KR970706502A - 반도체장치 시험장치 및 복수의 반도체장치 시험장치를 구비한 반도체장치 시험시스템 - Google Patents

Abstract

복수대의 반도체장치 시험장치를 효율적으로 운용할 수 있는 반도체장치 시험시스템을 제공한다. 복수대의 반도체장치시험장치(1A,1B 및 1C)를 관리, 제어하는 호스트컴퓨터(2)와, 분류전용기(3)를 설치하고, 또한, 시험필 반도체장치에 부여된 번호나 시험결과 등의 장치격납정보를 기억하는 격납정보기억수단(4)를 호스트컴퓨터(2)에 설치한다. 각 시험장치의 핸들러부(11)에 있어서는 시험필장치를 분류하지 않고서, 혹은 2개의 카테고리만으로 분류하여 테스트트레이로부터 범용트레이로 전송하고, 이 전송시에 각 장치의 격납정보를 상기 격납정보기억수단에 기억한다. 모든 시험이 종료한 후, 격납정보기억수단에 기억된 각 장치의 격납정보를 분류전용기에 보내서, 이 분류전용기에 의해 시험필장치의 분류를 행한다.

Description

반도체장치 시험장치 및 복수의 반도체장치 시험장치를 구비한 반도체장치 시험시스템

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 의한 IC 시험시스템의 제1의 실시예의 전체의 구성을 설명하기 위한 블럭도이다. 제2도는 제1도에 도시한 IC 시험시스템에 있어서 사용할 수 있는 복수매의 범용트레이를 1조로서 담아서 운반할 수 있는 용기의 일례를 가리키는 개략 사시도이다. 제3도는 본 발명에 의한 IC 시험시스템의 제2의 실시예의 전체의 구성을 설명하기 위한 블럭도이다.

Claims (13)

1. 시험장치부와 핸들러부를 구비한 반도체장치 시험장치와, 격납정보기억수단과, 분류전용기를 포함하고, 핸들러부의 로우더부에 있어서 범용트레이로부터 복수개의 피시험반도체장치를 테스트프레이에 전송, 탑재하고, 이 테스트프레이를 핸들러부의 테스트부로 반송하고, 이 테스트부에 배치된 상기 시험장치부의 테스트헤드에 상기 테스트트레이에 탑재된 반도체장치를 전기적으로 접촉시켜 반도체장치의 동작을 테스트하고, 테스트 종료후 시험필 반도체장치를 탑재한 테스트트레이를 상기 테스트부로부터 핸들러부의 언로우더부로 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 테스트트레이의 시험필 반도체장치를 범용트레이에 바꿔쌓고 시험필 반도체장치를 탑재한 범용트레이를 핸들러로부터 취출하도록 구성되어 이는 반도체장치 시험시스템에 있어서, 상기 언로우더부에 있어서 테스트트레이로부터 범용트레이로 시험필 반도체 장치를 바꿔쌓을때, 각각의 반도체 장치에 부여된 번호, 반도체장치의 시험결과 및 상기 테스트부에서 시험에 사용된 소켓번호등의 각각의 반도체장치의 격납정보를, 각범용트레이의 반도체장치격납부에 각 시험필 반도체장치를 격납할 때마다, 상기 격납정보기억수단에 기억시켜, 이 기억된 격납정보를 상기 분류전용기에 송급하고, 상기 분류전용기로 시험필 반도체장치를 상기 시험결과에 따라서 분류하도록 구성한 것을 특징으로 하는 IC 시험시스템.
2. 시험장치부와, 핸들러부를 구비한 반도체장치 시험장치와, 격납정보기억수단과, 전류전용기를 포함하고, 피시험 반도체장치를 핸들러부의 테스트부로 반송하고, 이 테스트부에 배치된 상기 시험장치부의 테스트헤드에 상기 반도체장치를 전기적으로 접촉시켜 반도체장치의 동작을 테스트하고, 테스트종료후 시험필 반도체 장치를 상기 테스트부로부터 핸들러부의 언로우더부로 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 시험필 반도체장치를 그것들의 시험결과에 따라서 분류하고, 반도체장치격납부에 격납하도록 구성된 반도체장치 시험시스템에 있어서, 상기 언로우더부에서는 시험필 반도체장치를 양품과 불량품의 2종류로 분류하는 동작만을 행하고, 상기 반도체장치 격납부에 격납하는 각각의 반도체장치의 시험결과, 반도체장치에 부여된 번호, 상기 테스트부에서 사용된 소켓번호등의 각각의 반도체장치의 격납정보를 상기 격납정보를 상기 격납정보기억수단에 기억시켜, 이 격납정보기억수단에 기억된 격납정보를 상기 분류전용기에 송급하고, 이 분류전용기에 있어서 시험필 반도체장치를 상기 시험결과에 따라서 더욱 상세하게 분류하는 일을 특징으로 하는 IC 시험시스템.
3. 시험장치부와 핸들러부를 구비한 반도체장치 시험장치를 복수대 구비하고, 각 반도체장치 시험장치는, 피시험반도체장치를 핸들러부의 테스트부로 반송하고, 이 테스트부에 배치된 상기 시험장치부의 테스트헤드에 상기 반도체장치를 전기적으로 접촉시켜 반도체장치의 동작을 테스트하고, 테스트종료후 시험필 반도체장치를 상기 테스트부로부터 핸들러부의 언로우더부로 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 시험필 반도체장치를 그것들의 시험결과에 따라서 분류하고, 반도체장치격납부에 격납하도록 구성되어 있고, 상기 복수대의 반도체 장치시험장치의 시험조건을 다르게 하고, 피시험반도체장치를 이들 반도체장치 시험장치로 순차로 송급하여 다른 조건의 시험을 반복하도록 구성된 반도체장치 시험시스템에 있어서, 상기 각 반도체장치 시험장치의 상기 언로우더부에서는 시험필 반도체장치를 양품과 불량품의 2종류에 분류하는 동작만을 행하고, 양품으로 판정된 반도체장치만을 다음 반도체장치 시험장체에 송급하도록 한 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험시스템.
4. 제3항에 있어서, 상기 각 반도체장치 시험장치는 격납정보기억수단과, 분류전용기를 더 포함하고, 상기 반도체장치 격납부에 격납하는 각각의 반도체장치의 시험결과, 반도체장치에 부여된 번호, 상기 테스트부에서 사용된 소켓번호 등의 각각의 반도체장치의 격납정보를 상기 격납정보기억수단에 기억시켜, 모든 시험이 종료한 후, 상기 격납정보기억수단에 기억된 격납정보를 상기 분류전용기에 송급하고, 이 분류전용기에 있어서 시험필 반도체장치를 상기 시험결과에 따라서 더욱 상세하게 분류하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험시스템.
5. 시험장치부와 핸들러부를 구비하고, 핸들러부의 로우더부에 있어서 범용트레이로부터 피시험 반도체장치를 테스트트레이에 전송, 탑재하고, 이 테스트트레이를 핸들러부의 테스트부로 반송하여 반도체장치를 테스트하고, 테스트종료후 시험필 반도체장치를 탑재한 테스트트레이를 상기 테스트부로부터 핸들러부의 언로우더부로 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 테스트트레이의 시험필 반도체장치를 범용트레이에 바꿔 쌓고, 빈 테스트트레이를 상기 언로우더부로부터 상기 로우더부로 반송하여 상기 동작을 반복하도록 구성되어 있는 반도체장치 시험장치에 있어서, 상기 언로우더부와 상기 로우더부와의 사이의 테스트트레이의 반송로중에, 테스트트레이상에 반도체가 존재하는가 아닌가를 감시하는 반도체장치 검출센서를 설치하고, 이 반도체장치 검출센서에 의해서 상기 언로우더부로부터 상기 로우더부로 반송되는 테스트트레이상에 반도체장치가 남겨져 있는가 아닌가를 검출하도록 한 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
6. 시험장치부와 핸들러부를 구비하고, 핸들러부의 로우더부에 있어서 범용트레이로부터 피시험 반도체장치를 테스트트레이에 전송, 탑재하고, 이 테스트트레이를 핸들러부의 테스트부로 반송하여 반도체장치를 테스트하고, 테스트종료후 시험필 반도체장치를 탑재한 테스트트레이를 상기 테스트부로부터 핸들러부의 언로우더부로 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 테스트트레이의 시험필 반도체장치를 범용트레이에 바꿔 쌓고, 빈 테스트트레이를 상기 언로우더부로부터 상기 로우더부로 반송하여 사기 동작을 반복하도록 구성되어 있는 반도체장치 시험장치에 있어서, 상기 테스트부와 상기 언로우더부와의 사이의 테스트트레이의 반송로중에, 테스트트레이상에 반도체장치가 존재하는가 아닌가를 감시하는 반도체장치 검출센서를 설치하고, 이 반도체장치 검출센서에 의해서 상기 테스트부로부터 상기 언로우더부를 향해서 반송되는 테스트트레이에, 빈 반도체장치 수납부가 존재하는가 아닌가를 검출하도록 한 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
7. 시험장치부와 핸들러부를 구비하고, 핸들러부의 로우더부에서 범용트레이로부터 피시험반도체장치를 테스트트레이로 전송, 탑재하고, 이 테스트트레이를 핸들러부의 테스트부로 반송하여 반도체장치를 테스트하고, 테스트종료후 시험필 반도체장치를 탑재한 테스트트레이를 상기 테스트부로부터 핸들러부의 언로우더부로 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 테스트트레이의 시험필 반도체장치를 범용트레이에 바꿔 쌓고, 빈 테스트트레이를 상기 언로우더부로부터 상기 로우더부로 반송하여 상기 동작을 반복하도록 구성되어 있는 반도체장치 시험장치에 있어서, 상기 로우더부와 상기 테스트부와의 사이의 테스트트레이의 반송로중에, 테스트트레이 상에 반도체장치가 존재하는가 아닌가를 감시하는 반도체장치 검출센서를 설치하고, 이 반도체장치 검출센서에 의해서 상기 테스트부로부터 상기 언로우더부를 향해서 반송되는 테스트트레이에, 빈 반도체장치 수납부가 존재하는가 아닌가를 검출하도록 한 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
8. 제5항에 있어서, 상기 테스트부와 상기 언로우더부와의 사이의 테스트트레이의 반송로중에, 테스트트레이상에 반도체장치가 존재하는가 아닌가를 감시하는 반도체장치 검출센서가 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
9. 제5항에 있어서, 상기 로우더부와 상기 테스트부와의 사이의 테스트트레이의 반송로중에, 테스트트레이 상에 반도체장치가 존재하는가 아닌가를 감시하는 반도체장치 검출센서가 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
10. 제5항에 있어서, 상기 테스트부와 상기 언로우더부와의 사이의 테스트트레이의 반송로중과, 상기 로우더부와 상기 테스트부와의 사이의 테스트트레이의 반송로중에 각각, 테스트트레이상에 반도체장치가 존재하는가 아닌가를 감시하는 반도체장치 검출센서가 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
11. 제5항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반도체장치 검출센서는, 테스트트레이의 이동방향과 직각인 방향으로 배열된 테스트트레이상의 반도체장치수납부의 개수분만 설치되어 있고, 또한 투광광을 검출하는 광센서인 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
12. 제5항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반도체장치 검출센서는, 테스트트레이의 이동방향과 직각인 방향으로 배열된 테스트트레이상의 반도체장치 수납부의 개수분만 설치되어 있고, 반사광검출형의 광센서를 더 포함하고, 이 반사광검출형 광센서에 의해 테스트트레이의 프레임에 설치된 반사마크 또는 비반사마크를 검출하고, 이 검출한 반사마크 또는 비반사마크에 동기하여 상기 반도체장치 검출센서로부터 출력되는 검출신호에 의해 반도체장치의 유무를 판정하도록 구성한 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 반사마크 또는 비반사마크는, 테스트트레이의 진행방향으로 배열된 테스트트레이상의 반도체장치 수납부의 각각의 중심부분과 대응하는 테스트트레이의 프레임의 진행방향에 평행한 한편의 변상의 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.