WO2004011952A1

WO2004011952A1 - 電子部品試験装置

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Publication number: WO2004011952A1
Application number: PCT/JP2002/007722
Authority: WO
Inventors: Noboru Saito
Original assignee: Advantest Corporation
Priority date: 2002-07-30
Filing date: 2002-07-30
Publication date: 2004-02-05
Also published as: US20080246464A1; CN100443911C; JP4148946B2; CN101339205A; US7839139B2; DE10297763T5; MY134764A; US7400161B2; JPWO2004011952A1; TWI241409B; DE10297763B4; CN101339205B; US20060181265A1; AU2002368120A1; TW200405020A; CN1650179A

Abstract

被試験ＩＣの入出力端子をテストヘッドのソケット（５０）へ押し付けてテストを行う電子部品試験装置であって、ソケット（５０）に対して接近離反移動可能に設けられたプッシャベース（３４）と、プッシャベース（３４）に固定されたリードプッシャベース（３４）と、ソケット（５０）の反対面から被試験ＩＣに接触して押圧するプッシャブロック（３１）と、プッシャブロック（３１）が取り付けられるロードベース（３２）と、プッシャブロック（３１）に対してロードベース（３２）を介して被試験ＩＣの押圧方向に弾性力を付与する２つのスプリング（３６、３８）と、を有するプッシャ（３０）を備え、当該プッシャ（３０）は、ロードベース（３２）及びスプリング（３６、３８）がリードプッシャベース（３４）とプッシャベース（３５）とに挟まれており、プッシャブロック（３１）が、プッシャベース（３４）に設けられた開口部を介して、ロードベース（３２）に着脱可能に取り付けられている。　　

Description

明糸田書電子部品試験装置技術分野

本発明は、半導体集積回路素子などの各種電子部品（以下、代表的に I Cとも称する。）をテストするための電子部品試験装置に関し、特にテスト時に任意の電子部品に対して適切な押圧力を印加することが可能な電子部品試験装置に関する。

背景技術

ハンドラ（Handler) と称される I C試験装置（電子部品試験装置）では、トレィに収納した多数の被試験 I Cをハンドラ内に搬送し、各被試験 I Cをテストへッドに電気的に接触させ、電子部品試験装置本体（以下、テスタともいう。）に試験を行わせる。そして、試験が終了すると各被試験 I Cをテストヘッドから払い出し、試験結果に応じたトレイに載せ替えることで、良品や不良品といった力テゴリへの仕分けが行われる。

従来の電子部品試験装置には、試験前の I Cを収納したり試験済みの I cを収納するためのトレィ（以下、カスタマトレィともいう。）と電子部品試験装置内を循環搬送されるトレイ（以下、テストトレイともいう。）とが相違するタイプのものがあり、この種の電子部品試験装置では、試験前後においてカスタマトレィとテストトレイとの間での I Cの載せ替えが行われており、 I Cをテストへッドに接触させてテストを行うテスト工程においては、 I Cはテストトレイに搭載された状態でテストヘッドに押し付けられる。

ところで、従来から電子部品試験装置のテスト工程では、プッシャと呼ばれる押圧機構が下降することで被試験 I Cがコンタクトピンに押し付けられている力品種毎に被試験 I Cのパッケージから導出する入出力端子の数が例えば 4 0〜 1 3 0本と異なり、また当該端子の長さやパッケージの形状等も異なるため、被試験 I Cの品種によって要求される適切な押圧力が異なる。従って、電子部品試験装置でテストを行う被試験 I Cの全ての品種に対応するためには、適切な押圧力を印加することが可能な当該品種数分のプッシャを準備する必要があり、被試験

I Cの品種が変更される都度、当該品種に対応したプッシャに全て交換する必要があった。

発明の開示

本発明は、電子部品をテストするための電子部品試験装置に関し、特にテスト時に任意の電子部品に対して適切な押圧力を印加することが可能な電子部品試験装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明によれば、被試験電子部品の入出力端子をテストへッドのソケットへ押し付けてテストを行う電子部品試験装置であって、前記ソケットに対して接近離反移動可能に設けられたプッシャベースと、前記プッシャベースに固定されたリードプッシャベースと、前記プッシャベースに対して移動可能に設けられ、前記テスト時において前記ソケットの反対面から前記被試験電子部品に接触して前記ソケットへ押圧するプッシャブロックと、前記リ一ドプッシャベースと前記プッシャプロックとの間に設けられ、前記被試験電子部品の押圧方向の弾性力を有する 2以上の弾性手段と、を少なくとも有するプッシャを備え、前記テスト時において、前記プッシャブロックに、前記 2以上の弾性手段のうち少なくとも一つの弾性手段から弾性力が作用する電子部品試験装置が提供される（請求項 1参照）。

プッシャが、被試験電子部品の押圧方向の弾性力を有する 2以上の弾性手段を具備することにより、当該プッシャの弹性手段より得られる弾性力の幅を広くすることが可能になると共に、被試験電子部品に接触するプッシャブロックが当該 2以上の弾性手段のうちの少なくとも一つの弾性手段から弾性力が作用されることにより、 2以上の弾性手段から得られる 5草性力を選択することが可能となり、任意の被試験電子部品に適切な押圧力を得ることが可能となる。

上記発明においては特に限定されないが、本発明によれば、前記プッシャブロックは前記プッシャに着脱可能に設けられていることがより好ましく (請求項 2 参照）、より具体的には、前記プッシャは、前記プッシャブロックが取り付けられるロードベースをさらに有し、前記ロードベース及び前記弾性手段が、前記リ —ドプッシャベースと前記プッシャベースとの間に挟まれており、前記プッシャブロックの一部が、前記ロードベースを貫通して、少なくとも一つの前記弾性手段に接触し、前記プッシャブロックが、前記プッシャベースに形成された開口部を介して、前記ロードベースに着脱可能に取り付けられていることがより好ましい（請求項 3参照）。

被試験電子部品の品種交換時には、品種交換後の被試験電子部品に適切な押圧力を印加することが出来るプッシャに変更する必要があるが、プッシャからプッシャブ口ックのみを単独で取り外し可能とすることにより、被試験電子部品の品種交換時に伴ぅプッシャの交換を著しく容易とすることが可能となる。

また、上記発明においては特に限定されないが、本発明によれば、前記プッシャブロックは、上面から直角に突出する 2以上のシャフトを有し、前記 2以上のシャフトは、前記一のシャフトが、前記一のシャフトの中心軸を前記プッシャの前記 2以上の弾性手段のうちの一の弾性手段の底面に重ねるように配置され、前記他のシャフトが、前記他のシャフトの中心軸を前記プッシャの前記 2以上の弹性手段のうちの他の弾性手段の底面に重ねるように配置されたシャフトを含むことがより好ましく（請求項 8参照）、さらに、前記プッシャブロックは、前記 2 以上のシャフトのそれぞれの長さが異なる複数種のプッシャブロックを含むことがより好ましく（請求項 9参照）、より具体的には、前記プッシャブロックの前記 2以上のシャフトは、前記一のシャフトが、前記プッシャの前記一の弾性手段に接触する長さを有し、前記一の弾性手段の弾性力が前記一のシャフトを介して前記プッシャブロックに付与され、前記他のシャフトが、前記プッシャの前記他の弾性手段に接触する長さを有し、前記他の弹性手段の弾性力が前記他のシャフトを介して前記プッシャプロックに付与されるシャフトを含むことがより好ましい（請求項 1 1参照）。

プッシャから取り外し可能なプッシャブロックに、その上面に直角に突出する 2以上のシャフトを具備させて、被試験電子部品に対して適切な押圧力を印加可能な長さに設定し、特定のシャフトを特定の弾性手段のみに接触し、当該弾性手段を収縮させることにより、幅広い弾性力を有する 2以上の弾性手段から任意の押圧力を得ることが可能となる。また、適切な押圧力を印加することが可能な長さのシャフトを有するプッシャプロックを被試験電子部品の品種毎に用意しておくことにより、迅速なプッシャの変更が可能となる。

さらに、上記発明においては特に限定されないが、前記プッシャブロックは、前記シャフト以外の部分の鉛直方向の長さが異なる複数種のプッシャブロックを含むことがより好ましい（請求項 1 0参照）。

プッシャブロックのシャフト以外の部分の鉛直方向の長さを被試験電子部品の品種毎に用意することにより、被試験電子部品の品種交換前後における当該被試験電子部品の厚さの違いに対しても対応することが可能となる。

さらに、上記発明においては特に限定されないが、本発明によれば、前記プッシャの前記リードプッシャベースが開口部を有し、前記プッシャブロックが、前記ロードベースを貫通して取り付けられた固定手段により、前記ロードベースに着脱可能に固定され、前記リードプッシャベースの開口部を介して、前記固定手段が固定 Z解除されることにより、前記プッシャブロックの取り付け/取り外しが行われることがより好ましい（請求項 1 3参照）。

プッシャのロードべ一スを貫通して取り付けられた固定手段により、プッシャプロックを着脱可能に固定し、リードプッシャベースの開口部を介して当該固定手段の固定ズ解除を行い、当該プッシャブロックの取り付けノ取り外しを行うことにより、プッシャブロックのみを交換することで被試験電子部品の品種交換時に伴うプッシャの変更が容易に達成され、当該プッシャの交換時間の大幅な短縮が可能となる。

図面の簡単な説明

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

図 1は、本発明の実施形態に係る電子部品試験装置を示す斜視図である。図 2は、図 1の電子部品試験装置における被試験 I Cの取り廻し方法を示すトレイのフローチヤ一トである。

図 3は、図 1の電子部品試験装置の I Cストッ力の構造を示す斜視図である。図 4は、図 1の電子部品試験装置で用いられるカスタマトレイを示す斜視図である。

図 5は、図 1の電子部品試験装置で用いられるテストトレイを示す部分分解斜視図である。図 6は、図 2の測定部における Z軸駆動装置、マッチプレート、テストトレイ及びソケットを示す断面図である。

図 7は、本発明の実施形態に係る電子部品試験装置に用いられるプッシャ、、マッチプレート、インサート、ソケットガイド及ぴコンタクトピンを有するソケットの構造を示す分解斜視図である。

図 8は、図 7の断面図であり、テストヘッドにおいてプッシャが下降した状態を示す図である。

図 9 (A) 、図 9 ( B ) 及ぴ図 9 ( C ) は、本発明の実施形態に係るプッシャガイドの平面図及び側面図を示す図である。

図 1 0は、図 9 ( C ) に示すプッシャプロックを装着したプッシャの断面図である。

図 1 1は、図 8のプッシャ、ソケットガイド及ぴコンタクトピンの位置関係を示す断面図である。

図 1 2は、本発明の実施形態に係る電子部品試験装置に用いるマッチプレートの斜視図である。

図 1 3は、本発明の実施形態に係る電子部品試験装置へのマッチプレートの装着方法を説明するための斜視図である。

図 1 4は、本発明の実施形態に係る電子部品試験装置の測定部における Z軸駆動装置、マッチプレート、テストトレィ及ぴソケットを示す分解斜視図である。図 1 5は、本発明の実施形態に係る電子部品試験装置のチャンパの測定部における Z軸駆動装置の一例を示す断面図である。

図 1 6は、実施例 1におけるプッシャの押圧力の測定結果を示すグラフである。図 1 7は、実施例 2におけるプッシャの押圧力の測定結果を示すグラフである。

発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図 1は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置の斜視図、図 2は被試験 I Cの取り廻し方法を示すトレィのフローチャート、図 3は同電子部品試験装置の I Cストッ力の構造を示す斜視図、図 4は同電子部品試験装置で用いられるカスタマトレィを示す斜視図、図 5は同電子部品試験装置で用いられるテストトレイを示す部分分解斜視図、図 6 は図 2の測定部における Z軸駆動装置、マッチプレート、テストトレィ及ぴソケットを示す断面図である。

なお、図 2は本実施形態の電子部品試験装置における被試験 I Cの取り廻し方法を理解するための図であって、実際には上下方向に並んで配置されている部材を平面的に示した部分もある。従って、その機械的（3次元的）構造は図 1を参照して説明する。

本実施形態の電子部品試験装置は、被試験 I Cに高温又は低温の温度ストレスを与えた状態で I Cが適切に動作するか否かを試験（検査）し、当該試験結果に応じて I Cを分類する装置であって、主としてハンドラ 1とテストへッド 5と試験用メイン装置（図示せず）とで構成されている。当該電子部品試験装置によるこうした温度ストレスを与えた状態での動作テストは、試験対象となる被試験 I Cが多数搭載されたトレイ（以下、カスタマトレィ K S Tともいう。図 4参照）から当該ハンドラ 1内を搬送されるテストトレイ T S T (図 5参照）に被試験 I Cを載せ替えて実施される。

このため、本実施形態のハンドラ 1は、図 1及ぴ図 2に示すように、これから試験を行う被試験 I Cを格納し、また試験済の I Cを分類して格納する I C格納部 2 0 0と、 I C格納部 2 0 0から送られる被試験 I Cをチャンパ部 1 0 0に送り込むローダ部 3 0 0と、テストヘッドを含むチャンバ部 1 0 0と、チャンパ部 1 0 0で試験が行われた試験済みの I Cを分類して取り出すアンローダ部 4 0 0 とから構成されている。

テストへッド 5に設けられるソケット 5 0は、図外のケーブルを通じて試験用メイン装置に接続され、ソケット 5 0に電気的に接触させた被試験 I Cをケ一ブルを通じて試験用メイン装置に接続し、試験用メイン装置からの試験信号により被試験 I Cをテストする。なお、ハンドラ 1の一部に空間部分が設けられており (図 1 3の空間 Sを参照）、当該空間部分にテストへッド 5が交換自在に配置され、ハンドラ 1に形成された貫通孔を通して被試験 I Cをテストへッド 5上のソケット 5 0に接触されることが可能となっている。そして、被試験 I Cの品種が変更される際には、当該品種の被試験 I Cの形状、ピン数に適したソケット 5 0 を有するテストへッド 5に交換される。以下にハンドラ 1について詳述する。

I C格納部 2 0 0

I C格納部 2 0 0には、試験前の被試験 I Cを格納する試験前 I Cストッカ 2 0 1と、試験の結果に応じて分類された被試験 I Cを格納する試験済 I Cストツ力 2 0 2とが設けられている。

これらの試験前 I Cストツ力 2 0 1及ぴ試験済 I Cストツ力 2 0 2は、図 3に示すように、枠状のトレィ支持枠 2 0 3と、このトレィ支持枠 2 0 3の下部から侵入して上部に向かって昇降可能とするエレベータ 2 0 4とを具備して構成されている。トレイ支持枠 2 0 3には、カスタマトレィ K S Tが複数積み重ねられて支持され、この積み重ねられたカスタマトレイ K S Tのみがエレベータ 2 0 4によって上下に移動される。

そして、試験前 I Cストッカ 2 0 1には、これから試験が行われる被試験 I C が格納されたカスタマトレイ K S Tが積層されて保持される一方で、試験済み I Cストッカ 2 0 2には、試験済みの被試験 I Cが適宜に分類されたカスタマトレィ K S Tが層されて保持されている。

なお、これら試験前 I Cストッカ 2 0 1と試験済 I Cストッカ 2 0 2とは同じ構造とされているので、試験前 I Cストッカ 2 0 1と試験済 I Cストッカ 2 0 2 とのそれぞれの数を必要に応じて適宜数に設定することが出来る。

図 1及ぴ図 2に示す例では、試験前ストツ力 2 0 1に 2個のストツ力 S T K— Bを設け、またその隣にアンローダ部 4 0 0へ送られる〜ストッカ S T K— Eを 2個設けるとともに、試験済 I Cストッカ 2 0 2に 8個のストツ力 S T K— 1、 S T K— 2、 · · ·、 S T K— 8を設けて試験結果に応じて最大 8つの分類に仕分けして格納できるように構成されている。つまり、良品と不良品の別の外に、良品の中でも動作速度が高速のもの、中速のもの、低速のもの、或いは不良の中でも再試験が必要なもの等に仕分けされる。

ローダ部 3 0 0

上述したカスタマトレイ K S Tは、 I C格納部 2 0 0と装置基板 1 0 5との間に設けられたトレイ移送アーム 2 0 5によってローダ部 3 0 0の窓部 3 0 6に装置基板 1 0 5の下側から運ばれる。そして、このローダ部 3 0 0において、カスタマトレイ K S Tに積み込まれた被試験 I Cを X— Y搬送装置 3 0 4によって一且プリサイサ（preciser) 3 0 5に移送し、ここで被試験 I Cの相互の位置を修正した後、さらにこのプリサイサ 3 0 5に移送された被試験 I Cを再ぴ X— Y搬送装置 3 0 4を用いて、ローダ部 3 0 0に停止しているテストトレイ T S Tに積み替える。

カスタマトレィ K S Tからテストトレイ T S Tへ被試験 I Cを積み替える X— Y搬送装置 3 0 4としては、図 1に示すように、装置基板 1 0 5の上部に架設された 2本のレーノレ 3 0 1と、この 2本のレール 3 0 1によってテストトレイ T S Tとカスタマトレィ K S Tとの間を往復する（この方向を Y方向とする）ことが可能な可動アーム 3 0 2と、この可動アーム 3 0 2によって支持され、可動ァーム 3 0 2に沿って X方向に移動可能な可動へッド 3 0 3とを備えている。

この X— Y搬送装置 3◦ 4の可動ヘッド 3 0 3には、吸着ヘッド（不図示）が下向きに装着されており、この吸着へッドが空気を吸引しながら移動することで、カスタマトレィ K S Tから被試験 I Cを吸着し、その被試験 I Cをテストトレイ T S Tに積み替える。こうした吸着へッドは、可動へッド 3 0 3に対して例えば 8本程度装着されており、一度に 8個の被試験 I Cをテストトレイ T S Tに積み替えることが出来る。

図 5は本実施形態で用いられるテストトレイ T S Tの構造を示す分解斜視図である。このテストトレイ T S Tは、方形フレーム 1 2に複数の桟 1 3が平行且つ等間隔に設けられ、これら桟 1 3の両側及ぴ桟 1 3と対向するフレーム 1 2の辺 1 2 aに、それぞれ複数の取付片 1 4が等間隔に突出して形成されている。これら桟 1 3の間及ぴ桟 1 3と辺 1 2 aとの間と、 2つの取付片 1 4とによって、ィンサート収納部 1 5が構成されている。

各インサート収納部 1 5には、それぞれ 1個のインサート 1 6が収納されるようになつており、このインサート 1 6はファスナ 1 7を用いて 2つの取付片 1 4 にフローティング状態で取り付けられている。このために、インサート 1 6の両端部には、それぞれ取付片 1 4への取付用孔 2 1が形成されている。こうしたィンサート 1 6は、例えば 1つのテストトレイ T S Tに、 1 6 X 4個程度取り付けられている。なお、各ィンサート 1 6は、同一形状、同一寸法とされており、それぞれのィンサート 1 6に被試験 I Cが収納される。ィンサート 1 6の I C収納部 1 9は、収納する被試験 I Cの形状に応じて決められ、図 5に示す例では方形の凹部とされている。

なお、一般的なカスタマトレィ K S Tにあっては、被試験 I Cを保持するための凹部が、被試験 I Cの形状よりも比較的大きく形成されているので、カスタマトレイ K S Tに格納された状態における被試験 I Cの位置は、大きなバラツキを有している。従って、この状態で被試験 I Cを吸着ヘッドに吸着し、直接テストトレイ T S Tに運ぶと、テストトレイ T S Tに形成された I C収納凹部に正確に落とし込むことが困難となる。このため、本実施形態のハンドラ 1では、カスタマトレイ K S Tの設置位置とテストトレイ T S Tとの間にプリサイサ 3 0 5と呼ばれる I Cの位置修正手段が設けられている。このプリサイサ 3 0 5は、比較的深い凹部を有し、この凹部の周縁が傾斜面で囲まれた形状とされているので、この凹部に吸着へッドに吸着された被試験 I Cを落とし込むと、当該傾斜面で被試験 I Cの落下位置が修正されることとなる。これにより、 8個の被試験 I Cの相互の位置が正確に定まり、位置が修正された被試験 I Cを再ぴ吸着へッドで吸着してテストトレイ T S Tに積み替えることで、テストトレイ T S Tに形成された

I C収納凹部に精度良く被試験 I Cを積み替えることが出来る。

チャンパ部 1 0 0

上述したテストトレイ T S Tは、ローダ部 3 0 0で被試験 I Cが積み込まれた後、チャンパ部 1 0 0に送り込まれ、当該テストトレイ T S Tに搭載された状態で各被試験 I cがテストされる。

チャンバ部 1 0 0は、テストトレイ T S Tに積み込まれた被試験 I Cに目的とする高温又は低温の熱ストレスを印加する恒温槽（ソークチャンパ） 1 0 1と、この恒温槽 1 0 1で熱ストレスが印可された状態にある被試験 I Cをテストへッド 5に接触させる測定部（テストチャンバ） 1 0 2と、測定部 1◦ 2で試験された被試験 Iじから、印加された熱ストレスを除去する除熱槽（アンソークチヤンパ） 1 0 3とで構成されている。なお、除熱槽 1 0 3は、恒温槽 1 0 1や測定部 1 0 2と熱的に断絶することが好ましく、実際には恒温槽 1 0 1と測定部 1 0 2 W との領域に所定の熱ストレスが印加され、除熱槽 1 0 3はこれらとは熱的に断絶されているが、便宜的にこれらをチャンバ部 1 0 0と称する。

恒温槽 1 0 1には、図 2に概念的に示すように垂直搬送装置が設けられており、測定部 1 0 2が空くまでのあいだ、複数枚のテストトレイ T S Tがこの垂直搬送装置に支持されながら待機する。主として、この待機中において、被試験 I Cに高温又は低温の熱ストレスが印加される。

測定部 1 0 2には、その中央にテストヘッド 5が配置され、テストヘッド 5の上にテストトレイ T S Tが運ばれて、被試験 I Cの入出力端子をテストへッド 5 のコンタクトビン 5 1に電気的に接触させることによりテストが行われる。この構造等については後述する。

図 6に示すように、テストチャンバ 1 0 2を構成する密閉されたケーシング 8 0の内部には、温調用送風装置 9 0が装着されている。この温調用送風装置 9 0 は、ファン 9 2、加熱用ヒータ 9 4及ぴ液体窒素を噴射するノズル 9 6を有し、ファン 9 2によりケ一シング 8 0内部の空気を吸い込み、加熱用ヒータ 9 4又はノズル 9 6を介してケーシング 8 0の内部に温風又は冷風を吐き出すことで、ケ一シング 8 0の内部を、所定の温度条件（高温又は低温）にする。これにより、ケーシング 8 0内部を、例えば室温〜 1 6 0 °C程度の高温、又は例えば一 6 0 °C 〜室温程度の低温に維持することができるが、ケーシング 8 0の内部温度は、例えば温度センサ 8 2により検出され、ケーシング 8 0の内部が所定温度に維持されるように、ファン 9 2の風量及び加熱用ヒータ 9 4による熱量又はノズル 9 6 による吐出量などが制御される。

なお、温調用送風装置 9 0により発生した温風又は冷風は、図 6に示されるようにケ一シング 8 0の上部を Y軸方向に沿って流れ、温調用送風装置 9 0と反対側のケ一シング側壁に沿って下降し、マッチプレート 6 0とテストへッド 5との間の隙間を通して、温調用送風装置 9 0へと戻り、ケーシング内部を循環するようになっている。

一方、試験が終了したテストトレイ T S Tは、除熱槽 1 0 3で除熱されて試験済 I Cの温度を室温に戻した後、アンローダ部 4 0 0に搬出される。また、装置基板 1 0 5にテストトレイ搬送装置 1 0 8が設けられ、このテストトレイ搬送装置 1 0 8によって、除熱槽 1 0 3から排出されたテストトレイ T S Tは、アン口ーダ部 4 0 0及びローダ部 3 0 0を介して恒温槽 1 0 1へ返送される。

以下に、測定部 1 0 2で用いられるプッシャ 3 0、マッチプレート 6 0、 Z軸駆動装置 7 0について詳述する。

図 7は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置に用いられるプッシャ、マツチプレート、インサート、ソケットガイド及ぴコンタクトピンを有するソケットの構造を示す分解斜視図、図 8は図 7の断面図、図 9 (A) 、図 9 (B ) 及ぴ図 9 ( C) は本発明の実施形態に係るプッシャガイドの平面図及び側面図を示す図、図 1 0は図 9 ( C) のプッシャブロックを装着したプッシャの断面図、図 1 1は図 8のプッシャ、ソケットガイド及ぴコンタクトビンの位 ¾関係を示す断面図、図 1 2は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置に用いるマッチプレートの斜視図、図 1 3は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置へのマッチプレートの装着方法を説明するための斜視図、図 1 4は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置の測定部における Z軸駆動装置、マッチプレート、テストトレイ及びソケットを示す分解斜視図、図 1 5は、本発明の実施形態に係る電子部品試験装置のチャンバの測定部における Z軸駆動装置の一例を示す断面図である。

プッシャ 3 0は、テストヘッド 5の上側に設けられており、後述する Z軸駆動装置 7 0によって鉛直方向に上下移動して、被試験 I Cに適切な押圧力を印加する手段である。このプッシャ 3 0は、一度にテストされる被試験 I Cの間隔に応じて（上記テストトレイ T S Tにあっては 1列おきに 4行の計 3 2個）、後述するマッチプレート 6 0に取り付けられている。

図 7及び図 8に示すように、プッシャ 3 0は、 Z軸駆動装置 7 0の駆動プレート 7 2に形成された押圧部 7 4に押圧されて鉛直方向に上下移動するリ一ドプッシャベース 3 5及ぴプッシャベース 3 4と、プッシャブロック 3 1に弹' 14力を付与する 2つのスプリング 3 6、 3 8と、当該スプリング 3 6、 3 8を支持する口一ドベース 3 2と、固定用ボルト 3 3により当該ロードベース 3 2に着脱可能に取り付けられたプッシャブロック 3 1とからなる。

リードプッシャベース 3 5とプッシャベース 3 4とは、図 7及ぴ図 8に示されるように 2本のボルトによって固定されており、プッシャベース 3 4の両側には、後述するインサート 1 6のガイド孔 2 0及ぴソケットガイド 4 0のガイドブッシュ 4 1に揷入されるガイドピン 3 4 bが設けられている。また、プッシャベース 3 4には、当該プッシャベース 3 4が Z軸駆動手段 7 0にて下降した際に、下限を規制するためのストッパガイド 3 4 cが設けられており、このストッパガイド 3 4 cは、後述するソケットガイド 4 0のストッパ面 4 2に当接することで、被試験 I Cを破壊しない適切な圧力で押し付けるプッシャの下限位置の基準寸法が決定される。リードプッシャベース 3 5の上面の略中央部には、被試験 I Cの品種交換時にプッシャブロック 3 1のみを着脱して交換するための貫通孔 3 4 aが形成されている。また、プッシャベース 3 4の略中央部には、プッシャブロック 3 1をロードべ一ス 3 2に取り付けるための開口部 3 4 aが形成されており、当該開口部 3 4 aの上面側の形状は、ロードベース 3 2の最外周部の輪郭より若干大きな開口であり、当該開口部 3 4 aの下面側の形状は、ロードベース 3 2の最外周部の輪郭より小さく、且つプッシャブロック 3 1の最外周部の輪郭より若干大きく開口である。

なお、同図に示すように、プッシャブロック 3 1及び被試験 I Cをコンタクトピン 5 1に対して高精度で位置決めするために、各ソケット 5 0の上にソケットガイド 4 0が設けられており、テストトレイ T S Tにはインサート 1 6が具備されている。各ソケットガイド 4 0は、プッシャ 3 0が押圧された際にプッシャべース 3 4に具備されたガイドビン 3 4 bと嵌合する 2つのガイドブッシュ 4 1と、プッシャベース 3 4に具備されたストッパガイド 3 4 c と当接する 4つのストッパ面 4 2とが形成されている。また、各インサート 1 6には、プッシャ 3 0が押圧された際にプッシャベース 3 4に具備されたガイドビン 3 4が挿入される 2つのガイド孔が具備されている。そして、プッシャ 3 0が押圧された際には、プッシャベース 3 4に具備された 2本のガイドビン 3 4 bが、インサート 1 6に形成されたガイド孔 2 0にそれぞれ揷入すると共に、ガイドソケット 4 0に形成されたガイドブッシュ 4 1にそれぞれ嵌合することにより、プッシャブロック 3 1及ぴ被試験 I Cのコンタクトビン 5 1に対する高い位置決め精度を確保することが出来る。また、プッシャベース 3 4に形成されたストツパガイド 3 4 cが、インサート 1 6を貫通し、ソケットガイド 4 0に形成されたガイド面 4 2に当接することにより、プッシャの下限位置の基準寸法が決定され、被試験 I Cの破損等を防止する。

ロードベース 3 2は、固定用ボルト 3 3を貫通させるための貫通孔 3 2 aを中心に凸状の二段の円筒形状を有し、固定用ボルト 3 3の頭部側の一段目の円筒形状は、第 1リング 3 7の開口部の内径より小さな外径を有し、二段目の円筒形状 (以下、単に台座部ともいう。）は第 2リング 3 9の開口部の内径より大きな外径を有している。さらに、当該口一ドベース 3 2の台座部の下面には、プッシャブロック 3 1から突出する 5本のシャフト 3 1 a、 3 1 bが貫通する 5つの貫通孔が形成されている。

第 1リング 3 7は、底面にロードベース 3 2の一段目の外径より大きな開口部が形成された凹状の円筒形状であり、当該凹部で第 1スプリング 3 6を支持する。第 2リング 3 9は、その中心軸に沿って第 1リング 3 7が挿入可能な貫通孔が形成された凸状の円筒形状であり、当該凸部で第 2スプリング 3 8を支持する。そして、ロードベース ₃ 2の台座部が、第 1リング 3 7を支持すると共に、第 2リング 3 9を支持する。

従って、ロードベース 3 2、 2つのスプリング 3 6、 3 8、 2つのリング 3 7、 3 9の直径の関係は、 [ロードベース 3 2の一段目の外径] く [第 1リング 3 7 の開口部の内径] く [第 1スプリング 3 6の外径] く [第 1リング 3 7の凹部一段目の内径] < [第 1リング 3 7の外径] < [第 2リング 3 9の貫通孔の内径] く [第 2リング 3 9の凸部一段目の外径] < [第 2スプリング 3 8の内径] く [ロードべ—ス 3 2の二段目の外径] の関係が成り立ち、内側から口一ドベース 3 2、第 1スプリング 3 6、第 2スプリング 3 8の順で同軸状に配置される。図 9 (A) は、例えば 1 3 2ピンの被試験 I Cに適切な押圧力を印加するプッシャブロック 3 1を示し、上側の図は平面図を示し、下側の図は側面図を示す。また、図 9 ( C) は、図 9 (A) より少ない押圧力しか必要としない場合、例えば 5 6ピンの被試験 I Cに適切な押圧力を印加するプッシャブロック 3 1 ' ' を示し、図 9 ( B ) は、図 9 (A) と図 9 (C ) との間の押圧力を印加する事が可能なプッシャブロック 3 1，を示し、何れの図においても上側の図は平面図を示し、下側の図は側面図を示す。なお、図 9 (A) 、図 9 ( B ) 及び図 9 ( C) の上側の図における破線の円は、第 1リング 3 7及び第 2リング 3 9を示し、同図の下側の図における破線四角部は、ロードベースの台座部（凸形状の二段目）を示す。

図 9に示すように、プッシャブロック 3 1のベース部 3 1 cは、 2段階の四角柱形状の金属材料等からなり、その上面には 5本のシャフト 3 1 a、 3 1 bが鉛直上向きに突出するように取り付けられている。同図に示すように、 3本の第 1 シャフト 3 1 aは、当該第 1リング 3 7の中心軸を内側に位置する第 1スプリング 3 6に取り付けられた第 1リング 3 7の底面と重ねるように配置されており、 2本の第 2シャフト 3 1 bは、当該第 2リング 3 9の中心軸を外側に位置する第 2スプリング 3 8に取り付けられた第 2リング 3 9の底面に重ねるように配置されている。そして、ロードベース 3 2の台座部に形成された貫通孔を貫通する第 1シャフト 3 1 aには、第 1リング 3 7を介して、第 1スプリング 3 6の弾 '14力が伝達され、ロードベース 3 2の台座部に形成された貫通孔を貫通する第 2シャフト 3 1 bには、第 2リング 3 9を介して、第 1スプリング 3 8の弾性力が伝達され、これらの弾性力がプッシャブロック 3 1に付与される。

当該プッシャブロックのベース部 3 1 cの鉛直方向下段に位置する角柱形状は、上段の角柱形状より小さく、被試験 I Cを押圧するのに十分な外径を有しており、当該下段に位置する角柱形状の下面が被試験 I Cに接触してソケット 5 0に押圧することがよりテストが遂行される。また、ベース部 3 1 cの上面の略中央には、固定用ボルト 3 3により固定されるためのボルト固定孔が形成されている。

ここで、被試験 I Cのピンの数、長さ等の違いから、テスト時に被試験 Iじの品種毎に最適な押圧力が異なるため、当該プッシャプロック 3 1は、各品種の被試験 I Cに適したものが被試験 I Cの品種毎に用意される。図 9 (A) に示す例えば 1 3 2ピン仕様の被試験 I C用のプッシャプロック 3 1は、相対的に強い押圧力を必要とするため、第 1シャフト 3 1 aの長さ L a及ぴ第 2シャフト 3 1 b の長さ L bをロードベース 3 2の台座部を十分に貫通する長さとなっている。これにより第 1スプリング 3 6及び第 2スプリング 3 8の弾性力をプッシャブロック 3 1に伝達可能となっている。

これに対して、図 9 ( B ) は、図 9 (A) の場合より弱い押圧力を印加することが可能なプッシャブロック 3 1 ' を示しており、 'いずれのシャフト 3 1 a、 3 1 bもロードベース部 3 2の台座部を十分に貫通する長さを有している。しかし、図 9 (A) の場合と比較して、シャフト 3 1 a、 3 1 IDの長さは相対的に短くなつており（L a > L a，、 L b > L b ' ) 、当該シャフト 3 1 a、 3 1 bの押圧によるスプリング 3 6、 3 8の収縮量が少なくなるため、プッシャブロック 3 1 に得られる押圧力も減少する。

さらに、図 9 ( C ) に示す例えば 5 6ピン仕様の被試験 I C用のプッシャブロック 3 1， ' はさらに弱い押圧力でテストが遂行されるため、第 1シャフト 3 1 aの長さ L a ' ' はロードベース 3 2の台座部を十分に貫通する長さとなっているが（L a， > L a ' ' ) 、第 2シャフト 3 1 bの長さ L b， ' は口一ドベース 3 2の台座部を貫通しない長さとしており（L b ' > L b ' ' ) 、これにより、第 1スプリング 3 6の弾性カはプッシャプロック 3 1に伝達される力 S、第 2スプリング 3 8の弾性力は伝達されない。ちなみに、図 1 0に、当該プッシャブロック 3 1，，が装着されたプッシャ 3 0の断面図を示す。

以上のように、プッシャに 2つのスプリングを具備させることにより、一つのプッシャから幅広い押圧力を得ることが可能となる。また、プッシャからプッシャプロックのみを交換可能とすることにより、品種に対応したプッシャブ口ックを交換するのみで、被試験 I Cの品種変更に伴う被試験 I Cの形状、ピンの数及び長さ等に起因する押圧力に対応することが可能となる。なお、プッシャの大きさが許容するならば 3個以上のスプリングを具備させても良く、これにより、被試験 I Cに印加する押圧力の調整可能範囲をさらに広げることが可能となる。さらに、プッシャプロックのシャフトの長さを変化させることにより、 2つのスプリングから得られる弾性力を調整することが可能となり、被試験 I Cに必要な押圧力に適切に対応することが可能となる。また、いずれかのシャフトを対応するスプリングに接触させないで、当該スプリングからの弾性力をプッシャブロックに付与しないことにより、品種毎の被試験 I Cに対応した押圧力をさらに適切に調整することも可能となる。

また、被試験 I Cの品種変更に伴って、当該品種変更時に被試験 I Cの厚さも変わる場合がある。この様な場合には、図 9 (A) 及ぴ図 9 ( B ) に示すように、ベ一ス部 3 1 cの長さ L cを変化させて、被試験 I Cの厚さに対応させることも可能である。

以上のように構成されるプッシャ 3 0は、第 1スプリング 3 6を取り付けた第 1 リング 3 7力第 2スプリング 3 8を取り付けた第 2 リング 3 9の開口部に挿入され、さらに、固定用ボルト 3 3を挿入したロードベース 3 2の一段目の円筒が第 1リング 3 7の開口部に挿入される。そして、ロードベース 3 2、第 1リング 3 7、第 2リング 3 9の各底面が、プッシャベース 3 4の開口部 3 4 aに挿入され、その上方からリードプッシャベース 3 5を被せて、リードプッシャベース 3 5とプッシャベース 3 4とが 2本のボルトにより固定される。さらに、プッシャべ一ス 3 4の開口部 3 4 aを介して、ロードベース 3 2の底面に形成された貫通孔に、プッシャブロック 3 1の 5本のシャフトをそれぞれ挿入して、リードプッシャベース ₃ 5の開口部 3 5 aよりレンチ等で固定用ボルト 3 3を締め付けてプッシャブロック 3 1を固定することにより、当該プッシャ 3 0が組み立てられる。

被試験 I Cの品種交換時にプッシャプロック 3 1を交換する際は、リードプッシャベース 3 5に形成された開口部 3 5 aを介して、レンチ等により固定用ボノレト 3 3を緩めて外すことにより、プッシャブロック 3 1のみがプッシャ 3 0から脱着される。そして、品種変更後の被試験 I Cに適した他のプッシャブロック 3 1を、プッシャベース 3 4の開口部 3 4 aを介して、口一ドベース 3 2の底面の貫通孔に、シャフト 3 1 a、 3 l bを挿入し、リードプッシャベース 3 5の開口部 3 5 aを介して、レンチ等で固定用ボルト 3 3を締め付けることにより、容易にプッシャブロック 3 1を交換することが出来、プッシャ 3 0の交換時間を著しく短縮することが可能となる。

図 1 2に示すように、当該プッシャ 3 0は、被試験 I Cの品種変更時に交換が容易になるように、 8列 X 4列の 3 2個のプッシャ 3 0がマッチプレート 6 0に取り付けられている。当該マッチプレート 6 0は、略矩形の平板形状を有しており、プッシャ 3 0のリードプッシャベース 3 5を挿入するための装着孔 6 6が、テストへッド 5上に配置されるソケット 5 0と実質的に同一の配列及ぴ個数で形成されている。当該プッシャ 3 0のマッチプレート 6 0への取り付けは、まず、マッチプレート 6 0に等間隔に形成された装着孔 6 6に上方からリ一ドプッシャベース 3 5を取り付ける。この際、リードプッシャベース 3 5の装着孔 6 6と接触する面にはテーパが形成されており、また、装着孔 6 6の開口側壁にも対応するテーパが形成されているため、マッチプレート 6 0にリードプッシャベース 3 5が支持される。次に、プッシャベース 3 4に、第 1スプリング 3 6及び第 1リング 3 7と、第 2スプリング 3 8及ぴ第 2リング 3 9と、固定用ボルト 3 3及ぴロードべ一ス 3 2とを装着して、リードプッシャベース 3 5の両側で当該プッシャベース 3 4 とボルトにより固定してマッチプレートに装着される。なお、図 1 2には、スプリング 3 6、 3 8、リング 3 7、 3 9、固定用ボノレト 3 3及ぴロードベース 3 2 は図示していない。

さらに、プッシャ 3 0が装着されたマッチプレート 6 0は、テストヘッド 5の上部に位置するように、且つプッシャ 3 0とソケット 5 0との間にテストトレイ T S Tが搬入可能となるように装着されている。具体的には、図 1 3に示すように、駆動プレ一ト 7 2に垂下して固定されたレール Rに差し込まれることでセットされ、この着 ^操作は、測定部 1 0 2のチャンパに設けられたドア Dを開いて行われる。なお、図 1 1はハンドラ 1を背面から見た図である。被試験 I Cの品種変更時には、ドア Dを開いてレール Rからマッチプレート 6 0を引き抜き、プッシャ 3 0を取り外すことなく、当該マツチプレート 6 0の各プッシャ 3 0のプッシャブロック 3 1のみを上述の要領で品種に対応したものに交換し、再度レール Rにマッチプレ一ト 6 0を挿入することにより品種交換のプッシャの段取りが完了する。

チャンバ部 1 0 0の測定部 1 0 2は以下のように構成されている。

図 1 4に示すように、テストヘッド 5の上面には、ソケット 5 0が、同図に示すテストトレイ T S T (図 1 4において Y軸方向に 4列、 X軸方向に 1 6列）に対して、例えば Y軸方向に 4列、 X軸方向には 1つおきに 8列というふうに、被試験 I Cに対応した数（合計 3 2個）で配置されている。なお、一つ一つのソケット 5 0の大きさを小さくすることができれば、テストトレイ T S Tに保持されている全ての被試験 I Cを同時にテストができるように、テストへッド 5の上に、 4列（Y軸方向） X I 6列（X軸方向）のソケット 5 0を配置しても良い。各ソケット 5 0は、複数のコンタクトビン 5 1を有し、このコンタクトピン 5 1は、スプリングなどによって上方向にバネ付勢されている。従って、被試験 I Cを押し付けても、コンタクトピン 5 1がソケット 5 0の上面まで後退する一方で、被試験 I Cの全ての端子にコンタクトビン 5 1が接触できるようになつている。また、各ソケット 5 0の上には、プッシャ 3 0及ぴインサート 1 6の高精度名位置決めを確保するためにそれぞれソケットガイド 4 0が設けられている。ソケット 5 0が設けられたテストへッド 5の上には、例えばべノレト式コンベア等の搬送機構 1 5 0によってテストトレイ T S Tが搬送されるが、一度にテストされる被試験 I Cの間隔に応じた数（上記テストトレイ T S Tにあっては、 X軸方向に対しては一列置きに合計 8列の計 3 2個）のインサート 1 6が、対応するソケット 5 0の上に位置するようになっている。

さらに、当該テストトレイ T S Tの上に、 3 2個のソケット 5 0の上方に各プッシャ 3 0が位置するように、プッシャ 3 0が装着された上述のマッチプレート 6 0が酉 S置される。そして、テスト時にマッチプレート 6 0に装着された各プッシャ 3 0が押圧されると、当該各プッシャ 3 0のプッシャベース 3 4に具備されたガイドビン 3 4 b力各プッシャ 3 0の鉛直下方向に位置するィンサ一ト 1 6 のガイド孔 2 0に挿入され、当該各インサート 1 6の鉛直下方向に位置するソケットガイド 4 0に形成されたガイドブッシュ 4 1に嵌合して、テストトレイ T S Tに保持された 3 2個の被試験 I Cが、対応するソケット 5 0のコンタクトビン 5 1に対して、高精度で位置決めされてテストが遂行される。

テストトレイ T S Tが搬送される測定部 1 0 2のケーシング 8 0の上部には、 Z軸駆動装置 7 0が設けられている。なお、ケーシング 8 0の内壁には、断熱材 8 4が装着されている。図 1 5に示すように、二対の駆動軸 7 8は、ケーシング 8 0を貫通して、ケーシング 8 0の上方に伸ぴており、その上端は、上部プレ一ト 1 1 0に連結されている。ケーシング 8 0の上部には、一対の軸受け 1 1 2が固定されており、これら軸受け 1 1 2により、駆動軸 7 8の Z軸方向移動が許容されている。

上部プレート 1 1 0の略中央部には、ボールネジアダプタ 1 1 4が固定されている。このアダプタ 1 1 4には、雌ネジが形成されており、その雌ネジが主駆動軸 1 1 6の雄ネジに螺合するようになつている。主駆動軸 1 1 6の下端は、ケーシング 8 0の内部に埋め込まれた回転軸受け 1 1 8により回転自在に保持されており、その上端部は、支持フレーム 1 3 0に装着された回転軸受け 1 2 0により回転自在に保持されている。

支持フレーム 1 3 0は、支持口ッド 1 3 2によりケ一シング 8 0の上部に装着されている。主駆動軸 1 1 6の上端は、支持フレーム 1 3 0から上部に飛び出し、その部分に第 1プーリ 1 2 2が固定されている。また、この第 1プーリ 1 2 2に対して、所定距離離れて第 2プーリ 1 2 6が支持フレーム 1 3 0の上部に配置されており、これらは動力伝達ベルト 1 2 4により連結されている。

第 2プーリ 1 2 6の回転軸は、ギアボックス 1 2 8に連結されており、ギアボックス 1 2 8はステップモータ 1 3 4の回転軸に連結され、ステップモータ 1 3 4の回転軸が回転することにより、第 2プーリ 1 2 6が回転するようになっている。第 2プーリ 1 2 6が回転駆動されると、その回転力は、ベルト 1 2 4を介して第 1プーリ 1 2 2へと伝達され、第 1プーリ 1 2 2が回転する。そして、第 1 プーリ 1 2 2が回転すると、主駆動軸 1 1 6も回転し、その結果、アダプタ 1 1 4が駆動軸 1 1 6の回転運動を直線運動に変換し、上部プレート 1 1 0を Z軸方向に沿って移動させる。上部プレート 1 1 0が移動すると、その駆動力は、駆動軸 7 8を介して駆動プレート 7 2へと伝達し、駆動プレート 7 2を Z軸方向に沿つて移動させる。

そして、この駆動プレート 7 2の Z軸方向に沿った移動により、プッシャ 3 0 のリードプッシャベース 3 5が押圧され、スプリング 3 6、 3 8が収縮してプッシャブロック 3 1が被試験 I Cに適切な押圧力を印加する。

なお、同図に示すように、モータ 1 3 4には、センサとしてェンコ一ダ 1 3 6 が内蔵又は別個に装着されており、モータ 1 3 4の回転軸の回転量を計測可能になっている。そして、このエンコーダ 1 3 6からの出力信号は、モータ制御装置 1 4 0へ送出され、モータ制御装置 1 4 0は、モータ 1 3 4の駆動を制御するようになっている。

駆動プレート 7 2の下面には、上述のマッチプレート 6 0に表出したリードプッシャベース 3 5に対応する数の押圧部 7 4が固定（又は微動押圧可能）されており、マッチプレート 6 0に保持されたリードプッシャベース 3 5の上面を押圧するようになつている。なお、便宜的に図 6の駆動プレート 7 2には 4列の押圧部 7 4が示され、駆動軸 7 8の数も一本であるが、実際には、図 1 4及ぴ図 1 5 に示すように、押圧部 7 4が Y軸方向に 4列、 X軸方向に 8列配置され、駆動軸 7 8の数も 2本とされている。但し、これらの数は特に限定されない。

マッチプレート 6 0には、ソケット 5 0の数に対応して、複数（本例では 4列 X 8列 = 3 2個）のリードプッシャベース 3 5が微動可動に保持されており、このリードプッシャベ一ス 3 5の下端にプッシャ 3 0がそれぞれ固定されている。従って、プッシャ 3 0は、テストヘッド 5又は Z軸駆動装置 7 0の駆動プレート 7 2に対して、 Z軸方向に僅かに移動可能とされている。

なお、図 6において、テストトレイ T S Tは、紙面に垂直方向（X軸）から、プッシャ 3 0とソケット 5 0との間に搬送されてくる。テストトレイ T S Tの搬送移動に際しては、 Z軸駆動装置 7 0の駆動プレート 7 2は、 Z軸方向に沿って上昇しており、プッシャ 3 0とソケット 5 0との間には、テストトレイ T S Tが搬入される十分な隙間が確保されている。

テストへッド 5に対して一度に接続される被試験 I Cは、図 1 4に示すように 4行 X 1 6列に配列された 6 4個の被試験 I Cであれば、例えば、 1列おきに 8 列の被試験 I Cが同時に試験される。つまり、一回目の試験では、 1列目から 1 列おきに配置された 3 2個の被試験 I Cをテストへッド 1 0 4のコンタクトビン 5 1に接続して試験し、 2回目の試験では、テストトレイ T S Tを 1列分移動させて 2列目から 1列おきに配置された被試験 I Cを同様に試験することで全ての被試験 I Cを試験する。この試験の結果は、テストトレイ T S Tに付された例えば識別番号と、テストトレイ T S Tの内部で割り当てられた被試験 I Cの番号で決まるァドレスに記'慮される。

アンローダ部 4 0 0

アンローダ部 4 0 0にも、ローダ部 3 0 0に設けられた X— Y搬送装置 3 0 4 と同一構造の X— Y搬送装置 4 0 4、 4 0 4が設けられ、この X— Y搬送装置 4 0 4、 4 0 4によって、アンローダ部 4 0 0に運び出されたテストトレイ T S T から試験済の I Cがカスタマトレイ K S Tに積み替えられる。

図 1に示されるように、アンローダ部 4 0 0の装置基板 1 0 5には、当該アンローダ部 4 0 0へ運び込まれたカスタマトレイ K S Tが装置基板 1 0 5の上面に臨むように配置される一対の窓部 4 0 6 , 4 0 6が二対開設されている。

また、図示は省略するが、それぞれの窓部 4 0 6の下側には、カスタマトレィ K S Tを昇降させるための昇降テーブルが設けられており、ここでは試験済みの被試験 I Cが積み替えられて満載となったカスタマトレ K S Tを載せて下降し、この満載トレィをトレイ移送アーム 2 0 5に受け渡す。

因みに、本実施形態の電子部品試験装置 1では、仕分け可能な力テゴリ一の最大が 8種類であるものの、アンローダ部 4 0 0の窓部 4 0 6には最大 4枚のカスタマトレィ K S Tしか配置することが出来ない。従って、リアルタイムに仕分け出来るカテゴリは 4分類に制限される。一般的には、良品を高速応答素子、中速応答素子、低速応答素子の 3つのカテゴリーに分類し、これに不良品を加えて 4 つのカテゴリーで充分ではあるが、例えば再試験を必要とするもの等のように、これらのカテゴリーに属さないカテゴリーが生じることもある。

このように、アンローダ部 4 0 0の窓部 4 0 6に配置された 4つのカスタマトレイ K S Tに割り当てられたカテゴリ一以外のカテゴリーに分類される被試験 I Cが発生した場合には、アンローダ部 4 0 0から 1枚のカスタマトレイ K S Tを I C格納部 2 0 0に戻し、 'これに代えて新たに発生したカテゴリーの被試験 I C を格納十べきカスタマトレイ K S Tをアンローダ部 4 0 0に転送し、その被試験 I Cを格納すれば良い。但し、仕分け作業の途中でカスタマトレィ K S Tの入れ替えを行うと、その間は仕分け作業を中断しなければならず、スループットが低下するといつた問題がある。このため、本実施形態の電子部品試験装置 1ではァンローダ部 4 0 0のテストトレイ T S Tとまで窓部 4 0 6との間にッファ部 4 0 5を設け、このバッファ部 4 0 5に稀にしか発生しないカテゴリーの被試験 I Cを一時的に預かるようにしている。

たとえば、バッファ部 4 0 5に 2 0 〜 3 0個程度の被試験 I Cが格納できる容量を持たせると共に、バッファ部 4 0 5の各 I C格納位置に格納された I Cの力テゴリーをそれぞれ記憶するメモリを設けて、バッファ部 4 0 5に一時的に預かつた被試験 I Cのカテゴリーと位置とを各被試験 I C毎に記憶しておく。そして、仕分け作業の合間又はバッファ部 4 0 5が満杯になった時点で、バッファ部 4 0 5に預かっている被試験 I Cが属するカテゴリーのカスタマトレイ K S Tを I C 格納部 2 0 0から呼び出し、そのカスタマトレィ K S Tに収納する。このとき、バッファ部 4 0 5に一時的に預けられる被試験 I Cは複数のカテゴリにわたる場合もあるが、こうしたときは、カスタマトレィ K S Tを呼び出す際に一度に複数のカスタマトレイ K S Tをアンローダ部 4 0 0の窓部 4 0 6に呼び出せば良い。次に作用について説明する。

チャンパ部 1 0 0内のテスト工程において、被試験 I Cは、図 5に示すテストトレイ T S Tに搭載された状態、より詳細には個々の被試験 I Cは、同図のインサート 1 6の I C収納部 1 9に落とし込まれた状態でテストへッド 5の上部に搬送されてくる。

テストトレイ T S Tがテストへッド 5において停止すると、 Z軸駆動装置 7 0 が作動を始め、図 7及ぴ図 8に示す一^ 3のプッシャ 3 0がーつのインサート 1 6 に対して下降してくる。そして、プッシャベース 3 4の下面に形成された 2本のガイドピン 3 4 b、 3 4 は、ィンサート 1 6のガイド孔 2 0、 2 0をそれぞれ貫通し、さらにソケットガイド 4 0のガイドブッシュ 4 1、 4 1に嵌合する。この状態を図 8に示すが、テストへッド 5に固定されたソケット 5 0及ぴソケットガイド 4 0に対して、インサート 1 6及ぴプッシャ 3 0はある程度の位置誤差を有しているが、プッシャベース 3 4のガイドピン 3 2が、インサート 1 6のガイド孔 2 0との位置決めが行われ、さらに、ィンサート 1 6のガイド孔 2 0に挿入されたプッシャベース 3 4のガイドビン 3 4 bは、ソケット 5 0に取り付けられたソケットガイド 4 0のガイドブッシュ 4 1に嵌合し、その結果、プッシャ 3 0に装着されたプッシャブロック 3 1は、 X— Y方向について適切な位置で被試験 I Cを押し付けることが出来る。

これに対して、 Z軸方向については、プッシャベース 3 4に形成されたストツパガイド 3 4 cと、ソケットガイド 4 0のストツパ面 4 2とがそれぞれ当接したときの被試験 I Cに作用する荷重が問題となり、この荷重が大きすぎると被試験 I Cの破損につながり、小さ過ぎるとテスト不能となる。従って、図 1 1に示すように、プッシャべ一ス 3 4のストッハ。ガイド 3 4 cとプッシャブ口ック 3 1との Z軸方向の距離 b、コンタクトピン 5 1とソケットガイド 4 0のストッパ面 4 2との Z軸方向の距離 cを精度良く作り込む必要があるが、これにも限度があり、しかも被試験 I C自体の厚さ aも大きく影饗する。

し力しながら、本実施形態の電子部品試験装置は、プッシャブロック 3 1による荷重を管理することで被試験 I Cに対する押圧力を均一化するものであり、これらの基準寸法 a、 b、 cに誤差 A a、 Δ A cが生じた場合でも、プッシャブロック 3 1がスプリング 3 6、 3 8からの作用により被試験 I Cに対して弾性力を付与しながら誤差を吸収する。従って、被試験 I Cに過度の押圧力が印加したり、逆に、押圧力不足となることを防止することが出来る。

さらに、被試験 I Cの品種によって、当該被試験 I Cの形状、端子数、端子形状等は多様であり、被試験 I Cの品種交換時には、品種交換後の被試験 I Cの形状、端子数、端子形状等に適切なプッシャ 3 0に変更する必要がある。

本発明の実施形態における電子部品試験装置に具備されたプッシャ 3 0には 2 つのスプリング 3 6、 3 8が具備されており、プッシャプロック 3 1の上面から突出するシャフト 3 1 a、 3 1 bの長さ L a、 L bを変えることにより、当該スプリング 3 6、 3 8の弾性力を可変させることが出来る。従って、プッシャプロック 3 1を除くプッシャ 3 0の構成部品が取り付けられた一つのマッチプレート 6 0に対して、被試験 I Cに適切な押圧力を印加することが可能な長さのシャフト 3 1 a、 3 1 bを有するプッシャブロック 3 1を各品種毎に用意しておき、被試験 I Cの品種交換時に、プッシャブロック 3 1のみを当該品種交換後の被試験 I Cに対応したプッシャブロック 3 1に交換することで、被試験 I Cの品種交換時の容易な段取りが可能となる。なお、当該プッシャブロック 3 1の交換は、リ一ドプッシャブ口ック 3 5の開口部 3 5 aを介して、レンチ等で容易に交換することが可能である。

従って、マッチプレートから全てのプッシャを一旦取り外し、各プッシャを分解して、スプリングを品種交換後の被試験 I Cに適切な押圧力で印加可能な弾性力を有するものに交換し、再度プッシャを組み立ててマッチプレートに装着する場合と比較して、本発明の実施形態におけるプッシャブロック 3 1のみを交換する方法により被試験 I cの品種交換時における交換時間を大幅に低減することが可能となる。

また、本発明の実施形態に係る電子部品試験装置のプッシャ 30は、プッシャプロック 31のべ一ス部 31 cの長さ L cを、被試験 I Cの厚さに対応させて設定することが出来る。これにより、被試験 I Cの厚さに対して適切なストローク管理を行うことも可能となり、品種交換前後において被試験 I Cの厚さが異なる場合でも、プッシャプロック 31を交換するだけで対応することが可能となる。なお、被試験 I Cのパッケージの上部表面の形状が品種交換前後において異なる場合でも、プッシャプロック 31のベース部 31 cの下面の形状で対応することが可能である。

これを代表的な実施例にて詳細に説明すると、実施例 1として、端子数 132 本で適切な押圧力が単位端子当たり 25 g ίである被試験 I Cに対して、 2つの図 8に示すようなプッシャ 30のサンプルを作製した。当該プッシャ 30のサンプルはいずれも、弾性係数 250 g f Zmm、長さ 19 mmの第 1スプリング 3 6と、弾性係数 200 g f /mm, 長さ 16. 5 mmの第 2スプリング 38とを用いて作製した。なお、作製後の第 1スプリングの基準長は 15 mmであり、第 2スプリング 38の基準長は 14. 4mmである。

また、プッシャブロック 31は、図 9 (A) に示すような形状で、テスト時にスプリング 36、 38が 0. 2 mm縮んだ状態で最適な押圧力を被試験 I Cに印加するように、第 1シャフト 31 aの長さ L aを 7mm、第 2シャフト 31 の長さ Lbを 4. 7mm、ベース部 31 cの長さ L cを 7mmで作製した。なお、口—ドベース ₃2の台座部の厚さは 2 mmである。当該プッシャプロック 31をプッシャ 30に装着すると、第 1スプリング 36はさらに 5mm、第 2スプリング 38はさらに 2. 7mm縮み、第 1スプリング 36により（19mm— 10m m) X 250 g f /mm= 2250 g f /mm、第 2スプリング 38により（ 1 6. 5- 1 1. 7 mm) X 200 g f /mm= 960 g f の押圧力が得られ、結果として、プッシャプロック 31の先端において、理論上、合計 3210 g f の押圧力が得られる。

そして、テスト時にはストローク 0. 2mm縮んだ状態で、第 1スプリング 3 6により（1 9 mm— 9. 8 mm) X 250 g f / m= 2 300 g f 、第 2スプリング 38により（1 6. 5- 1 1. 5 mm) X 20 0 g f / = 1 00 0 g f の押圧力が得られ、結果として、プッシャブロック 3 1により被試験 Iじに対して理論上、計 3300 g ίの適切な押圧力が発揮される。

このプッシャ 30の 2つのサンプルについて、押圧力の測定を行ったところ、図 1 6に示すように、ストローク 0. 2 mmにおいて、設計値である 3300 g f (= [端子数 1 32] X [単位端子当たり 2 5 g f ] ) に対して、サンプル 1 は約 3240 g f 、サンプル 2も約 3240 g f の荷重が得られていることが確認され、被試験 I Cに対して適切な押圧力を印加することが可能であることが明らかとなつた。なお、これらの測定値は、設計値に対して 6 0 g ί程度低い荷重となっているが、端子 1本当たりの荷重に換算すると約 0. 4 5 g ίとなり、必要とする荷重 25 g f に対して小さな値であるので、十分に許容される範囲と考えられる。

また、実施例 2として、端子数 5 6本で適切な押圧力が単位端子当たり 25 _g f である被試験 I Cに対して、 2つの図 1 0に示すようなプッシャ 30のサンプルを作製した。当該プッシャ 30のサンプルはいずれも、実施例 1と同様に、弹性係数 250 g f /mm, 長さ 1 9 mmの第 1スプリング 36と、弾性係数 20 0 g f /mm, 長さ 1 6. 5 mmの第 2スプリング 38とを用いて作製し、作製後の第 1スプリングの基準長は 1 5mm、第 2スプリング 38の基準長は 1 4. 4 mmとした。

また、プッシャブロック 3 1は、図 9 (C) に示すような形状で、テスト時にスプリング 3 6、 38が 0. 2 mm縮んだ状態で最適な押圧力を被試験 I Cに印加するように、第 1シャフト 3 1 aの長さ L a，，を 3. 2 mm, 第 2シャフト 3 1 bの長さ L b ' ' を 2 mm、ベース部 3 1 cの長さ L c， ' を 7 mmで作製した。当該プッシャブロック 3 1をプッシャ 30に装着すると、第 1スプリング 3 6はさらに 1. 2 mm縮んで 1 3. 8 mmとなるのに対し、第 2シャフト 3 1 bがロードベース 32の台座部を貫通する長さを有しないため、第 2スプリング 38に接触せず、第 2スプリング 38には縮みは生じない。従って、第 2スプリング 38による弾 1"生力は発生せず、第 1スプリング 36のみの弾性力によりプッシャブロック 3 1の先端において、理論上（1 9 mm— 1 3 . 8 mm) X 2 5 0 g f /mm= 1 3 0 0 g f Zmmの押圧力が得られる。

そして、テスト時にはストローク 0 . 2 mm縮んだ状態で、第 1スプリング 3 6によりプッシャブロック 3 1の先端において、理論上（1 9 mm— 1 3 . 6 m m) X 2 5 0 g f /mm = 1 3 5 0 g f の押圧力が得られる。

このプッシャ 3 0の 2つのサンプルについて、押圧力の測定を行ったところ、図 1 7に示すように、ストローク 0 . 2 mmにおいて、設計値である 1 3 5 0 g f ( = [端子数 5 4 ] X [単位端子当たり 2 5 g ί ] ) に対して、サンプル 1は約 1 3 4 0 g f 、サンプル 2は約 1 3 4 5 g f の荷重が得られていることが確認され、被試験 I Cに対して適切な押圧力を印加することが可能であることが明らかとなつた。

また、上記の実施例 1及ぴ実施例 2に用いられるプッシャプロック 3 1以外のプッシャ 3 0の各構成要素は同一形状のものを使用しているため、プッシャブロック 3 1のみを交換することにより、被試験 I Cの品種交換時のプッシャ 3 0の段取りを容易に対応するすることが可能となることも明白である。

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

Claims

請求の範囲

1 . 被試験電子部品の入出力端子をテストへッドのソケットへ押し付けてテストを行う電子部品試験装置であって、

前記ソケットに対して接近離反移動可能に設けられたプッシャベースと、前記プッシャベースに固定されたリードプッシャベースと、

前記プッシャベースに対して移動可能に設けられ、前記テスト時において前記ソケットの反対面から前記被試験電子部品に接触して前記ソケットへ押圧するプッシャブロックと、

前記リードプッシャベースと前記プッシャブロックとの間に設けられ、前記被試験電子部品の押圧方向の弾性力を有する 2以上の弾性手段と、を少なくとも有するプッシャを備え、

前記テスト時において、前記プッシャブロックに、前記 2以上の弾性手段のうち少なくとも一つの弹性手段から弾性力が作用する電子部品試験装置。

2 . 前記プッシャブロックは前記プッシャに着脱可能に設けられている請求項 1記載の電子部品試験装置。

3 . 前記プッシャは、前記プッシャブロックが取り付けられるロードベースをらに有し、

前記ロードベース及び前記弾性手段が、前記リ一ドプッ、ンャベースと前記プッシャベースとの間に挟まれており、

前記プッシャブロックの一部が、前記ロードべ一スを貫通して、少なくとも一つの前記弾性手段に接触し、

前記プッシャブロックが、前記プッシャベースに形成された開口部を介して、前記ロードベースに着脱可能に取り付けられた請求項 2記載の電子部品試験装置。

4 . 前記プッシャの前記各弾性手段は、互いに直径が異なるスプリングを有し、前記スプリングが前記ロードベースを中心に同軸状に配置された請求項 3記載の電子部品試験装置。

5 . 前記プッシャの前記 2以上の弾性手段が、互いに異なる弾性力を有する弾性手段を含む請求項 1〜 4の何れかに記載の電子部品試験装置。

6 . 前記プッシャの前記 2以上の弾性手段が、互いに異なる弾性係数を有する弾性手段を含む請求項 5記載の電子部品試験装置。

7 . 前記プッシャの前記 2以上の弾性手段が、互いに異なる基本長を有する弾性手段を含む請求項 5又は 6記載の電子部品試験装置。

8 . 前記プッシャブロックは、上面から直角に突出する 2以上のシャフトを有し、

前記 2以上のシャフトは、

前記一のシャフトが、前記一のシャフトの中心軸を前記プッシャの前記 2以上の弾性手段のうちの一の弾性手段の底面に重ねるように配置され、

前記他のシャフトが、前記他のシャフトの中心軸を前記プッシャの前記 2以上の弾性手段のうちの他の弾性手段の底面に重ねるように配置されたシャフトを含む請求項 1〜 7の何れかに記載の電子部品試験装置。 .

9 . 前記プッシャブロックは、前記 2以上のシャフトのそれぞれの長さが異なる複数種のプッシャプロックを含む請求項 8記載の電子部品試験装置。

1 0 . 前記プッシャブロックは、前記シャフト以外の部分の鉛直方向の長さが異なる複数種のプッシャブロックを含む請求項 8又は 9記載の電子部品試験装置。

1 1 . 前記プッシャプロックの前記 2以上のシャフトは、

前記一のシャフトが、前記プッシャの前記一の弾性手段に接触する長さを有し、前記一の弾性手段の弾性力が前記一のシャフトを介して前記プッシャプロックに付与され、

前記他のシャフトが、前記プッシャの前記他の弾性手段に接触する長さを有し、前記他の弾性手段の弾性力が前記他のシャフトを介して前記プッシャブロックに付与されるシャフトを含む請求項 8〜1 0の何れかに記載の電子部品試験装置。

1 2 . 前記プッシャブロックの前記 2以上のシャフトは、

前記一のシャフトが、前記プッシャの前記一の弾性手段に接触する長さを有し、前記一の弹性手段の弾性力が前記一のシャフトを介して前記プッシャブロックに付与され、

前記他のシャフトが、前記プッシャの前記他の弾性手段に接触しない長さを有し、前記他の弾性手段の弾性力は前記プッシャプロックに付与されないシャフトを含む請求項 8〜 1 0の何れかに記載の電子部品試験装置。

1 3 . 前記プッシャの前記リードプッシャベースが開口部を有し、

前記プッシャプロック力前記口一ドベースを貫通して取り付けられた固定手段により、前記ロードベースに着脱可能に固定され、

前記リードプッシャベースの開口部を介して、前記固定手段が固定 Z解除されることにより、前記プッシャプロックの取り付けノ取り外しが行われる請求項 3 ~ 1 2の何れかに記載の電子部品試験装置。

1 4 . 前記固定手段が、ボルトを有する請求項 1 3記載の電子部品試験装置。

1 5 . 前記被試験電子部品は、トレイに搭載された状態で前記ソケットへ押し付けられる請求項 1〜 1 4の何れかに記載の電子部品試験装置。

1 6 . トレイに搭載された複数の被試験電子部品が電気的に接触する複数のソケットと、電子部品試験装置側に設けられ前記被試験電子部品を前記ソケットへ押し付ける Z軸駆動手段と共に動作するフレーム部材に着脱可能に設けられたマツチプレートであって、

前記プッシャベースに対して移動可能に設けられ、前記テスト時において前記ソケットの反対面から前記被試験電子部品に接触して前記ソケットへ押圧するプッシャプロックと、

前記リードプッシャベースと前記プッシャブロックとの間に設けられ、前記被試験電子部品の押圧方向の弾 1·生力を有する 2以上の弾性手段と、を少なくとも有するプッシャを備え、

前記テスト時において、前記プッシャプロックに前記 2以上の弾性手段のうち少なくとも一つの弾性手段から弾性力が作用するマッチプレート。

1 7 . 前記プッシャブロックは前記プッシャに着脱可能に設けられている請求項 1 6記載のマッチプレート。

1 8 . 前記プッシャは、前記プッシャブロックが取り付けられるロードベースをさらに有し、

前記ロードベース及び前記弾性手段が、前記リードプッシャベースと前記プッシャベースとの間に挟まれており、

前記プッシャブロックの一部が、前記ロードベースを貫通して、少なくとも一つの前記弾性手段に接触し、

前記プッシャブロックが、前記プッシャベースに形成された開口部を介して、前記ロードベースに着脱可能に取り付けられた請求項 1 7記載のマッチプレート。

1 9 . 前記プッシャの前記各弾性手段は、互いに直径が異なるスプリングを有し、前記スプリングが前記ロードベースを中心に同軸状に配置された請求項 1 8 記載のマッチプレート。 '

2 0 . 前記プッシャの前記 2以上の弾性手段が、互いに異なる弾性力を有する弾性手段を含む請求項 1 6〜 1 9の何れかに記載のマツチプレート。

2 1 . 前記プッシャの前記 2以上の弾性手段が、互いに異なる弾性係数を有する弾性手段を含む請求項 2 0記載のマッチプレート。

2 2 . 前記プッシャの前記 2以上の弾性手段が、互いに異なる基本長を有する弾性手段を含む請求項 2 0又は 2 1記載のマッチプレート。

2 3 . 前記プッシャブロックは、上面から直角に突出する 2以上のシャフトを有し、

前記 2以上のシャフトは、

前記他のシャフトが、前記他のシャフトの中心軸を前記プッシャの前記 2以上の弾性手段のうちの他の弾性手段の底面に重ねるように配置されたシャフトを含む請求項 1 6〜2 2の何れかに記載のマッチプレート。

2 4 . 前記プッシャブロックは、前記 2以上のシャフトのそれぞれの長さが異なる複数種のプッシャプロックを含む請求項 2 3記載のマッチプレート。

2 5 . 前記プッシャブロックは、前記シャフト以外の部分の鉛直方向の長さが異なる複数種のプッシャブロックを含む請求項 2 3又は 2 4記載のマッチプレー

2 6 . 前記プッシャブロックの前記 2以上のシャフトは、

前記他のシャフトが、前記プッシャの前記他の弾性手段に接触する長さを有し、前記他の弾性手段の弾性力が前記他のシャフトを介して前記プッシャブロックに付与されるシャフトを含む請求項 2 3〜2 5の何れかに記載のマッチプレート。

2 7 . 前記プッシャブロックの前記 2以上のシャフトは、

前記一のシャフトが、前記プッシャの前記一の弾性手段に接触する長さを有し、前記一の弾性手段の弾性力が前記一のシャフトを介して前記プッシャブロックに付与され、

前記他のシャフトが、前記プッシャの前記他の弾性手段に接触しない長さを有し前記他の弾性手段の弾性力は前記プッシャブロックに付与されないシャフトを含む請求項 2 3〜2 5の何れかに記載のマッチプレート。

2 8 . 前記プッシャの前記リードプッシャベースが開口部を有し、

前記プッシャプロックが、前記ロードベースを貫通して取り付けられた固定手段により、前記ロードベースに着脱可能に固定され、

前記リードプッシャベースの開口部を介して、前記固定手段が固定 Z解除されることにより、前記プッシャブロックの取り付け/取り外しが行われる請求項 1 8〜2 7の何れかに記載のマッチプレート。

2 9 . 前記固定手段が、ボルトを有する請求項 2 8記載のマッチプレート。

3 0 . 被試験電子部品の入出力端子をテストへッドのソケットに押し付けてテストを行う際に、前記被試験電子部品に対して適切な押圧力を印加するためのプッシャであって、

前記ソケットに対して接近離反移動可能に設けられたプッシャベースと、前記プッシャに固定されたリードプッシャベースと、

前記リードプッシャベースと前記プッシャブロックとの間に設けられ、前記被試験電子部品の押圧方向の弾性力を有する 2以上の弾性手段と、を少なくとも備え、

前記テスト時において、前記プッシャプロックに、前記 2以上の弾性手段のうち少なくとも一つの弾性手段から弾性力が作用するプッシャ。

3 1 . 前記プッシャブロックは前記プッシャに着脱可能に設けられている請求項 3 0記載のプッシャ。

3 2 . 前記プッシャブロックが取り付けられるロードべ一スをさらに有し、前記ロードベース及び前記弾性手段が、前記リードプッシャベースと前記プッシャベースとの間に挟まれており、

前記プッシャブロックが、前記プッシャベースに形成された開口部を介して、前記口一ドベースに着脱可能に取り付けられた請求項 3 1記載のプッシャ。

3 3 . 前記各弾性手段は、互いに直径が異なるスプリングを有し、前記スプリングが前記ロードベースを中心に同軸状に配置された請求項 3 2記載のプッシャ。

3 4 . 前記 2以上の弾性手段が、互いに異なる弾性力を有する弾性手段を含む請求項 3 0〜3 3の何れかに記載のプッシャ。

3 5 . 前記 2以上の弾性手段が、互いに異なる弾性係数を有する弾性手段を含む請求項 3 4記載のプッシャ。

3 6 . 前記 2以上の弾性手段が、互いに異なる基本長を有する弾性手段を含む請求項 3 4又は 3 5記載のプッシャ。

3 7 . 前記プッシャブロックは、上面から直角に突出する 2以上のシャフトを有し、

前記 2以上のシャフトは、

前記一のシャフトが、前記一のシャフトの中心軸を前記 2以上の弾性手段のうちの一の弾性手段の底面に重ねるように配置され、

前記他のシャフトが、前記他のシャフトの中心軸を前記 2以上の弾性手段のうちの他の弾性手段の底面に重ねるように配置されたシャフトを含む請求項 3 0〜 3 6の何れかに記載のプッシャ。

3 8 . 前記プッシャブロックは、前記 2以上のシャフトのそれぞれの長さが異なる複数種のプッシャブロックを含む請求項 3 7記載のプッシャ。

3 9 . 前記プッシャブロックは、前記シャフト以外の部分の鉛直方向の長さが異なる複数種のプッシャブロックを含む請求項 3 7又は 3 8記載のプッシャ。

4 0 . 前記プッシャブロックの前記 2以上のシャフトは、

前記一のシャフトが、前記一の弾性手段に接触する長さを有し、前記一の弾性手段の弾性力は、前記一のシャフトを介して前記プッシャブロックに付与され、前記他のシャフトが、前記他の弾性手段に接触する長さを有し、前記他の弾性手段の弾性力は、前記他のシャフトを介して前記プッシャブロックに付与されるシャフトを含む請求項 3 7〜 3 9の何れかに記載のプッシャ。

4 1 . 前記プッシャプロックの前記 2以上のシャフトは、

前記一のシャフトが、前記一の弾性手段に接触する長さを有し、前記一の弾性手段の弾性力は、前記一のシャフトを介して前記プッシャブロックに付与され、前記他のシャフトが、前記他の弾性手段に接触しない長さを有し、前記他の弾性手段の弾性力は、前記プッシャブロックに付与されないシャフトを含む請求項

3 7〜3 9の何れかに記載のプッシャ。

4 2 . 前記リ一ドプッシャベースが開口部を有し、

前記プッシャブロックが、前記口一ドベースを貫通して取り付けられた固定手段により、前記ロードベースに着脱可能に固定され、

前記リードプッシャベースの開口部を介して、前記固定手段が固定 Z解除きれることにより、前記プッシャプロックの取り付け Z取り外しが行われる請求項 3 2〜4 1の何れかに記載のプッシャ。

4 3 . 前記固定手段が、ボルトを有する請求項 4 2記載のプッシャ。

4 4 . 被試験電子部品の入出力端子をテストへッドのソケットに押し付けてテストを行う際に、前記被試験電子部品に対して適切な押圧力を印加するためのプッシャに取り付けられて、前記ソケットの反対面から前記被試験電子部品に接触して前記ソケットへ押圧するプッシャプロックであって、

上面から直角に突出するシャフトを有するプッシャブロック。

4 5 . 前記プッシャは、前記ソケットに対して接近離反移動可能に設けられたプッシャベースと、前記プッシャベースに固定されたリ一ドプッシャベースと、前記プッシャベースと前記リードプッシャベースとの間に設けられ、前記被試験電子部品の押圧方向の弾性力を有する 2以上の弾性手段と、を少なくとも備え、前記プッシャブロックは、上面から直角に突出する 2以上のシャフトを有し、前記 2以上のシャフトは、

前記一のシャフトが、前記一のシャフトの中心軸を前記 2以上の弾 1"生手段のうちの一の弾性手段の底面に重ねるように配置され、

前記他のシャフトが、前記他のシャフトの中心軸を前記 2以上の弹 1"生手段のうちの他の弾性手段の底面に重ねるように配置されたシャフトを含む請求項 4 4記載のプッシャブロック。

4 6 . 前記プッシャは、前記プッシャプロックが取り付けられるロードベースをさらに有し、

前記ロードベース及ぴ前記弾性手段が、前記リードプッシャベースと前記プッシャベースとの間に挟まれており、

少なくとも一つの前記シャフトが、前記ロードベースを貫通して、少なくとも一つの前記弾' !·生手段に接触し、

前記プッシャプロック力前記プッシャベースに形成された開口部を介して、前記ロードベースに着脱可能に取り付けられた請求項 4 5記載のプッシャブロック。

4 7 . 前記プッシャプロックは、前記 2以上のシャフトのそれぞれの長さが異なる複数種のプッシャブロックを含む請求項 4 4〜4 6の何れかに記載のプッシャプロック。

4 8 . 前記プッシャブロックは、前記シャフト以外の部分の鉛直方向の長さが異なる複数種のプッシャブロックを含む請求項 4 4〜4 7の何れかに記載のプッシャブロック。

4 9 . 前記 2以上のシャフトは、

. 前記一のシャフトが、前記一の弾性手段に接触する長さを有し、

前記他のシャフトが、前記他の弾性手段に接触する長さを有するシャフトを含む請求項 4 4〜4 8の何れかに記載のプッシャブロック。

5 0 . 前記 2以上のシャフトは、前記一のシャフトが、前記プッシャの前記一の弾性手段に接触する長さを有し、前記他のシャフトが、前記プッシャの前記他の弾性手段に接触しない長さを有するシャフトを含む請求項 4 4〜4 8の何れかに記載のプッシャブロック。

5 1 . 前記プッシャの前記リ一ドプッシャベースが開口部を有し、

前記リ一ドプッシャベースの開口部を介して、前記固定手段が固定/解除されることにより、前記プッシャブロックの取り付けノ取り外しが行われる請求項 4 6〜 5 0の何れかに記載のプッシャブロック。

5 2 . 前記プッシャの前記固定手段が、ボルトを有する請求項 5 1記載のプッシャブ口ック。