JPH08262102A - Ｉｃテスタ用ハンドラにおけるデバイス再検査方法 - Google Patents
Ｉｃテスタ用ハンドラにおけるデバイス再検査方法Info
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- JPH08262102A JPH08262102A JP7090376A JP9037695A JPH08262102A JP H08262102 A JPH08262102 A JP H08262102A JP 7090376 A JP7090376 A JP 7090376A JP 9037695 A JP9037695 A JP 9037695A JP H08262102 A JPH08262102 A JP H08262102A
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- tray
- test
- magazine
- dut
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 マガジンに収納されたＤＵＴを、人の手を介
在せず、再テストし、テスト結果に応じて分類し、マガ
ジン及びカストマトレイに収納する、ＩＣテスタ用ハン
ドラにおけるデバイス再検査方法を実現する。 【構成】 再検査の回数、検査結果の分類方法、収納ト
レイ／マガジンを設定する検査設定１を行い、ＤＵＴ１
５がマガジンからテストトレイ１７にロード３され、テ
スト４され、上記テスト４終了後に、再検査モードが有
効か？５が判断され、ＮＯの場合には、分類・収納１２
されて終了１３し、ＹＥＳの場合には、再検査するＤＵ
Ｔ１５をアンローダ部２３に一括収納６され、トレイ搬
送装置２７でローダ部２２に転送７され、ローダ部２２
のカストマトレイ１６からテストトレイ１７にＤＵＴ１
５をロード３し、２回目のＤＵＴ１５のテスト４を行
い、再検査モードが終了したとき、分類・収納１２して
ＤＵＴ１５のテストを終了１３する。
在せず、再テストし、テスト結果に応じて分類し、マガ
ジン及びカストマトレイに収納する、ＩＣテスタ用ハン
ドラにおけるデバイス再検査方法を実現する。 【構成】 再検査の回数、検査結果の分類方法、収納ト
レイ／マガジンを設定する検査設定１を行い、ＤＵＴ１
５がマガジンからテストトレイ１７にロード３され、テ
スト４され、上記テスト４終了後に、再検査モードが有
効か？５が判断され、ＮＯの場合には、分類・収納１２
されて終了１３し、ＹＥＳの場合には、再検査するＤＵ
Ｔ１５をアンローダ部２３に一括収納６され、トレイ搬
送装置２７でローダ部２２に転送７され、ローダ部２２
のカストマトレイ１６からテストトレイ１７にＤＵＴ１
５をロード３し、２回目のＤＵＴ１５のテスト４を行
い、再検査モードが終了したとき、分類・収納１２して
ＤＵＴ１５のテストを終了１３する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハンドラを用いて半導
体ＩＣを試験する場合において、マガジンよりデバイス
を供給し、不良品と判定されたデバイスを再検査し、マ
ガジン及びカストマトレイに分類して収納するＩＣテス
タ用ハンドラにおけるデバイス再検査方法に関するもの
である。
体ＩＣを試験する場合において、マガジンよりデバイス
を供給し、不良品と判定されたデバイスを再検査し、マ
ガジン及びカストマトレイに分類して収納するＩＣテス
タ用ハンドラにおけるデバイス再検査方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】半導体ＩＣのテストにおいては、ＩＣテ
スタと一体になってハンドラが被測定ＩＣ（以下「ＤＵ
Ｔ」という）を載置したトレイ及びＤＵＴを搬送及びハ
ンドリングしてＤＵＴをローディングし、テスティング
し、最後にテスト結果の試験データに基づくカテゴリ毎
に分類（ソート）してアンローディングを行っている。
スタと一体になってハンドラが被測定ＩＣ（以下「ＤＵ
Ｔ」という）を載置したトレイ及びＤＵＴを搬送及びハ
ンドリングしてＤＵＴをローディングし、テスティング
し、最後にテスト結果の試験データに基づくカテゴリ毎
に分類（ソート）してアンローディングを行っている。
【０００３】図２を用いて、恒温槽３５を有する一例の
ハンドラ２１でのマガジンローダ部４２、テストトレイ
１７及びＤＵＴ１５の搬送経路及びテスト方法の概要を
説明する。ハンドラ２１内部のマガジンローダ部４２に
おいてマガジンに収納されているＤＵＴ１５を、ハンド
ラ２１内の高／低温に耐える別のテストトレイ１７に、
プリサイスキャリア４０を介して転送載置し直す。この
ＤＵＴ１５が転送載置されたテストトレイ１７は、一定
の経路を搬送循環されてテスト領域３７でＤＵＴ１５が
テストされる。つまり、恒温槽３５に送り込まれ、ソー
クチェンバ３６で加熱あるいは冷却され、一定温度に達
するとテスト領域３７で一定温度のもとでＤＵＴ１５の
電気的特性が測定され、その後ＥＸＩＴチェンバ３８で
外部温度に戻される。
ハンドラ２１でのマガジンローダ部４２、テストトレイ
１７及びＤＵＴ１５の搬送経路及びテスト方法の概要を
説明する。ハンドラ２１内部のマガジンローダ部４２に
おいてマガジンに収納されているＤＵＴ１５を、ハンド
ラ２１内の高／低温に耐える別のテストトレイ１７に、
プリサイスキャリア４０を介して転送載置し直す。この
ＤＵＴ１５が転送載置されたテストトレイ１７は、一定
の経路を搬送循環されてテスト領域３７でＤＵＴ１５が
テストされる。つまり、恒温槽３５に送り込まれ、ソー
クチェンバ３６で加熱あるいは冷却され、一定温度に達
するとテスト領域３７で一定温度のもとでＤＵＴ１５の
電気的特性が測定され、その後ＥＸＩＴチェンバ３８で
外部温度に戻される。
【０００４】高／低温時でのテストが実施され、ＥＸＩ
Ｔチェンバ３８で外部温度に戻された当該ＤＵＴ１５
は、テストトレイ１７に載置されたままアンローダ部２
３に送られ、ここでテストトレイ１７からカストマトレ
イ１６に、又は、テストトレイ１７からソートキャリア
４１を介してマガジンアンローダ部４３に、テスト結果
のカテゴリ毎にソート（分類）されて転送収納される。
テストトレイ１７とカスタマトレイ１６との間のＤＵＴ
１５の転送には真空ポンプを使用した吸引搬送手段が用
いられ、ＤＵＴ１５を１個〜数個吸引吸着して他方のト
レイに転送し、ここにおいて開放することにより一方か
ら他方への転送を終了する。
Ｔチェンバ３８で外部温度に戻された当該ＤＵＴ１５
は、テストトレイ１７に載置されたままアンローダ部２
３に送られ、ここでテストトレイ１７からカストマトレ
イ１６に、又は、テストトレイ１７からソートキャリア
４１を介してマガジンアンローダ部４３に、テスト結果
のカテゴリ毎にソート（分類）されて転送収納される。
テストトレイ１７とカスタマトレイ１６との間のＤＵＴ
１５の転送には真空ポンプを使用した吸引搬送手段が用
いられ、ＤＵＴ１５を１個〜数個吸引吸着して他方のト
レイに転送し、ここにおいて開放することにより一方か
ら他方への転送を終了する。
【０００５】次にカストマトレイ１６が１個のトレイ収
容部２５から別のトレイ収容部２５まで搬送される様子
の一例を図３を用いて説明する。ローダ部２２、アンロ
ーダ部２３及び空トレイ収容部２４は、トレイ収容部２
５と、トレイ収容部２５に収容されるカストマトレイ１
６をの如くポジションＣのレベル迄押し上げるエレベ
ータ２６とより成るレーンを複数本例えば１０レーン具
備している。ローダ部２２のトレイ収容部２５内におい
ては、試験すべきＤＵＴ１５が載置されたカストマトレ
イ１６が積層されている。全レーンはそれ自体互いに同
一であって、ローダ用レーン、アンローダ用レーン及び
空トレイ収容レーンの間の区別はなされておらず、単に
複数のレーン例えば１０レーンが具備されているに過ぎ
ない。これらのレーンを必要に応じて適宜にローダ用、
アンローダ用或いは空トレイ収容用として割り当て指定
して使用する。
容部２５から別のトレイ収容部２５まで搬送される様子
の一例を図３を用いて説明する。ローダ部２２、アンロ
ーダ部２３及び空トレイ収容部２４は、トレイ収容部２
５と、トレイ収容部２５に収容されるカストマトレイ１
６をの如くポジションＣのレベル迄押し上げるエレベ
ータ２６とより成るレーンを複数本例えば１０レーン具
備している。ローダ部２２のトレイ収容部２５内におい
ては、試験すべきＤＵＴ１５が載置されたカストマトレ
イ１６が積層されている。全レーンはそれ自体互いに同
一であって、ローダ用レーン、アンローダ用レーン及び
空トレイ収容レーンの間の区別はなされておらず、単に
複数のレーン例えば１０レーンが具備されているに過ぎ
ない。これらのレーンを必要に応じて適宜にローダ用、
アンローダ用或いは空トレイ収容用として割り当て指定
して使用する。
【０００６】例えばレーン１をこれから試験測定しよう
とするＤＵＴ１５を装填するローダ部２２として割り当
て、レーン２からレーン９の８レーンを試験測定の終了
したＤＵＴ１５を試験結果のカテゴリ毎に収容するアン
ローダ部２３として割り当て、レーン１０をローダ済み
のカストマトレイ１６を収容する空トレイ収容部２４に
割り当て、これらレーン数は必要に応じて相対的に増減
する。２７はトレイ搬送装置であり、フック２８により
カストマトレイ１６を係合してこれを搬送する。カスト
マトレイ１６にはトレイ搬送装置２７のフック２８が係
合する係合孔２９が設けられている。
とするＤＵＴ１５を装填するローダ部２２として割り当
て、レーン２からレーン９の８レーンを試験測定の終了
したＤＵＴ１５を試験結果のカテゴリ毎に収容するアン
ローダ部２３として割り当て、レーン１０をローダ済み
のカストマトレイ１６を収容する空トレイ収容部２４に
割り当て、これらレーン数は必要に応じて相対的に増減
する。２７はトレイ搬送装置であり、フック２８により
カストマトレイ１６を係合してこれを搬送する。カスト
マトレイ１６にはトレイ搬送装置２７のフック２８が係
合する係合孔２９が設けられている。
【０００７】図４は、トレイ搬送装置２７がトレイ収容
部２５内において複数枚積層状態とされているカストマ
トレイ１６の内から、最上層の１枚だけをその係合孔２
９にフック２８を係合することにより分離搬送する様子
を極めて概念的に示す図である。このトレイ搬送装置２
７は、駆動装置により図３ののようにポジションＣの
レベル或いはポジションＢのレベルに駆動されると共
に、ポジションＢのレベルにおいてはの如く水平方向
に配列される全レーン１から１０に渡って水平駆動され
る。３０はトレイセットであり、搬送されたカストマト
レイ１６とテストトレイ１７との間のＤＵＴ１５の受け
渡しをここにおいて行う。トレイセット３０はの如く
駆動装置によりポジションＣのレベル或いはポジション
Ａのレベルに駆動される。
部２５内において複数枚積層状態とされているカストマ
トレイ１６の内から、最上層の１枚だけをその係合孔２
９にフック２８を係合することにより分離搬送する様子
を極めて概念的に示す図である。このトレイ搬送装置２
７は、駆動装置により図３ののようにポジションＣの
レベル或いはポジションＢのレベルに駆動されると共
に、ポジションＢのレベルにおいてはの如く水平方向
に配列される全レーン１から１０に渡って水平駆動され
る。３０はトレイセットであり、搬送されたカストマト
レイ１６とテストトレイ１７との間のＤＵＴ１５の受け
渡しをここにおいて行う。トレイセット３０はの如く
駆動装置によりポジションＣのレベル或いはポジション
Ａのレベルに駆動される。
【０００８】ここで試験測定されるべきＤＵＴ１５が、
ローダ部２２のトレイ収容部２５にあるカストマトレイ
１６からテストトレイ１７に転送載置されるまでの状態
を図３を用いて説明する。 （１）レーン１のトレイ収容部２５1 に積層されるカス
トマトレイ１６をエレベータ２６1 により押圧すること
により最上層のカストマトレイ１６をポジションＣのレ
ベルまで駆動上昇させる。 （２）トレイ搬送装置２７をポジションＢのレベルにお
いて水平駆動してレーン１の真上に位置させる。 （３）トレイ搬送装置２７をポジションＣのレベルまで
駆動降下させる。 （４）トレイ搬送装置２７のフック２８を制御してレー
ン１の最上層のカストマトレイ１６を係合する。
ローダ部２２のトレイ収容部２５にあるカストマトレイ
１６からテストトレイ１７に転送載置されるまでの状態
を図３を用いて説明する。 （１）レーン１のトレイ収容部２５1 に積層されるカス
トマトレイ１６をエレベータ２６1 により押圧すること
により最上層のカストマトレイ１６をポジションＣのレ
ベルまで駆動上昇させる。 （２）トレイ搬送装置２７をポジションＢのレベルにお
いて水平駆動してレーン１の真上に位置させる。 （３）トレイ搬送装置２７をポジションＣのレベルまで
駆動降下させる。 （４）トレイ搬送装置２７のフック２８を制御してレー
ン１の最上層のカストマトレイ１６を係合する。
【０００９】（５）最上層のカストマトレイ１６を係合
したトレイ搬送装置２７をポジションＣからポジション
Ｂのレベルに上昇させる。 （６）ポジションＢのレベルに上昇したカストマトレイ
１６を係合しているトレイ搬送装置２７を、ポジション
Ｂのレベルにおいて水平駆動してレーン３に移動させ
る。 （７）ローダ部２２において、トレイセット３０はポジ
ションＣのレベルに位置決めされる。 （８）レーン３のポジションＢに位置しているトレイ搬
送装置２７をローダ部２２の上部に移動させる。 （９）トレイ搬送装置２７のフック２８を制御して係合
するカストマトレイ１６をローダ部２２のトレイセット
３０上に開放、受け渡す。 （10）係合するカストマトレイ１６を開放したトレイ搬
送装置２７を、水平駆動してレーン３に移動させる。 （11）カストマトレイ１６を受け渡されたローダ部２２
のトレイセット３０をポジションＣのレベルからポジシ
ョンＡのレベルに上昇させ、ローダ部２２におけるカス
トマトレイ１６のトレイセット３０へのセットを完了す
る。
したトレイ搬送装置２７をポジションＣからポジション
Ｂのレベルに上昇させる。 （６）ポジションＢのレベルに上昇したカストマトレイ
１６を係合しているトレイ搬送装置２７を、ポジション
Ｂのレベルにおいて水平駆動してレーン３に移動させ
る。 （７）ローダ部２２において、トレイセット３０はポジ
ションＣのレベルに位置決めされる。 （８）レーン３のポジションＢに位置しているトレイ搬
送装置２７をローダ部２２の上部に移動させる。 （９）トレイ搬送装置２７のフック２８を制御して係合
するカストマトレイ１６をローダ部２２のトレイセット
３０上に開放、受け渡す。 （10）係合するカストマトレイ１６を開放したトレイ搬
送装置２７を、水平駆動してレーン３に移動させる。 （11）カストマトレイ１６を受け渡されたローダ部２２
のトレイセット３０をポジションＣのレベルからポジシ
ョンＡのレベルに上昇させ、ローダ部２２におけるカス
トマトレイ１６のトレイセット３０へのセットを完了す
る。
【００１０】次ぎに、カストマトレイ１６に載置されて
いるＤＵＴ１５を真空ポンプを使用した吸引搬送装置に
よりハンドラ２１内の高／低温に耐えるテストトレイ１
７に転送載置し、このＤＵＴ１５が載置されたテストト
レイ１７は、恒温槽３５に送り込まれて試験測定が行わ
れる。試験測定されたＤＵＴ１５が載置されたテストト
レイ１７は、恒温槽３５からアンローダ部２３に送出さ
れる。アンローダ部２３では前述したカストマトレイ１
６からテストトレイ１７への転送載置に準じた手順で、
テストトレイ１７からカストマトレイ１６に転送載置さ
れるが、このときＤＵＴ１５の試験データに基ずき、Ｄ
ＵＴ１５は２〜８種類にソーティング（分類）される。
分類は各ＩＣ製造業者等の測定者が目的に応じて自由に
設定できる。
いるＤＵＴ１５を真空ポンプを使用した吸引搬送装置に
よりハンドラ２１内の高／低温に耐えるテストトレイ１
７に転送載置し、このＤＵＴ１５が載置されたテストト
レイ１７は、恒温槽３５に送り込まれて試験測定が行わ
れる。試験測定されたＤＵＴ１５が載置されたテストト
レイ１７は、恒温槽３５からアンローダ部２３に送出さ
れる。アンローダ部２３では前述したカストマトレイ１
６からテストトレイ１７への転送載置に準じた手順で、
テストトレイ１７からカストマトレイ１６に転送載置さ
れるが、このときＤＵＴ１５の試験データに基ずき、Ｄ
ＵＴ１５は２〜８種類にソーティング（分類）される。
分類は各ＩＣ製造業者等の測定者が目的に応じて自由に
設定できる。
【００１１】２分類とは良品と不良品との区分である
が、通常は４分類以上の種類に分類される。例えば、Ｄ
ＵＴ１５の性能仕様に対して試験データが最良のものを
カテゴリ０とし、良品をカテゴリ１とし、性能仕様にぎ
りぎりのものをカテゴリ２とし、不良品をカテゴリ３と
分類し、カテゴリ０及び１を無条件良品とし、カテゴリ
２及び３を不良品或いは再検査品とすることもできる。
８分類の場合は性能仕様を８つに区分して分類するもの
である。従って、このソーティングにかなりの時間を要
している。
が、通常は４分類以上の種類に分類される。例えば、Ｄ
ＵＴ１５の性能仕様に対して試験データが最良のものを
カテゴリ０とし、良品をカテゴリ１とし、性能仕様にぎ
りぎりのものをカテゴリ２とし、不良品をカテゴリ３と
分類し、カテゴリ０及び１を無条件良品とし、カテゴリ
２及び３を不良品或いは再検査品とすることもできる。
８分類の場合は性能仕様を８つに区分して分類するもの
である。従って、このソーティングにかなりの時間を要
している。
【００１２】一方、マガジンローダ部４２のマガジンか
らテストトレイ１７へのＤＵＴ１５の移送について図２
を参照して説明する。ＤＵＴ１５は、マガジン内に直列
的に収納されており、マガジンを傾斜させることで、自
然落下するＤＵＴ１５をプリサイスキャリア４０に数個
づつ搭載する。プリサイスキャリア４０は、水平に移動
でき、テストトレイ１７の近辺に移動する。プリサイス
キャリア４０上に搭載されているＤＵＴ１５は、真空ポ
ンプを使用した吸引搬送装置によりテストトレイ１７に
転送される。
らテストトレイ１７へのＤＵＴ１５の移送について図２
を参照して説明する。ＤＵＴ１５は、マガジン内に直列
的に収納されており、マガジンを傾斜させることで、自
然落下するＤＵＴ１５をプリサイスキャリア４０に数個
づつ搭載する。プリサイスキャリア４０は、水平に移動
でき、テストトレイ１７の近辺に移動する。プリサイス
キャリア４０上に搭載されているＤＵＴ１５は、真空ポ
ンプを使用した吸引搬送装置によりテストトレイ１７に
転送される。
【００１３】また、テストトレイ１７からマガジンアン
ローダ部４３のマガジンへのＤＵＴ１５の移送について
説明する。ここで、ソートキャリア４１は、水平に移動
でき、テストトレイ１７の近辺に移動する。テストトレ
イ１７上に搭載されているＤＵＴ１５は、真空ポンプを
使用した吸引搬送装置によりソートキャリア４１に転送
される。ソートキャリア４１は、マガジンアンローダ部
４３に移動し、マガジンアンローダ部にセットされてい
る傾斜したマガジン内に、ＤＵＴ１５を自然落下させ、
マガジン内に直列的に収納する。
ローダ部４３のマガジンへのＤＵＴ１５の移送について
説明する。ここで、ソートキャリア４１は、水平に移動
でき、テストトレイ１７の近辺に移動する。テストトレ
イ１７上に搭載されているＤＵＴ１５は、真空ポンプを
使用した吸引搬送装置によりソートキャリア４１に転送
される。ソートキャリア４１は、マガジンアンローダ部
４３に移動し、マガジンアンローダ部にセットされてい
る傾斜したマガジン内に、ＤＵＴ１５を自然落下させ、
マガジン内に直列的に収納する。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、ＩＣテ
スタ用ハンドラを用いたＩＣテストは、多数のＩＣを収
納したマガジンをマガジンローダ部４２にセットするだ
けで自動的に高／低温時の試験測定を行い、テストが終
了すると予め設定していた分類に従ってソーティングす
るので非常に便利である。しかし、高価な商品であるの
で、テスト時間を少しでも短くし、人が介在することが
ないようにして効率を向上させる必要がある。
スタ用ハンドラを用いたＩＣテストは、多数のＩＣを収
納したマガジンをマガジンローダ部４２にセットするだ
けで自動的に高／低温時の試験測定を行い、テストが終
了すると予め設定していた分類に従ってソーティングす
るので非常に便利である。しかし、高価な商品であるの
で、テスト時間を少しでも短くし、人が介在することが
ないようにして効率を向上させる必要がある。
【００１５】現在の測定方法では、良品と判定されたＤ
ＵＴはそのまま出荷されるが、１回目のテストで不良品
と判定されたＤＵＴは全てリテスト、つまり２回目のテ
ストを行うのが通常である。これは、試験項目を替えた
り、分類カテゴリを替えたり、或いは１回目の測定条件
でもって、最終の不良品を検出するためである。そのた
めに１回目のテストで不良品と判定されるカテゴリの全
てをまとめて再テストを行っている。
ＵＴはそのまま出荷されるが、１回目のテストで不良品
と判定されたＤＵＴは全てリテスト、つまり２回目のテ
ストを行うのが通常である。これは、試験項目を替えた
り、分類カテゴリを替えたり、或いは１回目の測定条件
でもって、最終の不良品を検出するためである。そのた
めに１回目のテストで不良品と判定されるカテゴリの全
てをまとめて再テストを行っている。
【００１６】マガジンに収納されたＤＵＴについても、
複数回のテストの必要があり、最終テスト結果により、
マガジンまたはカスタマトレイに分類して収納したい。
また、そのテスト中において、マガジンをマガジンアン
ローダ部からマガジンローダ部へ、人の手を介在して移
設するような非効率な方法としたくない。本発明は、マ
ガジンに収納されたＤＵＴを、人の手を介在せず、再テ
ストし、テスト結果に応じて分類し、マガジン及びカス
トマトレイに収納する、ＩＣテスタ用ハンドラにおける
デバイス再検査方法を実現することを目的としている。
複数回のテストの必要があり、最終テスト結果により、
マガジンまたはカスタマトレイに分類して収納したい。
また、そのテスト中において、マガジンをマガジンアン
ローダ部からマガジンローダ部へ、人の手を介在して移
設するような非効率な方法としたくない。本発明は、マ
ガジンに収納されたＤＵＴを、人の手を介在せず、再テ
ストし、テスト結果に応じて分類し、マガジン及びカス
トマトレイに収納する、ＩＣテスタ用ハンドラにおける
デバイス再検査方法を実現することを目的としている。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のデバイス再検査方法は、次のように行って
いる。つまり、ＩＣテスタ用ハンドラとＩＣテスタを用
いたＤＵＴ１５のテストにおいて、再検査の回数、検査
結果の分類方法、収納トレイ／マガジンを設定する検査
設定１を行い、ハンドラ２１が動作開始し、ＤＵＴ１５
がマガジンからテストトレイ１７にロード３され、テス
ト４され、上記テスト４終了後に、再検査モードが有効
か？５が判断され、ＮＯの場合には、カテゴリ毎に分類
・収納１２されて終了１３し、ＹＥＳの場合には、再検
査するＤＵＴ１５を再検査カテゴリのアンローダ部２３
のカストマトレイ１６に一括収納６され、トレイ搬送装
置２７でローダ部２２に転送７され、再び上記ハンドラ
２１は動作開始２して、ローダ部２２のカストマトレイ
１６からテストトレイ１７にＤＵＴ１５をロード３し、
２回目のＤＵＴ１５のテスト４を行い、再検査モードが
終了したとき、カテゴリ毎に分類・収納１２してＤＵＴ
１５のテストを終了１３する。このとき、カテゴリ毎の
分類・収納１２は、マガジンアンローダ部４３のマガジ
ンに対してのみ行う場合、マガジンアンローダ部４３の
マガジンと、アンローダ部２３のカストマトレイ１６の
双方に対して行う場合、アンローダ部２３のカストマト
レイ１６に対してのみ行う場合がある。
に、本発明のデバイス再検査方法は、次のように行って
いる。つまり、ＩＣテスタ用ハンドラとＩＣテスタを用
いたＤＵＴ１５のテストにおいて、再検査の回数、検査
結果の分類方法、収納トレイ／マガジンを設定する検査
設定１を行い、ハンドラ２１が動作開始し、ＤＵＴ１５
がマガジンからテストトレイ１７にロード３され、テス
ト４され、上記テスト４終了後に、再検査モードが有効
か？５が判断され、ＮＯの場合には、カテゴリ毎に分類
・収納１２されて終了１３し、ＹＥＳの場合には、再検
査するＤＵＴ１５を再検査カテゴリのアンローダ部２３
のカストマトレイ１６に一括収納６され、トレイ搬送装
置２７でローダ部２２に転送７され、再び上記ハンドラ
２１は動作開始２して、ローダ部２２のカストマトレイ
１６からテストトレイ１７にＤＵＴ１５をロード３し、
２回目のＤＵＴ１５のテスト４を行い、再検査モードが
終了したとき、カテゴリ毎に分類・収納１２してＤＵＴ
１５のテストを終了１３する。このとき、カテゴリ毎の
分類・収納１２は、マガジンアンローダ部４３のマガジ
ンに対してのみ行う場合、マガジンアンローダ部４３の
マガジンと、アンローダ部２３のカストマトレイ１６の
双方に対して行う場合、アンローダ部２３のカストマト
レイ１６に対してのみ行う場合がある。
【００１８】
【作用】上記のように行われるデバイス再検査方法にお
いては、マガジンに収納されたＤＵＴを、テストトレイ
１７及びカストマトレイ１６に移し換えることで、人の
手を介さず、検査したデバイスを再び、何度でも検査す
ることができ、テスト結果に応じて分類し、マガジンの
み、カストマトレイのみ、或いはマガジン及びカストマ
トレイ双方に収納することができる。
いては、マガジンに収納されたＤＵＴを、テストトレイ
１７及びカストマトレイ１６に移し換えることで、人の
手を介さず、検査したデバイスを再び、何度でも検査す
ることができ、テスト結果に応じて分類し、マガジンの
み、カストマトレイのみ、或いはマガジン及びカストマ
トレイ双方に収納することができる。
【００１９】
【実施例】図１に本発明の１実施例の流れ図を示す。図
１において、先ず検査設定１を行う。ここでは、再検査
の回数、分類の方法、収納トレイ／マガジンの設定をす
る。検査設定１がされると、ハンドラ２１の動作開始２
となる。マガジンに収納されているＤＵＴ１５は、プリ
サイスキャリア４０を介してテストトレイ１７にロード
（転送載置）３され、恒温槽３５のテスト領域３７でテ
スト４され、アンローダ部に送出される。このとき、再
検査モードが有効か？５が判断される。再検査が終了し
ている場合は、「ＮＯ」であるので、カテゴリ毎に分類
・収納１２されて終了１３する。再検査が終了していな
い場合は、「ＹＥＳ」であるので、再検査を必要として
いるＤＵＴ１５が、再検査用のアンローダ部２３のカス
トマトレイ１６に一括収納６される。続いて、再検査の
ため、トレイ搬送手段２７でローダ部２２に転送され
る。
１において、先ず検査設定１を行う。ここでは、再検査
の回数、分類の方法、収納トレイ／マガジンの設定をす
る。検査設定１がされると、ハンドラ２１の動作開始２
となる。マガジンに収納されているＤＵＴ１５は、プリ
サイスキャリア４０を介してテストトレイ１７にロード
（転送載置）３され、恒温槽３５のテスト領域３７でテ
スト４され、アンローダ部に送出される。このとき、再
検査モードが有効か？５が判断される。再検査が終了し
ている場合は、「ＮＯ」であるので、カテゴリ毎に分類
・収納１２されて終了１３する。再検査が終了していな
い場合は、「ＹＥＳ」であるので、再検査を必要として
いるＤＵＴ１５が、再検査用のアンローダ部２３のカス
トマトレイ１６に一括収納６される。続いて、再検査の
ため、トレイ搬送手段２７でローダ部２２に転送され
る。
【００２０】再検査の準備が完了すると、再びハンドラ
２１の動作が開始２され、ローダ部２２のカストマトレ
イ１６に搭載されているＤＵＴ１５がテストトレイ１７
にロード３され、テスト４され、再検査モードが終了す
るまで、以上の動作を継続する。
２１の動作が開始２され、ローダ部２２のカストマトレ
イ１６に搭載されているＤＵＴ１５がテストトレイ１７
にロード３され、テスト４され、再検査モードが終了す
るまで、以上の動作を継続する。
【００２１】検査を終了したＤＵＴ１５は、カテゴリに
分類され、複数のマガジンに分類されて収納する。な
お、ＤＵＴ１５の分類・収納は、カスタマトレイ１６に
でもマガジンにでも同時に両方を使用することも可能で
ある。このため、マガジンからロードされたデバイスを
トレイに収納することも可能となる。
分類され、複数のマガジンに分類されて収納する。な
お、ＤＵＴ１５の分類・収納は、カスタマトレイ１６に
でもマガジンにでも同時に両方を使用することも可能で
ある。このため、マガジンからロードされたデバイスを
トレイに収納することも可能となる。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように実行され
るので、以下に記載されるような効果を奏する。つま
り、マガジンに収納されたＤＵＴを、テストトレイ１７
及びカストマトレイ１６に移し換えることで、人の手を
介さず、検査したデバイスを再び、何度でも検査するこ
とができ、テスト結果に応じて分類し、マガジンのみ、
カストマトレイのみ、或いはマガジン及びカストマトレ
イ双方に収納することができる。
るので、以下に記載されるような効果を奏する。つま
り、マガジンに収納されたＤＵＴを、テストトレイ１７
及びカストマトレイ１６に移し換えることで、人の手を
介さず、検査したデバイスを再び、何度でも検査するこ
とができ、テスト結果に応じて分類し、マガジンのみ、
カストマトレイのみ、或いはマガジン及びカストマトレ
イ双方に収納することができる。
【図１】本発明の実施例の流れ図である。
【図２】本発明を実施したハンドラの平面図である。
【図３】本発明を実施したハンドラの動作説明図であ
る。
る。
【図４】トレイの最上層の１枚だけをトレイ搬送装置で
分離搬送する説明図である。
分離搬送する説明図である。
１ 検査設定 ２ ハンドラの動作開始 ３ ＤＵＴをロード ４ ＤＵＴのテスト ５ 再検査モードが有効か？ ６ 再検査カテゴリに一括収納 ７ トレイ搬送装置でローダ部に転送 １２ カテゴリ毎に分類・収納 １３ 終了 １５ ＤＵＴ（被試験ＩＣ） １６ カストマトレイ １７ テストトレイ ２１ ハンドラ ２２ ローダ部 ２３ アンローダ部 ２４ 空トレイ収容部 ２５ トレイ収容部 ２６ エレベータ ２７ トレイ搬送装置 ２８ フック ２９ 係合孔 ３０ トレイセット ３５ 恒温槽 ３６ ソークチェンバ ３７ テスト領域 ３８ ＥＸＩＴチェンバ ４０ プリサイスキャリア ４１ ソートキャリア ４２ マガジンローダ部 ４３ マガジンアンローダ部
Claims (4)
- 【請求項１】 ＩＣテスタ用ハンドラとＩＣテスタを用
いたＤＵＴ（１５）のテストにおいて、 再検査の回数、検査結果の分類方法、収納トレイ／マガ
ジンを設定する検査設定（１）を行い、 ハンドラ（２１）が動作開始し、ＤＵＴ（１５）がマガ
ジンからテストトレイ（１７）にロード（３）され、テ
スト（４）され、 上記テスト（４）終了後に、再検査モードが有効か？
（５）が判断され、 ＮＯの場合には、カテゴリ毎に分類・収納（１２）され
て終了（１３）し、 ＹＥＳの場合には、再検査するＤＵＴ（１５）を再検査
カテゴリのアンローダ部（２３）のカストマトレイ（１
６）に一括収納（６）され、 トレイ搬送装置（２７）でローダ部（２２）に転送
（７）され、 再び上記ハンドラ（２１）は動作開始（２）して、ロー
ダ部（２２）のカストマトレイ（１６）からテストトレ
イ（１７）にＤＵＴ（１５）をロード（３）し、２回目
のＤＵＴ（１５）のテスト（４）を行い、再検査モード
が終了したとき、カテゴリ毎に分類・収納（１２）して
ＤＵＴ（１５）のテストを終了（１３）する、 ことを特徴とするＩＣテスト用ハンドラにおけるデバイ
ス再検査方法。 - 【請求項２】 カテゴリ毎に分類・収納（１２）は、マ
ガジンアンローダ部（４３）のマガジンに対してのみ行
う、 請求項１記載のＩＣテスト用ハンドラにおけるデバイス
再検査方法。 - 【請求項３】 カテゴリ毎に分類・収納（１２）は、マ
ガジンアンローダ部（４３）のマガジンと、アンローダ
部（２３）のカストマトレイ（１６）の双方に対して行
う、 請求項１記載のＩＣテスト用ハンドラにおけるデバイス
再検査方法。 - 【請求項４】 カテゴリ毎に分類・収納（１２）は、ア
ンローダ部（２３）のカストマトレイ（１６）に対して
のみ行う、 請求項１記載のＩＣテスト用ハンドラにおけるデバイス
再検査方法。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7090376A JPH08262102A (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | Ｉｃテスタ用ハンドラにおけるデバイス再検査方法 |
| TW084106645A TW287235B (ja) | 1994-06-30 | 1995-06-28 | |
| KR1019950018531A KR100200378B1 (ko) | 1994-06-30 | 1995-06-30 | 아이씨 핸들러용 디바이스 반송 장치 및 디바이스 재검사 방법 |
| DE19523969A DE19523969C2 (de) | 1994-06-30 | 1995-06-30 | Bausteintransportvorrichtung und Verfahren zum wiederholten Testen von Bausteinen für IC-Handhabungseinrichtung |
| US08/497,223 US5772387A (en) | 1994-06-30 | 1995-06-30 | Device transfer apparatus and device reinspection method for IC handler |
| CN95117239A CN1152754A (zh) | 1995-03-23 | 1995-09-26 | 集成电路处理装置的器件传送装置和器件再检查方法 |
| MYPI95002883A MY113318A (en) | 1995-03-23 | 1995-09-27 | Device transfer and reinspection method for ic handler |
| SG1995001534A SG54087A1 (en) | 1995-03-23 | 1995-10-11 | Device transfer apparatus and device reinspection method for ic handler |
| SG9903596A SG102546A1 (en) | 1995-03-23 | 1995-10-11 | Device transfer apparatus and device reinspection method for ic handler |
| US08/888,745 US6075216A (en) | 1994-06-30 | 1997-07-07 | Device transfer and reinspection method for IC handler |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7090376A JPH08262102A (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | Ｉｃテスタ用ハンドラにおけるデバイス再検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08262102A true JPH08262102A (ja) | 1996-10-11 |
Family
ID=13996855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7090376A Pending JPH08262102A (ja) | 1994-06-30 | 1995-03-23 | Ｉｃテスタ用ハンドラにおけるデバイス再検査方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08262102A (ja) |
| CN (1) | CN1152754A (ja) |
| MY (1) | MY113318A (ja) |
| SG (2) | SG54087A1 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100401932B1 (ko) * | 2001-12-20 | 2003-10-17 | 주식회사 테스트이엔지 | 테스트 핸들러를 통한 반도체 장치의 테스트 방법 |
| US6681361B1 (en) | 1999-05-10 | 2004-01-20 | Nec Electronics Corporation | Semiconductor device inspection apparatus and semiconductor device inspection method |
| KR100705655B1 (ko) * | 2005-10-19 | 2007-04-09 | (주) 인텍플러스 | 반도체 패키지의 분류 방법 |
| JP2010156709A (ja) * | 2004-07-23 | 2010-07-15 | Advantest Corp | 電子部品試験装置 |
| KR20110117387A (ko) * | 2010-04-21 | 2011-10-27 | 미래산업 주식회사 | 트레이 이송방법 및 이를 이용한 테스트 핸들러 |
| KR20170042120A (ko) * | 2015-10-08 | 2017-04-18 | 삼성전자주식회사 | 반도체 테스트 장치 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100399038C (zh) * | 2002-12-25 | 2008-07-02 | 株式会社理光 | 集成电路传送装置 |
| CN101339146B (zh) * | 2007-07-05 | 2011-07-20 | 京元电子股份有限公司 | 自动光学检测装置 |
| CN101887104B (zh) * | 2010-04-21 | 2012-09-19 | 江阴新基电子设备有限公司 | Qfn集成电路测试分选机双流道单元装置 |
| US10782348B2 (en) * | 2017-03-10 | 2020-09-22 | Keithley Instruments, Llc | Automatic device detection and connection verification |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2627929B2 (ja) * | 1988-07-01 | 1997-07-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置 |
-
1995
- 1995-03-23 JP JP7090376A patent/JPH08262102A/ja active Pending
- 1995-09-26 CN CN95117239A patent/CN1152754A/zh active Pending
- 1995-09-27 MY MYPI95002883A patent/MY113318A/en unknown
- 1995-10-11 SG SG1995001534A patent/SG54087A1/en unknown
- 1995-10-11 SG SG9903596A patent/SG102546A1/en unknown
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|---|---|---|---|---|
| US6681361B1 (en) | 1999-05-10 | 2004-01-20 | Nec Electronics Corporation | Semiconductor device inspection apparatus and semiconductor device inspection method |
| KR100401932B1 (ko) * | 2001-12-20 | 2003-10-17 | 주식회사 테스트이엔지 | 테스트 핸들러를 통한 반도체 장치의 테스트 방법 |
| JP2010156709A (ja) * | 2004-07-23 | 2010-07-15 | Advantest Corp | 電子部品試験装置 |
| KR100705655B1 (ko) * | 2005-10-19 | 2007-04-09 | (주) 인텍플러스 | 반도체 패키지의 분류 방법 |
| KR20110117387A (ko) * | 2010-04-21 | 2011-10-27 | 미래산업 주식회사 | 트레이 이송방법 및 이를 이용한 테스트 핸들러 |
| KR20170042120A (ko) * | 2015-10-08 | 2017-04-18 | 삼성전자주식회사 | 반도체 테스트 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1152754A (zh) | 1997-06-25 |
| SG54087A1 (en) | 1998-11-16 |
| MY113318A (en) | 2002-01-31 |
| SG102546A1 (en) | 2004-03-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040406 |