이를 이송 과정에서 뒤집어 반도체 소자의 배면 및 상면을 촬영하여 반도체 소자의 외관을 검사하면서 불량품 저장부, 언로딩부 및 버퍼로 이송되는 트레이에 수납된 반도체 소자를 분류하도록 구성되어 있다.

즉 언로딩부로 이송되는 언로딩 트레이에 수납된 반도체 소자 중에서 불량품이 발견되면, 소터(Sorter)는 해당 반도체 소자를 픽업하여 불량품 트레이에 옮겨 놓고, 버퍼 트레이에 수납된 반도체 소자 중에서 정상 품을 픽업하여 불량품으로 빠져나간 빈자리에 채워 넣어 언로딩부로 이송되는 언로딩 트레이에는 정상 품만이 존재하도록 하는 것이다.

상기와 같은 과정을 통해 언로딩부로 이송되는 언로딩 트레이에 수납된 반도체 소자에 대한 비전 검사가 완료되면 마지막으로 버퍼 트레이에 남아 있는 정상 품의 반도체 소자를 언로딩부의 언로딩 트레이로 옮기는 작업(이하, 랏 엔드 소팅(Lot End Sorting)이라 한다)을 통해 버퍼 트레이에 남아 있던 정상 품을 배출함으로써, 해당 랏(Lot)에 대한 비전 검사를 종료하게 된다.

따라서 상기와 같은 구성에 따라 단일의 검사 장치를 통해 반도체 소자의 배면에 위치하는 볼 또는 리드의 결함뿐만 아니라 반도체 소자의 상면에 인쇄된 마킹 및 전체적인 외관을 검사함으로써, 종래 발생되었던 문제점을 해소할 수 있다.

그러나 상술한 검사 장치를 이용하여 서로 다른 타입의 반도체 소자에 대한 비전 검사를 시행하는 경우, 기존 랏의 반도체 소자에 대한 분류 작업이 완전히 종 료될 때까지 기다렸다가 새로운 랏에 대한 비전 검사를 시작해야 하므로 비전 검사에 대한 효율성이 저하되는 문제점이 있다.

즉 기존 랏에 대한 랏 엔드 소팅 작업 시 버퍼 트레이에 남아 있는 반도체 소자를 언로딩 트레이로 픽업하는 분류 모듈인 소터(Sorter)만 구동하고 그 이외의 비전 카메라나 핸들러의 다른 구동 모듈은 대기 모드로 전환되어 랏 엔드 소팅 작업이 완료될 때까지 대기 상태를 유지하게 된다.

이에 따라 기존의 랏에 대한 랏 엔드 소팅 작업이 완료되는 시간 동안 소터 이외의 타 모듈들이 대기 상태로 운행되므로 새로운 랏에 대한 비전 검사를 시작하는 경우 대기 시간 동안 새로운 랏의 반도체 소자에 대한 비전 검사가 지연되어 비전 검사가 완료된 반도체 소자를 분류하는 작업에 대한 효율성이 저하되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로, 서로 다른 타입의 반도체 소자에 대한 비전 검사를 시행하는 경우 기존 랏의 반도체 소자에 대한 랏 엔드 소팅 작업을 계속하면서 동시에 분류 장치인 소터(Sorter) 이외의 타 장비, 예를 들면 비전 카메라나 핸들러의 다른 구동장치의 구동을 통해 새로운 타입의 반도체 소자에 대한 검사 작업을 시작하여 검사에 대한 효율성을 향상시킬 수 있는 반도체 소자 분류 방법을 제공하는데 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 소자 분류 방법은 비전 카메라를 이용하여 피검사물의 외관을 검사하고 검사 결과에 따라 피검사물을 분류하는 반도체 소자 분류 방법에 있어서, 로딩부로부터 피검사물이 수납되어 있는 트레이를 이송하면서 상기 비전 카메라를 통해 획득되는 피검사물의 이미지 정보와 기 저장된 해당 피검사물의 이미지 정보를 상호 비교하여 피검사물의 불량 여부를 판독하는 단계와, 판독 결과에 따라 이송되는 트레이에 수납된 피검사물을 상태 별로 분류 배출하는 단계와, 해당 랏(Lot)의 피검사물 전체에 대한 분류 작업이 완료된 경우 버퍼 트레이에 존재하는 정상 품의 피검사물을 언로딩시키는 랏 엔드 소팅 작업을 실행하는 단계와, 상기 랏 엔드 소팅 작업 중 새로운 랏의 피검사물에 대한 설정 신호가 입력된 경우 기존의 랏에 대한 랏 엔드 소팅 작업을 진행하면서 새로운 랏의 피검사물에 대한 비전 검사를 수행하는 단계를 포함하되, 상기 새로운 랏의 피검사물에 대한 비전 검사를 수행하는 단계는 : 설정 신호에 따라 기 저장되어 있는 새로운 랏의 피검사물에 대한 각 구동장치의 구동 정보를 참조하여 분류 모듈 이외에 대기 중인 각 구동장치의 구동 환경을 재설정하는 단계와, 상기 로딩부로부터 새로운 랏의 트레이를 로딩하면서 상기 비전 카메라를 통해 획득되는 피검사물의 이미지 정보와 기 저장된 해당 피검사물의 이미지 정보를 상호 비교하여 피검사물의 불량 여부를 판독하는 단계와, 버퍼 트레이에 기존 랏의 피검사물이 존재하는지 존재 여부를 분석하는 단계와, 분석 결과 상기 버퍼 트레이에 피검사물이 존재하는 경우 버퍼로 이송되는 비전 검사 완료된 최초 트레이를 대기시키는 단계와, 분석 결과 버퍼 트레이에 피검사물이 존재하지 않는 경우 새로운 랏의 피검사물에 대한 구동 정보를 참조하여 피검사물을 픽업하는 피커(Picker) 사이의 간격을 조정하는 단계와, 소터에 대한 간격 조정이 완료된 경우 대기 중인 새로운 랏의 최초 트레이를 버퍼로 이송시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 구성에 따라 본 발명에 따른 반도체 소자 분류 방법은 단일의 검사 장치를 이용하여 서로 다른 타입의 반도체 소자에 대한 비전 검사를 수행하는 경우 기존 랏에 대한 마지막 검사 과정인 랏 엔드 소팅 작업을 계속하면서 동시에 분류 장치인 소터 이외의 타 장치들의 구동을 통해 새로운 타입의 반도체 소자에 대한 비전 검사를 시작하는 것이 가능하다.

즉 본 발명에 따른 반도체 소자 분류 방법은 종래 랏 엔드 소팅 시간 동안 타 장치들이 대기했던 것과는 달리 대기 상태로 있는 타 장치, 예를 들면 비전 카메라나 핸들러의 구동장치를 통해 기존의 랏과 다른 타입의 새로운 랏에 대한 검사 작업을 시작함으로써, 검사 장치에 대한 효율성을 향상시킬 수 있다.

또한 기존의 랏에 대한 랏 엔드 소팅 작업 시 비전 카메라 등을 통해 새로운 랏에 대한 검사 작업을 수행함으로써, 새로운 랏의 반도체 소자에 대한 검사 작업의 준비 시간을 단축할 수 있어 비전 검사에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 후술하는 바람직한 실시예를 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 이러한 실시예를 통해 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 소자 분류 방법이 적용되는 비전 검사 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 반도체 소자 분류 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.

본 발명에 따른 분류 방법이 구현되는 검사 장치는 도 1에 도시된 바와 같이 본체(10)와, 검사를 수행하기 위한 반도체 소자(이하, 편의상 "피검사물"이라 한다)를 수납한 트레이들이 적재되는 로딩부(21)와, 로딩부(21)로부터 로딩되는 트레이에 수납되어 있는 피검사물의 외관을 촬영하는 검사부(30)와, 검사가 완료된 피검사물을 수납한 버퍼 트레이(T3)를 임시 보관하는 버퍼(25)와, 검사 결과 불량품으로 분류되는 피검사물이 수납된 불량품 트레이(T1)들이 적재되는 불량품 저장부(23)와, 검사 결과 정상 품으로 분류되는 피검사물이 수납된 언로딩 트레이(T2)들이 적재되는 언로딩부(24)와, 로딩부(21)·버퍼(25)·불량품 저장부(23) 및 언로딩부(24)에 각각 연결되고 적재된 트레이를 전후 방향으로 이동 가능하게 하는 트레이 이송부(40)와, 본체의 상측에 왕복 이송 가능하게 설치되어 로딩부(21)·버퍼(25)·불량품 저장부(23) 및 언로딩부(24)의 트레이 이송부들 간에 트레이를 이송 하는 트랜스퍼(60)와, 언로딩부(24)로 이송되는 언로딩 트레이(T2)에 수납된 피검사물 중에서 불량품을 픽업하여 불량품 트레이(T1)로 옮겨 놓고 버퍼 트레이(T3)에 수납된 피검사물 중에서 정상 품을 픽업하여 불량품이 빠져나간 빈자리에 채워 넣는 분류부(70) 및 장치 전반의 구동을 제어하는 컨트롤러(미도시)를 포함하여 구성된다.

또한 검사 장치는 불량품 저장부(23)에 연결된 트레이 이송부(40)로 새로운 트레이를 공급하기 위하여 공 트레이를 적재하여 보관하는 공 트레이부(22)를 포함한다. 또한 버퍼(25)의 전면에는 공 트레이 저장부(26)를 구비하여, 피검사물이 완전히 분류되어 소모된 버퍼 트레이(T3)를 적재하도록 한다.

한편 검사부(30)는 피검사물의 외관을 검사하는 비전 카메라를 구비한 것으로, 바람직하게는 두개의 비전 카메라로 구성된다.

제1비전 카메라(31)는 로딩부(21)에서 이송된 트레이에 수납된 피검사물을 검사하도록 로딩부(21)의 일측에 설치되어, 트레이에 수납된 상태대로 피검사물의 상면을 촬영한다. 그리고 제2비전 카메라(32)는 로딩부의 트레이에 수납된 상태의 반대 면인 배면을 검사하기 위한 것으로, 트레이가 분류부(70)로 이송되기 전의 위치에 배치된다. 이러한 검사부(30)는 본체의 상측에 설치되므로, 제1비전 카메라(31)와 제2비전 카메라(32)의 사이에 피검사물을 뒤집는 기능을 하는 반전부(50)가 설치되어 있다.

본 발명의 실시예에 있어서 반전부(50)는 컨트롤러의 제어 신호에 따라 제1비전 카메라(31)에 의해 검사 완료된 피검사물의 상면에 반대 면을 촬영할 수 있도 록 피검사물을 180。반전시킨다. 이와 같이 피검사물을 반전시키는 반전부에 대한 구성 및 검사 장치의 작동 상태는 본 발명의 출원인 특허 출원한 출원번호 제2005-8710호에 상세히 개시되어 있으므로, 본 명세서에서는 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.

이에 따라 2개의 비전 카메라를 사용하여 피검사물의 배면에 위치하는 볼 또는 리드의 상태와 상면의 마킹 상태를 하나의 검사 장치로 검사할 수 있다. 이와 같이 피검사물의 상면 및 배면의 동시 검사는 BGA와 같이 리드로 사용되는 볼이 배면에 위치하는 경우에 보다 유용할 것이다.

그리고 트레이 이송부(40)는 로딩부(21), 버퍼(25), 불량품 저장부(23) 및 언로딩부(24), 공 트레이부(22), 공 트레이 저장부(26)의 하부에 구비되어 트레이를 올려놓는 피더(41)들과, 각각의 피더들을 본체의 전후 방향으로 이송하는 레일(42)들로 구성되어 있다.

분류부(70)는 불량품 저장부(23), 언로딩부(24) 및 버퍼(25)로 이송되는 트레이에 수납된 피검사물을 분류하는 것으로, 수평 방향으로 왕복 이동 가능한 소터(71)가 설치되어 피검사물을 실질적으로 픽업하고 이송하는 작업을 수행한다.

한편 컨트롤러는 검사 장치를 구성하는 각 구성 요소들의 구동을 제어하는 것으로, 그 내부에는 각종 피검사물 별로 해당 피검사물을 검사하기 위한 각 구성 요소의 구동 환경 정보가 저장된 메모리가 구비되어 있다.

이에 따라 본 발명에 따른 비전 검사 방법이 구현되는 검사 장치를 통해 서로 다른 타입의 피검사물을 검사 분류하는 경우, 검사를 수행하기 전에 기 설정되 어 있는 각 구성 요소, 즉 각종 모듈의 구동 환경을 새로 검사할 해당 피검사물의 구동 환경으로 설정한 다음 검사 작업을 수행하게 된다.

이하에서는 도 1 및 도 2를 참조하여 상기와 같은 구성을 가지는 검사 장치를 통해 구현되는 본 발명에 따른 반도체 소자 분류 방법에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.

먼저 본 발명에 따른 반도체 소자 분류 방법을 설명하기에 앞서 후술되는 피검사물은 서로 다른 타입의 BGA를 사용함을 전제로 한다. 또한 피검사물에 대한 비전 검사를 위한 초기 작업, 예를 들면 불량품 트레이를 분류부에 설정하는 과정 및 공 트레이를 반전부에 공급하는 과정과, 제1,2비전 카메라를 통해 검사 완료된 버퍼 트레이를 버퍼에 설정하는 과정이 완료된 것을 전제로 한다.

이에 따라 분류부에는 불량품이 수납되는 불량품 트레이 및 검사 완료된 버퍼 트레이가 구비되어 있으며, 반전부에는 공 트레이가 클램핑되어 있다. 이러한 초기 작업에 대한 작동 과정은 상술한 바와 같이 본 발명의 출원인 특허 출원한 출원번호 제2005-8710호에 상세히 개시되어 있으므로, 본 명세서에서는 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.

상기와 같이 피검사물을 검사하기 위한 과정이 셋팅된 상태에서 피검사물에 대한 비전 검사를 실행하게 된다(S100).

먼저 로딩부(21)에 적재되어 있는 트레이는 트레이 이송부(40)의 구동에 의해 제1비전 카메라(31)가 설치된 위치로 이송된다. 그 다음 제1비전 카메라(31)를 구동시켜 피검사물이 수납된 상태의 상면, 즉 피검사물의 볼이 구비되어 있는 피검 사물의 배면에 대한 이미지 정보를 획득한다. 그리고 제1비전 카메라(31)에 의한 검사가 완료된 트레이는 트레이 구동부(40)의 구동에 의해 반전부(50)로 이송되며, 반전부(50)로 이송된 트레이에 수납되어 있는 피검사물은 반전부(50)의 작동에 의해 처음 로딩부에 놓인 것과는 반대로 피검사물의 상면, 즉 마킹부가 상부로 향하는 상태로 클램핑되어 있던 공 트레이에 수납된다. 이와 같이 수납 상태가 반전된 피검사물이 수납되어 있는 트레이는 트랜스퍼(60)의 구동에 의해 언로딩부(44) 레일로 이송되며, 이송된 언로딩 트레이(T2)는 트레이 이송부의 구동에 의해 분류부(70)로 이송된다. 이 때 언로딩부 레일 상에 설치된 제2비전 카메라(32)에 의해 피검사물의 상면에 대한 이미지 정보를 획득한다.

이에 따라 컨트롤러는 제1,2비전 카메라를 통해 획득한 피검사물의 배면 및 상면 이미지 정보와 기 저장되어 있는 해당 피검사물에 대한 배면 및 상면 이미지 정보를 상호 비교하여 트레이에 수납되어 있는 각 피검사물의 볼 연결 상태 및 마킹 상태를 판독한다. 이러한 볼의 납땜 상태 및 마킹 상태를 판독하는 기술에 대하여는 본 발명의 출원인이 특허 출원하여 공개된 한국공개특허 제2003-61644호에 상세하게 기재되어 있으므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.

한편 상기와 같이 제1,2비전 카메라(31,32)에 의해 검사 완료되어 분류부(70)로 이송된 언로딩 트레이(T2)에 수납되어 있는 피검사물은 컨트롤러의 제어 신호에 따라 구동되는 소터(71)에 의해 분류된다(S200).

즉 소터(71)는 언로딩부(24)로 이송되는 언로딩 트레이(T2)에 수납된 피검사물 중에서 불량품을 픽업하여 불량품 트레이(T1)로 옮긴 다음, 버퍼 트레이(T3)에 수납된 피검사물 중에서 정상 품을 픽업하여 불량품이 빠져 나간 빈자리에 정상 품을 채워넣는다.

상기와 같은 과정을 거치면서 불량품 트레이(T1)에 불량품이 완전히 채워지면, 불량품이 수납되어 있는 불량품 트레이(T1)는 트레이 이송부(40)의 구동에 의해 불량품 저장부(23)로 이송되어 적재되고, 새로운 공 트레이가 분류부로 공급되어 불량품 트레이(T1)로 사용된다. 또한 언로딩 트레이(T2)가 정상 품으로 완전히 채워지면, 정상 품이 수납되어 있는 언로딩 트레이(T2)는 트레이 이송부(40)의 구동에 의해 언로딩부(23)로 이송되어 적재되고, 제1,2비전 카메라(31,32)를 통해 검사 과정을 마친 새로운 트레이가 위와 동일한 방법으로 이송되어 언로딩 트레이(T2)로 사용된다. 또한 버퍼 트레이(T3)에 정상 품이 존재하지 않게 되면, 공 트레이로 된 버퍼 트레이(T3)는 공 트레이 저장부(26)로 이송되어 적재되고, 검사 과정을 마친 새로운 트레이가 버퍼(25)로 이송되어 버퍼 트레이(T3)로 사용된다.

상기와 같은 과정을 반복하면서 컨트롤러는 해당 랏의 피검사물 전체에 대한 분류가 종료되었는지 판단한다(S300).판단 결과 해당 랏의 피검사물이 존재하는 경우 상기 검사 실행 단계(S100)로 진입하여 존재하는 피검사물에 대한 비전 검사 및 그 검사에 따른 분류 작업을 진행한다. 그러나 판단 결과 해당 랏의 피검사물 전체에 대한 분류가 종료되면, 해당 랏에 대한 랏 엔드 소팅 작업을 진행하게 된다(S400). 즉 버퍼 트레이(25)에 남아 있는 정상 품의 피검사물을 언로딩 트레이(T2)에 옮겨 언로딩부(24)로 배출한다.

이와 같이 기존의 랏에 대한 랏 엔드 소팅 작업 과정에서 새로운 피검사물에 대한 설정 신호가 입력되지 않고(S500), 기존의 피검사물에 대한 랏 엔드 소팅 작업이 종료되지 않으면(S600) 다시 S400단계로 진입하여 랏 엔드 소팅 작업을 진행한다. 즉 소터(71)를 통해 버퍼 트레이(25)에 남아 있는 정상 품의 피검사물을 언로딩 트레이(T2)에 픽업한다, 그러나 버퍼 트레이에 남아 있던 피검사물에 대한 랏 엔드 소팅 작업이 완료되면 종료된다.

그러나 상기와 같이 기존의 랏에 대한 랏 엔드 소팅 작업 시 새로운 랏에 대한 설정 신호가 입력되면(S500), 본 발명의 특징적인 양상에 따라 기존의 랏에 대한 랏 엔드 소팅 작업을 진행하면서 새로운 랏에 대한 비전 검사를 수행한다. 이와 같이 새로운 랏에 대한 설정 신호는 작업자의 조작에 의해 키보드 등과 같은 조작부로부터 입력될 수 있으며, 나아가 설정 신호는 랏 카드에 기록된 식별정보를 판독하는 리더기를 통해 입력될 수도 있다.

이와 같이 조작부 또는 리더기로부터 새로운 랏에 대한 설정 신호가 입력되면, 컨트롤러는 입력된 설정 신호에 따라 랏 엔드 소팅 작업이 진행 중인 검사 장치의 구동 환경을 재설정한다(S710). 즉 버퍼 트레이(T3)에 남아 있는 정상 품을 픽업하는 소터(71) 이외의 각종 장치, 예를 들면 비전 카메라나 핸들러의 각종 구동 장치들의 구동 환경을 새로운 랏의 피검사물에 적합한 구동 환경으로 재설정한다.

예를 들어 비전 카메라의 배율을 새로이 검사할 피검사물에 맞도록 설정한다. 이와 같이 비전 카메라의 배율을 설정하는 배율 조정 방법의 일 실시예로 단 배율 렌즈 여러 세트를 한 번에 장착하여 자동으로 교체해주는 방법을 이용할 수 있다. 이 경우 양질의 영상을 획득할 수 있는 반면에 줌(Zoom)배율의 변화가 몇 가지로 제한된다. 나아가 다른 실시예로 Motorizing Zoom Lens를 이용한 방법이 있다. 이 방법의 경우에는 영상의 품질이 저하되지만, 줌(Zoom)배율의 단계를 한정된 범위 내에서 용이하게 조정하여 사용할 수 있다.

또 비전 카메라로부터 피검사물의 측정 위치까지의 거리가 피검사물의 타입에 따라 서로 상이하므로, 비전 카메라에 장착되어 있는 모터의 구동을 제어하여 비전 카메라의 Z축 위치를 새로운 랏의 피검사물에 적합하도록 조정한다. 또 피검사물의 타입에 따라 허용하는 최고 이송속도가 다르므로, 트레이를 이송하는 트레이 이송부의 구동 환경을 재설정한다. 또한 비전 검사의 판독 결과 트레이에 수납된 피검사물 중에서 불량품으로 판정된 피검사물이 수납되는 불량품 트레이로 사용되는 공 트레이를 분류부로 이송하여, 비전 검사가 완료된 새로운 랏의 피검사물 중에서 소터에 의해 픽업된 불량품이 수납되도록 한다.

한편 상기와 같이 비전 카메라 및 핸들러의 구동 장치 등에 대한 구동 환경이 재설정되면, 컨트롤러는 재설정된 비전 카메라 및 핸들러의 구동을 통해 상술한 바와 같이 로딩부(21)로부터 공급되는 새로운 피검사물이 수납된 트레이에 대한 비전 검사를 실행한다(S720).

상기와 같은 동일한 방법으로 제1,2비전 카메라(31,32)에 의해 새로운 피검사물에 대한 비전 검사가 완료되면, 컨트롤러는 랏 엔드 소팅 작업이 진행 중인 버퍼 트레이(T3)에 남아 있는 피검사물의 잔여 개수 정보를 이용하여 버퍼 트레이(T3)에 기존 랏의 피검사물이 존재하는지 존재 여부를 분석한다(S730).

분석 결과 버퍼 트레이(T3)에 기존 랏의 피검사물이 존재하면, 비전 검사가 완료된 새로운 피검사물이 탑재된 트레이가 버퍼(25)로 이송되지 않도록 대기시킨다(S740). 그러나 분석 결과 버퍼 트레이(T3)에 기존 랏의 피검사물이 존재하지 않는 경우, 메모리에 저장되어 있는 새로운 피검사물에 대한 구동 정보를 참조하여 피검사물을 픽업하는 소터의 피커(Picker) 사이의 간격을 조정한다(S750). 즉 피검사물의 타입에 따라 피검사물이 트레이에 수납되는 간격이 틀리므로, 모터 구동을 통해 새로운 피검사물이 수납된 간격에 따라 피검사물을 픽업하는 두 개의 피커 사이의 간격을 조정한다.

이와 같이 모터 구동에 의해 소터의 피커 사이의 간격이 조정되면(S760), 트레이 이송부(40)를 구동시켜 대기 상태에 있던 비전 검사가 완료된 최초 트레이를 버퍼(25)로 이송시킨다(S770).

이에 따라 버퍼로 이송된 새로운 랏의 최초 트레이가 새로운 랏에 대한 버퍼 트레이로 사용되면서, 새로운 랏에 대한 비전 검사 및 그 검사 결과에 따른 분류 작업이 본격적으로 진행된다. 즉 상기한 S100단계로 진입하여 로딩부(21)로부터 이송되는 트레이에 수납된 새로운 타입의 피검사물에 대한 비전 검사가 실행되고, 비전 검사의 판독 결과에 따른 소터의 구동을 통해 버퍼 트레이에 수납된 새로운 피검사물을 이용하여 언로딩부로 이송되는 언로딩 트레이에 수납된 피검사물을 분류하는 작업을 실행한다.

즉 언로딩부로 이송되는 언로딩 트레이에 수납된 피검사물 중에서 불량품을 픽업하여 불량품 저장부의 불량품 트레이에 옮겨 놓고, 버퍼 트레이에 수납된 피검 사물 중에서 정상 품을 픽업하여 불량품이 빠져나간 빈자리에 채워 넣어 언로딩 트레이에 정상 품만이 존재하도록 분류하고, 언로딩 트레이가 정상 품으로 완전히 채워지면 정상 품을 수납한 언로딩 트레이는 언로딩부로 이송되어 적재된다.

이상에서 상세하게 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 소자 분류 방법은 단일의 검사 장치를 이용하여 서로 다른 타입의 반도체 소자에 대한 비전 검사를 수행하는 경우 종래 랏 엔드 소팅 시간 동안 타 장치들이 대기했던 것과는 달리 대기 상태로 있는 타 장치, 예를 들면 비전 카메라나 핸들러의 구동장치를 통해 새로운 랏의 반도체 소자에 대한 검사 작업을 시작함으로써, 검사 장치에 대한 효율성을 향상시킬 수 있다.

또한 기존의 랏에 대한 랏 엔드 소팅 작업 시 비전 카메라 등을 통해 새로운 랏에 대한 검사 작업을 수행함으로써, 새로운 랏의 반도체 소자에 대한 검사 작업의 준비 시간을 단축할 수 있어 비전 검사에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양하고 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형예들을 포함하도록 기술된 특허청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.

Claims (5)

1. 비전 카메라를 이용하여 피검사물의 외관을 검사하고 검사 결과에 따라 피검사물을 분류하는 반도체 소자 분류 방법에 있어서,

   로딩부로부터 피검사물이 수납되어 있는 트레이를 이송하면서 상기 비전 카메라를 통해 획득되는 피검사물의 이미지 정보와 기 저장된 해당 피검사물의 이미지 정보를 상호 비교하여 피검사물의 불량 여부를 판독하는 단계와;

   판독 결과에 따라 이송되는 트레이에 수납된 피검사물을 상태 별로 분류 배출하는 단계와;

   해당 랏(Lot)의 피검사물 전체에 대한 분류 작업이 완료된 경우 버퍼 트레이에 존재하는 정상 품의 피검사물을 언로딩시키는 랏 엔드 소팅 작업을 실행하는 단계와;

   상기 랏 엔드 소팅 작업 중 새로운 랏의 피검사물에 대한 설정 신호가 입력된 경우 기존의 랏에 대한 랏 엔드 소팅 작업을 진행하면서 새로운 랏의 피검사물에 대한 비전 검사를 수행하는 단계를 포함하되,

   상기 새로운 랏의 피검사물에 대한 비전 검사를 수행하는 단계는 :

   설정 신호에 따라 기 저장되어 있는 새로운 랏의 피검사물에 대한 각 구동장치의 구동 정보를 참조하여 분류 모듈 이외에 대기 중인 각 구동장치의 구동 환경을 재설정하는 단계와,

   상기 로딩부로부터 새로운 랏의 트레이를 로딩하면서 상기 비전 카메라를 통해 획득되는 피검사물의 이미지 정보와 기 저장된 해당 피검사물의 이미지 정보를 상호 비교하여 피검사물의 불량 여부를 판독하는 단계와,

   버퍼 트레이에 기존 랏의 피검사물이 존재하는지 존재 여부를 분석하는 단계와,

   분석 결과 상기 버퍼 트레이에 피검사물이 존재하는 경우 버퍼로 이송되는 비전 검사 완료된 최초 트레이를 대기시키는 단계와,

   분석 결과 버퍼 트레이에 피검사물이 존재하지 않는 경우 새로운 랏의 피검사물에 대한 구동 정보를 참조하여 피검사물을 픽업하는 피커(Picker) 사이의 간격을 조정하는 단계와,

   소터에 대한 간격 조정이 완료된 경우 대기 중인 새로운 랏의 최초 트레이를 버퍼로 이송시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 분류 방법.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서, 상기 피검사물의 존재 여부를 분석하는 단계는 :

   상기 버퍼 트레이에 남아 있는 피검사물의 잔여 개수 정보를 이용하여 분석하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 분류 방법.
4. 제 1 항 또는 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 설정 신호는 :

   조작부를 통해 입력되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 분류 방법.
5. 제 1 항 또는 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 설정 신호는 :

   랏 카드에 기록된 식별정보를 판독하는 리더기를 통해 입력되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 분류 방법.

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