KR960706080A - 반도체 디바이스의 자동검사장치 및 방법 - Google Patents
반도체 디바이스의 자동검사장치 및 방법Info
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Abstract
피시험 반도체 디바이스를 테스트함에 앞서서 반도체 디바이스 반송처리장치의 테스트부에 배치된 반도체 시험장치의 테스트부의 소켓의 컨택트 특성을 자동적으로, 효율좋게 검사할 수 있는 자동검사장치 및 방법을 제공한다. 검사되어야할 반도체 디바이스와 동일형상의 미리 전기적 특성이 판명하고 있는 테스트용 디바이스를 준비하고, 이 테스트용 디바이스를 테스트 트레이에 탑재하여 로더부로부터 테스트부로 반송하고, 소켓에 접속하여 컨택트 특성을 측정한다. 측정종료후, 언로더부에 있어서 테스트용 디바이스를 테스트 트레이로부터 커스토머 트레이로 전송하고 트레이 수용부에 일시적으로 격납한 후, 로더부로 전송하고, 커스토모 트레이로부터 테스트 트레이로 전송하여 로더부로부터 다시 테스트부로 반송하다. 이와 같이 하여 상기 테스트부의 모든 소켓의 컨택트 특성의 측정을 자동적으로 반복 행한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 이 발명이 적용할 수 있는 강제수평반송방식의 IC 핸들러의 일례의 전체 구성을 도시하는 개략 사시도이다, 제7도는 제2도의 IC 핸들러의 전송 및 반송동작을 흐름도적으로 도시하는 개략도이다.
Claims (4)
- 반도체 디바이스를 테스트하기 위하여 로더부로부터 테스트부로 반송하고, 동시에 테스트 결과에 의거하여 테스트필의 반도체 디바이스를 테스트부로부터 언로더부로 반송하여 유별하는 강제수평반송방식의 반도체 디바이스 반송처리장치를 반도체 시험 장치에 수용한 반도체 디바이스 검사장치에 있어서, 검사되어야 할 반도체 디바이스와 동일형상의 미리 전기적 특성이 판명하고 있는 테스트용 디바이스와, 상기 테스트용 디바이스를 탑재하는 커스토머 트레이와, 커스토머 트레이를 격납하는 로더부 및 언로더부에 각각 설치된 트레이 수용부와, 로더부로부터 테스트부를 경유하여 언로더부에로 반도체 디바이스를 탑재하여 반송하는 테스트 트레이와, 언로더부의 트레이 수용부에 격납된 커스토머 트레이를 로더부의 트레이 수용부에 전송하기위한 트레이 전송 장치와, 커스토머 트레이에 탑재된 테스트용 디바이스를 상기 로더부에 있어서 커스토머 트레이로부터 테스트트레이로 전송하는 수단과, 테스트 트레이에 탑재된 테스트용 디바이스를 상기 언로더부에 있어서 테스트 트레이로부터 커스토머 트레이로 전송하는 수단과, 커스토머 트레이를 상기 언로더부의 트레이 수용부에 격납하는 수단을 구비하고 상기 테스트용 디바이스를 테스트부로 반복 자동적으로 반송하여 이 테스트부의 모든 소켓의 컨택트 특성을 자동적으로 측정할 수 있게 한 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스의 자동검사장치.
- 반도체 디바이스를 테스트하기 위하여 로더부로부터 테스트부로 반송하고, 동시에 테스트 결과에 의거하여 테스트필의 반도체 디바이스를 테스트부로부터 언로더부로 반송하여 유별하는 강제수평반송방식의 반도체 디바이스 반송처리장치를 반도체 시험장치에 수용한 반도체 디바이스 검사장치의 자동검사방법에 있어서, 검사되어야 할 반도체 디바이스와 동일형상의 미리 전기적 특성이 판명하고 있는 테스트용 디바이스를 커스토머트레이에 탑재하여 상기 로더부의 트레이 수용부에 격납하는 단계와, 상기 로더부의 트레이 수용부에 격납된 커스토머 크레이를 로더부의 전송위치로 반송하는 단계와, 커스토머 트레이 상의 테스트용 디바이스를 테스트 트레이에 전송하는 단계와, 테스트 트레이를 테스트부에 반송하여 탑재된 상기 테스트용 디바이스를 테스트부의 소켓과 접속하고, 컨택트 특성을 측정하는 단계와, 측정종료후, 상기 언로더부에 있어서 테스트 트레이로부터 상기 테스트용 디바이스를 커스토머 트레이에 전송하는 단계와, 상기 테스트용 디바이스를 탑재한 커스토머 트레이를 상기 언로더부의 트레이 수용부에 격납하는 단계와, 상기 언로더부의 트레이 수용부에 격납된 커스토머 트레이를 상기 로더부의 트레이 수용부에 전송하는 단계로 이루어지고 상기 테스트부의 모든 소켓의 컨택트 특성을 측정하는 것이 마칠 때까지 상기 단계를 반복 실행하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스의 자동검사방법.
- 반도체 디바이스를 테스트하기 위하여 로더부로부터 테스트부로 전송하고, 동시에 테스트 결과에 의거하여 테스트필의 반도체 디바이스를 테스트부로부터 언로더부로 반송하여 유별하는 강제수평반송방식의 반도체 디바이스 반송처리장치를 반도체 시험장치에 수용한 반도체 디바이스 검사장치의 자동검사방법에 있어서, 검사되어야 할 반도체 디바이스를 커스토머 트레이에 탑재하여 상기 로더부의 트레이 수용부에 격납하는 단계와, 상기 로더부의 트레이 수용부에 격납된 커스토머 트레이를 로더부의 전송위치로 반송하는 단계와, 커스토머트레이상의 피시험 디바이스를 테스트 트레이에 전송하는 단계와, 테스트 트레이를 테스트부로 반송하여 탑재된 상기 피시험 디바이스를 테스트부의 소켓과 접속하고, 각 피시험 디바이스의 전기적 특성을 측정하는 단계와, 측정종료후, 상기 언로더부에 있어서 측정결과의 데이터에 의거하여 테스트 트레이로부터 상기 시험필 디바이스를 카테고리별로 분류가름하고, 대응하는 커스토머 트레이로 전송하고, 상기 언로더부의 트레이 수용부에 격납하는 단계와, 재검사를 필요로 하는 카테고리의 시험필 디바이스를 탑재한 커스토머 트레이를 상기 언로더부의 트레이 수용부로부터 상기 로더부의 트레이 수용부로 전송하는 단계로 이루어지고 초회의 검사결과, 재검사를 하고 싶은 임의의 카테고리에 대하여 시험필 디바이스를 자동적으로 재검사할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스의 자동 검사방법.
- 반도체 디바이스를 테스트하기 위하여 로더부로부터 테스트부로 반송하고, 동시에 테스트 결과에 의거하여 테스트필의 반도체 디바이스를 테스트부로부터 언로더부로 반송하여 유별하는 강제수평반송방식의 반도체 디바이스 반송처리장치를 반도체 시험장치에 수용한 반도체 디바이스 검사장치에 있어서, 검사되어야 할 반도체 디바이스를 커스토머 트레이에 탑재하여 상기 로더부의 트레이 수용부에 격납하는 단계와, 상기 로더부의 트레이 수용부에 격납된 커스트머 트레이를 로더부의 전송위치로 반송하는 단계와, 커스터모 트레이 이상의 피시험 디바이스를 테스트 트레이로 전송하는 단계와, 테스트 트레이를 테스트부에 반송하여 탑재된 상기 피시험 디바이스를 테스트부의 소켓과 접속하고, 각 피시험 디바이스의 전기적 특성을 특정하는 단계와, 측정종료후, 상기 언로더부에 있어서 측정결과의 데이터에 의거하여 테스트 트레이로부터 상기 시험필 디바이스를 카테고리 별로 분류가름함에 있어서, 재검사를 필요로 하는 카테고리에 들어가는 시험필 디바이스에 대하여는 분류가름을 행하지 않고 일괄하여 대응하는 커스토머 트레이로 전송하고, 재검사를 필요로 하지 않는 카테고리에 들어가는 시험필 디바이스에 대하여는 분류가름을 행하여 대응하는 커스토머 트레이로 전송하고, 상기 언로더부의 트레이 수용부에 격납하는 단계와, 재검사를 필요로 하는 시험필 디바이스를 탑재한 커스토머 트레이를 상기 언로더부의 트레이 수용부로부터 상기 로더부의 트레이 수용부로 전송하는 단게로 이루어지고 초회의 검사결과, 재검사를 하고 싶은 복수의 카테고리에 대하여 시험필 디바이스를 분류가름하지 않고 일괄하여 자동적으로 재검사할 수 있게 한 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스의 자동검사방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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