WO2005121739A1

WO2005121739A1 - イメージセンサ用試験装置

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Publication number: WO2005121739A1
Application number: PCT/JP2004/007971
Authority: WO
Inventors: Hiroyuki Kikuchi; Shuichi Shinhama
Original assignee: Advantest Corporation
Priority date: 2004-06-08
Filing date: 2004-06-08
Publication date: 2005-12-22
Also published as: US20070206967A1; JPWO2005121739A1; CN1954202A; DE112004002826T5; TW200601179A; US7479779B2; JP4495726B2; TWI270015B

Abstract

　イメージセンサの入出力端子をテストヘッド（６０）のコンタクト部（６１）に接触させ、イメージセンサの受光面に光源装置（８０）から光を照射しながらテストヘッド（６０）のコンタクト部（６１）からイメージセンサの入出力端子に電気信号を入出力することにより、イメージセンサに対して光学的特性の試験を行うイメージセンサ用試験装置（１０）は、受光面が上方を向いた姿勢で供給トレイ用ストッカ（２１）に搬入されたイメージセンサを反転させるローダ用反転装置（３２）と、イメージセンサの受光面とは反対側の背面を把持して、イメージセンサを移動させ、受光面を下方に向けた状態でイメージセンサをテストヘッド（６０）のコンタクト部（６１）に接触させるコンタクトアーム（４３）と、試験済みのイメージセンサを反転させて搬出するアンローダ用反転装置と、を備えている。　　　　　　　　　　　　　　　　　

Description

明細書

イメージセンサ用試験装置

技術分野

[0001] 本発明は、試験対象である電子部品を反転させて試験する機能を備えるイメージセンサ用試験装置及び電子部品試験装置に関する。特に、本発明は、 CCDセンサや CMOSセンサ等のイメージセンサを反転させた後、当該イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させ、イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、当該イメージセンサに電気信号を入出力することにより、ィメージセンサの光学的特性を試験するイメージセンサ用試験装置に関する。

背景技術

[0002] ハンドラ (Handler)と称される電子部品試験装置では、半導体集積回路素子等の多数の電子部品をトレイに収容してハンドラ内に搬入し、各被試験電子部品をテストヘッドに電気的に接触させ、電子部品試験装置本体 (以下、テスタともいう。）に試験を行わせる。そして、試験が終了すると各電子部品をテストヘッドから払い出し、試験結果に応じたトレイに載せ替えることで、良品や不良品といったカテゴリへの仕分けが行われた後、ハンドラから搬出される。

[0003] このような電子部品の中でも CCDセンサや CMOSセンサ等のイメージセンサの試験では、上記と同様に、各イメージセンサをテストヘッドに電気的に接触させ、試験結果に応じて仕分けが行われている力さらにこの試験において、イメージセンサをテストヘッドに電気的に接触させながら、イメージセンサの受光面に対して光源から光を照射することにより、イメージセンサの受光量が一定であるか否かを検查するひとみ検查等の光学的特性試験が行われてレ、る。

[0004] このようなイメージセンサの光学的特性試験を行うための従来のイメージセンサ用試験装置では、当該試験工程以降の実装工程等との関係上、受光面を上方に向けた姿勢でイメージセンサが搬入 '搬出されるため、そのままの状態で (即ち、受光面が上方に向いた状態で)テストヘッドに移動させ、受光面を上方に向けた状態でィメージセンサの試験が行われてレ、る。 [0005] また、従来のイメージセンサ用試験装置では、ハンドラ自体に光源が設けられており、上記のように受光面を上方に向けた状態で試験を行うために、光源力 Sイメージセンサの上方に位置するように配置されていた。

[0006] し力、しながら、受光面を上方に向けた状態でイメージセンサの試験を行うと、当該受光面にダストが付着する場合があり、高精度な試験の妨げとなるおそれがあった。

[0007] また、近年のイメージセンサ用試験装置においては、試験効率を向上させるために同時測定数を増加させることが望まれている力上記のようにイメージセンサの上方に位置するようにハンドラ自体に光源が搭載されていると、同時測定数の増加に伴つて光源の数が増加する等して光源の大型化が進むため、ハンドラ及び光源の設計が制約され、多数の同時測定数を確保することが困難であった。

発明の開示

[0008] 本発明は、イメージセンサの高精度な試験を可能にすると共に、多数の同時測定数を容易に確保することが可能なイメージセンサ用試験装置を提供することを目的とする。

(1)上記目的を達成するために、本発明の第 1の観点によれば、イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に接触させ、前記イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力することにより、前記イメージセンサの光学的特性の試験を行うィメージセンサ用試験装置であって、試験前の前記イメージセンサを格納する試験前センサ格納部と、前記試験前格納部から供給された前記イメージセンサを反転させるローダ用反転手段と、前記ローダ用反転手段により反転された反転状態の当該ィメージセンサを把持して移動させ、反転状態の当該イメージセンサの入出力端子を前記テストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させるコンタクトアームと、試験が終了した前記イメージセンサを反転させるアンローダ用反転手段と、前記アンローダ用反転手段により反転された試験済みの前記イメージセンサを格納する複数の試験済センサ格納部と、を少なくとも備えたイメージセンサ用試験装置が提供される (請求項 1 参照）。

[0009] 本発明の第 1の観点によれば、イメージセンサの光学的特性の試験を行うイメージセンサ用試験装置に、試験前のイメージセンサを反転させるローダ用反転手段と、試験済みのイメージセンサを反転させるアンローダ用反転手段と、を設ける。

[0010] これにより、受光面が上方を向いた姿勢で搬入されるイメージセンサを反転手段により当該受光面が下方を向くように反転させ、当該反転されたイメージセンサをコンタタトアームによりテストヘッドのコンタクト部に接触させて試験を行レ、、当該試験済みのイメージセンサを前記反転手段により再度反転させて受光面を上方に向けて搬出させることが可能となる。

[0011] 従って、受光面を下方に向けた状態でイメージセンサを試験することが可能となるので、当該受光面へのダスト付着を防止することが出来、高精度な試験を遂行することが可能となる。

[0012] また、受光面を下方に向けた状態でイメージセンサを試験することが可能となるので、ハンドラとは別個に、イメージセンサの下方に光源を配置することが出来、ハンドラ及び光源の設計の自由度が大幅に向上し、同時測定数の増加に対して容易に対応すること力 S可言となる。

[0013] 上記発明においては特に限定されないが、前記ローダ用反転手段及び前記アン口ーダ用反転手段は何れも、 2以上の前記イメージセンサを保持して同時に反転可能であることが好ましく（請求項 2参照）、これにより、イメージセンサ用試験装置の搬送のスループットが向上する。

[0014] 具体的には、前記ローダ用反転手段及び前記アンローダ用反転手段は何れも、前記イメージセンサを保持可能な第 1の保持部と、前記第 1の保持部を回転させる回転機構と、を少なくとも有するように構成することが出来る (請求項 3参照)。

[0015] 上記発明においては特に限定されないが、前記第 1の保持部は、前記イメージセンサを吸着可能な吸着ノズルを有することが好ましく（請求項 4参照）、これにより、安全且つ正確な反転動作を遂行することが可能となる。

[0016] また、上記発明においては特に限定されないが、前記第 1の保持部は、前記ィメージセンサの大きさ又は形状に適合するように、当該第 1の保持部が有する吸着ノズルとは異なる吸着ノズノレを有する他の第 1の保持部に交換可能であるように構成することが出来る (請求項 5参照）。これにより、 1台のイメージセンサ用試験装置で多品種のイメージセンサに対応することが可能となる。

[0017] 上記発明においては特に限定されないが、前記回転機構は、前記第 1の保持部を支持しているピニオンギアと、前記ピニオンギアに咬合したラックギアと、を有し、前記ラックギアに供給された直動力を回転力に変換して、前記第 1の保持部を回転させるように構成することが出来る（請求項 6参照）。これにより、安定した回転動作が可能な回転機構を、安価で且つ単純に構成することが可能となる。

[0018] 上記発明においては特に限定されないが、前記ローダ用反転手段及び前記アン口ーダ用反転手段は何れも、反転後の前記イメージセンサを保持可能な第 2の保持部をさらに有し、前記第 2の保持部には、前記イメージセンサを収容可能な凹部が形成されているように構成することが出来る（請求項 7参照）。反転後のイメージセンサを当該凹部によりテストヘッドのコンタクト部に対して相対的に位置決めすることが可能となる。

[0019] また、上記発明においては特に限定されないが、前記第 2の保持部は、前記ィメージセンサの大きさ又は形状に適合するように、当該第 2の保持部に形成された凹部とは異なる凹部が形成された他の第 2の保持部に交換可能であるように構成することが出来る（請求項 8参照）。これにより、 1台のイメージセンサ用試験装置で多品種のィメージセンサに対応することが可能となる。

[0020] 上記発明においては特に限定されないが、前記ローダ用反転手段により反転された後であって前記テストヘッドに供給される前の前記イメージセンサの背面を撮像することが可能な撮像手段をさらに備えることが出来 (請求項 9参照）、さらに、前記撮像手段により撮像された画像情報に基づいて、前記光源から照射する光の照射パターン、及び、前記テストヘッドのコンタクト部から入力する電気信号の入力パターンを判断する判断手段をさらに備えたり（請求項 10参照）、或いは、前記撮像手段により撮像して得られた品種情報と、試験結果の分類情報と、に基づいて、前記複数の試験済センサ格納部の中から前記イメージセンサを搬出すべき試験済センサ格納部を選択する選択手段と、をさらに備えたりすることが出来る（請求項 11参照）。

[0021] (2)また、上記目的を達成するために、本発明の第 2の観点によれば、イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に接触させ、前記イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力することにより、前記イメージセンサの光学的特性の試験を行うイメージセンサの試験方法であって、試験前の前記イメージセンサを反転させる第 1の反転ステップと、反転状態の当該イメージセンサを前記テストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させ、当該イメージセンサの受光面に光源から光を照射して、当該イメージセンサの光学的特性の試験を行う試験ステップと、試験済みの反転状態の当該前記イメージセンサを反転させる第 2の反転ステップと、を少なくとも備えたィメージセンサの試験方法が提供される（請求項 12参照）。

[0022] 本発明の第 2の観点によれば、イメージセンサの試験方法において、第 1の反転ステツプで試験前のイメージセンサを反転させ、また、第 2の反転ステップで試験後のィメージセンサを反転させる。

[0023] これにより、受光面が上方を向いた姿勢で搬入されるイメージセンサを、当該受光面が下方を向くように試験前に反転させ、当該反転された状態でイメージセンサをテストヘッドのコンタクト部に接触させて試験を行い、当該試験済みのイメージセンサを再度反転させて受光面を上方に向けて搬出させることが可能となる。

[0024] 従って、受光面を下方に向けた状態でイメージセンサを試験することが可能となるので、当該受光面へのダスト付着を防止することが出来、高精度な試験を遂行することが可能となる。

[0025] また、受光面を下方に向けた状態でイメージセンサを試験することが可能となるので、ハンドラとは別個に、イメージセンサの下方に光源を配置することが出来、ハンドラ及び光源の設計の自由度を大幅に向上させることが出来るので、イメージセンサ用試験装置を同時測定数の増加に対して容易に対応させることが可能となる。

[0026] 上記発明においては特に限定されないが、前記第 1の反転ステップ及び前記第 2 の反転ステップにおいて、 2以上の前記イメージセンサを保持して同時に反転させること力 S好ましく（請求項 13参照）、これにより、イメージセンサ用試験装置の搬送のスループットが向上する。

[0027] 上記発明においては特に限定されないが、前記試験ステップの前に前記イメージセンサの例えば生産情報を撮像して品種情報を取得する撮像ステップをさらに備えるように構成することが出来 (請求項 14参照）、さらに、前記撮像ステップにて撮像して得られた品種情報に基づいて、前記光源から照射する光の照射パターン、及び、前記テストヘッドのコンタクト部から入力する電気信号の入力パターンを判断する判断ステップをさらに備え、前記試験ステップにおいて、前記照射パターンに従って前記イメージセンサの受光面に光を照射すると共に、前記入力パターンに従って前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力するように構成したり（請求項 15参照）、或いは、前記撮像ステップにて撮像して得られた品種情報と、試験結果の分類情報と、に基づいて、試験済みの前記イメージセンサを仕分けするように構成することが出来る（請求項 16参照）。

[0028] (3)さらに、上記目的を達成するために、本発明の第 3の観点によれば、被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させ、前記テストへッドのコンタクト部から前記被試験電子部品に電気信号を入出力することにより、前記被試験電子部品の試験を行う電子部品試験装置であって、試験前の被試験電子部品を格納する試験前電子部品格納部と、前記試験前電子部品格納部から供給された前記被試験電子部品を反転させるローダ用反転手段と、前記ローダ用反転手段により反転された反転状態の当該被試験電子部品を把持して移動させ、反転状態の当該被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させるコンタクトアームと、試験が終了した前記被試験電子部品を元の状態に反転させるアンローダ用反転手段と、前記アンローダ用反転手段により反転された試験済みの前記被試験電子部品を格納する複数の試験済電子部品格納部と、を少なくとも備えた電子部品試験装置が提供される (請求項 17参照)。

図面の簡単な説明

[0029] [図 1A]図 1Aは、本発明の第 1実施形態に係るイメージセンサ用試験装置の試験対象となるイメージセンサを示す平面図である。

[図 1B]図 1Bは、図 1Aの H線に沿ったイメージセンサの断面図である。

[図 2]図 2は、本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置を示す概略平面図である。

[図 3]図 3は、図 2の Π-Π線に沿ったイメージセンサ用試験装置の断面図である。 [図 4]図 4は、本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置のローダ用反転装置の斜視図である。

[図 5A]図 5Aは、図 4に示すローダ用反転装置の平面図である。

[図 5B]図 5Bは、図 4に示すローダ用反転装置の側面図である。

[図 6A]図 6Aは、図 4に示すローダ用反転装置の動作を説明するための側面模式図であり、反転前の状態を示す。

[図 6B]図 6Bは、図 4に示すローダ用反転装置の動作を説明するための側面模式図であり、反転後の状態を示す。

[図 7]図 7は、本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置においてイメージセンサの品種を識別している状態を示す図である。

[図 8]図 8は、本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置においてイメージセンサの品種を識別するためのシステム構成を示すブロック図である。

[図 9]図 9は、本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置のテスト部の概略断面図である。

[図 10A]図 10Aは、入出力端子が受光面に対して側方から導出しているタイプのィメージセンサの断面図を示す。

[図 10B]図 10Bは、入出力端子が受光面とは反対面から導出しているタイプのィメージセンサの断面図を示す。

発明を実施するための最良の形態

[0030] 以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

[0031] 図 1Aは本発明の第 1実施形態に係るイメージセンサ用試験装置の試験対象となるイメージセンサを示す平面図であり、図 1Bは図 1Aの I-I線に沿ったイメージセンサの断面図である。

[0032] 先ず、本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置の試験対象となるィメージセンサについて説明すると、このイメージセンサ DUTは、図 1 Aに示すように、マイクロレンズを持つチップ CHが略中央部に配置され、その外周部に入出力端子 HBが導出していると共に、これらチップ CH及び HBがパッケージングされた CCDセンサや CMOSセンサ等であり、図 1Bに示すように、入出力端子 HBがチップ CHにおいてマイクロレンズが形成されている受光面 RLと同一面に導出しているタイプのィメージセンサである。

[0033] 図 2は本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置を示す概略平面図であり、図 3は図 2の Π-Π線に沿ったイメージセンサ用試験装置の断面図である。

[0034] 本発明の実施形態のイメージセンサ用試験装置 10は、上述の図 1A及び図 1Bに示すタイプのイメージセンサ DUTを試験対象とした装置であり、図 2及び図 3に示すように、センサ格納部 20、ローダ部 30、テスト部 40及びアンローダ部 50を備えており、テストヘッド 60及びテスタ 70 (図 3参照）と、光源装置 80 (図 3参照）とを用いて、 4つのイメージセンサ DUTを同時にテストすることが可能となっている。

[0035] このイメージセンサ用試験装置 10では、センサ格納部 20からローダ部 30を介してテスト部 40に供給し、このテスト部 40において、テストヘッド 60のコンタクト部 61に押し当て、光源装置 80からイメージセンサ DUTの受光面 RLに対して光を照射しながら、テスタ 70からコンタクト部 61及び入出力端子 HBを介してイメージセンサ DUTに電気信号を入出力してテストを実行した後、アンローダ部 50を介してテスト済みのィメージセンサ DUTをテスト結果に基づく分類情報に従ってセンサ格納部 20に分類して格納することが可能となっている。

[0036] 以下に、このイメージセンサ用試験装置 10の各部について説明する。

[0037] センサ格納部 20

センサ格納部 20は、図 2及び図 3に示すように、供給トレィ用ストック 21 (試験前ィメージセンサ格納部）と、分類トレィ用ストツ力 22 (試験済イメージセンサ格納部）と、空トレィ用ストツ力 23と、トレイ搬送装置 24と、から構成されており、試験前及び試験後のイメージセンサ DUTを格納することが可能となっている。

[0038] 供給トレィ用ストツ力 21は、試験前の、例えば 20個程度の複数のイメージセンサ D UTが搭載された複数の供給トレイが積載されて収容されてレ、る。本実施形態では、試験前のイメージセンサ DUT力 S、当該受光面 RLを上方に向いた状態で、この供給トレィ用ストツ力 21を介してイメージセンサ用試験装置 10内に搬入される。

[0039] 分類トレィ用ストツ力 22は、試験後の複数のイメージセンサ DUTを搭載可能な複数の分類トレイが積載されて収容されており、図 2に示す例では 3つの分類トレィ用ストッカ 22が設けられている。なお、一般には 5つ以上の分類トレィ用ストツ力 22を備えている。

[0040] 3つの分類トレィ用ストツ力 22を設けることにより、例えば、良品/不良品及び不良品の中でも再試験が必要なもの/不要なもの等の試験結果に応じて、最大 3つの分類にイメージセンサ DUTを仕分けして格納出来るように構成されている。

[0041] 本実施形態では、試験済みのイメージセンサ DUT力 S、当該受光面 RLを上方に向いた状態で、この分類トレィ用ストツ力 22を介してイメージセンサ用試験装置 10外に搬出される。

[0042] 空トレィ用ストツ力 23は、供給トレイに搭載されていた全ての試験前のイメージセンサ DUTがテスト部 30に供給されて空となった空トレイを格納する。

[0043] トレイ搬送装置 24は、図 2において XZ軸方向にトレィを移動可能な手段であり、供給トレィ用ストツ力 21にてイメージセンサ DUTが空となった空トレイを吸着パッド 243 で吸着して保持し、 Z軸方向ァクチユエータ（不図示）を上昇させ、イメージセンサ試験装置 10の基台 12上に固定された X軸方向レール 241に沿って可動ヘッド 242を摺動させて、空トレィを空トレィ用ストツ力 23に搬送する。一方、分類トレィ用ストツ力 2 2において分類トレィ上に試験後のイメージセンサ DUTが満載されると、トレイ搬送装置 24が、空トレィ用ストツ力 23から空トレイを搬送して分類トレィ用ストツ力 22に補充する。

[0044] なお、本発明におけるストツ力の数は、以上に説明した数に特に限定されず、必要に応じて適宜設定することが可能である。

[0045] ローダ部 30

ローダ部 30は、図 2及び図 3に示すように、ローダ用 XYZ移動装置 31と、ローダ用反転装置 32 (ローダ用反転手段）と、ローダ用 YZ移動装置 33と、力構成されており、センサ格納部 20の供給トレィ用ストツ力 21からイメージセンサ DUTをテスト部 40 に供給することが可能となってレ、る。

[0046] ローダ用 XYZ移動装置 31は、イメージセンサ用試験装置 10の基台 12に固定された Y軸方向レール 311と、この Y軸方向レール 311に沿って Y軸方向に摺動可能に支持されている X軸方向レール 312と、この X軸方向レール 312に沿って X軸方向に摺動可能に支持されている可動ヘッド 313と、 Z軸方向ァクチユエータ（不図示）を介して下端に支持された 4つの吸着パッド 314と、力構成されている。このロード側 XY Z移動装置 31は、センサ格納部 20の供給トレィ用ストツ力 21の供給トレィ上に搭載されたイメージセンサ DUTを、ローダ用反転装置 32に移動させることが可能となっており、 4つのイメージセンサ DUTを同時に移動させることが可能となっている。

[0047] 図 4は本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置のローダ用反転装置の斜視図、図 5Aは図 4に示すローダ用反転装置の平面図、図 5Bは図 4に示すローダ用反転装置の側面図、図 6A及び Bは図 4に示すローダ用反転装置の動作を説明するための側面模式図であり、図 6Aは反転前の状態を示し、図 6Bは反転後の状態を示す。

[0048] ローダ用反転装置 32は、図 4一図 6Bに示すように、ローダ用 XYZ移動装置 31により運ばれたイメージセンサ DUTを保持する第 1の保持部 321と、この第 1の保持部 321を回転させる回転機構 322と、この回転機構 322により回転された第 1の保持部 321が保持しているイメージセンサ DUTを受容する第 2の保持部 323と、イメージセンサ DUTを反転させるための駆動力を供給するエアシリンダ 324と、力構成されている。

[0049] 第 1の保持部 321は、平板状のプレート部材 321aに 4つの吸着ノズル 321bが取り付けられて構成されており、受光面 RLを上方に向けた姿勢で搬入されたイメージセンサ DUTの背面を吸着して保持することが可能となっている。この 4つの吸着ノズノレ 321bは、テストヘッド 60の 4つのコンタクト部 61の配列に対応するように配置されている。

[0050] また、この第 1の保持部 321の各吸着ノズノレ 321bは、ネジ締め等の手法によりプレ一ト部材 321aに着脱可能に取り付けられており、例えばイメージセンサのロット変更等により試験対象が外形や形状の異なるイメージセンサに変わった場合に、当該変更後のイメージセンサに適合するように、当該吸着ノズノレ 321bとは異なる外径や形状の吸着ノズルを有する他の吸着ノズノレに交換することが可能となっている。

[0051] 回転機構 322は、第 1の保持部 321を支持し、回転軸 322eを中心に回転可能なピニ才ンギア 322aと、このピニ才ンギア 322aに咬合してレヽると共にエアシリンダ 324のピストンロッド 324a (図 6A及び B参照）に固定されたラックギア 322bと、このラックギァ 322bがボルト締結等により固定されたガイド本体 322c (図 6A及び B参照）と、このガイド本体 322cが Y軸方向に摺動可能なガイドレール 322d (図 6A及び B参照）と、から構成されており、エアシリンダ 324からピストンロッド 324aを介して供給された直動力をラックアンドピニオン 322a及び 322bを介して回転力に変換して、第 1の保持部 321を回転させることが可能となっている。

[0052] 第 2の保持部 323は、平板上のプレート部材 323aに 4つの凹部 323bが形成されており、当該各凹部 323bはイメージセンサ DUTを収容可能な大きさを有している。また、各凹部 323bは、上述の 4つの吸着ノズノレ 321bと同様に、テストヘッド 60の 4つのコンタクト部 61の配列に対応するように形成されており、各凹部 323bにイメージセンサ DUTがそれぞれ収容されることにより、テストヘッド 60のコンタクト部 61に対して相対的に位置決めされるようになっている。なお、凹部 323bの縁部をテーパ状に形成して、当該凹部 323bへのイメージセンサ DUTの収容を容易にしても良レ、。

[0053] また、この第 2の保持部 323は、ボルト締結等の手法によりローダ側反転装置 32の本体部に着脱可能に取り付けられており、例えばイメージセンサのロット変更等により試験対象が外形の異なるイメージセンサに変わった場合に、当該変更後のイメージセンサに適合するように、当該第 2の保持部 323の凹部 323bとは異なる大きさの凹部が形成された他の第 2の保持部に交換することが可能となっている。

[0054] 以上のように構成されるローダ用反転装置 32では、図 6Aに示すように、ローダ用 X YZ移動装置 31により移動されたイメージセンサ DUTを、第 1の保持部 321の吸着ノズノレ 321aで吸着して保持し、図 6Bに示すように、エアシリンダ 324を駆動させて回転機構 322により第 1の保持部 321を回転させる。そして、当該第 1の保持部 321が 180° 回転したら吸着を解除して、第 2の保持部 323の凹部 323bにイメージセンサ DUTを落とし込む。これにより、受光面 RLが上方を向いた姿勢で搬入されたィメージセンサ DUTを、当該受光面 RLが下方を向くように反転させてテスト部 40に供給すること力 S可肯となる。

[0055] なお、本実施形態では、ラックアンドピニオン機構を用いてイメージセンサ DUTを反転させるように説明した力イメージセンサ DUTを回転させるのであれば本発明では特にこの手法に限定されず、例えば、リンク装置等を用いてシリンダ等から供給される直動力を回転力に変換したり、ギア機構、ベルト機構やチェーン機構等を用いてモータ等から供給される回転力を伝達したり、或いは、ロータリアクチユエ一タ等を用いて回転力を直接供給したりして、イメージセンサ DUTを反転させても良レ、。これらに供給される直動力或いは回転力の駆動源としては、エア、電気、或いは、油圧等を挙げることが出来る。

[0056] また、本実施形態では、第 1の保持部 321がイメージセンサ DUTを保持する手法の一つとして吸着を例示したが、本発明では特にこれに限定されず、例えば、ィメージセンサの上下面端部を把持するメカニカルチャックを用いても良レ、。さらに、この場合には、ローダ側反転装置 32に第 2の保持部 323を設けずに、反転されたイメージセンサ DUTを把持している第 1の保持部 321から、ローダ用 YZ移動装置 33が、当該イメージセンサ DUTを直接受け取るように構成しても良レ、。

[0057] また、本実施形態では、吸着ノズル 321bでイメージセンサ DUTを吸着している第 1の保持部 321を回転させるように構成した力 S、本発明では特にこれに限定されず、例えば、吸着ノズノレを具備させる代わりに、第 1の保持部 321及び第 2の保持部 323 の何れも回転可能に構成し、第 1の保持部 321と第 2の保持部 323との間にイメージセンサ DUTを挟持しながらこれらを回転させることにより、イメージセンサ DUTを反転させても良い。

[0058] ローダ用 YZ移動装置 33は、イメージセンサ用試験装置 10の基台 12に固定された Y軸方向レール 331と、この Y軸方向レール 331に沿って Y軸方向に摺動可能に支持されている可動ヘッド 332と、 Z軸方向ァクチユエータ（不図示）を介して下端に支持された 4つの吸着パッド 333と、から構成されてレ、る。

[0059] このローダ用 YZ移動装置 33は、ローダ用反転装置 32の第 2の保持部材 323に保持されたイメージセンサ DUTを、何れかのバッファ部 41に移動させることが可能となつており、 4つのイメージセンサ DUTを同時に移動させることが可能となっている。

[0060] さらに、図 2及び図 3に示すように、ローダ用反転装置 32とテスト部 40の第 1のバッファ部 41との間に、鉛直方向上向きに窒素ガスを噴射可能な噴射ノズル 34が設けられている。 [0061] ローダ用反転装置 32により反転されたイメージセンサ DUTを、ローダ用 YZ移動装置 33がテスト部 40に移動させる際に、この噴射ノズル 34の上方を通過するイメージセンサ DUTに向かって、噴射ノズノレ 34が窒素ガスを噴射することにより、当該ィメージセンサ DUTの受光面 RLを清浄することが可能となっている。なお、噴射ノズル 34 力噴射されるガスは窒素ガスに限定されず、例えば、クリーンフィルタを介して供給される圧縮エア等であっても良レ、。

[0062] 図 7は本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置においてイメージセンサの品種を識別している状態を示す図、図 8は本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置においてイメージセンサの品種を識別するためのシステム構成を示すブロック図である。

[0063] ローダ用 YZ移動装置 33には、図 7に示すように、 CCDカメラ等のカメラ 334 (撮像手段）が設けられており、その光軸が鉛直下向きに向いた状態で取り付けられている。このカメラ 334により、ローダ用反転装置 32の第 2の保持部 323の凹部 323aに収容されているイメージセンサ DUTを撮像することが可能となっており、特に、当該ィメージセンサ DUTの受光面 RLとは反対側の背面を撮像することが可能となっている。このカメラ 334は、図 8に示すように、撮像した画像情報を、画像処理装置 90に送信可能なように接続されてレ、る。

[0064] 画像処理装置 90は、例えば、画像処理用プロセッサ等を有しており、カメラ 334により撮像された画像情報に対して画像処理を行うことにより、インキマーキングやレーザマーキング等の手法によりイメージセンサ DUTの背面にマーキングされた例えばバーコード等の製品情報や前工程で付与した履歴情報等の品種情報を読み取ることが可能となっている。この画像処理装置 90は、図 8に示すように、イメージセンサ D UTの識別結果である品種情報を、テスタ 70及び光源装置 80に送信可能なように接続されている。これにより品種情報に対応した試験条件で試験実施することが可能となる。

[0065] テスタ 70は、テストヘッド 60のコンタクト部 61からイメージセンサ DUTの入出力端子 HBに電気信号を入力する際に、画像処理装置 90による識別結果に基づいて、当該イメージセンサ DUTの品種に対応した電気信号の入力パターンを判断する。また、光源装置 80は、テスト時にイメージセンサ DUTの受光面 RLに対して光を照射する際に、画像処理装置 90による識別結果に基づいて、当該イメージセンサ DUT の品種に対応した照射パターンを判断する。本実施形態におけるテスタ 70、光源装置 80、及び、画像処理手段 90は、本発明における判断手段の一例に相当する。

[0066] また、画像処理装置 90は、イメージセンサ用試験装置 10の制御装置（不図示）に上記識別結果を送信可能に接続されており、上述のように試験後のイメージセンサ D UTを複数の分類トレィ用ストツ力 22に仕分けして格納する際に、試験結果の分類情報と品種情報との両情報に基づいて、イメージセンサ DUTを仕分けすることが可能となっている。具体的には、例えば、品種 Aと品種 Bとの 2種類のイメージセンサ DUT の試験を行う場合において、品種 Aで良品なもの、品種 Aで不良なもの、品種 Bで良品なもの、及び、品種 Bで不良なものを、分類トレィ用ストツ力 22に仕分けして格納すること力 S可能となってレ、る。これにより、多品種少量のイメージセンサ DUTの試験に対して適切に対応することが可能となる。本実施形態におけるイメージセンサ用試験装置 10の制御装置（不図示）及び画像処理装置 90は、本発明の選択手段の一例に相当する。

[0067] なお、特に図示しないが、このローダ部 30には、例えば、供給トレィ用ストツ力 21とローダ用反転装置 32との間に、ヒートプレートが設けられており、試験前のイメージセンサに対して、必要に応じて、所望する熱ストレスを印加することが可能となっている

[0068] テスト部 40

図 9は本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置のテスト部の概略断面図である。

[0069] テスト部 40は、 2つのバッファ部 41、 42と、コンタクトアーム 413と、から構成されており、テストヘッド 60及び光源装置 80を用いてイメージセンサ DUTの光学的特性試験を行うことが可能となっており、イメージセンサ DUTの入出力端子 HBをテストへッド 60のコンタクト部 61に接触させ、イメージセンサ DUTの受光面に光源装置 80から光を照射しながら、コンタクト部 61からイメージセンサ DUTに電気信号を入出力することにより、イメージセンサ DUTの受光量が一定であるか否か等のイメージセンサ D UTの光学的特性を試験することが可能となっている。各コンタクト部 61は、中央に開口部 63を備えており、イメージセンサ DUTの受光面 RLに対して光を照射することが可能となっている。

[0070] 先ず、このテスト部 40で用いられるテストヘッド 60について説明すると、図 9に示すように、このテストヘッド 60は、ボード上に 4つのコンタクト部 61が 2行 2列で配列されて構成されており、後述するコンタクトアーム 43の保持部の配列に実質的に一致するように配歹 IJされてレ、る。なお、図 9では、 4つのコンタクト部 61のうちで後方側の 2つのコンタクト部 61が前方側の 2つのコンタクト部 61に隠れているため、 2つのコンタクト部 61しか図示されていない。

[0071] 各コンタクト部 61は、複数のコンタクトピン 62を備えており、これらのコンタクトピン 6 2は、試験対象となる品種のイメージセンサ DUTの入出力端子 HBの配列に実質的に一致するように配置されてレヽる。

[0072] このテストヘッド 60は、図 3に示すように、イメージセンサ用試験装置 10の基台 12 に形成された開口 11を塞ぐように、イメージセンサ用試験装置 10に対して脱着可能に取り付けられており、各コンタクト部 61は、同図に示すように、ケーブル 71を介してテスタ 70に電気的に接続されている。

[0073] また、本実施形態に係るイメージセンサ用試験装置 10では、図 9に示すように、下方からイメージセンサ DUTの受光面 RLに対して光を照射することが可能なように、テストヘッド 60の各コンタクト部 61の略中央部に開口 63がそれぞれ形成されている。各開口 63は、下方からイメージセンサ DUTの受光面 RLを視認可能な程度の大きさを有している。

[0074] このテストヘッド 60は、イメージセンサ DUTの品種変更によりイメージセンサ DUT の形状や入出力端子 HBの配列が変更されたような場合には、当該変更後のィメージセンサ DUTに適合した他のテストヘッドに交換することにより、一台のイメージセンサ用試験装置 10で、多品種のイメージセンサ DUTの試験に対応することが可能となつている。

[0075] 本実施形態に係るイメージセンサ用試験装置 10のテスト部 40には、図 3及び図 9 に示すように、鉛直上向きに光を照射可能な 4つの照射部 81を有する光源装置 80 が設けられており、各照射部 81から、各コンタクト部 61に形成された開口 63を介して、同時にテストされる 4つのイメージセンサ DUTの受光面 RLに対して、光を同時に照射することが可能となっている。

[0076] テスト部 40の第 1のバッファ部 41は、イメージセンサ用試験装置 10の基台 12上に固定された X軸方向レール 411と、この X軸方向レール 411に沿って X軸方向に摺動可能なテスト前バッファ部 412と、このテスト前バッファ部 412と一体に前記 X軸方向レール 411に沿って X軸方向に摺動可能なテスト後バッファ部 413と、力も構成されている。

[0077] この第 1のバッファ部 41は、ローダ用 YZ移動装置 33によりテスト部 40に搬送されたイメージセンサ DUTを、テスト前バッファ部 412で受け取って X軸方向レール 411 に沿って摺動してコンタクトアーム 43に供給することが可能となっている。また、テスト後にコンタクトアーム 43により払い出されるイメージセンサ DUTを、テスト後バッファ部 413で受け取って X軸方向レール 411に沿って摺動し、後述するアンローダ用 YZ 移動装置 51の動作領域に移動させることが可能となっている。

[0078] テスト前バッファ部 412及びテスト後バッファ部 413の何れの表面にも、イメージセンサ DUTを収容可能な大きさを持つ凹部 412a、 413aが形成されている。なお、これら凹部 412a、 413aの縁部をテーパ状に形成して、当該凹部 412a、 413aへのィメージセンサ DUTの収容を容易にしても良い。

[0079] 第 2のバッファ部 42も、第 1のバッファ部 41と同様に、 X軸方向レール 421と、テスト前バッファ部 422と、テスト後バッファ部 423と、から構成されており、ローダ用 YZ移動装置 33より試験前のイメージセンサ DUTをテスト前バッファ部 422に受け取ってコンタクトアーム 43に供給すると共に、試験後のイメージセンサ DUTをコンタクトアーム 43から受け取ってアンローダ用 YZ移動装置 51の動作領域に移動させることが可能となっている。

[0080] 本実施形態に係るイメージセンサ用試験装置 10では、 2つのバッファ部 41、 42を備えていることにより、第 1又は第 2のバッファ部 41、 42の何れか一方からコンタクトァーム 43にイメージセンサ DUTを供給してテストを行っている間に、第 2又は第 1のバッファ部 42、 41の他方が、ローダ用 YZ移動装置 33から試験前のイメージセンサ DU Tを受け取ったり、或いは、試験後のイメージセンサ DUTをアンローダ用 ΥΖ移動装置 51に払い出したりすることが可能となっており、イメージセンサ用試験装置 10におけるテスト効率を高めることが可能となっている。なお、バッファ部 42、 42の数は 2つに限定されず、イメージセンサ DUTの試験時間等に応じて適宜設定することが出来る。

[0081] コンタクトアーム 43は、図 2、図 3に示すように、イメージセンサ用試験装置 10の基台 12に固定された Υ軸方向レール 431と、この Υ軸方向レール 431に沿つて Υ軸方向に摺動可能である共に Ζ軸方向に移動可能な Ζ軸方向ァクチユエータ（不図示）を有する可動ヘッド 432と、イメージセンサ DUTを吸着可能な 4つの吸着パッド 433と、力、ら構成されている。 4つの吸着パッド 433は、テストヘッド 60に設けられた 4つのコンタクト部 61の配列に実質的に一致するように、可動ヘッド 432の下面に取り付けられている。

[0082] このコンタクトアーム 43は、 4つのイメージセンサ DUTを同時に保持することが可能となっており、バッファ部 41、 42により供給された 4つのイメージセンサ DUTをテストヘッド 60のコンタクト部 61に同時に押し付けた後、当該試験済みの 4つのイメージセンサ DUTを当該バッファ部 41、 42に同時に払い出すことが可能となっている。なお、特に図示しないが、可動ヘッド 432にヒータ及び温度センサを内蔵して、上述のヒートプレートで印加された熱ストレスを維持しても良い。

[0083] アンローダ部 50

アンローダ部 50は、図 2及び図 3に示すように、アンローダ用 ΥΖ移動装置 51と、ァンローダ用反転装置 52 (アンローダ用反転手段）と、アンローダ用 ΧΥΖ移動装置 53 と、から構成されており、バッファ部 41、 42によりテスト部 40から払い出された試験済みのイメージセンサ DUTをセンサ格納部 20に搬出することが可能となっている。

[0084] アンローダ用 ΥΖ移動装置 51は、ローダ用 ΥΖ移動装置 33と同様に、イメージセンサ用試験装置 10の基台 12に固定された Υ軸方向レール 511と、この Υ軸方向レーノレ 511に沿って Υ軸方向に摺動可能に支持されている可動ヘッド 512と、 Ζ軸方向ァクチユエータ（不図示）を介して下端に支持された 4つの吸着パッド 513と、力も構成されている。 [0085] このアンローダ用 YZ移動装置 51は、第 1及び第 2のバッファ部 41、 42によりテスト部 40から払い出されたイメージセンサ DUTを、アンローダ用反転装置 52に移動させることが可能となっており、 4つのイメージセンサ DUTを同時に移動させることが可能となっている。

[0086] アンローダ用反転装置 52は、上述のローダ用反転装置 32と同様に、 4つの吸着ノズノレが配設されたプレート部材力、ら成る第 1の保持部 521と、エアシリンダから供給された直動力をラックアンドピニオン機構により回転力に変換して第 1の保持部 521を回転させる 522と、 4つの凹部が形成されたプレート部材カ成る第 2の保持部 523と、力構成されている。

[0087] このアンローダ用反転装置 52は、アンローダ用 ΥΖ移動装置 51により運ばれたィメージセンサ DUTを第 1の保持部 521で吸着して保持し、回転機構 522によりこの第 1 の保持部 521を 180° 回転させ、その後に吸着を解除して、第 2の保持部 523の凹部にイメージセンサ DUTを落とし込む。これにより、受光面 RLが下方を向いた状態でテストされたイメージセンサ DUTを、当該受光面 RLが上方を向くように反転させてセンサ格納部 20に搬出することが可能となる。

[0088] アンローダ用 ΧΥΖ移動装置 53は、イメージセンサ用試験装置 10の基台 12に固定された Υ軸方向レール 531と、この Υ軸方向レール 531に沿って Υ軸方向に摺動可能に支持されている X軸方向レール 532と、この X軸方向レール 532に沿って X軸方向に摺動可能に支持されている可動ヘッド 533と、 Ζ軸方向ァクチユエータ（不図示）を介して下端に支持された 4つの吸着パッド 534と、力構成されている。このアン口ーダ用 ΧΥΖ移動装置 53は、アンローダ用反転装置 52により反転されたイメージセンサ DUTを、試験結果に応じて、センサ格納部 20の分類トレィ用ストツ力 22の分類トレィ上に移動させて仕分けすることが可能となってレ、る。

[0089] 以下に、本実施形態に係るイメージセンサ用試験装置 10によるイメージセンサ DU Τのテストについて説明する。

[0090] 先ず、ローダ用 ΧΥΖ移動装置 31が、 4つの吸着パッド 314により、センサ格納部 20 の供給トレィ用ストツ力 21の供給トレィ上に搭載された 4つのイメージセンサ DUTを吸着して保持する。なお、イメージセンサ DUTは、受光面 RLが上方を向いた姿勢で供給トレイに搭載されている。

[0091] 次に、ローダ用 XYZ移動装置 31は、 4つのイメージセンサ DUTを移動させて、口ーダ用反転装置 32の第 1の保持部 321の各吸着ノズノレ 321bに対してそれぞれ位置決めして吸着パッド 314の吸着を解除する。これと同時に、ローダ用反転装置 32 の各吸着ノズル 321bが吸着を開始することにより、図 6Aに示すように、ローダ用反転装置 32の第 1の保持部 31により 4つのイメージセンサ DUTが保持される。

[0092] 次に、ローダ用反転装置 32のエアシリンダ 324が、ピストンロッド 324aを伸長する方向に駆動して、図 6Bに示すように、ラックギア 322b及びガイド本体 322cがガイドレール 322dに沿って Y軸負方向に摺動すると共に、当該ラックギア 322bに咬合したピニオンギア 322aが回転して、イメージセンサ DUTを保持している第 1の保持部 32 1が 180° 回転する（第 1の反転ステップ)。

[0093] ピニオンギア 322aの回転に伴って第 1の保持部 321が 180° 回転すると、当該第 1の保持部 321の各吸着ノズノレ 321bに吸着されている 4つのイメージセンサ DUTが、第 2の保持部 323に形成された各凹部 323bにそれぞれ収容される。第 2の保持部 323の各凹部 323bにイメージセンサ DUTがそれぞれ収容されると、第 1の保持部 3 21によるイメージセンサ DUTの吸着が解除される。

[0094] このようにローダ用反転装置 32により受光面 RLが下方に向くように反転されたィメージセンサ DUTは、ローダ用 YZ移動装置 33、第 1又は第 2のバッファ部 41、 42を介してコンタクトアーム 43に供給される。

[0095] なお、ローダ用 YZ移動装置 33は、ローダ用反転装置 32により反転されたイメージセンサ DUTを把持する前に、カメラ 334により当該イメージセンサ DUTの背面を撮像し (撮像ステップ）、当該画像情報に対して画像処理装置 90が画像処理を行ってイメージセンサ DUTの品種を識別する。

[0096] また、ローダ用 YZ移動装置 33による移動の際に、噴射ノズル 34がイメージセンサ DUTに向かって窒素ガスが噴射し、当該イメージセンサ DUTの受光面 RLを清浄する。

[0097] 一方、反転したイメージセンサ DUTをローダ用 YZ移動装置 33に受け渡した後のローダ用反転装置 32は、ピストンロッド 324aを縮める方向にエアシリンダ 324を駆動させ、回転機構 322を一 180。回転させて、次のイメージセンサ DUTの反転に備えて、第 1の保持部 321を図 6Aに示す初期状態に戻す。

[0098] バッファ部 41、 42を介して供給された 4つのイメージセンサ DUTは、コンタクトァーム 43により、テストヘッド 60の 4つのコンタクト部 61に対して同時に接触させ、各ィメージセンサ 61の受光面 RLに光源装置 80の各照射部 81から光を照射しながら、コンタクト部 61及び入出力端子 HBを介してテスタ 20からイメージセンサ DUTに電気信号を入出力することにより、イメージセンサ DUTの受光量が一定であるか否か等のィメージセンサ DUTの光学的特性試験が行われる（試験ステップ）。

[0099] このテストにおいて、テスタ 70は、上述の画像処理装置 90により識別されたィメージセンサ DUTの品種に対応した電気信号の入力パターンに従って、イメージセンサ DUTに電気信号を入力する。同様に、このテストにおいて、光源装置 80は、当該識別されたイメージセンサ DUTの品種に対応した照射パターンに従って、イメージセンサ DUTの受光面 RLに対して光を照射する。

[0100] テストヘッド 60での試験が終了したイメージセンサ DUTは、第 1又は第 2のバッファ部 41、 42及びアンローダ用 YZ移動装置 51により、アンローダ用反転装置 52に移動される。

[0101] 次に、アンローダ用反転装置 52が、当該イメージセンサ DUTを第 1の保持部 521 で吸着して保持し、回転機構 522によりこの第 1の保持部 521を 180° 回転させ、第 2の保持部 523に収容された後に吸着を解除して、試験済みのイメージセンサ DUT を、当該受光面 RLが上方を向くように反転させる（第 2の反転ステップ)。

[0102] 次に、アンローダ用 XYZ移動装置 53が、反転されたイメージセンサ DUTをセンサ格納部 20に移動させ、試験結果に応じた分類トレィ用ストツ力 22に仕分けながら、試験済みのイメージセンサ DUTを搬出する。この分類トレィ用ストツバ 22への仕分けの際に、試験結果に加えて、上述の画像処理装置 90により識別されたイメージセンサ DUTの品種も考慮される。

[0103] 一方、反転したイメージセンサ DUTをアンローダ用 YZ移動装置 53に受け渡した後のローダ用反転装置 52は、回転機構 522を一 180° 回転させて、次のイメージセンサ DUTの反転に備えて、第 1の保持部 521を初期状態に戻す（図 6A参照）。 [0104] 以上のように、本実施形態に係るイメージセンサ用試験装置では、受光面 RLが上方を向いた姿勢で搬入されるイメージセンサ DUTをローダ用反転装置 32により当該受光面 RLが下方を向くように反転させ、当該反転されたイメージセンサ DUTをコンタクトアーム 43によりテストヘッド 60のコンタクト部 61に接触させて光学的特性の試験を行い、当該試験済みのイメージセンサ DUTをアンローダ用反転装置 52により反転させて受光面を上方に向けて搬出させる。

[0105] これにより、受光面 RLが下方を向いた状態でイメージセンサの試験を行うことが出来、当該受光面 RLへのダスト付着を防止することが可能となるので、高精度な試験を遂行することが可能となる。

[0106] また、受光面 RLを下方に向けた状態でイメージセンサ DUTの試験が可能になることにより、ハンドラ 10とは別個に、イメージセンサ DUTの下方に光源装置 80を配置することが出来、ハンドラ 10及び光源装置 80の設計の自由度が大幅に向上するので、同時測定数の増加に対して容易に対応することが可能となる。

[0107] さらに、ハンドラ 10と光源装置 80とが分離しているので、ハンドラ 10内における光源用のスペースや配線が不要となり、ハンドラ 10自体に光源が設けられている場合と比較して、ハンドラ 10及び光源装置 80のそれぞれの構造を単純化することが可能となる。因みに、上述の実施形態ではテストヘッド 60に 4つのコンタクト部 61を設け、同時測定数 4の場合について説明したが、本発明では特にこの同時測定数に限定されず、必要に応じた同時測定数を設定することが可能であり、特に本発明では、同時測定数が増加する程、上述のような本発明に特有の効果は顕著になる。

[0108] なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

[0109] 例えば、上述の実施形態では、イメージセンサ用試験装置 10の試験対象として、入出力端子 HBが受光面 RLと同一方向に導出しているタイプのイメージセンサ DUT を説明したが、本発明では特にこれに限定されず、例えば、図 10Aに示すような入出力端子 HBが側面から導出しているタイプのものや、図 10Bに示すような入出力端子 HBが受光面 RLとは反対面から導出しているタイプのものを試験対象としても良い。なお、図 10Bに示すタイプのものでは、その構造上、試験時にコンタクト部に直接接触させることが出来ないので、コンタクトアームにおいて吸着パッドの周囲にアッパーコンタクトを設け、このアッパーコンタクトを介して、イメージセンサの入出力端子とコンタクト部のコンタクトピンとを間接的に電気的に接続する必要がある。

[0110] 尚、上述した具体例において、試験後の反転状態のイメージセンサを、反転状態のままで分類トレィ用ストツ力 22へ格納したい場合には、アンローダ用反転装置 52をバィパスする搬送経路を追加して備える装置構成としても良い。この場合には、分類トレイ用ストツ力 22へ収納するイメージセンサの上下方向の収納条件が任意に選択できる利点が得られる。また、反転状態のままでイメージセンサを収納すれば良い場合には、アンローダ用反転装置 52を削除する装置構成としても良い。

[0111] また、以上説明した実施形態では、被試験対象がイメージセンサとした具体例で説明したが、供給トレィ用ストック 21に収納されているイメージセンサ以外の他の電子部品において、コンタクト部 61において反転させる必要がある場合には、上述したローダ用反転装置 32を備える装置構成としても良い。更に、前記反転状態の電子部品を元の状態に反転させたい場合には、上述したアンローダ用反転装置 52を備える装置構成としても良い。尚、前記電子部品の場合は光源装置 80は不要である。これによれば、供給トレィ用ストック 21に載置されている電子部品の入出力端子 HBの上下方向がコンタ外部の上下関係と異なっていても支障無く接続して試験可能となる結果、多様な電子部品に対応可能な試験装置が実現できる。

Claims

請求の範囲

イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に接触させ、前記イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力することにより、前記イメージセンサの光学的特性の試験を行うイメージセンサ用試験装置であって、

試験前の前記イメージセンサを格納する試験前センサ格納部と、

前記試験前格納部から供給された前記イメージセンサを反転させるローダ用反転手段と、

前記ローダ用反転手段により反転された反転状態の当該イメージセンサを把持して移動させ、反転状態の当該イメージセンサの入出力端子を前記テストヘッドのコンタタト部に電気的に接触させるコンタクトアームと、

試験が終了した前記イメージセンサを反転させるアンローダ用反転手段と、前記アンローダ用反転手段により反転された試験済みの前記イメージセンサを格納する複数の試験済センサ格納部と、を少なくとも備えたイメージセンサ用試験装置

[2] 前記ローダ用反転手段及び前記アンローダ用反転手段は何れも、 2以上の前記ィメージセンサを保持して同時に反転可能である請求項 1記載のイメージセンサ用試験装置。

[3] 前記ローダ用反転手段及び前記アンローダ用反転手段は何れも、前記イメージセンサを保持可能な第 1の保持部と、前記第 1の保持部を回転させる回転機構と、を少なくとも有する請求項 1又は 2記載のイメージセンサ用試験装置。

[4] 前記第 1の保持部は、前記イメージセンサを吸着可能な吸着ノズノレを有する請求項 3記載のイメージセンサ用試験装置。

[5] 前記第 1の保持部は、前記イメージセンサの大きさ又は形状に適合するように、当該第 1の保持部が有する吸着ノズルとは異なる吸着ノズルを有する他の第 1の保持部に交換可能である請求項 4記載のイメージセンサ用試験装置。

[6] 前記回転機構は、前記第 1の保持部を支持しているピニオンギアと、前記ピニオンギアに咬合したラックギアと、を有し、前記ラックギアに供給された直動力を回転力に変換して、前記第 1の保持部を回転させる請求項 3— 5の何れかに記載のイメージセンサ用試験装置。

[7] 前記ローダ用反転手段及び前記アンローダ用反転手段は何れも、反転後の前記ィメージセンサを保持可能な第 2の保持部をさらに有し、

前記第 2の保持部には、前記イメージセンサを収容可能な凹部が形成されている請求項 3— 6の何れかに記載のイメージセンサ用試験装置。

[8] 前記第 2の保持部は、前記イメージセンサの大きさ又は形状に適合するように、当該第 2の保持部に形成された凹部とは異なる凹部が形成された他の第 2の保持部に交換可能である請求項 7記載のイメージセンサ用試験装置。

[9] 前記ローダ用反転手段により反転された後であって前記テストヘッドに供給される前の前記イメージセンサの背面を撮像することが可能な撮像手段をさらに備えた請求項 1一 8の何れかに記載のイメージセンサ用試験装置。

[10] 前記撮像手段により撮像して得られた品種情報に基づいて、前記光源から照射する光の照射パターン、及び、前記テストヘッドのコンタクト部から入力する電気信号の入力パターンを判断する判断手段をさらに備えた請求項 9記載のイメージセンサ用試験装置。

[11] 前記撮像手段により撮像して得られた品種情報と、試験結果の分類情報と、に基づいて、前記複数の試験済センサ格納部の中から前記イメージセンサを搬出すべき試験済センサ格納部を選択する選択手段と、をさらに備えた請求項 9又は 10記載のイメージセンサ用試験装置。

[12] イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に接触させ、前記イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力することにより、前記イメージセンサの光学的特性の試験を行うイメージセンサの試験方法であって、

試験前の前記イメージセンサを反転させる第 1の反転ステップと、

反転状態の当該イメージセンサを前記テストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させ、当該イメージセンサの受光面に光源から光を照射して、当該イメージセンサの光学的特性の試験を行う試験ステップと、試験済みの反転状態の当該前記イメージセンサを反転させる第 2の反転ステップと、を少なくとも備えたイメージセンサの試験方法。

[13] 前記第 1の反転ステップ及び前記第 2の反転ステップにおいて、

2以上の前記イメージセンサを保持して同時に反転させる請求項 12記載のイメージセンサの試験方法。

[14] 前記試験ステップの前に前記イメージセンサを撮像して品種情報を取得する撮像ステップをさらに備えた請求項 12又は 13記載のイメージセンサの試験方法。

[15] 前記撮像ステップにて撮像して得られた品種情報に基づいて、前記光源から照射する光の照射パターン、及び、前記テストヘッドのコンタクト部から入力する電気信号の入力パターンを判断する判断ステップをさらに備え、

前記試験ステップにおレ、て、前記照射パターンに従って前記イメージセンサの受光面に光を照射すると共に、前記入力パターンに従って前記テストヘッドのコンタクト部力前記イメージセンサに電気信号を入出力する請求項 14記載のイメージセンサの試験方法。

[16] 前記撮像ステップにて撮像して得られた品種情報と、試験結果の分類情報と、に基づいて、試験済みの前記イメージセンサを仕分けする請求項 14又は 15記載のィメージセンサの試験方法。

[17] 被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させ、前記テストヘッドのコンタクト部から前記被試験電子部品に電気信号を入出力することにより、前記被試験電子部品の試験を行う電子部品試験装置であつて、試験前の被試験電子部品を格納する試験前電子部品格納部と、

前記試験前電子部品格納部から供給された前記被試験電子部品を反転させる口ーダ用反転手段と、

前記ローダ用反転手段により反転された反転状態の当該被試験電子部品を把持して移動させ、反転状態の当該被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させるコンタクトアームと、

試験が終了した前記被試験電子部品を元の状態に反転させるアンローダ用反転手段と、前記アンローダ用反転手段により反転された試験済みの前記被試験電子部品を格納する複数の試験済電子部品格納部と、を少なくとも備えた電子部品試験装置。