JPH0476472A - Ｉｃ検査装置 - Google Patents

Ｉｃ検査装置

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JPH0476472A
JPH0476472A JP2190122A JP19012290A JPH0476472A JP H0476472 A JPH0476472 A JP H0476472A JP 2190122 A JP2190122 A JP 2190122A JP 19012290 A JP19012290 A JP 19012290A JP H0476472 A JPH0476472 A JP H0476472A
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    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
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    • B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
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    • B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
    • B07C5/34—Sorting according to other particular properties
    • B07C5/344—Sorting according to other particular properties according to electric or electromagnetic properties
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体集積回路（以下、ＩＣと称す）の検査装
置に係わり、特にトレイに収納されたＩＣを自動的に検
査し、検査後分類されたＩＣをトレイに収納する収納部
を有するＩＣ検査装置に関する。
［従来の技術］ 組立完了したＩＣを自動的に測定部に供給し、ＩＣの良
否を自動的に検査し選別する検査装置としてハンドラが
多用されている。ＩＣハンドラにおいて、ＩＣを扱う供
給形態により、トレイ方式とスティック方式とがある。
スティック方式は細長い支持体のスティックにＩＣを１
列に収納し、スティックを傾斜させてＩＣの自重と間欠
送り機構により１個ずつ搬送され、プリヒート部等を経
て測定部に供給する方式である。検査後ＩＣは自動的に
例えば、良品、不良品、再検査品等に分類されて再びス
ティックに順次収納される。また、トレイ方式は、平板
状のトレイに複数載置されたＩＣを吸着手段等を備えた
ロボットアームにより個別に測定部に搬送し、検査後同
様にロボットアームで分類されたトレイに収納するよう
になっている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、スティック方式ではスティックの内壁を
リード線が接触して上下するのでＩＣのリード線が変形
してジャム化しやすく、測定部において誤検出されたり
、あるいは搬送中に搬送路に詰まってしまったりした。
またトレイ方式ではリード線のジャム化の発生は少ない
がそれぞれ分類別トレイを配置するスペースが必要であ
り、そのためハンドラの設置スペースが大きくなってし
まった。
本発明は上記の欠点を解消するためになされたものであ
って、トレイ方式の検査装置であっても分類別トレイの
設置場所をとらず、省スペース化されたＩＣ検査装置を
提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するため本発明のＩＣ検査装置は、検
査結果に従って分類されたＩＣを搬送する搬送装置と、
前記搬送装置により搬送された前記ＩＣを収納する複数
の分類別トレイ載置台とを備えたＩＣ検査装置において
、前記トレイ載置台は垂直駆動トレイ載置台と、前記垂
直駆動トレイ載置台の上部に設置され前記垂直駆動トレ
イ載置台に前記ＩＣを収納する際に前記垂直駆動トレイ
載置台上から退避する水平駆動トレイ載置台とを設けた
ものである。
［作用コ このＩＣ検査装置は検査済ＩＣを検査結果に従って、分
類別トレイがそれぞれ載置される載置台とを備えたもの
である。
このトレイ載置台は、垂直駆動されるトレイ載置台と、
この垂直駆動トレイ載置台上に水平駆動されるトレイ載
置台とを備える。そして垂直駆動トレイ載置台上のトレ
イに搬送装置により検査済ＩＣが収納される場合、水平
駆動トレイ載置台は水平駆動してその位置より退避する
。このため、トレイ載置台は分類別に立体的に構成され
るため省スペースを図ることができる。
［実施例コ 本発明のＩＣ検査装置をＩＣハンドラに適用した一実施
例を図面を参照して説明する。
第１図の構成図に示すように、ＩＣハンドラ１はトレイ
２に載置されたＩＣ３をロードするローダ部４と、ロー
ダ部４から搬送されるＩＣ３の検査を行う検査部５と、
検査部５から検査済ＩＣ３がアンロードされる収納部６
とから成る。ローダ部４には検査されるべきＩＣ３を収
納したトレイ２が第２図に示すように積層されて載置さ
れる載置台７を備え、一番上段のトレイ２に収納された
ＩＣを検査部５に吸着等の手段（図示せず）により搬送
し、検査後検査部５から収納部６に搬送する搬送装置で
あるロボットアーム８が設けられる。
上段のトレイ２に収納された全部のＩＣが検査部５に搬
送されトレイ２が空になると、トレイ２を吸着等の手段
により隣設される空トレイ載置台９に搬送するロボット
アーム１０が設けられる。載置台７及び空トレイ載置台
９はそれぞれ垂直駆動機構１１及び１２に接続され、空
トレイが空トレイ載置台９に移動されると載置台７は一
段ずつ上昇され、空トレイ載置台９は一段ずつ下降され
、次のトレイに満載されたＩＣがロボットアーム８によ
り検査部５に搬送されるようになっている。
検査部５は図示しないソケット式等の検査装置と、ＩＣ
のアライメントを行うアライメント装置等が装備される
。ここで検査されたＩＣは例えば良品、不良品、再検査
品等として図示しないＣＰＵに記憶され、記憶に従って
収納部６の分類別トレイにロボットアーム８により搬送
、収納されるようになっている。収納部６は分類別トレ
イを載置する例えば良品トレイ載置台１３及び不良品ト
レイ載置台１４が垂直駆動機構１５及び１６に接続され
て設けられる。良品トレイ載置台１３及び不良品トレイ
載置台１４に検査済のＩＣ３が搬送され満載されると垂
直駆動機構１５及び１６により良品載置台１３及び不良
品トレイ載置台１４が下降され、空トレイ載置台９上の
空トレイがロボットアーム１０により順次良品トレイ載
置台１３及び不良品トレイ載置台１４に搬送されるよう
になっている。この不良品トレイ載置台１４と空トレイ
載置台９の上方にはモータ１７に接続された水平ベルト
１８等から成る水平駆動機構１９上に設けられた例えば
再検査トレイ載置台２０が設けられる。ここで再検査ト
レイ載置台２０を水平駆動機構１９上に設けたが、分類
される関度が少ないものをこの水平駆動機構１９上に設
けるのが好ましい。
上記のような構成のＩＣハンドラの動作を説明する。
ローダ部４のトレイ載置台７上に検査されるべきＩＣ３
を収納した複数のトレイ２を搬送ロボットまたはオペレ
ータにより載置する。ロボットアーム８によりＩＣ３が
検査部５に搬送され、順次アライメント後電気的特性の
検査が行われる。検査が行われると検査結果がＣＰＵに
記憶され、この記憶に従ってロボットアーム８が例えば
良品トレイ載置台１３上に載置されたトレイ２にＩＣ３
を収納する。順次検査が行われ、不良品のＩＣが検出さ
れると、空トレイ載置台９が垂直駆動機構１２により下
降される。そしてモータ１７により水平ベルト１８を回
転させ再検査トレイ載置台２０を空トレイ載置台９上に
移動させ、垂直駆動機構１６により上昇された不良品ト
レイ載置台１４上のトレイに不良品ＩＣが収納される。
この水平駆動機構１９により移動された再検査トレイ載
置台２０の位置はＣＰＵにより記憶されるため、再検査
ＩＣが検出された場合はその位置に再検査トレイ載置台
２０が移動して随時再検査トレイ２４に分類されたＩＣ
を収納できる。順次検査が進みローダ部４の載置台７上
の最上段トレイに収納されたＩＣの検出が行われトレイ
が空になれば、再び不良品トレイ載置台１４が垂直駆動
機構１６により下降し、不良品トレイ載置台１４上の位
置に再検査トレイ載置台２０が水平駆動機構１９により
退避して空トレイ載置台９上に載置台７上の空トレイを
ロボットアーム１０により搬送する。また、良品トレイ
載置台１３のトレイが満載されると空トレイ載置台９上
の空トレイをロボットアーム１０により良品トレイ載置
台１３上に搬送する。
さらに不良品トレイ載置台１４上のトレイが満載された
場合は、空トレイ載置台９上からロボットアーム１０が
トレイを吸着して支持し、その間に水平駆動機構１９に
より再検査トレイ載置台２０を空トレイ載置台９上に移
動させ、不良品トレイ載置台１４上を開放し、不良品ト
レイ載置台１４上に支持したトレイを搬送してロボット
アーム１０の吸着を解除して載置させる。
また、もし再検査トレイが満載になれば不良品トレイ載
置台１４上に再検査トレイ載置台２０を配置して空トレ
イ載置台９上から空トレイを搬送することができる。
このように検出関度の少ない分類のトレイを水平駆動機
構に接続された載置台に載置することでトレイの載置台
の設置を立体構造にできる。そのため、スペースの省略
が可能となり経済的である。
以上の説明は一実施例の説明であって、本発明はＩＣハ
ンドラに限定されるものではなく、トレイ式のＩＣ検査
装置ならば何れのものにも適用できる。水平駆動機構も
上記のものに限らず、公知のものを適用することができ
る。また多数の分類のものの場合、水平駆動させるトレ
イ載置台は１台に限定されず、また立体構造も二重に限
らず多重であっても構わない。
［発明の効果］ 以」二の実施例からも明らかなように、本発明のＩＣ検
査装置によれば、分類別のトレイ載置台を垂直駆動と水
平駆動するものを組合せたため、設置面積を減少するこ
とができ経済的である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のＩＣ検査装置の一実施例の構成図、第
２図は第１図に示す一実施例の要部を示す図である。 １・・・・・・ＩＣハンドラ ２・・・・・・トレイ ６・・・・・・収納部 ８・・・・・・ロボットアーム（搬送装置）１３・・・
・良品トレイ載置台 １４・・・・不良品トレイ載置台 １５．１６・・・・・・垂直駆動機構 １９・・・・・・水平駆動機構 ２０・・・・・・再検査トレイ載置台 （水平駆動トレイ載置台） 代理人　弁理士　　守　谷　−雄

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 検査結果に従って分類されたＩＣを搬送する搬送装置と
    、前記搬送装置により搬送された前記ＩＣを収納する複
    数の分類別トレイ載置台とを備えたＩＣ検査装置におい
    て、前記トレイ載置台は垂直駆動トレイ載置台と、前記
    垂直駆動トレイ載置台の上部に設置され前記垂直駆動ト
    レイ載置台に前記ＩＣを収納する際に前記垂直駆動トレ
    イ載置台上から退避する水平駆動トレイ載置台とを設け
    たことを特徴とするＩＣ検査装置。
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