KR100792728B1

KR100792728B1 - 번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치

Info

Publication number: KR100792728B1
Application number: KR1020060042996A
Authority: KR
Inventors: 김종태
Original assignee: 미래산업 주식회사
Priority date: 2006-05-12
Filing date: 2006-05-12
Publication date: 2008-01-11
Also published as: TWI335062B; CN100541712C; EP1860448A2; JP4409585B2; US20070262769A1; US7557565B2; TW200743173A; CN101071759A; JP2007304101A; KR20070109678A

Abstract

본 발명은 번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치에 관한 것으로, 로딩부에서 언로딩부로 빈 트레이를 반송시키는 과정에서 트레이 내의 잔류 디바이스를 간단하고 신속하게 제거할 수 있도록 한 것이다.

이를 위한 본 발명의 번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치는, 본체의 상부에 이동 가능하게 설치되는 베이스프레임과; 상기 베이스프레임에 회전 가능하게 설치되는 회전축부재와; 상기 회전축부재에 설치되어 트레이를 고정 및 해제시키는 홀더유닛과; 상기 베이스프레임에 설치되어 상기 회전축부재를 소정 각도로 회전시키는 회동유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

번인 테스트, 소팅 핸들러, 트레이 반송장치

Description

번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치{Tray Transfer for Burn-in Test Sorting Handler}

도 1은 본 발명에 따른 트레이 반송장치가 적용되는 번인 테스트용 소팅 핸들러의 구성의 일 실시예를 개략적으로 나타내는 평면도

도 2는 본 발명에 따른 트레이 반송장치의 일 실시예의 구성을 나타내는 사시도

도 3은 도 2의 트레이 반송장치의 정면도

도 4는 도 2의 트레이 반송장치의 측면도

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

3 : 로딩부 4 : 언로딩부

100 : 트레이 반송장치 110 : 베이스프레임

120 : 회전축부재 122 : 부싱

131 : 고정블록 132 : 홀더부재

133 : 공압실린더 134 : 피스톤로드

140 : 회동유닛 T : 트레이

본 발명은 번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 디바이스를 출하 전에 고열에서 내열성 테스트를 수행한 후 이를 테스트 결과에 따라 분류하고, 새로운 디바이스를 번인보드에 장착시키는 번인 테스트용 소팅 핸들러에 있어서, 빈 트레이를 반송시키는 과정에서 트레이에 잔존하는 디바이스를 제거하여 반송할 수 있도록 한 트레이 반송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자 등의 디바이스(device)들은 생산이 완료된 후 테스트 장치에 의해 각종 전기적 성능이 테스트되어, 테스트 결과 양품으로 분류된 제품만이 출하될 수 있도록 함으로써 제품의 신뢰성을 확보하고 있다.

이러한 디바이스의 테스트중 실제 사용환경에서 디바이스가 고열에 의해 결함이 발생하는 것을 최소화하기 위하여 번인 테스트(Burn-in Test)를 실시하고 있으며, 번인 테스터용 소팅 핸들러는 번인 테스터(Burn-in Tester)에 의해 테스트된 디바이스를 번인보드로부터 분리하여 테스트 결과별로 출하용 트레이에 소팅하고, 새로 테스트될 디바이스를 번인보드에 장착하여 주는 일련의 작업을 자동으로 수행하는 장비이다.

종래의 번인 테스터용 소팅 핸들러는, 테스트가 완료된 디바이스를 번인보드에서 분리하여 언로딩부의 빈 트레이에 테스트 결과별로 분류하여 수납하는 작업과, 로딩부에 적치된 트레이에서 새로 테스트할 디바이스를 분리하여 상기 번인보드의 빈 자리에 채워넣는 작업을 동시에 수행하도록 구성된다.

그리고, 로딩부에서 디바이스가 모두 분리된 빈 트레이는 본체의 후방으로 이동한 다음, 트레이 반송장치에 의해 언로딩부로 반송되어 테스트가 완료된 디바이스를 수납시키는 트레이로 활용된다.

이 때, 상기 로딩부의 빈 트레이에 디바이스가 잔존한 상태로 이 트레이가 언로딩부로 반송되면, 언로딩부에서 빈 트레이에 테스트 완료된 디바이스를 수납시키는 과정에서 디바이스가 잔류하고 있는 자리에 테스트 완료된 디바이스를 수납시킬 수 없게 되고, 에러가 발생하는 문제가 발생한다.

이에 따라, 종래에는 트레이 반송장치의 이동 경로 상에 트레이를 뒤집을 수 있는 반전스테이지를 구성하여, 트레이 반송장치가 로딩부에서 언로딩부로 빈 트레이를 반송하는 도중에 트레이에 잔존하는 디바이스를 제거하도록 하고 있다.

그러나, 상기와 같이 로딩부와 언로딩부 사이에 반전스테이지를 구성하여 트레이의 잔존 디바이스를 제거하게 되면, 트레이를 반송하는데 시간이 많이 소요되며, 그 구조 및 작동이 복잡해지는 문제가 있다.

다시 말해서, 종래에는 트레이 반송장치가 로딩부에서 언로딩부로 빈 트레이를 반송하는 도중, 상기 반전스테이지에 빈 트레이를 내려 놓으면, 반전스테이지가 대략 180도로 뒤집히면서 트레이 상의 잔존 디바이스를 제거한 다음, 다시 트레이 반송장치가 반전스테이지 상의 빈 트레이를 픽업하여 언로딩부로 반송하게 된다. 따라서, 트레이 반송장치가 트레이를 이송하는 과정이 복잡해지고, 시간이 많이 소요되는 문제가 발생하는 것이다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 로 딩부에서 언로딩부로 빈 트레이를 반송시키는 과정에서 트레이 내의 잔류 디바이스를 간단하고 신속하게 제거할 수 있는 번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치를 제공함에 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 본체의 상부에 이동 가능하게 설치되는 베이스프레임과; 상기 베이스프레임에 회전 가능하게 설치되는 회전축부재와; 상기 회전축부재에 설치되어 트레이를 고정 및 해제시키는 홀더유닛과; 상기 베이스프레임에 설치되어 상기 회전축부재를 소정 각도로 회전시키는 회동유닛을 포함하여 구성된 번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치를 제공한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

먼저, 도 1을 참조하여 본 발명의 트레이 반송장치가 적용되는 번인 테스트용 소팅 핸들러의 구성의 일 실시예를 설명한다.

본체(1)의 일측에 새로 테스트할 디바이스를 수납한 트레이들이 적재된 로딩부(3)가 설치되고, 상기 로딩부(3)의 반대편에는 번인 테스트 결과 양품으로 판정된 디바이스들이 수납되는 트레이들이 적재된 언로딩부(4)가 설치된다. 그리고, 로딩부(3)와 언로딩부(4)의 전방부 사이에는 번인 테스트 결과 불량품 또는 재검사품으로 판정된 디바이스들을 수납하는 트레이들이 적재된 언로딩 리젝트부(5)가 설치된다.

상기 본체(1)의 일측부 외측에는 번인 테스트된 디바이스들이 장착된 번인보 드(B)들이 공급되는 랙(2)이 설치된다. 본체(1)의 하부에는 상기 랙(2)으로부터 번인보드(B)를 인출하여 본체(1) 내측으로 인입함과 더불어 번인보드(B)를 랙(2)의 원위치로 인입시키고, 작업위치에서 번인보드를 X 또는 Y방향으로 1스텝씩 이동시키거나 회전시키는 역할을 하는 X-Y-θ테이블(20)이 설치된다.

또한, 상기 로딩부(3)의 바로 일측에는 DC 테스트부(8)가 배치되고, 언로딩부(4)의 바로 일측에는 언로딩버퍼(10)가 배치되며, 상기 DC 테스트부(8)와 언로딩버퍼(10) 사이에는 상기 번인보드(B)가 위치되는 작업공간이 형성된다.

상기 본체(1)의 상측에 상기 DC 테스트부(8)와 번인보드(B) 및 언로딩버퍼(20)의 상측을 가로지르는 X축 주축(6)이 설치되고, 이 X축 주축(6)에는 로딩부(3)의 디바이스를 DC 테스트부(8)로 이송하여 주는 로딩픽커(11)와, DC 테스트부(8)의 디바이스를 번인보드(B)로 이송하고 번인보드(B)의 디바이스를 언로딩버퍼(10)로 이송하는 인서트픽커(12) 및 리무브픽커(13)와, 언로딩버퍼(10)의 디바이스를 언로딩부(4)로 이송하는 언로딩픽커(14)가 설치된다. 여기서, 상기 인서트픽커(12)와 리무브픽커(13)는 X축 주축(6)을 따라 이동하는 슬라이더(미도시)에 연결되어 함께 X축 주축(6)을 따라 이동하도록 되어 있다.

또한, 상기 언로딩 리젝트부(5)의 상측에는 DC 테스트부(8) 및 언로딩버퍼(10)의 불량 디바이스를 언로딩 리젝트부(5)로 이송하여 주는 소팅픽커(15)가 X-Y축(7)을 따라 이동하도록 설치되어 있다.

상기 로딩부(3)와 언로딩부(4)의 후방부에는 로딩부(3)에서 디바이스가 모두 로딩되고 난 후 빈 트레이를 언로딩부(4)로 이송하여 주는 트레이 반송장치(100)가 트레이 이송용 X축(19)을 따라 왕복 이동하도록 설치된다.

도 2 내지 도 4에 도시된 것과 같이, 상기 트레이 반송장치(100)는, 상기 트레이 이송용 X축(19)을 따라 X축방향으로 수평 이동 가능함과 더불어 상하로 이동가능하게 설치된 베이스프레임(110)을 포함한다. 상기 베이스프레임(110)에는 회전축부재(120)가 수평축을 중심으로 좌우로 회전 가능하게 결합된다. 미설명부호 122는 상기 회전축부재(120)의 양단부를 회전가능하게 지지하는 부싱이다.

상기 회전축부재(120)의 중간부분에는 고정블록(131)이 고정되게 설치되어 회전축부재(120)와 함께 회전한다. 그리고, 상기 고정블록(131)에는 공압실린더(133)가 설치된다. 이 공압실린더(133)는 양측방향으로 신축 가능한 한 쌍의 피스톤로드(134)를 구비한다. 상기 공압실린더(133)의 각 피스톤로드(134)에는 트레이(T)의 양측 변부를 고정 및 해제시키는 홀더부재(132)가 결합된다.

따라서, 상기 공압실린더(133)에 공압이 가해지면, 그의 피스톤로드(134)들이 양측방으로 신축되고, 이에 따라 피스톤로드(134)와 결합된 홀더부재(132)들이 양측방으로 벌어졌다 오므려지면서 트레이(T)의 양측 변부를 고정 또는 해제시키게 된다.

상기 베이스프레임(110)의 후단부에는 상기 회전축부재(120)를 일방향 또는 양방향으로 소정 각도로 회전시키는 회동유닛(140)이 설치된다. 상기 회동유닛(140)은 여러가지 공지의 회전운동시스템, 예컨대 상기 회전축부재(120)의 일단부와 결합되어, 공압에 의해 회전축부재(120)를 양방향으로 소정 각도씩 왕복 회동시키는 회전실린더(Rotary Cylinder)를 이용하여 구성할 수 있다.

또한, 이와 다르게, 상기 회동유닛(140)은 상기 회전축부재(120)의 일단부와 결합되어 회전축부재(120)를 회동시키는 직접구동모터(direct drive motor)와 같은 모터 등을 이용하여 구성할 수도 있다.

이외에도 다양한 회전운동시스템을 이용하여 회동유닛(140)을 구성할 수 있음은 물론이다.

상기와 같이 구성된 번인 테스트용 소팅 핸들러 및 트레이 반송장치(100)의 작동에 대해 설명하면 다음과 같다.

작업자가 번인 테스트 완료된 번인보드들을 랙(2)에 장착하고 핸들러를 가동시키면, X-Y-θ테이블(20)이 랙(2) 쪽으로 이동하여 랙(2)에서 번인보드(B) 중 하나를 인출하여 본체(1)의 중앙의 작업위치로 이송하여 정렬시킨다.

이어서, 로딩부(3)의 트레이(T)가 후방으로 이동하여 X축 주축(6)의 하부에 위치되고, 로딩픽커(11)가 로딩부(3)의 디바이스를 홀딩하여 DC 테스트부(8)로 이송한다. DC 테스트부(8)에서는 디바이스의 간단한 DC 테스트를 수행하게 된다. 이 때, 상기 로딩픽커(11)는 다시 로딩부(3)로 이동하여 다음 디바이스를 홀딩하여 DC 테스트부(8)로 이송할 준비를 한다.

DC 테스트부(8)에서 DC 테스트가 완료되면, 인서트픽커(12) 및 리무브픽커(13)가 동시에 DC 테스트부(8) 및 번인보드(B) 상으로 이동하여, 인서트픽커(12)는 DC 테스트부(8)의 디바이스를 홀딩하고, 리무브픽커(13)는 번인보드(B) 상의 번인 테스트된 디바이스를 홀딩한다.

이어서, 인서트픽커(12)와 리무브픽커(13)는 각각 번인보드(B)와 언로딩버 퍼(10)에 디바이스를 장착하고, 다시 DC 테스트부(8)와 번인보드(B) 상으로 이동한다.

그 다음, 상기 언로딩픽커(14)가 언로딩버퍼(10) 상의 번인 테스트 완료된 양품 디바이스를 언로딩부(4)의 트레이(T)에 장착한다. 상기 언로딩버퍼(10) 상에 불량품으로 분류된 디바이스가 있을 경우 소팅픽커(15)가 X-Y축(7)을 따라 언로딩버퍼(10) 위치로 이동하여 불량품으로 판정된 디바이스를 홀딩하여 언로딩 리젝트부(5)의 트레이(T)에 장착한다.

번인보드(B) 상의 번인 테스트 완료된 디바이스가 모두 분리되고 그 자리에 새로운 디바이스가 모두 채워지면, X-Y-θ테이블(20)이 번인보드(B)를 랙(2)의 원래 위치로 이송한다.

번인 테스트용 소팅 핸들러는 상술한 것과 같이, 번인보드(B)에 수납된 테스트 완료된 디바이스들을 언로딩부(4) 또는 언로딩 리젝트부(5)의 트레이(T)로 옮기고, 로딩부(3)의 트레이(T)에 담겨진 미테스트 디바이스들을 번인보드(B) 상으로 옮겨 장착하는 작업을 반복적으로 수행하며 소팅 작업을 수행한다.

한편, 상기와 같은 소팅 작업 도중, 로딩부(3)의 한 트레이(T)에 담겨진 디바이스들이 모두 분리되면, 빈 트레이(T)는 로딩부(3)의 최후방으로 이동한다. 그리고, 트레이 반송장치(100)의 홀더부재(132)가 공압실린더(133)의 작동에 의해 오므려지면서 빈 트레이(T)의 양측 변부를 고정하고, 베이스프레임(110)이 상기 트레이 이송용 X축(19)을 따라 언로딩부(4) 쪽으로 이동한다.

상기 베이스프레임(110)이 이동하는 도중, 베이스프레임(110)이 지정된 위치 에 도달하면, 상기 회동유닛(140)이 동작하여 회전축부재(120)를 소정 각도, 예를 들어 대략 180도로 회전시켜 홀더부재(132)에 고정되어 있는 트레이(T)를 180도로 뒤집는다.

상기 회전축부재(120)의 회전에 의해 트레이(T)가 180도로 뒤집어짐에 따라 트레이(T) 내에 잔류하는 디바이스가 떨어져 제거된다. 트레이(T)에서 떨어져 제거되는 디바이스는 상기 로딩부(3)와 언로딩부(4) 사이의 지정된 위치의 하측에 설치되는 별도의 디바이스 수집통(미도시)에 모여진다.

상기와 같이, 본체(1)의 지정된 위치에서 트레이 반송장치(100) 자체가 트레이(T)를 180도 회전시켜 잔류 디바이스를 제거하는 동작을 수행한 다음, 트레이 반송장치(100)의 베이스프레임(110)은 상기 트레이 이송용 X축(19)을 따라 계속 언로딩부(4)로 진행한다.

트레이 반송장치(100)에 의해 빈 트레이(T)가 언로딩부(4)에 도착하면, 상기 공압실린더(133)의 작동에 의해 홀더부재(132)가 양측으로 벌어지면서 트레이(T)가 해제되어 언로딩부(4)에 안착되고, 트레이 반송장치(100)는 다시 로딩부(3)로 이동하여 다음 트레이(T)를 반송시킬 준비를 한다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 트레이 반송장치가 트레이를 반송하는 도중 트레이 반송장치 자체에서 트레이를 회전시켜 잔류 디바이스를 제거하므로, 잔류 디바이스 제거 작업이 매우 신속하게 수행될 뿐만 아니라 소팅 핸들러의 전체 구조 또한 매우 단순화되는 이점이 있다.

Claims

본체의 상부에 이동 가능하게 설치되는 베이스프레임과;

상기 베이스프레임에 회전 가능하게 설치되는 회전축부재와;

상기 회전축부재에 설치되어 트레이를 고정 및 해제시키는 홀더유닛과;

상기 베이스프레임에 설치되어 상기 회전축부재를 소정 각도로 회전시키는 회동유닛을 포함하여 구성된 번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치.
제 1항에 있어서, 상기 홀더유닛은,

상기 회전축부재에 고정되게 설치되는 고정블록과;

상기 고정블록의 양측에 측방으로 수평 이동가능하게 설치되어 트레이의 양측 변부를 고정시키는 한 쌍의 홀더부재와;

상기 고정블록에 설치되어 상기 각 홀더부재를 측방으로 소정 거리씩 왕복 이동시키는 공압실린더를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치.
제 1항에 있어서, 상기 회동유닛은, 상기 회전축부재의 일단부와 결합되어 회전축부재를 일방향 또는 양방향으로 회전시키는 모터로 구성된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치.
제 1항에 있어서, 상기 회동유닛은, 상기 회전축부재의 일단부에 결합되며, 공압에 의해 회전축부재를 양방향으로 소정 각도씩 왕복 회동시키는 회전실린더인 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치.