JPH02216540A - 半導体装置の分類機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ＬＳＩテスターのテスト結果に基づき、半導
体装１ｔ（ＬＳＩ）の分類を行なう半導体装置の分類機
に関するものである。

（従来の技術〕 第３図は従来のテスト装置の構成図である。ここでは、
テスト機能と分類機能とを合わせ持つテスト装置につい
て説明する。

図において、１はテストハンドラ、２はテスタ、３は半
導体装置をテストするために半導体装置のピンを接触さ
せるステージ、４は未テストの半導体装置を入れた投入
キャリア、５はテスト後分類済の半導体装置を収納する
払出キャリアである。

次に、動作について説明する。未テストの半導体装置が
入った投入キャリア４をテストハンドラ１に投入する。

これにより、投入キャリア４内の半導体装置は順次ステ
ージ３に送られ、テスト用のピン当てが行なわれる。そ
して、半導体装置はビン当てされた状態でテスター２に
より電気的試験が行なわれる。その後、このテスト結果
に基づき半導体装置は各払出キャリア５に分類される。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の半導体装置のテスト装置は上記のように構成され
ていたので、テスト結果による分類数はテストハンドラ
ｌのアンローダ数に依存しており、それ以上の分割は再
度テスト装置に通さなければならないという欠点があっ
た。

また、テスト能力と分類能力とにおいて、能力の低い方
に全体としての能力が制限されるという欠点が有った。

本発明は上記の欠点を解消するためになされたもので、
テスト機能と分類機能とをそれぞれ別装置に分離するこ
とにより、テスト能力と分類能力とのバランス調整がロ
ーコストでできると共に、−度テストすれば、その結果
の種類数に応じた分類を分類機で実現できる半導体装置
の分類機を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る半導体装置は、未分類の半導体装置の分類
情報をキャリア単位で受け取る手段と、その分類情報に
基づき半導体装置を分類する手段と、分類した後キャリ
ア単位で分類された半導体装置の分類結果を出力する手
段とを備えている。

〔作　用〕 未分類の半導体装置のテストを行なって得た分類情報を
キャリア単位で受け取り、その分類情報に基づき半導体
装置を分類すると共に、分類した後キャリア単位で分類
された半導体装置の分類結果を出力する。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図に従って説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すテスト装置及び分類機
を示した構成図である。

図において、第３図と同一部分には同一符号を付する。

６はそれぞれテストハンドラ７及び分類機ｌＯに対して
電気的に結合されたパソコン、８はテスト結果の分類情
報を記憶するフロッピーディスクカード、９は一旦テス
トされた半導体装置を収納する収納キャリア、１１は分
類機への投入キャリア、１２は分類後の払出キャリアで
ある。

また、第２図は第１図に示した分類機１０の詳細な構成
図である。

図において、１３は空キャリア、１４は半導体装置及び
パレットの移載機、１５は空パレツトバッファ、１６は
分類ステージである。

さて、第１図において未テストの半導体装置が入った投
入キャリア４をテストハントラフに投入する。これによ
り、投入キャリア４内の半導体装置は順次ステージ３に
送られ、テスト用のピン当てが行なわれる。そして、半
導体装置はピン当てされた状態でテスター２のにより電
気的試験が行なわれる。その後、このテスト結果をフロ
ッピーディスクカード８に書き込むと共に、半導体装置
を収納キャリア９に送出する。

次に、分類機ｌＯ側は、テストハンドラ７側より収納キ
ャリア９（投入キャリア１１に投入される半導体装置）
とテスト結果が記憶されたフロッピーディスクカード８
とが与えられ、分類作業を開始する。そして、分類機１
０は投入キャリア１１内の半導体装置のサイズに合った
パレットを空パレツトバッファ１５のより選択する。次
に、未分類の半導体装置は順次分類ステージ１６へ送ら
れ、半導体装置をピックアップして分類する移載機１４
により分類光に振り分けられる。なお、移載機１４は半
導体装置を入れるポケットが並ぶパレットの移載も行な
う、そして、分類済となった半導体装置は、それらが詰
められたパレットを収納した払出キャリア１２に送出さ
れる。このとき、分類された情報は、先のテスト結果の
値と共にフロッピーディスクカード８へ書き込まれる。

従って、複数種類のテスト結果に基づいて分類された払
出キャリア１２は、再度分類機１０を通すことにより、
より細かな分類処理を実現することができる。

なお、上記実施例では、テスト結果をテストハンドラ７
から分類機１０へ引き渡す媒体としてフロッピーディス
クカードを利用するものを説明したが、キャリアに付加
したメモリーカードを利用してもよい。また、これらの
媒体の他にネットワークを利用した計算機のなどの情報
伝達手段にしてもよい。

（発明の効果〕 以上説明のように本発明は、未分類の半導体装置の分類
情報をキャリア単位で受け取りその分類情報に基づき半
導体装置を分類すると共に、分類した後キャリア単位で
分類された半導体装置の分類結果を出力するため、テス
ト能力と分類能力のバランス調整がローコストで実現す
ることができる。

また、−度のテストで必要とする分類数毎の分類が自由
に行なうことができ、テスト時間の短縮が図れるなど優
れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すテスト装置及び分類機
を示した構成図、第２図は第１図に示した分類機１０の
詳細な構成図、第３図は従来のテスト装置の構成図であ
る。 ２・・・テスター、３・・・ステージ、４・・・投入キ
ャリア、６・・・パソコン、７・・・テストハンドラ、
８・・・フロッピーディスクカード、９・・・収納キャ
リア、ｌＯ・・・分類機、１１・・・分類機の投入キャ
リア、１２・・・払出キャリア。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 未分類の半導体装置の分類情報をキャリア単位で受け取
   る手段と、 その分類情報に基づき半導体装置をキャリア単位で分類
   する手段と、 キャリア単位で分類された半導体装置の分類結果を出力
   する手段とを備えことを特徴とする半導体装置の分類機
   。