JP4495726B2

JP4495726B2 - イメージセンサ用試験装置

Info

Publication number: JP4495726B2
Application number: JP2006514370A
Authority: JP
Inventors: 裕之菊池; 舟一新浜
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2004-06-08
Filing date: 2004-06-08
Publication date: 2010-07-07
Anticipated expiration: 2024-06-08
Also published as: JPWO2005121739A1; US7479779B2; CN1954202A; TW200601179A; WO2005121739A1; US20070206967A1; DE112004002826T5; TWI270015B

Description

本発明は、試験対象である電子部品を反転させて試験する機能を備えるイメージセンサ用試験装置及び電子部品試験装置に関する。特に、本発明は、ＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサ等のイメージセンサを反転させた後、当該イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させ、イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、当該イメージセンサに電気信号を入出力することにより、イメージセンサの光学的特性を試験するイメージセンサ用試験装置に関する。

ハンドラ（Handler）と称される電子部品試験装置では、半導体集積回路素子等の多数の電子部品をトレイに収容してハンドラ内に搬入し、各被試験電子部品をテストヘッドに電気的に接触させ、電子部品試験装置本体（以下、テスタともいう。）に試験を行わせる。そして、試験が終了すると各電子部品をテストヘッドから払い出し、試験結果に応じたトレイに載せ替えることで、良品や不良品といったカテゴリへの仕分けが行われた後、ハンドラから搬出される。

このような電子部品の中でもＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサ等のイメージセンサの試験では、上記と同様に、各イメージセンサをテストヘッドに電気的に接触させ、試験結果に応じて仕分けが行われているが、さらにこの試験において、イメージセンサをテストヘッドに電気的に接触させながら、イメージセンサの受光面に対して光源から光を照射することにより、イメージセンサの受光量が一定であるか否かを検査するひとみ検査等の光学的特性試験が行われている。

このようなイメージセンサの光学的特性試験を行うための従来のイメージセンサ用試験装置では、当該試験工程以降の実装工程等との関係上、受光面を上方に向けた姿勢でイメージセンサが搬入・搬出されるため、そのままの状態で（即ち、受光面が上方に向いた状態で）テストヘッドに移動させ、受光面を上方に向けた状態でイメージセンサの試験が行われている。

また、従来のイメージセンサ用試験装置では、ハンドラ自体に光源が設けられており、上記のように受光面を上方に向けた状態で試験を行うために、光源がイメージセンサの上方に位置するように配置されていた。

しかしながら、受光面を上方に向けた状態でイメージセンサの試験を行うと、当該受光面にダストが付着する場合があり、高精度な試験の妨げとなるおそれがあった。

また、近年のイメージセンサ用試験装置においては、試験効率を向上させるために同時測定数を増加させることが望まれているが、上記のようにイメージセンサの上方に位置するようにハンドラ自体に光源が搭載されていると、同時測定数の増加に伴って光源の数が増加する等して光源の大型化が進むため、ハンドラ及び光源の設計が制約され、多数の同時測定数を確保することが困難であった。

本発明は、イメージセンサの高精度な試験を可能にすると共に、多数の同時測定数を容易に確保することが可能なイメージセンサ用試験装置を提供することを目的とする。
（１）上記目的を達成するために、本発明の第１の観点によれば、イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に接触させ、前記イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力することにより、前記イメージセンサの光学的特性の試験を行うイメージセンサ用試験装置であって、試験前の前記イメージセンサを格納する試験前センサ格納部と、前記試験前格納部から供給された前記イメージセンサを反転させるローダ用反転手段と、前記ローダ用反転手段により反転された反転状態の当該イメージセンサを把持して移動させ、反転状態の当該イメージセンサの入出力端子を前記テストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させるコンタクトアームと、試験が終了した前記イメージセンサを反転させるアンローダ用反転手段と、前記アンローダ用反転手段により反転された試験済みの前記イメージセンサを格納する複数の試験済センサ格納部と、を少なくとも備えたイメージセンサ用試験装置が提供される（請求項１参照）。

本発明の第１の観点によれば、イメージセンサの光学的特性の試験を行うイメージセンサ用試験装置に、試験前のイメージセンサを反転させるローダ用反転手段と、試験済みのイメージセンサを反転させるアンローダ用反転手段と、を設ける。

これにより、受光面が上方を向いた姿勢で搬入されるイメージセンサを反転手段により当該受光面が下方を向くように反転させ、当該反転されたイメージセンサをコンタクトアームによりテストヘッドのコンタクト部に接触させて試験を行い、当該試験済みのイメージセンサを前記反転手段により再度反転させて受光面を上方に向けて搬出させることが可能となる。

従って、受光面を下方に向けた状態でイメージセンサを試験することが可能となるので、当該受光面へのダスト付着を防止することが出来、高精度な試験を遂行することが可能となる。

また、受光面を下方に向けた状態でイメージセンサを試験することが可能となるので、ハンドラとは別個に、イメージセンサの下方に光源を配置することが出来、ハンドラ及び光源の設計の自由度が大幅に向上し、同時測定数の増加に対して容易に対応することが可能となる。

上記発明においては特に限定されないが、前記ローダ用反転手段及び前記アンローダ用反転手段は何れも、２以上の前記イメージセンサを保持して同時に反転可能であることが好ましく（請求項２参照）、これにより、イメージセンサ用試験装置の搬送のスループットが向上する。

具体的には、前記ローダ用反転手段及び前記アンローダ用反転手段は何れも、前記イメージセンサを保持可能な第１の保持部と、前記第１の保持部を回転させる回転機構と、を少なくとも有するように構成することが出来る（請求項３参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の保持部は、前記イメージセンサを吸着可能な吸着ノズルを有することが好ましく（請求項４参照）、これにより、安全且つ正確な反転動作を遂行することが可能となる。

また、上記発明においては特に限定されないが、前記第１の保持部は、前記イメージセンサの大きさ又は形状に適合するように、当該第１の保持部が有する吸着ノズルとは異なる吸着ノズルを有する他の第１の保持部に交換可能であるように構成することが出来る（請求項５参照）。これにより、１台のイメージセンサ用試験装置で多品種のイメージセンサに対応することが可能となる。

上記発明においては特に限定されないが、前記回転機構は、前記第１の保持部を支持しているピニオンギアと、前記ピニオンギアに咬合したラックギアと、を有し、前記ラックギアに供給された直動力を回転力に変換して、前記第１の保持部を回転させるように構成することが出来る（請求項６参照）。これにより、安定した回転動作が可能な回転機構を、安価で且つ単純に構成することが可能となる。

上記発明においては特に限定されないが、前記ローダ用反転手段及び前記アンローダ用反転手段は何れも、反転後の前記イメージセンサを保持可能な第２の保持部をさらに有し、前記第２の保持部には、前記イメージセンサを収容可能な凹部が形成されているように構成することが出来る（請求項７参照）。反転後のイメージセンサを当該凹部によりテストヘッドのコンタクト部に対して相対的に位置決めすることが可能となる。

また、上記発明においては特に限定されないが、前記第２の保持部は、前記イメージセンサの大きさ又は形状に適合するように、当該第２の保持部に形成された凹部とは異なる凹部が形成された他の第２の保持部に交換可能であるように構成することが出来る（請求項８参照）。これにより、１台のイメージセンサ用試験装置で多品種のイメージセンサに対応することが可能となる。

上記発明においては特に限定されないが、前記ローダ用反転手段により反転された後であって前記テストヘッドに供給される前の前記イメージセンサの背面を撮像することが可能な撮像手段をさらに備えることが出来（請求項９参照）、さらに、前記撮像手段により撮像された画像情報に基づいて、前記光源から照射する光の照射パターン、及び、前記テストヘッドのコンタクト部から入力する電気信号の入力パターンを判断する判断手段をさらに備えたり（請求項１０参照）、或いは、前記撮像手段により撮像して得られた品種情報と、試験結果の分類情報と、に基づいて、前記複数の試験済センサ格納部の中から前記イメージセンサを搬出すべき試験済センサ格納部を選択する選択手段と、をさらに備えたりすることが出来る（請求項１１参照）。

（２）また、上記目的を達成するために、本発明の第２の観点によれば、イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に接触させ、前記イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力することにより、前記イメージセンサの光学的特性の試験を行うイメージセンサの試験方法であって、試験前の前記イメージセンサを反転させる第１の反転ステップと、反転状態の当該イメージセンサを前記テストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させ、当該イメージセンサの受光面に光源から光を照射して、当該イメージセンサの光学的特性の試験を行う試験ステップと、試験済みの反転状態の当該前記イメージセンサを反転させる第２の反転ステップと、を少なくとも備えたイメージセンサの試験方法が提供される（請求項１２参照）。

本発明の第２の観点によれば、イメージセンサの試験方法において、第１の反転ステップで試験前のイメージセンサを反転させ、また、第２の反転ステップで試験後のイメージセンサを反転させる。

これにより、受光面が上方を向いた姿勢で搬入されるイメージセンサを、当該受光面が下方を向くように試験前に反転させ、当該反転された状態でイメージセンサをテストヘッドのコンタクト部に接触させて試験を行い、当該試験済みのイメージセンサを再度反転させて受光面を上方に向けて搬出させることが可能となる。

また、受光面を下方に向けた状態でイメージセンサを試験することが可能となるので、ハンドラとは別個に、イメージセンサの下方に光源を配置することが出来、ハンドラ及び光源の設計の自由度を大幅に向上させることが出来るので、イメージセンサ用試験装置を同時測定数の増加に対して容易に対応させることが可能となる。

上記発明においては特に限定されないが、前記第１の反転ステップ及び前記第２の反転ステップにおいて、２以上の前記イメージセンサを保持して同時に反転させることが好ましく（請求項１３参照）、これにより、イメージセンサ用試験装置の搬送のスループットが向上する。

上記発明においては特に限定されないが、前記試験ステップの前に前記イメージセンサの例えば生産情報を撮像して品種情報を取得する撮像ステップをさらに備えるように構成することが出来（請求項１４参照）、さらに、前記撮像ステップにて撮像して得られた品種情報に基づいて、前記光源から照射する光の照射パターン、及び、前記テストヘッドのコンタクト部から入力する電気信号の入力パターンを判断する判断ステップをさらに備え、前記試験ステップにおいて、前記照射パターンに従って前記イメージセンサの受光面に光を照射すると共に、前記入力パターンに従って前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力するように構成したり（請求項１５参照）、或いは、前記撮像ステップにて撮像して得られた品種情報と、試験結果の分類情報と、に基づいて、試験済みの前記イメージセンサを仕分けするように構成することが出来る（請求項１６参照）。

（３）さらに、上記目的を達成するために、本発明の第３の観点によれば、被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させ、前記テストヘッドのコンタクト部から前記被試験電子部品に電気信号を入出力することにより、前記被試験電子部品の試験を行う電子部品試験装置であって、試験前の被試験電子部品を格納する試験前電子部品格納部と、前記試験前電子部品格納部から供給された前記被試験電子部品を反転させるローダ用反転手段と、前記ローダ用反転手段により反転された反転状態の当該被試験電子部品を把持して移動させ、反転状態の当該被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させるコンタクトアームと、試験が終了した前記被試験電子部品を元の状態に反転させるアンローダ用反転手段と、前記アンローダ用反転手段により反転された試験済みの前記被試験電子部品を格納する複数の試験済電子部品格納部と、を少なくとも備えた電子部品試験装置が提供される（請求項１７参照）。

図１Ａは、本発明の第１実施形態に係るイメージセンサ用試験装置の試験対象となるイメージセンサを示す平面図である。図１Ｂは、図１ＡのI-I線に沿ったイメージセンサの断面図である。図２は、本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置を示す概略平面図である。図３は、図２のII-II線に沿ったイメージセンサ用試験装置の断面図である。図４は、本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置のローダ用反転装置の斜視図である。図５Ａは、図４に示すローダ用反転装置の平面図である。図５Ｂは、図４に示すローダ用反転装置の側面図である。図６Ａは、図４に示すローダ用反転装置の動作を説明するための側面模式図であり、反転前の状態を示す。図６Ｂは、図４に示すローダ用反転装置の動作を説明するための側面模式図であり、反転後の状態を示す。図７は、本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置においてイメージセンサの品種を識別している状態を示す図である。図８は、本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置においてイメージセンサの品種を識別するためのシステム構成を示すブロック図である。図９は、本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置のテスト部の概略断面図である。図１０Ａは、入出力端子が受光面に対して側方から導出しているタイプのイメージセンサの断面図を示す。図１０Ｂは、入出力端子が受光面とは反対面から導出しているタイプのイメージセンサの断面図を示す。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

図１Ａは本発明の第１実施形態に係るイメージセンサ用試験装置の試験対象となるイメージセンサを示す平面図であり、図１Ｂは図１ＡのI-I線に沿ったイメージセンサの断面図である。

先ず、本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置の試験対象となるイメージセンサについて説明すると、このイメージセンサＤＵＴは、図１Ａに示すように、マイクロレンズを持つチップＣＨが略中央部に配置され、その外周部に入出力端子ＨＢが導出していると共に、これらチップＣＨ及びＨＢがパッケージングされたＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサ等であり、図１Ｂに示すように、入出力端子ＨＢがチップＣＨにおいてマイクロレンズが形成されている受光面ＲＬと同一面に導出しているタイプのイメージセンサである。

図２は本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置を示す概略平面図であり、図３は図２のII-II線に沿ったイメージセンサ用試験装置の断面図である。

本発明の実施形態のイメージセンサ用試験装置１０は、上述の図１Ａ及び図１Ｂに示すタイプのイメージセンサＤＵＴを試験対象とした装置であり、図２及び図３に示すように、センサ格納部２０、ローダ部３０、テスト部４０及びアンローダ部５０を備えており、テストヘッド６０及びテスタ７０（図３参照）と、光源装置８０（図３参照）とを用いて、４つのイメージセンサＤＵＴを同時にテストすることが可能となっている。

このイメージセンサ用試験装置１０では、センサ格納部２０からローダ部３０を介してテスト部４０に供給し、このテスト部４０において、テストヘッド６０のコンタクト部６１に押し当て、光源装置８０からイメージセンサＤＵＴの受光面ＲＬに対して光を照射しながら、テスタ７０からコンタクト部６１及び入出力端子ＨＢを介してイメージセンサＤＵＴに電気信号を入出力してテストを実行した後、アンローダ部５０を介してテスト済みのイメージセンサＤＵＴをテスト結果に基づく分類情報に従ってセンサ格納部２０に分類して格納することが可能となっている。

以下に、このイメージセンサ用試験装置１０の各部について説明する。

センサ格納部２０
センサ格納部２０は、図２及び図３に示すように、供給トレイ用ストック２１（試験前イメージセンサ格納部）と、分類トレイ用ストッカ２２（試験済イメージセンサ格納部）と、空トレイ用ストッカ２３と、トレイ搬送装置２４と、から構成されており、試験前及び試験後のイメージセンサＤＵＴを格納することが可能となっている。

供給トレイ用ストッカ２１は、試験前の、例えば２０個程度の複数のイメージセンサＤＵＴが搭載された複数の供給トレイが積載されて収容されている。本実施形態では、試験前のイメージセンサＤＵＴが、当該受光面ＲＬを上方に向いた状態で、この供給トレイ用ストッカ２１を介してイメージセンサ用試験装置１０内に搬入される。

分類トレイ用ストッカ２２は、試験後の複数のイメージセンサＤＵＴを搭載可能な複数の分類トレイが積載されて収容されており、図２に示す例では３つの分類トレイ用ストッカ２２が設けられている。なお、一般には５つ以上の分類トレイ用ストッカ２２を備えている。

３つの分類トレイ用ストッカ２２を設けることにより、例えば、良品／不良品及び不良品の中でも再試験が必要なもの／不要なもの等の試験結果に応じて、最大３つの分類にイメージセンサＤＵＴを仕分けして格納出来るように構成されている。

本実施形態では、試験済みのイメージセンサＤＵＴが、当該受光面ＲＬを上方に向いた状態で、この分類トレイ用ストッカ２２を介してイメージセンサ用試験装置１０外に搬出される。

空トレイ用ストッカ２３は、供給トレイに搭載されていた全ての試験前のイメージセンサＤＵＴがテスト部３０に供給されて空となった空トレイを格納する。

トレイ搬送装置２４は、図２においてＸＺ軸方向にトレイを移動可能な手段であり、供給トレイ用ストッカ２１にてイメージセンサＤＵＴが空となった空トレイを吸着パッド２４３で吸着して保持し、Ｚ軸方向アクチュエータ（不図示）を上昇させ、イメージセンサ試験装置１０の基台１２上に固定されたＸ軸方向レール２４１に沿って可動ヘッド２４２を摺動させて、空トレイを空トレイ用ストッカ２３に搬送する。一方、分類トレイ用ストッカ２２において分類トレイ上に試験後のイメージセンサＤＵＴが満載されると、トレイ搬送装置２４が、空トレイ用ストッカ２３から空トレイを搬送して分類トレイ用ストッカ２２に補充する。

なお、本発明におけるストッカの数は、以上に説明した数に特に限定されず、必要に応じて適宜設定することが可能である。

ローダ部３０
ローダ部３０は、図２及び図３に示すように、ローダ用ＸＹＺ移動装置３１と、ローダ用反転装置３２（ローダ用反転手段）と、ローダ用ＹＺ移動装置３３と、から構成されており、センサ格納部２０の供給トレイ用ストッカ２１からイメージセンサＤＵＴをテスト部４０に供給することが可能となっている。

ローダ用ＸＹＺ移動装置３１は、イメージセンサ用試験装置１０の基台１２に固定されたＹ軸方向レール３１１と、このＹ軸方向レール３１１に沿ってＹ軸方向に摺動可能に支持されているＸ軸方向レール３１２と、このＸ軸方向レール３１２に沿ってＸ軸方向に摺動可能に支持されている可動ヘッド３１３と、Ｚ軸方向アクチュエータ（不図示）を介して下端に支持された４つの吸着パッド３１４と、から構成されている。このロード側ＸＹＺ移動装置３１は、センサ格納部２０の供給トレイ用ストッカ２１の供給トレイ上に搭載されたイメージセンサＤＵＴを、ローダ用反転装置３２に移動させることが可能となっており、４つのイメージセンサＤＵＴを同時に移動させることが可能となっている。

図４は本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置のローダ用反転装置の斜視図、図５Ａは図４に示すローダ用反転装置の平面図、図５Ｂは図４に示すローダ用反転装置の側面図、図６Ａ及びＢは図４に示すローダ用反転装置の動作を説明するための側面模式図であり、図６Ａは反転前の状態を示し、図６Ｂは反転後の状態を示す。

ローダ用反転装置３２は、図４〜図６Ｂに示すように、ローダ用ＸＹＺ移動装置３１により運ばれたイメージセンサＤＵＴを保持する第１の保持部３２１と、この第１の保持部３２１を回転させる回転機構３２２と、この回転機構３２２により回転された第１の保持部３２１が保持しているイメージセンサＤＵＴを受容する第２の保持部３２３と、イメージセンサＤＵＴを反転させるための駆動力を供給するエアシリンダ３２４と、から構成されている。

第１の保持部３２１は、平板状のプレート部材３２１ａに４つの吸着ノズル３２１ｂが取り付けられて構成されており、受光面ＲＬを上方に向けた姿勢で搬入されたイメージセンサＤＵＴの背面を吸着して保持することが可能となっている。この４つの吸着ノズル３２１ｂは、テストヘッド６０の４つのコンタクト部６１の配列に対応するように配置されている。

また、この第１の保持部３２１の各吸着ノズル３２１ｂは、ネジ締め等の手法によりプレート部材３２１ａに着脱可能に取り付けられており、例えばイメージセンサのロット変更等により試験対象が外形や形状の異なるイメージセンサに変わった場合に、当該変更後のイメージセンサに適合するように、当該吸着ノズル３２１ｂとは異なる外径や形状の吸着ノズルを有する他の吸着ノズルに交換することが可能となっている。

回転機構３２２は、第１の保持部３２１を支持し、回転軸３２２ｅを中心に回転可能なピニオンギア３２２ａと、このピニオンギア３２２ａに咬合していると共にエアシリンダ３２４のピストンロッド３２４ａ（図６Ａ及びＢ参照）に固定されたラックギア３２２ｂと、このラックギア３２２ｂがボルト締結等により固定されたガイド本体３２２ｃ（図６Ａ及びＢ参照）と、このガイド本体３２２ｃがＹ軸方向に摺動可能なガイドレール３２２ｄ（図６Ａ及びＢ参照）と、から構成されており、エアシリンダ３２４からピストンロッド３２４ａを介して供給された直動力をラックアンドピニオン３２２ａ及び３２２ｂを介して回転力に変換して、第１の保持部３２１を回転させることが可能となっている。

第２の保持部３２３は、平板上のプレート部材３２３ａに４つの凹部３２３ｂが形成されており、当該各凹部３２３ｂはイメージセンサＤＵＴを収容可能な大きさを有している。また、各凹部３２３ｂは、上述の４つの吸着ノズル３２１ｂと同様に、テストヘッド６０の４つのコンタクト部６１の配列に対応するように形成されており、各凹部３２３ｂにイメージセンサＤＵＴがそれぞれ収容されることにより、テストヘッド６０のコンタクト部６１に対して相対的に位置決めされるようになっている。なお、凹部３２３ｂの縁部をテーパ状に形成して、当該凹部３２３ｂへのイメージセンサＤＵＴの収容を容易にしても良い。

また、この第２の保持部３２３は、ボルト締結等の手法によりローダ側反転装置３２の本体部に着脱可能に取り付けられており、例えばイメージセンサのロット変更等により試験対象が外形の異なるイメージセンサに変わった場合に、当該変更後のイメージセンサに適合するように、当該第２の保持部３２３の凹部３２３ｂとは異なる大きさの凹部が形成された他の第２の保持部に交換することが可能となっている。

以上のように構成されるローダ用反転装置３２では、図６Ａに示すように、ローダ用ＸＹＺ移動装置３１により移動されたイメージセンサＤＵＴを、第１の保持部３２１の吸着ノズル３２１ａで吸着して保持し、図６Ｂに示すように、エアシリンダ３２４を駆動させて回転機構３２２により第１の保持部３２１を回転させる。そして、当該第１の保持部３２１が１８０°回転したら吸着を解除して、第２の保持部３２３の凹部３２３ｂにイメージセンサＤＵＴを落とし込む。これにより、受光面ＲＬが上方を向いた姿勢で搬入されたイメージセンサＤＵＴを、当該受光面ＲＬが下方を向くように反転させてテスト部４０に供給することが可能となる。

なお、本実施形態では、ラックアンドピニオン機構を用いてイメージセンサＤＵＴを反転させるように説明したが、イメージセンサＤＵＴを回転させるのであれば本発明では特にこの手法に限定されず、例えば、リンク装置等を用いてシリンダ等から供給される直動力を回転力に変換したり、ギア機構、ベルト機構やチェーン機構等を用いてモータ等から供給される回転力を伝達したり、或いは、ロータリアクチュエータ等を用いて回転力を直接供給したりして、イメージセンサＤＵＴを反転させても良い。これらに供給される直動力或いは回転力の駆動源としては、エア、電気、或いは、油圧等を挙げることが出来る。

また、本実施形態では、第１の保持部３２１がイメージセンサＤＵＴを保持する手法の一つとして吸着を例示したが、本発明では特にこれに限定されず、例えば、イメージセンサの上下面端部を把持するメカニカルチャックを用いても良い。さらに、この場合には、ローダ側反転装置３２に第２の保持部３２３を設けずに、反転されたイメージセンサＤＵＴを把持している第１の保持部３２１から、ローダ用ＹＺ移動装置３３が、当該イメージセンサＤＵＴを直接受け取るように構成しても良い。

また、本実施形態では、吸着ノズル３２１ｂでイメージセンサＤＵＴを吸着している第１の保持部３２１を回転させるように構成したが、本発明では特にこれに限定されず、例えば、吸着ノズルを具備させる代わりに、第１の保持部３２１及び第２の保持部３２３の何れも回転可能に構成し、第１の保持部３２１と第２の保持部３２３との間にイメージセンサＤＵＴを挟持しながらこれらを回転させることにより、イメージセンサＤＵＴを反転させても良い。

ローダ用ＹＺ移動装置３３は、イメージセンサ用試験装置１０の基台１２に固定されたＹ軸方向レール３３１と、このＹ軸方向レール３３１に沿ってＹ軸方向に摺動可能に支持されている可動ヘッド３３２と、Ｚ軸方向アクチュエータ（不図示）を介して下端に支持された４つの吸着パッド３３３と、から構成されている。

このローダ用ＹＺ移動装置３３は、ローダ用反転装置３２の第２の保持部材３２３に保持されたイメージセンサＤＵＴを、何れかのバッファ部４１に移動させることが可能となっており、４つのイメージセンサＤＵＴを同時に移動させることが可能となっている。

さらに、図２及び図３に示すように、ローダ用反転装置３２とテスト部４０の第１のバッファ部４１との間に、鉛直方向上向きに窒素ガスを噴射可能な噴射ノズル３４が設けられている。

ローダ用反転装置３２により反転されたイメージセンサＤＵＴを、ローダ用ＹＺ移動装置３３がテスト部４０に移動させる際に、この噴射ノズル３４の上方を通過するイメージセンサＤＵＴに向かって、噴射ノズル３４が窒素ガスを噴射することにより、当該イメージセンサＤＵＴの受光面ＲＬを清浄することが可能となっている。なお、噴射ノズル３４から噴射されるガスは窒素ガスに限定されず、例えば、クリーンフィルタを介して供給される圧縮エア等であっても良い。

図７は本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置においてイメージセンサの品種を識別している状態を示す図、図８は本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置においてイメージセンサの品種を識別するためのシステム構成を示すブロック図である。

ローダ用ＹＺ移動装置３３には、図７に示すように、ＣＣＤカメラ等のカメラ３３４（撮像手段）が設けられており、その光軸が鉛直下向きに向いた状態で取り付けられている。このカメラ３３４により、ローダ用反転装置３２の第２の保持部３２３の凹部３２３ａに収容されているイメージセンサＤＵＴを撮像することが可能となっており、特に、当該イメージセンサＤＵＴの受光面ＲＬとは反対側の背面を撮像することが可能となっている。このカメラ３３４は、図８に示すように、撮像した画像情報を、画像処理装置９０に送信可能なように接続されている。

画像処理装置９０は、例えば、画像処理用プロセッサ等を有しており、カメラ３３４により撮像された画像情報に対して画像処理を行うことにより、インキマーキングやレーザマーキング等の手法によりイメージセンサＤＵＴの背面にマーキングされた例えばバーコード等の製品情報や前工程で付与した履歴情報等の品種情報を読み取ることが可能となっている。この画像処理装置９０は、図８に示すように、イメージセンサＤＵＴの識別結果である品種情報を、テスタ７０及び光源装置８０に送信可能なように接続されている。これにより品種情報に対応した試験条件で試験実施することが可能となる。

テスタ７０は、テストヘッド６０のコンタクト部６１からイメージセンサＤＵＴの入出力端子ＨＢに電気信号を入力する際に、画像処理装置９０による識別結果に基づいて、当該イメージセンサＤＵＴの品種に対応した電気信号の入力パターンを判断する。また、光源装置８０は、テスト時にイメージセンサＤＵＴの受光面ＲＬに対して光を照射する際に、画像処理装置９０による識別結果に基づいて、当該イメージセンサＤＵＴの品種に対応した照射パターンを判断する。本実施形態におけるテスタ７０、光源装置８０、及び、画像処理手段９０は、本発明における判断手段の一例に相当する。

また、画像処理装置９０は、イメージセンサ用試験装置１０の制御装置（不図示）に上記識別結果を送信可能に接続されており、上述のように試験後のイメージセンサＤＵＴを複数の分類トレイ用ストッカ２２に仕分けして格納する際に、試験結果の分類情報と品種情報との両情報に基づいて、イメージセンサＤＵＴを仕分けすることが可能となっている。具体的には、例えば、品種Ａと品種Ｂとの２種類のイメージセンサＤＵＴの試験を行う場合において、品種Ａで良品なもの、品種Ａで不良なもの、品種Ｂで良品なもの、及び、品種Ｂで不良なものを、分類トレイ用ストッカ２２に仕分けして格納することが可能となっている。これにより、多品種少量のイメージセンサＤＵＴの試験に対して適切に対応することが可能となる。本実施形態におけるイメージセンサ用試験装置１０の制御装置（不図示）及び画像処理装置９０は、本発明の選択手段の一例に相当する。

なお、特に図示しないが、このローダ部３０には、例えば、供給トレイ用ストッカ２１とローダ用反転装置３２との間に、ヒートプレートが設けられており、試験前のイメージセンサに対して、必要に応じて、所望する熱ストレスを印加することが可能となっている。

テスト部４０
図９は本発明の実施形態に係るイメージセンサ用試験装置のテスト部の概略断面図である。

テスト部４０は、２つのバッファ部４１、４２と、コンタクトアーム４１３と、から構成されており、テストヘッド６０及び光源装置８０を用いてイメージセンサＤＵＴの光学的特性試験を行うことが可能となっており、イメージセンサＤＵＴの入出力端子ＨＢをテストヘッド６０のコンタクト部６１に接触させ、イメージセンサＤＵＴの受光面に光源装置８０から光を照射しながら、コンタクト部６１からイメージセンサＤＵＴに電気信号を入出力することにより、イメージセンサＤＵＴの受光量が一定であるか否か等のイメージセンサＤＵＴの光学的特性を試験することが可能となっている。各コンタクト部６１は、中央に開口部６３を備えており、イメージセンサＤＵＴの受光面ＲＬに対して光を照射することが可能となっている。

先ず、このテスト部４０で用いられるテストヘッド６０について説明すると、図９に示すように、このテストヘッド６０は、ボード上に４つのコンタクト部６１が２行２列で配列されて構成されており、後述するコンタクトアーム４３の保持部の配列に実質的に一致するように配列されている。なお、図９では、４つのコンタクト部６１のうちで後方側の２つのコンタクト部６１が前方側の２つのコンタクト部６１に隠れているため、２つのコンタクト部６１しか図示されていない。

各コンタクト部６１は、複数のコンタクトピン６２を備えており、これらのコンタクトピン６２は、試験対象となる品種のイメージセンサＤＵＴの入出力端子ＨＢの配列に実質的に一致するように配置されている。

このテストヘッド６０は、図３に示すように、イメージセンサ用試験装置１０の基台１２に形成された開口１１を塞ぐように、イメージセンサ用試験装置１０に対して脱着可能に取り付けられており、各コンタクト部６１は、同図に示すように、ケーブル７１を介してテスタ７０に電気的に接続されている。

また、本実施形態に係るイメージセンサ用試験装置１０では、図９に示すように、下方からイメージセンサＤＵＴの受光面ＲＬに対して光を照射することが可能なように、テストヘッド６０の各コンタクト部６１の略中央部に開口６３がそれぞれ形成されている。各開口６３は、下方からイメージセンサＤＵＴの受光面ＲＬを視認可能な程度の大きさを有している。

このテストヘッド６０は、イメージセンサＤＵＴの品種変更によりイメージセンサＤＵＴの形状や入出力端子ＨＢの配列が変更されたような場合には、当該変更後のイメージセンサＤＵＴに適合した他のテストヘッドに交換することにより、一台のイメージセンサ用試験装置１０で、多品種のイメージセンサＤＵＴの試験に対応することが可能となっている。

本実施形態に係るイメージセンサ用試験装置１０のテスト部４０には、図３及び図９に示すように、鉛直上向きに光を照射可能な４つの照射部８１を有する光源装置８０が設けられており、各照射部８１から、各コンタクト部６１に形成された開口６３を介して、同時にテストされる４つのイメージセンサＤＵＴの受光面ＲＬに対して、光を同時に照射することが可能となっている。

テスト部４０の第１のバッファ部４１は、イメージセンサ用試験装置１０の基台１２上に固定されたＸ軸方向レール４１１と、このＸ軸方向レール４１１に沿ってＸ軸方向に摺動可能なテスト前バッファ部４１２と、このテスト前バッファ部４１２と一体に前記Ｘ軸方向レール４１１に沿ってＸ軸方向に摺動可能なテスト後バッファ部４１３と、から構成されている。

この第１のバッファ部４１は、ローダ用ＹＺ移動装置３３によりテスト部４０に搬送されたイメージセンサＤＵＴを、テスト前バッファ部４１２で受け取ってＸ軸方向レール４１１に沿って摺動してコンタクトアーム４３に供給することが可能となっている。また、テスト後にコンタクトアーム４３により払い出されるイメージセンサＤＵＴを、テスト後バッファ部４１３で受け取ってＸ軸方向レール４１１に沿って摺動し、後述するアンローダ用ＹＺ移動装置５１の動作領域に移動させることが可能となっている。

テスト前バッファ部４１２及びテスト後バッファ部４１３の何れの表面にも、イメージセンサＤＵＴを収容可能な大きさを持つ凹部４１２ａ、４１３ａが形成されている。なお、これら凹部４１２ａ、４１３ａの縁部をテーパ状に形成して、当該凹部４１２ａ、４１３ａへのイメージセンサＤＵＴの収容を容易にしても良い。

第２のバッファ部４２も、第１のバッファ部４１と同様に、Ｘ軸方向レール４２１と、テスト前バッファ部４２２と、テスト後バッファ部４２３と、から構成されており、ローダ用ＹＺ移動装置３３より試験前のイメージセンサＤＵＴをテスト前バッファ部４２２に受け取ってコンタクトアーム４３に供給すると共に、試験後のイメージセンサＤＵＴをコンタクトアーム４３から受け取ってアンローダ用ＹＺ移動装置５１の動作領域に移動させることが可能となっている。

本実施形態に係るイメージセンサ用試験装置１０では、２つのバッファ部４１、４２を備えていることにより、第１又は第２のバッファ部４１、４２の何れか一方からコンタクトアーム４３にイメージセンサＤＵＴを供給してテストを行っている間に、第２又は第１のバッファ部４２、４１の他方が、ローダ用ＹＺ移動装置３３から試験前のイメージセンサＤＵＴを受け取ったり、或いは、試験後のイメージセンサＤＵＴをアンローダ用ＹＺ移動装置５１に払い出したりすることが可能となっており、イメージセンサ用試験装置１０におけるテスト効率を高めることが可能となっている。なお、バッファ部４２、４２の数は２つに限定されず、イメージセンサＤＵＴの試験時間等に応じて適宜設定することが出来る。

コンタクトアーム４３は、図２、図３に示すように、イメージセンサ用試験装置１０の基台１２に固定されたＹ軸方向レール４３１と、このＹ軸方向レール４３１に沿ってＹ軸方向に摺動可能である共にＺ軸方向に移動可能なＺ軸方向アクチュエータ（不図示）を有する可動ヘッド４３２と、イメージセンサＤＵＴを吸着可能な４つの吸着パッド４３３と、から構成されている。４つの吸着パッド４３３は、テストヘッド６０に設けられた４つのコンタクト部６１の配列に実質的に一致するように、可動ヘッド４３２の下面に取り付けられている。

このコンタクトアーム４３は、４つのイメージセンサＤＵＴを同時に保持することが可能となっており、バッファ部４１、４２により供給された４つのイメージセンサＤＵＴをテストヘッド６０のコンタクト部６１に同時に押し付けた後、当該試験済みの４つのイメージセンサＤＵＴを当該バッファ部４１、４２に同時に払い出すことが可能となっている。なお、特に図示しないが、可動ヘッド４３２にヒータ及び温度センサを内蔵して、上述のヒートプレートで印加された熱ストレスを維持しても良い。

アンローダ部５０
アンローダ部５０は、図２及び図３に示すように、アンローダ用ＹＺ移動装置５１と、アンローダ用反転装置５２（アンローダ用反転手段）と、アンローダ用ＸＹＺ移動装置５３と、から構成されており、バッファ部４１、４２によりテスト部４０から払い出された試験済みのイメージセンサＤＵＴをセンサ格納部２０に搬出することが可能となっている。

アンローダ用ＹＺ移動装置５１は、ローダ用ＹＺ移動装置３３と同様に、イメージセンサ用試験装置１０の基台１２に固定されたＹ軸方向レール５１１と、このＹ軸方向レール５１１に沿ってＹ軸方向に摺動可能に支持されている可動ヘッド５１２と、Ｚ軸方向アクチュエータ（不図示）を介して下端に支持された４つの吸着パッド５１３と、から構成されている。

このアンローダ用ＹＺ移動装置５１は、第１及び第２のバッファ部４１、４２によりテスト部４０から払い出されたイメージセンサＤＵＴを、アンローダ用反転装置５２に移動させることが可能となっており、４つのイメージセンサＤＵＴを同時に移動させることが可能となっている。

アンローダ用反転装置５２は、上述のローダ用反転装置３２と同様に、４つの吸着ノズルが配設されたプレート部材から成る第１の保持部５２１と、エアシリンダから供給された直動力をラックアンドピニオン機構により回転力に変換して第１の保持部５２１を回転させる５２２と、４つの凹部が形成されたプレート部材から成る第２の保持部５２３と、から構成されている。

このアンローダ用反転装置５２は、アンローダ用ＹＺ移動装置５１により運ばれたイメージセンサＤＵＴを第１の保持部５２１で吸着して保持し、回転機構５２２によりこの第１の保持部５２１を１８０°回転させ、その後に吸着を解除して、第２の保持部５２３の凹部にイメージセンサＤＵＴを落とし込む。これにより、受光面ＲＬが下方を向いた状態でテストされたイメージセンサＤＵＴを、当該受光面ＲＬが上方を向くように反転させてセンサ格納部２０に搬出することが可能となる。

アンローダ用ＸＹＺ移動装置５３は、イメージセンサ用試験装置１０の基台１２に固定されたＹ軸方向レール５３１と、このＹ軸方向レール５３１に沿ってＹ軸方向に摺動可能に支持されているＸ軸方向レール５３２と、このＸ軸方向レール５３２に沿ってＸ軸方向に摺動可能に支持されている可動ヘッド５３３と、Ｚ軸方向アクチュエータ（不図示）を介して下端に支持された４つの吸着パッド５３４と、から構成されている。このアンローダ用ＸＹＺ移動装置５３は、アンローダ用反転装置５２により反転されたイメージセンサＤＵＴを、試験結果に応じて、センサ格納部２０の分類トレイ用ストッカ２２の分類トレイ上に移動させて仕分けすることが可能となっている。

以下に、本実施形態に係るイメージセンサ用試験装置１０によるイメージセンサＤＵＴのテストについて説明する。

先ず、ローダ用ＸＹＺ移動装置３１が、４つの吸着パッド３１４により、センサ格納部２０の供給トレイ用ストッカ２１の供給トレイ上に搭載された４つのイメージセンサＤＵＴを吸着して保持する。なお、イメージセンサＤＵＴは、受光面ＲＬが上方を向いた姿勢で供給トレイに搭載されている。

次に、ローダ用ＸＹＺ移動装置３１は、４つのイメージセンサＤＵＴを移動させて、ローダ用反転装置３２の第１の保持部３２１の各吸着ノズル３２１ｂに対してそれぞれ位置決めして吸着パッド３１４の吸着を解除する。これと同時に、ローダ用反転装置３２の各吸着ノズル３２１ｂが吸着を開始することにより、図６Ａに示すように、ローダ用反転装置３２の第１の保持部３１により４つのイメージセンサＤＵＴが保持される。

次に、ローダ用反転装置３２のエアシリンダ３２４が、ピストンロッド３２４ａを伸長する方向に駆動して、図６Ｂに示すように、ラックギア３２２ｂ及びガイド本体３２２ｃがガイドレール３２２ｄに沿ってＹ軸負方向に摺動すると共に、当該ラックギア３２２ｂに咬合したピニオンギア３２２ａが回転して、イメージセンサＤＵＴを保持している第１の保持部３２１が１８０°回転する（第１の反転ステップ）。

ピニオンギア３２２ａの回転に伴って第１の保持部３２１が１８０°回転すると、当該第１の保持部３２１の各吸着ノズル３２１ｂに吸着されている４つのイメージセンサＤＵＴが、第２の保持部３２３に形成された各凹部３２３ｂにそれぞれ収容される。第２の保持部３２３の各凹部３２３ｂにイメージセンサＤＵＴがそれぞれ収容されると、第１の保持部３２１によるイメージセンサＤＵＴの吸着が解除される。

このようにローダ用反転装置３２により受光面ＲＬが下方に向くように反転されたイメージセンサＤＵＴは、ローダ用ＹＺ移動装置３３、第１又は第２のバッファ部４１、４２を介してコンタクトアーム４３に供給される。

なお、ローダ用ＹＺ移動装置３３は、ローダ用反転装置３２により反転されたイメージセンサＤＵＴを把持する前に、カメラ３３４により当該イメージセンサＤＵＴの背面を撮像し（撮像ステップ）、当該画像情報に対して画像処理装置９０が画像処理を行ってイメージセンサＤＵＴの品種を識別する。

また、ローダ用ＹＺ移動装置３３による移動の際に、噴射ノズル３４がイメージセンサＤＵＴに向かって窒素ガスが噴射し、当該イメージセンサＤＵＴの受光面ＲＬを清浄する。

一方、反転したイメージセンサＤＵＴをローダ用ＹＺ移動装置３３に受け渡した後のローダ用反転装置３２は、ピストンロッド３２４ａを縮める方向にエアシリンダ３２４を駆動させ、回転機構３２２を−１８０°回転させて、次のイメージセンサＤＵＴの反転に備えて、第１の保持部３２１を図６Ａに示す初期状態に戻す。

バッファ部４１、４２を介して供給された４つのイメージセンサＤＵＴは、コンタクトアーム４３により、テストヘッド６０の４つのコンタクト部６１に対して同時に接触させ、各イメージセンサ６１の受光面ＲＬに光源装置８０の各照射部８１から光を照射しながら、コンタクト部６１及び入出力端子ＨＢを介してテスタ２０からイメージセンサＤＵＴに電気信号を入出力することにより、イメージセンサＤＵＴの受光量が一定であるか否か等のイメージセンサＤＵＴの光学的特性試験が行われる（試験ステップ）。

このテストにおいて、テスタ７０は、上述の画像処理装置９０により識別されたイメージセンサＤＵＴの品種に対応した電気信号の入力パターンに従って、イメージセンサＤＵＴに電気信号を入力する。同様に、このテストにおいて、光源装置８０は、当該識別されたイメージセンサＤＵＴの品種に対応した照射パターンに従って、イメージセンサＤＵＴの受光面ＲＬに対して光を照射する。

テストヘッド６０での試験が終了したイメージセンサＤＵＴは、第１又は第２のバッファ部４１、４２及びアンローダ用ＹＺ移動装置５１により、アンローダ用反転装置５２に移動される。

次に、アンローダ用反転装置５２が、当該イメージセンサＤＵＴを第１の保持部５２１で吸着して保持し、回転機構５２２によりこの第１の保持部５２１を１８０°回転させ、第２の保持部５２３に収容された後に吸着を解除して、試験済みのイメージセンサＤＵＴを、当該受光面ＲＬが上方を向くように反転させる（第２の反転ステップ）。

次に、アンローダ用ＸＹＺ移動装置５３が、反転されたイメージセンサＤＵＴをセンサ格納部２０に移動させ、試験結果に応じた分類トレイ用ストッカ２２に仕分けながら、試験済みのイメージセンサＤＵＴを搬出する。この分類トレイ用ストッパ２２への仕分けの際に、試験結果に加えて、上述の画像処理装置９０により識別されたイメージセンサＤＵＴの品種も考慮される。

一方、反転したイメージセンサＤＵＴをアンローダ用ＹＺ移動装置５３に受け渡した後のローダ用反転装置５２は、回転機構５２２を−１８０°回転させて、次のイメージセンサＤＵＴの反転に備えて、第１の保持部５２１を初期状態に戻す（図６Ａ参照）。

以上のように、本実施形態に係るイメージセンサ用試験装置では、受光面ＲＬが上方を向いた姿勢で搬入されるイメージセンサＤＵＴをローダ用反転装置３２により当該受光面ＲＬが下方を向くように反転させ、当該反転されたイメージセンサＤＵＴをコンタクトアーム４３によりテストヘッド６０のコンタクト部６１に接触させて光学的特性の試験を行い、当該試験済みのイメージセンサＤＵＴをアンローダ用反転装置５２により反転させて受光面を上方に向けて搬出させる。

これにより、受光面ＲＬが下方を向いた状態でイメージセンサの試験を行うことが出来、当該受光面ＲＬへのダスト付着を防止することが可能となるので、高精度な試験を遂行することが可能となる。

また、受光面ＲＬを下方に向けた状態でイメージセンサＤＵＴの試験が可能になることにより、ハンドラ１０とは別個に、イメージセンサＤＵＴの下方に光源装置８０を配置することが出来、ハンドラ１０及び光源装置８０の設計の自由度が大幅に向上するので、同時測定数の増加に対して容易に対応することが可能となる。

さらに、ハンドラ１０と光源装置８０とが分離しているので、ハンドラ１０内における光源用のスペースや配線が不要となり、ハンドラ１０自体に光源が設けられている場合と比較して、ハンドラ１０及び光源装置８０のそれぞれの構造を単純化することが可能となる。因みに、上述の実施形態ではテストヘッド６０に４つのコンタクト部６１を設け、同時測定数４の場合について説明したが、本発明では特にこの同時測定数に限定されず、必要に応じた同時測定数を設定することが可能であり、特に本発明では、同時測定数が増加する程、上述のような本発明に特有の効果は顕著になる。

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

例えば、上述の実施形態では、イメージセンサ用試験装置１０の試験対象として、入出力端子ＨＢが受光面ＲＬと同一方向に導出しているタイプのイメージセンサＤＵＴを説明したが、本発明では特にこれに限定されず、例えば、図１０Ａに示すような入出力端子ＨＢが側面から導出しているタイプのものや、図１０Ｂに示すような入出力端子ＨＢが受光面ＲＬとは反対面から導出しているタイプのものを試験対象としても良い。なお、図１０Ｂに示すタイプのものでは、その構造上、試験時にコンタクト部に直接接触させることが出来ないので、コンタクトアームにおいて吸着パッドの周囲にアッパーコンタクトを設け、このアッパーコンタクトを介して、イメージセンサの入出力端子とコンタクト部のコンタクトピンとを間接的に電気的に接続する必要がある。

尚、上述した具体例において、試験後の反転状態のイメージセンサを、反転状態のままで分類トレイ用ストッカ２２へ格納したい場合には、アンローダ用反転装置５２をバイパスする搬送経路を追加して備える装置構成としても良い。この場合には、分類トレイ用ストッカ２２へ収納するイメージセンサの上下方向の収納条件が任意に選択できる利点が得られる。また、反転状態のままでイメージセンサを収納すれば良い場合には、アンローダ用反転装置５２を削除する装置構成としても良い。

また、以上説明した実施形態では、被試験対象がイメージセンサとした具体例で説明したが、供給トレイ用ストック２１に収納されているイメージセンサ以外の他の電子部品において、コンタクト部６１において反転させる必要がある場合には、上述したローダ用反転装置３２を備える装置構成としても良い。更に、前記反転状態の電子部品を元の状態に反転させたい場合には、上述したアンローダ用反転装置５２を備える装置構成としても良い。尚、前記電子部品の場合は光源装置８０は不要である。これによれば、供給トレイ用ストック２１に載置されている電子部品の入出力端子ＨＢの上下方向がコンタクト部の上下関係と異なっていても支障無く接続して試験可能となる結果、多様な電子部品に対応可能な試験装置が実現できる。

Claims

イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に接触させ、前記イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力することにより、前記イメージセンサの光学的特性の試験を行うイメージセンサ用試験装置であって、
試験前の前記イメージセンサを格納する試験前センサ格納部と、
前記試験前格納部から供給された前記イメージセンサを反転させるローダ用反転手段と、
前記ローダ用反転手段により反転された反転状態の当該イメージセンサを保持して移動させ、反転状態の当該イメージセンサの入出力端子を前記テストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させるコンタクトアームと、
試験が終了した前記イメージセンサを反転させるアンローダ用反転手段と、
前記アンローダ用反転手段により反転された試験済みの前記イメージセンサを格納する複数の試験済センサ格納部と、を少なくとも備えており、
前記コンタクトアームは、前記イメージセンサの受光面を下方に向けた状態で、前記イメージセンサの入出力端子を前記コンタクト部に電気的に接触させるイメージセンサ用試験装置。
前記コンタクトアームに保持された前記イメージセンサの下方に前記光源と前記テストヘッドが位置するように、前記光源と前記テストヘッドとを前記イメージセンサ用試験装置に取り付ける取付部をさらに備えている請求項１記載のイメージセンサ用試験装置。
前記テストヘッドのコンタクト部には開口が形成されており、
前記光源は、前記コンタクト部の開口を介して、前記イメージセンサの受光面に対して光を照射する請求項１又は２記載のイメージセンサ用試験装置。
前記コンタクトアームに保持された前記イメージセンサの受光面に向かって気体を噴射する噴射手段をさらに備えた請求項１〜３の何れかに記載のイメージセンサ用試験装置。
前記ローダ用反転手段及び前記アンローダ用反転手段は何れも、２以上の前記イメージセンサを保持して同時に反転可能である請求項１〜４の何れかに記載のイメージセンサ用試験装置。
前記ローダ用反転手段及び前記アンローダ用反転手段は何れも、前記イメージセンサを保持可能な第１の保持部と、前記第１の保持部を回転させる回転機構と、を少なくとも有する請求項１〜５の何れかに記載のイメージセンサ用試験装置。
前記第１の保持部は、前記イメージセンサを吸着可能な吸着ノズルを有する請求項６記載のイメージセンサ用試験装置。
前記第１の保持部は、前記イメージセンサの大きさ又は形状に適合するように、当該第１の保持部が有する吸着ノズルとは異なる吸着ノズルを有する他の第１の保持部に交換可能である請求項７記載のイメージセンサ用試験装置。
前記回転機構は、前記第１の保持部を支持しているピニオンギアと、前記ピニオンギアに咬合したラックギアと、を有し、前記ラックギアに供給された直動力を回転力に変換して、前記第１の保持部を回転させる請求項６〜８の何れかに記載のイメージセンサ用試験装置。
イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に接触させ、前記イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力することにより、前記イメージセンサの光学的特性の試験を行うイメージセンサ用試験装置であって、
試験前の前記イメージセンサを格納する試験前センサ格納部と、
前記試験前格納部から供給された前記イメージセンサを反転させるローダ用反転手段と、
前記ローダ用反転手段により反転された反転状態の当該イメージセンサを保持して移動させ、反転状態の当該イメージセンサの入出力端子を前記テストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させるコンタクトアームと、
試験が終了した前記イメージセンサを反転させるアンローダ用反転手段と、
前記アンローダ用反転手段により反転された試験済みの前記イメージセンサを格納する複数の試験済センサ格納部と、を少なくとも備えており、
前記ローダ用反転手段及び前記アンローダ用反転手段は何れも、
前記イメージセンサを保持可能な第１の保持部と、
前記第１の保持部を回転させる回転機構と、
反転後の前記イメージセンサを保持可能な第２の保持部と、を有し、
前記第２の保持部には、前記イメージセンサを収容可能な凹部が形成されているイメージセンサ用試験装置。
前記第２の保持部は、前記イメージセンサの大きさ又は形状に適合するように、当該第２の保持部に形成された凹部とは異なる凹部が形成された他の第２の保持部に交換可能である請求項１０記載のイメージセンサ用試験装置。
イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に接触させ、前記イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力することにより、前記イメージセンサの光学的特性の試験を行うイメージセンサ用試験装置であって、
試験前の前記イメージセンサを格納する試験前センサ格納部と、
前記試験前格納部から供給された前記イメージセンサを反転させるローダ用反転手段と、
前記ローダ用反転手段により反転された反転状態の当該イメージセンサを保持して移動させ、反転状態の当該イメージセンサの入出力端子を前記テストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させるコンタクトアームと、
試験が終了した前記イメージセンサを反転させるアンローダ用反転手段と、
前記アンローダ用反転手段により反転された試験済みの前記イメージセンサを格納する複数の試験済センサ格納部と、を少なくとも備えており、
前記ローダ用反転手段により反転された後であって前記テストヘッドに供給される前の前記イメージセンサの背面を撮像することが可能な撮像手段をさらに備えたイメージセンサ用試験装置。
前記撮像手段により撮像して得られた品種情報に基づいて、前記光源から照射する光の照射パターン、及び、前記テストヘッドのコンタクト部から入力する電気信号の入力パターンを判断する判断手段をさらに備えた請求項１２記載のイメージセンサ用試験装置。
前記撮像手段により撮像して得られた品種情報と、試験結果の分類情報と、に基づいて、前記複数の試験済センサ格納部の中から前記イメージセンサを搬出すべき試験済センサ格納部を選択する選択手段をさらに備えた請求項１２又は１３記載のイメージセンサ用試験装置。
イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に接触させ、前記イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力することにより、前記イメージセンサの光学的特性の試験を行うイメージセンサの試験方法であって、
試験前の前記イメージセンサを反転させる第１の反転ステップと、
反転状態の当該イメージセンサを前記テストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させ、当該イメージセンサの受光面に光源から光を照射して、当該イメージセンサの光学的特性の試験を行う試験ステップと、
試験済みの反転状態の当該前記イメージセンサを反転させる第２の反転ステップと、を少なくとも備えており、
前記試験ステップにおいて、前記イメージセンサの受光面を下方に向けた状態で、前記イメージセンサの入出力端子を前記コンタクト部に電気的に接触させるイメージセンサの試験方法。
前記試験ステップの前に、前記イメージセンサの受光面に向かって気体を噴射する噴射ステップをさらに備えた請求項１５記載のイメージセンサの試験方法。
前記第１の反転ステップ及び前記第２の反転ステップにおいて、
２以上の前記イメージセンサを保持して同時に反転させる請求項１５又は１６記載のイメージセンサの試験方法。
イメージセンサの入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に接触させ、前記イメージセンサの受光面に光源から光を照射しながら、前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力することにより、前記イメージセンサの光学的特性の試験を行うイメージセンサの試験方法であって、
試験前の前記イメージセンサを反転させる第１の反転ステップと、
反転状態の当該イメージセンサを前記テストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させ、当該イメージセンサの受光面に光源から光を照射して、当該イメージセンサの光学的特性の試験を行う試験ステップと、
試験済みの反転状態の当該前記イメージセンサを反転させる第２の反転ステップと、を少なくとも備えており、
前記試験ステップの前に前記イメージセンサを撮像して品種情報を取得する撮像ステップをさらに備えたイメージセンサの試験方法。
前記撮像ステップにて撮像して得られた品種情報に基づいて、前記光源から照射する光の照射パターン、及び、前記テストヘッドのコンタクト部から入力する電気信号の入力パターンを判断する判断ステップをさらに備え、
前記試験ステップにおいて、前記照射パターンに従って前記イメージセンサの受光面に光を照射すると共に、前記入力パターンに従って前記テストヘッドのコンタクト部から前記イメージセンサに電気信号を入出力する請求項１８記載のイメージセンサの試験方法。
前記撮像ステップにて撮像して得られた品種情報と、試験結果の分類情報と、に基づいて、試験済みの前記イメージセンサを仕分けする請求項１８又は１９記載のイメージセンサの試験方法。