TWI241409B - Electronic device test device - Google Patents

Description

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1241409 五、發明說明（2) ' ~~~- 被測試1C的品種，被要求的適當推壓力亦相異。而且， 了對應於在電子元件測試裝置所進行測試的被測試10的所 有品種、，有必要準備可施加適當推壓力於該品種數量的厮 出板，被測試I C品種在被變更時，有必要全部交換對應二 該品種的壓出板。 ' 〔發明内容〕 本發明係有關測試電子元件的電子元件測試裝置， 別是提供一種在測試時，可相對於各種的電子元件施加 當推壓力的電子元件測試裝置作為目的。 、

為達成上述目的，根據本發明的電子元件測試裝， 測件的輸出入端子壓在測試頭的插座以^ 灯測试，其所具備的壓出板至少句 、 ^ ，近遠離移動的方式被設置的壓出板基底、υ】j:: 可移動的方式被設置、且ai述:ί以壓出板基底以 面接觸於上述被測試電子元件=卞自上述插座的相反 滑塊、以及被設置在上述引導：：^插座的壓出板 塊之間、具有上述被測試電和上述壓出板滑 兩個以上的彈性裝置，在上述測 ^方向的彈性力的

彈性裝置中的至少一個的彈性裝^ ^ l=上述兩個以上的 板滑塊（參照申請專利範圍第1項）、爭力會作用於壓出 壓出板除了藉由具備I古 、 的彈性力的兩個以上的彈性壯？測試電子元件的推壓方向 彈性裝置所得到的彈性力的2 ，而可擴大自該壓出板的 田又’同時藉由自該兩個以上

1241409 五、發明說明（3) ____ 的彈性裝置中的至少苴中一 觸於被測試電子元件的塵出板滑^生^置的彈性力作用接 彈性裝置所得到的彈性力，而可^ f擇自，個以上的 的被測試電子元件。 k畜的推壓力於各種 在上述發明中，雖鋏祐去 明，上述塵出板滑塊係以可拆穿^ 然而根據本發 壓出板係更具備安裝上述壓出吏/、體而3 ，上述 载基底以及上述彈性穿f = A々承载基底，上述承 和增出板基底之:;置在上述爾出板基底 述承載基底貫通，且至，丨、艏=^板滑塊的一部份係將上 述壓出板滑塊係透過= 一個的上述彈性裝置，上 可拆裝方式被安裝於二；土 f壓出板基底的開D部，以 範圍第3項）。 述承載基底為較佳（參照申請專利 在被測試電子亓# ^ 1 t 施加適當的推壓力在品藉：：：換時、然有必要變更可 板’然而可藉由只單“自二出;2被測試電子元件的壓出 易進行伴隨著被測試電 。：f:?滑塊，可更容 換。 件的°〇種父換時的壓出板的交 ^，在上述發明中，雖然並未特別被限 Γ:二上述壓出板滑塊係具有自上面突出un根據 3的轴，上述兩個以上的軸係包括如下為H角的兩個 :專利範圍第8項）：上述一個的軸：二佳(麥照申 中心軸覆蓋於上述壓出柘的卜、f不加 上迷一個的軸的 出板的上述兩個以上的彈性裝置 的 第7頁 203〇.5793-PF(Nl).ptd 1241409 五、發明說明（4) 一個的彈性裝置的底面的方式被設置、上述另外的軸係以 將上述另外軸的中心軸覆蓋於上述壓出板的上述兩個以上 的彈性裝置中的另外的彈性裝置的底面的方式被設置， 又’上述壓出板滑塊係包括上述兩個以上的軸的各自長度 為不同的複數種類的壓出板滑塊為較佳（參照申請專利範 圍第9項），更具體而s ，上述壓出板滑塊的上述兩個以上 的軸係包括如下為較佳（參照申請專利範圍第丨丨項）：上述 一個的軸係具有與上述壓出板的上述一個的彈性裝置接觸 的長度，上述一個的彈性裝置的彈性力係透過上述一個的 軸被賦予在上述壓出板滑塊，上述另外的軸係具有與上述 壓出板的上述另外的彈性裝置接觸的長度，上述另/外的 =置的彈性力係透過上述另外的軸被料在上述壓出板 滑塊。 使可自壓出板取下的壓出板滑塊具備突出為直角的Λ ==其上面’對於被測試電子元件設== 精由使该弹性裝置收縮，可自具有 衣置 上的彈性裝置得到任意的推屢力。又；兩個以 電子元件的品種以預先準備壓精=個被測試 當推壓力的長度㈣，可迅速的以出：具”施加適 又，在上述發明中，雖然並 i 壓出板滑塊係包括上述軸以外：別被限定’然而上述 不同的複數種類的麼出板滑塊為較：的垂直方向的長度為 第1 0項）。 奴L (參照申請專利範圍

2030-5793-PF(Nl).ptd 第8頁 1241409 五、發明說明（5) 藉由隨每個被測试電子元件的品種以準備壓出板、、骨塊 的轴以外的部分的垂直方向的長度，即使對於在被測^電 子元件的品種交換前後的該被測試電子元件的厚度的不同 亦可對應。 X θ 又’在上述發明中，雖然並未特別被限定，然而根據 本發明’上述壓出板的上述引導壓出板基底係具有開口 部’上述壓出板滑塊係藉由將上述承載基底貫通而^安裝 的固定襄置，以可拆裝的方式被固定於上述承載美底，透 過上述引導壓出板基底的開口部，藉由固定/解除"上述固 定裝置’而進行上述壓出板滑塊的安裝/取下為較佳；炎 申請專利範圍第1 3項）。 4 Μ 藉由將壓出板的承載基底貫通而被安裝的固定裝」 可拆裝的方式固定壓出板滑塊，透過引導 =該^裝门置的固定7解除，藉由進行此壓Λ 易達成伴馱者被測試電子元件的品種交換時更谷 更’可大幅度地縮短此壓出板的交換時間。 的變 〔實施方式〕 本發= 發明的實施例。第1圖係有關 表示被測試κ的測試裝置的立體圖，第2圖係 同電子元件測試裝置的1(：.，的流私圖，第3圖係表示相/ 係表示在相同電子元堵存部的構造的立體圖，第4圖 圖，第5圖係表示在相同y式裝置所被使用的客戶盤的立體 電子元件測試裝置所被使用的測

2030-5793-PF(Nl).ptd 第9頁 1241409

試盤的部分分解立體圖，第6圖係表示在第2圖的測定部中 的z軸驅動裝置、模型板（match plate)、測試盤以及插座 的剖面圖。 又，第2圖係用以理解在本實施例的電子元件測試裝 置中的被測試I C的處理方法的圖，也有在以平面表示時， 貫際上係為在上下方向排列而被配置的構件的部分。而 且，請參照第1圖以說明其機械的（三度空間）構造7。 、 本實施例的電子元件測試裝置係賦予高溫或^是低溫的 溫度應力狀態於被測試1C，以測試（檢查）IC是否會適$的 動作，配合此測試結果將1C分類的裝置，主要是二處二器 1和測試和測試用主要裝置（未圖示）所構成藉由 此電子元件測試裝置的此種溫度應力的狀態的動作測試係 被實施，將被測試1C自搭載多個作為測試對象的被測 的盤（以下亦稱為客戶盤KST。參照第4圖），換裝至在^處 理器1内被搬運的測試盤TST(參照第5圖）。 、 ^ 因此，本實施例的處理器1係如第1圖以及第2圖所示 般’包括：收納今後將進行測試的被測試丨c以及分類測試 完的I C的I C收納部2 0 0、將自I c收納部2 〇 〇而被運送的被測 試1C送入腔室部100的裝載部3 0 0、包括測試頭的腔室部、 100、以及將在腔室部100進行測試的已測試完的1(：分類而 取出的卸載部4 0 0。 在測試頭5所設置的插座5 0係透過圖外的電纜而被接 續於測試用主要裝置，以導電方式接觸於插座5 〇的被測試 1C透過電纜接續於測試用主要裝置，藉由來自測試用主要 I I I ! 1 1 1 1 S I 1 1 1 1 2030-5793-PF(Nl).ptd 第10頁 1241409 五、發明說明（7) 裝置的測試信號以泪"式被測試1C。X，在處理器1的—部 刀。又置二，口P刀（參照第i 3圖的空間S)，在此空間部分設 置可自由乂換的測式頭5，可透過被形成於處理器】的 插座，將被測試IC接觸於測試頭5上的插_。而且，、 變=測試K的品種之際，被交換為具有適 測試IC的形狀、銷數的插座5〇的測試頭5。 有關處理器1的詳述如下： I C收納部2 0 jj 前ic:1 二 =邛2〇0包括：收納測試前的被測試IC的測試 1C的已、及配合測試結果收納被分類的被測試 丄L的已測试元I C儲存部2 〇 2。 這些測试岫1 C儲存部2 0 1以及測試完I c儲存邻2 0 9 H 第3圖所示般包括：框狀的盤支持_ 框2 03的下部推入品叮± M及自此盤支持 \ ί 朝上部升降的升降梯2〇4。在般 的客戶盤kst係藉由升降梯2〇4在上下移動持”有此重叠 而且’在測試前1C儲存部2〇1係以層穑 試的被測試“的客户盤KST，另：=收：今後 心：！部202以層積保持被適當分類的已測；：=試 试I C的各戶盤κ § τ。 」σ式元的被測 又 因為這些測試前IC儲在邱？ π 1 4 、a, 測T儲存臟的各自數量設定為適；1部如和 在如第1圖以及第2圖所示 〇數里。 1241409 五、發明說明（8) 部201設置兩個儲存部stk — b，又，在其旁邊設置兩個被運 送至卸料部40 0的儲存部STK-E，同時在測試完IC儲存部 2^)2設置八個儲存部STK —丨、STK —2.....STK-8，以配合測 試結果，以可收納的方式區分最大為八種的分類。亦即， 除了良品和不良品以外，也可在良品中再區分為動作速度 快者、中速者、低速者，或是也可在不良品中區分 再測試者等。 t 裝載部3 0 Π 上述客戶盤KST係藉由被設置在1(：收納部2〇〇和裝置美 板105之間的盤移送臂架2〇5，自裝置基板1〇5的下側被搬土 運至裝載部30 0的窗部30 6。而且，在此裝載部3〇〇中，夢 由X:Y搬運裝置3 04將裝入客戶盤KST的被測試1C移送至‘ 正器（preCiser) 3 0 5，在此修正被測試1(：的相互位置後二 又，再次使用X-γ搬運裝置3 04將被移送至此修正哭3〇5 被測試1C換裝於停止在裝載部3〇〇的測試盤以了。 、 =為將被測試10由客戶盤KST換裝至測

搬運裝置m係如第】圖所示般，包括：架設在裝置Y =上部的2道軌道301、藉由此2道軌道301而可在測試 ΐ邱snl客戶盤KST之間（將此方向作為γ方向）往返的可動 f/302、以及藉由此可動臂部⑽支 3〇2移動於X方向的可動頭3()3。 纟了動#部擊 在此乂 —"由搬運裝置3〇4的可動頭3。3、吸著頭（未 圖不）係被朝下安裝，此吸著頭係一邊吸入* 將被測試1C自客戶般KST叨糾’、 工乳而移動， ㈢各尸iKST吸附，將此被測試Ic換裝至測試 第12頁 2030-5793-PF(Nl).Ptd 五、發明說明（9) 盤TST。對於可動頭3 0 3，此種吸著頭係被安裝，例如八支 左右，一次可將八個被測試I C換裝至測試盤Ts丁。 第5圖係表示在本實施例所被使用的測試盤TST的構造 的分解立體圖。此測試盤TST的複數架橋13係以平行且等 間隔的方式被設置在方形框12，複數的安裝片14分別係以 等間隔的方式被形成突出在和這些架橋丨3的兩側以及和 橋13相對的框12的邊12a。藉由和這些架橋13之間以及架、 二 1:和邊12a之間、以及2個安袭片14，而構成嵌入物收納 部1 5 〇 在各嵌人物收納部15，各自收納丨個嵌人物16，此故 入物16係使用拉鍊π，在浮動狀態下被安裝在2個安穿 ^物16的兩端部係各自形成至安裝片;4的 ::用插座21。此種嵌入物16係’例如，被 度在1個的測試盤TST。 不 又，各肷入物1 6係為同一形狀、同一尺

係被收納在各自的嵌入物16。 被4IC .,,y ,甘入入物1 6的I C收納部1 9 # g? :測試IC的形狀而被決定，在第5圖所示的例子 係被作為方形的凹部。 〗卞 又’在一般的客戶盤KST，m & & 凹部係被形成較被測霞的形因為為了保持被測試1c的 ⑽的狀態中的被測試IC的= 狀以 且，在此種狀態下，吸著被測置=具有很大的偏差。而 係極為困難。因此盤TST的1。收納凹部

隹不貝％例的處理器1係在客戶盤KST

1241409 五、發明說明（ίο) 的設置位置和測試盤TST之間設置被稱之為修正器3〇5的ic 位置修正裝置。此修正器3 0 5係具有較深的凹部，且此凹 部的周邊為以傾斜面包圍的形狀，所以被吸著頭吸 測試IC —落入此凹部時，被測試10的落下位置藉由該傾料 面被修正。因此，八個被測試10的相互位置係正確地固： 疋，將被正位置的被測試丨c再次用吸著頭吸著以換 測試盤TST，可非常準確地將被測試IC換裝於測 試盤TS丁的1C收納凹部。 π '則 腔室部1 0 0 被 各 施

、、，上述測試盤m係使用裝載部3 0 0換裝被測試IC後 达入至腔至部1 0 0，在被裝載於此測試盤TST的狀態下 被測試I C係被測試。 &

“七ΐ室：系包括：在裝入測試盤TST的被測試IC 加作為目標的溫痞县柄、、w aa r-., A疋低/里的熱壓力的恆溫槽（浸潤 [soak]腔室）1〇1、在此恆、、w /土 a > ^ ^ /Π w、日n τ ^ μ她 此陵/凰槽1 0 1使被施加熱應力狀態的 被測试I C接觸於測試頭r沾、日丨^ #丄、丨^_ / j飞碩5的測定部（測試腔室）102、以及自 藉由測疋部1 0 2所被測續的址、、丨、 土沾w勒播，、夺、日日 "、被測试I C將被施加的熱應力除 去的除熱槽（浸潤腔官）1 Π q .π 1 。又’除熱槽1 0 3係和恒溫槽 1 0 1以及測定部1 〇 2做埶ρ ρ & 土

^ ^ …、^、、、巴為較佳，實際上既定的熱應力 係被施加在恆溫槽1 〇 1和測宏 .^ tL ^ ^ 布列疋邛1 0 2的領域，除熱槽1 0 3係 和些做熱隔絕，並統摇 、兄柄绝些為腔室部100。 如第2圖概念地表示，訊 ιηι 叹置垂直搬運裝置在恆溫槽， 1 0 1 ’在測疋部1 〇 2為空間么^

抱 ....lL ^ 間马止的期間，複數片測試盤TST 係一邊被此垂直搬運裝署± 衣置支持，一邊待機。主要為在此待

1241409 五、發明說明（11) 機中’兩溫或是低溫埶 在測定部! …您刀係破轭加在被測試1C。 運至測試頭5的上面中ί : f測試頭5 ’測試盤TST係被搬 接觸於測試頭5 w 1由使被測試1C的輸出人端子電氣 在以下描】項5的接觸銷51以進行測試。有關此構造等將 内部，安裝構&測試腔室102的密閉殼體80的 ::扇9;:::權置9°^溫調用送風裝置9〇係具 96，,由風戶9、h加熱為94、以及會嘴出液態氮氣的喷嘴 9b精由風扇92吸入殼體80内部的空 .^ ^ ^ m 器94或是噴嘴96吐出、^風或是、人〇认轧，透過加熱用加熱 #80的内立IW% &出，亚風或疋/♦風於殼體80的内部，將殼 溫度條件(高溫或是低溫）。因此， 是例如，。C〜室溫程度的低溫，然而殼體心部溫S 係例如耩由溫度感測謂檢測出，而維持殼細的内部在 既=溫度的方式’係藉由控制風扇92的風量以及加熱用加 熱裔9 4的熱量或是藉由喷嘴9 6的吐出量等。 々 又，藉由溫調用送風裝置90產生的溫風或是冷風係如 第6圖所示般’沿著γ軸方向流動至殼體8 〇的上部，沿著和 溫調用送風裝置9 0相反側的殼體侧壁下降，通過模型板㈣ 和測試頭5之間的空隙，返回至溫調用送風裝置9 〇，而在 殼體8 0内部循環。 另一方面，測試結束後的測試盤TST係在除熱槽1 03被 除熱，將已測試I C的溫度回復至室溫後，在卸載部4 0 0被 搬出。又，設置測試盤搬運裝置1 0 8在裝置基板1 0 5，藉由

2030-5793-PF(Nl).ptd 第15頁 五、發明說明（12) 此測試盤搬運裝置108，自除熱槽1〇3被排出的測試盤tst 人透過卸載部4 〇 〇以及裝載部3 0 0而運回至丨亙溫槽1 q 1。 有關在測定部1 02所使用的壓出板30、模型板6〇、鉦 驅動裝置7 〇係詳述如下。 ▲、壯第7圖係表示在有關本發明的實施例中的電子元件測 試裝置所被使用的壓出板、模型板、嵌入物、插座導引以 及具有接觸銷的插座的構造的分解立體圖，第8圖係第7圖 面f ，第9U)圖、第9(B)圖、第9(c)圖係表示有關二 / 0的貫施例的壓出板導引的平面圖以及側面圖的圖， =係安裝第9(C)圖的壓出板滑塊的壓出板的剖面圖， 關圖：壓出板、插座導引以及接觸銷的位置 :測試裝置所使用的模型板的立體圖，第13圖； 板安裝至有關本發明的實施例的電子元 誓 γ法：觸，第U圖係表示在有關本發明的實; 電子兀件測試裝置的測定部中的Ζ軸驅動 、 項J試盤以及插座的分解立體圖，第i 5广 果里板、 明的實施例的電子元件測試裝置的妒: 關本發 驅動裝置的一例的剖面圖。至的測定部中的z軸 壓出板30係被設置在測試頭5的上 動裳置70而在錯直方向上下移動，施二二由/厂述Z軸驅 測試K的裝置。此壓出板30係配合壓峨 的間隔（在上述測試盤TST係每列4行人，、被測5式IC 後述模型板60。 叶32個），被安裝於

1241409 五、發明說明（13) 如第7圖以及第8圖所示般，壓出板3 0係包括：被推壓 在形成於Z軸驅動裝置7 〇的驅動盤7 2的推壓部7 4而將彈性 力賦予在上下移動於垂直方向的引導壓出板基底35和壓出 板基底3 4、賦予彈性力在壓出板滑塊3 1的兩個彈簧3 6、 3 8、支持此彈簧3 6、3 8的承載基底3 2、以及藉由固定用螺 检3 3以可拆裝的方式被安裝在此承載基底3 2的壓出板滑塊 31 °

引導壓出板基底3 5和壓出板基底3 4係如第7圖以及第8 圖所示般’藉由2個螺栓被固定，在壓出板基底34的兩側 没置被插入於後述嵌入物的導引孔2 〇以及插座導引4 〇的導 引軸襯4 1的導引銷3 4 b。又，此壓出板基底3 4在下降至Z軸 驅動裝置7 0之際，在壓出板基底3 4設置用以規範下限的制 動器導引34c，此制動器導引34c係接觸於後述插座導引4〇 ，制動器面4 2，以不會破壞被測試丨c的適當壓力來決定推 j的，出板的下限位置的基準尺寸。在被測試丨c的品種交 、之時，只用以拆裝交換壓出板滑塊31的貫通插座34&係 在引導壓出板基底35的上面略為中央部。又，用以 =壓=板滑塊31於*載基底32的㈤口部34a係被形成在 底34的略為中央部’此開口部3“的 口卹w Γ Γ词。卩的輪廓為略大的開口，此開 口部34a的下面側的形狀係輕杀 同 咸* , ?又承载基底3 2的最外周部的輪 廓為小，且較壓出板滑塊31 取|门I旳輪 口。 勺取外周部的輪廓為略大的開

1241409 五、發明說明（14) 塊3 1以及被測試I C以高準確度決定位置，設置插座導引4 〇 在各插座50之上，在測試盤TST具備嵌入物16。各插座導 引4 0係包括··在壓出板3 〇被推壓之際、和被具備於壓出板 基底34的導引銷34b嵌合的兩個導引軸襯41、以及和被具 備於壓出板基底34的制動器導引34c接觸的四個制動器面 4胃2。又，壓出板3 0被推壓之際，在各嵌入物1 6係具備兩個 v引孔’其係被插入具備於壓出板基底3 4的導引銷3 4乜。 而且，壓出板30被推壓之際、被具備於壓出板基底34的兩 個引銷3 4 b係除了各自插入形成於嵌入物1 6的導引孔 2〇，同時藉由各自嵌合於形成在導引孔4〇的導引軸襯41， 可確保對於壓出板滑塊3 1以及被測試丨c的接觸銷5丨的高位 置=定精度。又，形成於壓出板基底34的制動器導引34c 係貫通嵌入物1 6，藉由接觸在形成於插座導引4 〇的導引面 42，決定壓出板的下限位置的基準尺寸，防止被測試 破損等。 承載基底32係具有用以使固定用螺栓33貫通的貫通插 座32a作為中心的凸狀的2層的圓筒形狀，固定用螺栓33的 頭部側的第1層的圓筒形狀係具有較第丨環37的開口部的内 徑為小的外徑，而第2層的圓筒形狀（以下亦簡稱為台座 部）係具有較第2環39的開口部的内徑為大的外徑。又，在 基底32的台座部的下面係形成自壓出板滑塊”突出 勺五支的軸3 1 a、3 1 b所貫通的五個貫通插座。 第1環37在底面較承載基底32的第】層的外徑為大的開 口部係被形成為凹狀的圓筒形狀，在此凹部支持第丨彈簧

1241409 五、發明說明（15) 3:被开第2成其中1軸可广第】環37的貫通插座， 1為凸狀的圓筒形狀’在此凸部支持第2彈箬38。 時支拉t 32的台座部係除了支持第1環37之外，同 化支持第2環39。 的lit承载基底32、兩個彈t36、38、兩個環37、39 ^、關係如下成立，[承載基底32的第】層的外徑]〈 AA畏37的開口部的内徑]〈[第1彈簣36的外徑]〈[第1環37 插^第一層的内徑]〈[第1環37的外徑]〈[第2環39的貫通 座的内徑]<[第2環39的凸部第1層的外徑]〈「第2彈莖μ 土，32、第1彈黃μ、第2彈簀38，被配置為同軸狀。 各第9(A)圖係表示，例如，在132銷的被測試ic施加適 田推壓力的壓出板滑塊31，上側圖係表示平面圖，下側圖 ^表=側，圖。又，第9(C)圖係表示在只需較第9(A)圖少 j推I力日守的场合’例如，在5 6銷的被測試I ◦施加適當推 壓f的壓出板滑塊31π ，第9(B)圖係表示可施加第9(A)圖 和第9 (C)圖之間的推壓力的壓出板滑塊3 1，，在任一圖 中’上側的圖為平面圖，下側的圖為側面圖。又，在第 9 (j)圖、第9 (B)圖以及第9 (c)圖的上側圖中的圓係表示第 1^衣37以及第2環39，在同圖的下側的圖中的四角部係表示 I載機基底的台座部（凸形狀第2層）。 如第9圖所示，壓出板滑塊3 1的基底部3 1 c係自2層的 四角柱形狀的金屬材料所構成，在其上面係以垂直朝上突 出的方式安裝五支的軸31&、31b。如同圖所示，三支第1

第19頁 Ϊ241409 - _ 五、發明說明（16) 彈筈s 將^此ΐ 1%3 7的中心軸和被安裝於位在内側的第1 3 1 b係、舌弟㈤1 %3 7的底面重疊的方式被配置，兩支第2軸 2 μ ^ ΐ此第2蜋3 9的中心軸於被安裝在位於外側的第 27的^環39的底面的方式被配置。而且，透過第！ 通被黃36的彈性力係被傳達於第1抽31a，其係貫 39，第2彈^^載基底32的台座部的貫通插座，透過第2環 被 H 8的彈性力係被傳達於第2軸31b，其係貫通 被贈ί Ϊ ί載基底32的台座部的貫通插座，這些彈性力係 破賦予在壓出板滑塊31。 糸

知#!1在此壓出板滑塊的基底部3 1 c的垂直方向下層的角 ^ =係較上層的角柱形狀小，在推壓被測試丨c方面，呈 =夠的外徑，位在此下層的角柱形狀的下面測 略為中& ’形成為了藉由被固定用螺栓33固定 的螺拴固定插座。 疋 在此，由於被測試1C的銷的數量、長度等的不同， 測試時最適當的推壓力係依被測㈣的品種而不同 ^

2壓出板滑塊31係依被測試IC的品種準備對各品種的 忒ic適當的物件。如第9(A)圖所示’例如，132銷樣的' 被測試1C用的壓出板滑塊31係由於需要相對強的推、， :以需使第1軸31a的長度La以及第2軸31b的長度u 貝通承載基底32的台座部的長度。因此，可傳達第丄 J 36以及第2彈簀38的彈性力至壓出板滑塊31。 更 相對地，第9 (B )圖係表示可施加較第9 (A )圖為小的推

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G力的壓出板滑塊3 1，任一軸3 1 a、3 1 b也都具有可足夠貫 =承載基底部32的台座部的長度。然而，和第9(A)圖的^ 合相比’轴31a、31b的長度相對地較短（La>La，、

Lb>Lb’），由於藉由此軸31a、31b的推壓力的彈簧36、38 的收縮量係變少，所以在壓出板滑塊3丨所得到的推壓力也 變少。 也

又，由於如第9 (C )圖所示，例如，5 6銷樣式的被測試 ic用的壓出板滑塊31’ ’係以更弱的推壓力完成測試，所2 第1轴31a的長度La，，為可足夠貫通承載基底32的台座部的 長度（La’>La’’），而第2軸31b的長度Lb，，係作為不貫通承 ，基底32的台座部的長度（Lb，>Lb")，因此，第i彈簧“的 彈性力係被傳達至壓出板滑塊3丨，然而第2彈箬3 8的彈性 力係不會被傳達。順道一提，在第1〇圖表示安裝壓出板滑 塊3 1π的壓出板3 〇的剖面圖。 /如上述，藉由使壓出板具備2個彈簧，可自一個壓出 板得到大巾田度的推壓力。又，藉由自壓出板只交換壓出才 滑塊，只交換對應品種的壓出板滑塊，所以可對應伴隨系 測試1C的品種變更的被測試1C的形狀、銷的數量以及長力

=所起因的推壓力。又’壓出板的大小可容許時，即使々 其具備3個以上的彈箬亦丌 ^ f 、日Ϊ # T P ^ ^ 早汽亦了因此，可更加擴展施加於被 測试1C的推壓力的調整可能範圍。 滑塊的軸的長度變化，可調整自2 ’對於被測試I C可適當地對應必要 一軸接觸於對應的彈簧，所以藉由 又，藉由使壓出板 個彈簧所得到的彈性力 的推壓力。又，不使任

1241409 五、發明說明（18) I::U::所得到的彈性力於壓出板滑塊，也可適當 正對應於各品種的被測試1C的推壓力。 有“試種變更，在此品種變更時也 圖以及第9(B)=二_ ^的h形。在此種情形時，如第9(A) 可使直對庫於I不般，使基底部3 1 c的長度LC變化，亦 」便具對應於被測試丨C的厚度。 严二ΐΓ所構成的壓出板30，其中安裝第1彈箬36的第1 %3门7 !被插入安裝第2彈簧38的第2環39的開σ部，又= is;=螺:全33的承載基底32的第1層的圓筒係被插入第1 各底面°而且’承載基底32、第1環37、第2環39的 -係被插入壓出板基底34的開口部34a，自且上方將 =壓：板基底35覆蓋’引導壓出板基底35和壓出板基底 2 栓被固^。又，透過壓出板基細的開口 ^ j，將壓出板滑塊3丨的5支軸各自插入於被形成在承載 土& 2的底面的貫通插座，自引導壓出板基底35的開口部 35a以扳手（wrench)等鎖緊固定用螺栓33，藉由固定壓出 板滑塊3 1，此壓出板滑塊3 〇係被組合。 在被測试ic的品種交換時，將壓出板滑塊31交換之： 際，透，被形成在引導壓出板基底35的開口部35a，藉由 =扳手等鬆開固定用螺栓3 3而取下，只有壓出板滑塊3 1自 壓出板3 0被取下。而且，將適合於品種變更後的被測試j c 的其他壓出板滑塊3 1透過壓出板基底3 4的開口部3 4a，插 入軸31a、3 lb於承載基底32的底面的貫通插座，透過引導 壓出板基底3 5的開口部3 5 a，藉由以扳手等鎖緊固定用螺

2030-5793-PF(Nl).ptd 第22頁 1241409

栓33 ’可更容易交換壓出板滑塊3 j 板30的交換時間。 可更顯著的縮短壓出 如弟12圖所示，此壓出板3〇係在被測試ic的品種變更 時以可容易交換的方式安裝8列“列的32個的壓出板3〇在 模型板60。此模型板60係具有略城矩形的平板形狀，用以 插入塵出板30的引導壓出板基底35的安裝插座66係以和被 配置在測試頭5上的插座50實質上為同一的配列以及個數

關於此壓出板30至模型板60的安裝，首先自上方安f 弓士1導壓出板基底3 5在以等間隔方式被形成於模型板6 〇的^ =插座6 6此日守，錐形係被形成在和引導壓出板基底3 5的 安裝插座66接觸的面，χ，由於對應的錐形亦被形成在安 裝插座66的開口側壁，所以引導壓出板基⑽係被支持在 ^型板60。其次，在壓出板基底34，安裝第1彈簀36和第！ %37 α及第2彈黃38和第2環39、以及固定用螺栓33和承 載基底3 2，在引導壓出板基底3 5的兩側藉由此壓出板基底 3 一4和螺栓固定而被安裝在模型板。X，在第】2圖，並未圖 不彈簧36、38、環37、39，固定用螺栓33以及承載基底 立又’、女裝壓出板3 〇的模型板6 0係以位在測試頭5的上 部的方式’而且以可搬入測試盤TST在壓出板3〇和插座5〇 之間的方式被安裝。具體而言，如第1 3圖所示，藉由插人 f驅動盤72垂下而被固定的軌道R的方式係被設定，此拆 衣操作係打開设置在測定部1 〇 2的腔室的門〇以進行。又，

1241409 五、發明說明（20) 第11圖係自背面觀看處理的圖。在被測試1(：的品種變 更枯，打開門D自執道R拉出模型板⑼，不用拆下壓出板 30，只需將此模型板60的各壓出板3〇的壓出板滑塊31以上 述方式父換對應於品種的物件，藉由再次將模型板6 〇插入 至軌道R而完成品種交換的壓出板的步驟。 腔室部1 0 0的測定部1 0 2係如以下被構成。 如苐1 4圖所示’在測試頭5的上面，插座$ 〇係對於同 圖所示的測試盤TST(在第14圖中在γ軸方向為4列，在X軸 方向為1 6列），例如，在γ轴方向4列、在χ軸方向隔】列8列 的方式，以對應於被測試IC的數量（合計32個）被配置。 又，可將一個一個的插座5 〇的大小縮小時，以可同時測試 被保持在測試盤TST的全部被測試I c的方式，即使在測試 頭5之上設置4列（Y軸方向）X1 6列（X軸方向）的插座5 〇亦 可0 各插座5 0係具有複數的接觸銷5丨，此接觸銷5丨係藉由 彈簧等被彈性偏壓在上方向。而且，即使推壓被測試丨c， 接觸銷5 1會一直後退至插座5 〇的上面，接觸銷5丨係可接觸 於被測試I C的所有端子。又，在各插座5 〇之上，為了確保

壓出板3 0以及嵌入物1 β以高精度決定位置，各自設置插座 導引40。 在設置插座5 0的測試頭5之上，例如藉由帶式輸送機 等的搬運機構1 5 〇搬運測試盤TST，配合一次被測試的被測 試I c的間隔的數量（上述測試盤TST係相對於X軸方向隔一 列合计8列的總合3 2個）的嵌入物1 6係位於對應的插座5 〇之

2030-5793-PF(N1).ptd 第24頁 1241409 五、發明說明（21) 上。 又’以各壓出板3 0位在3 2個的插座5 0的上方的方式， 安裝壓出板3 0的上述模型板6 0係被配置在此測試盤τ g 了之 上。而且，在測試時安裝在模型板6〇的各壓出板3〇被推壓 時’具備在此各壓出板3 0的壓出板基底3 4的導引銷3 4 b係 被插入至位在各壓出板3 0的垂直下方向的嵌入物1 6的導'引 孔2 0 ’肷合於被形成於位在各嵌入物1 6的垂直下方向的插 座導引40的導引軸襯41，被保持在測試盤TST的32個被測

試1C係向對於對應的插座50的接觸銷51以高精度被決定位 置而完成測試。 在搬運測試盤TST的測定部102的殼體8〇的上部，設置 Z軸驅動裝置70。又，在殼體8〇的内壁，安裝隔^材料 84。如第15圖所*，兩對的驅動轴78係貫通殼體8〇，延伸 於殼體80的上方，其上端係被連結在上部盤丨丨〇。在殼體 80的上部’固定-對的轴承112，藉由這些軸承ii2成可容 許驅動轴7 8的Z軸方向移動。 在上部盤110的略為中央部，滚珠螺絲接收器114係； 固定。在此接U114 ’母螺絲係被形成，

合於主驅動抽11 6的公螺絲。主驅動軸i i 6的下端:夢由 埋入殼體80的内部的迴轉轴承118，… 轉手的耩式 被保持，其上端部係藉由被安裝於支持框13。的軸 承120，以可自由迴轉的方式被保持。 轉軸 支持框130係藉由支持桿132被安裝在殼體 主驅動軸116的上端係自支持框⑽露出於上㉝，以滑、

2030-5793-PF(Nl).ptd 第25頁 1241409 五、發明說明（22) 1 22係被固定在此部份。又，對於此第i滑輪1 ，隔著既 定，離，第2滑輪126係被配置在支持框13〇的上部，這些 係藉由動力傳達帶丨2 4被連結。 第2滑輪126的迴轉軸係被連結於齒輪箱丨28，齒輪箱 128係被連結於步進馬達134的迴轉轴，肖由步進馬達134 轉車=迴轉，第2滑輪126可迴轉。第2滑輪126被驅動迴 Γ1’99\迴轉力係透過帶124而被傳達至第1滑輪122 ’第1 ;月輪122會迴轉。而且，第1滑輪m 一迴轉時，主驅動軸 也迴轉，結果接收器11 4將驅動軸丨丨6的迴轉運動變換 為直線運動，使上部盤11〇沿著ζ軸方向移動。上部盤11〇 一 ί ί時，其驅動力係透動驅動轴78傳達至驅動盤72，使 驅動盤72沿著Ζ軸方向移動。 由沿著此驅動盤72的2軸方向的移動，壓出 丨導壓出板基底35係被推壓，彈簧36、38會收縮， 土出板滑塊31係施加適當的推壓力於被測試IC。 卞3 ^ 2丨如同圖所不’作為感測器的編碼111 3 6係以内藏： 的方ί被安裝在馬達134，可測量計算馬達134的 至馬達控制裝置，馬達控Z 動。 利在置1 4 0係可控制馬達1 3 4的驅 導芦：：ί :;2的下面’對應於露出在上述模型板60的引 更利起見在第6圖的驅動盤72表示4列的推麼

1241409 五、發明說明（23) 部74，驅動軸78的數量亦為一支，然 以及第15圖所示，推壓部74係被配置〜:上’弟;4圖 未特別被限定。 /、疋’这些數1並 在模型板6 0，對應於插座5 〇的數〃 列X8列=32個）的引導|出板基咖係_ ϋ在本例為4 :，在此引導壓出板基底35的下端，麼出：二】保 疋。而且，壓出板3 〇係對於測試頭5或 :、二固 動盤72只可移動於2軸方向。 焉動衣置70的驅 …又二在第6圖中，測試盤TST係自紙面的垂直方向(X ，被運送於壓出板3〇和插座5〇之間。在般 3移，之際，Z軸驅動裝置70的驅動盤72係沿;z^方向^ 壓出板30和插座50之間’可搬入測試盤TST的足夠 空間係被確保。 一對於測試頭5，一次被連接的被測試I C係如第1 4圖所 示’被配置為4行X1 6列的6 4個的被測試I c時，例如，隔一 列8列的被測試I c係同時地被測試。亦即，在第1回的測 試，將自第1列隔列被配置的32個被測試1(：連接於測試 Y1 0 4的接觸銷5 1以測試，在第2回的測試，使測試盤τ $ τ移 動一列’自第2列隔列被配置的被測試丨c同樣的測試以測 減所有的被測試I C。此一測試結果係以被附加在測試盤： T S T的例如識別號碼和在測試盤τ g τ的内部被分配的被測試 I c的號碼的方式被記憶在決定的位址。 卸載部4 0 0 1241409 五、發明說明（24) 在卸載部4 0 0也設置和在裝載部3 〇 〇所設置的X-Y軸搬 運裝置30 4同一構造的X-Y搬運裝置4〇4、4〇4，藉由此χ_γ 搬運裝置404、404，自被卸載部4〇〇搬運出的測試盤TST， 已測試完的I C係被換裝於客戶盤κ S 丁。 如第1圖所示，被搬入於此卸載部40 0的客戶盤KST， 其中以面臨裝置基板1 〇 5的上面的方式被配置的一對窗部 4 0 6、4 0 6係被開設2對在卸載部4 〇 〇的裝置基板1 〇 5。

又’省略圖示，然而在各窗部4 〇 6的下側，用以使客 戶盤KST昇降的昇降桌係被設置，在此已測試完的被測試 Ic係被換裝，裝上滿載的客戶盤KST，下降後，將此滿載 盤交付至盤移送臂架205。 順道一提’在本實施例的電子元件測試裝置1，可分 類的種類最多為8種類，然而在卸載部4 〇 〇的窗部4 〇 6只可 配置最大4片的客戶盤](ST。而且，即時（reaitime)可分類 的，類係被限制在4分類。一般而言，將良品分類為高速 應答元件、中速應答元件、低速應答元件3個種類，這些 再加上不良品以4個種類係足夠，然而例如需要再測試等 時’也會產生不附屬在這些種類的種類。

〜 從土 m苁頰隹分配於卸載部4〇〇的窗部4〇6 f的4個客戶盤KST的種類以外的種類的被測試丨c時， f部4⑽將1片的客戶盤KST放回至1C收藏部2 0 0，代秩 :應收藏新產生種類的被測試IC的客戶盤kst轉送至曰知 j 4 0 〇，將此被測試丨c收藏即可。但是，在分類 中進行客戶盤KST的換褒時，期間係必需中斷分類作』

1241409 五、發明說明（25) 存在著生產量會低下的問題。因此，在本實施例的電子元 件測試裝置1設置緩衝部4 0 5在卸載部4 〇 〇的測試盤τ s T和至 窗部40 6之間，在此緩衝部40 5可暫時保存稀少種類的被測 試1C。 例如，除了使緩衝部40 5具有可收藏2〇〜30個程度的被 測試I C的容量，同時將被收藏於緩衝部4 〇 5的各丨c收藏位 置的I C種類設置各自記憶的記憶體，依各被測試丨c事先記 憶被暫時存放在緩衝部4 0 5的被測試I c的種類和位置。而 且，在分配作業的空檔或是緩衝部4 〇 5在填滿之時間點，

自I C收藏部2 0 0找出保存於緩衝部4 〇 5的被測試I c所屬的種 類的客戶盤KST，收藏在此客戶sKSt。此時，被暫時保存

於緩衝部40 5的被測試1C為複數種類時，在找出客戶盤KST 之際’同時找出複數種類的客戶盤KST至卸載部4〇〇的窗 406即可。 ° 其次說明有關作用。 在腔室部1 0 0内的測試過程中，被測試丨c係被搭載於 第5圖所示的測試盤TST的狀態，更詳細地為各個被測試K 係在落入至同圖的嵌入物丨6的丨c收藏部丨9的狀態下， 運至測試頭5的上部。

測试盤TST在測試頭5中停止時，z軸驅動裝置7〇即開 始，動，如第7圖以及第8圖所示的1個壓出板3 〇係對於— 個嵌入，16下&。而且’被形成在壓出板基底34的下面的 勺¥引銷34a、3 4b係各自貫通嵌入物16的導引孔2〇、 20 ’且傲合於插座導引4〇的導引軸襯、41。

2030-5793-PF(Nl).Ptd 第29頁 1241409 五、發明說明（26) 將此狀態表示於第8圖，然而對於被固定在測 ，座50以及插座導引4〇，嵌入物工6以及壓出板3◦係具、草 程度的位置誤差’然而壓出板基底34的導辦物 16的導引孔20的位置決定係被進行…被插入於：：： 1壯6，導引孔20的壓*板基底34的導引銷34b係叙合於被 衣在插座50的插座導引4〇的導引軸襯41，此結$，被 二？出板30的壓出板滑塊3)係在χ_γ方向適當的位衣 壓被測試IC。 1 j推 對此’有關Z軸方向，會起作用於被形成在壓出 =1制動器導引34c和插座導引40的制動器面42在各2 接觸％的被測試1(：的荷重係成 =測試r破損，小時變成不能測試。=如： ^丁^^•、有Μ要非常精確建立壓出板基底34的制動哭導 =二壓出板滑塊31的2轴方向的距離b、接觸銷Η if产，而t Γ ί益面42的2軸方向的距離c ’然而對此有其 P艮度 而且也會大女ί/ι旦< 乡郎、丄 ’ θ Α大的衫響被測試IC本身的厚度a。 板滑;二式裝置係藉由管理壓出

^ ^ ^ ,431 ^ # ^ 8^Va ；； ' C 試IC-邊賦予彈性力，對於被測 度，壓力在被測㈣，相反的；防止推壓力=施加過 數、端子： = 樣C的：ΐ ’被測試IC的形狀 '端子 狀寺為夕樣，在被測試IC的品種交換時，有必

1241409 五、發明說明（27) ^ ^為適當的壓出板3 〇於品種交換後的被測試I C的形 、端子數、端子形狀等。 出板5 例中的1子元件測試裝置所具備的壓 的上二/、備2個彈簧36、38，藉由改變自壓出板滑塊31 W=犬出的軸、31b的長度La、Lb，可使此彈簧36、 壓出力改變：而且，對於安裝將壓出板滑塊31去除的 呈 的構成元件的一個模型板6 0，依各品種預先準備 ^ ^可施加適當的推壓力於被測試1(：長度的轴31&、3ib的 a板π塊3 1，在被測试I c的品種交換時，因為只將壓出 、=二塊3 1父換為對應於此品種交換後的被測試丨c的壓出板 ’月土A 3 1，’、所以被測試1 C的品種交換時的步驟可變得容易。 又，此壓出板滑塊31的交換係透過引導壓出板滑塊35的開 口部35a，使用扳手等而可容易地交換。 而且’ 一但自模型板將所有的壓出板取下，將各壓出 板分解，將彈簧交換為具有可以適當的推壓力施加在品種 $換後的被測試IC的彈性力的物件，再次將壓出板組合安 裝於模型板的情形相比，藉由只交換在本發明實施例中的 壓出板滑塊3.1的方法，可大幅度地減低在被測試丨c的品種 交換時中的交換時間。 乂又’有關本發明實施例的電子元件測試裝置的壓出板 30係可没定為使壓出板滑塊31的基底部31e的長度Lc的厚 度對應於被測試1C的厚度。因此，可對於被測試“的厚度 進行適當的衝程管理，即使在品種交換前後的被測試IC的 厚度不同％，只需將壓出板滑塊3丨交換即可對應。又，即

第31頁 1241409

J被測試ic的封裝的上部表面的形狀係在品種交換前後不 5 ，以壓出板滑塊3丨的基底部3丨c的下面的形狀即可對 應0 以此為代表的實施例詳細說明時，作為第丨實施例， 對於以端子數132之適當推壓力為平均單位端子25^的被 測試1C，製作2個如第8圖所示的壓出板3〇的樣本。此壓出 ，30的樣本=使用彈性係數25〇gf/醜、長度19_的第】彈 ;36以及彈性係數200舀"111111、長度16.5111111的第2彈簧38 ▲作又’衣作後的第1彈簧36的基準長為i5mm，第2彈箐 38的基準長為14. 4mm。

又[出板滑塊3 1係如第9 (A)圖所示的形狀，在測試 時彈簧36、38在收縮〇· 2mm的狀態下，將最適當的推壓力 施加於被測試1C的方式製作第1軸3 la的長度La g7mm，第2 軸31b的長度Lb為4. 7mm，基底部31 c的長度Lc為7mm。又， 承載基底32的台座部的厚度為2mm。將此壓出板滑塊3丨安 I至壓出板30時’第1彈簧36係又收縮5mm，第2彈簧38為 2· 7mm，藉由第1彈簧36可得到 (19mm-10mm)X2 5 0gf/mm:225 0gf/mm，藉由第 2 彈簧 38 可得 到（16.5-11.7mm)X2 0 0gf/mm = 9 6 0gf 的推壓力，結果表示，

在壓出板滑塊31的前端，理論上可得到合計321 〇gf的推斥 力0 ' 而且’在測試時衝程收縮〇 · 2 m m的狀態，藉由第1彈菩 36 可得到（19mm-9.8mm)x250gf/mm 二 230 0gf，藉由第 2 彈菩、 38 可得到（16.5-ll'5mm)x200gf/mm = 1000gf 的推壓力，結

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發明說明（29)

果表示藉由壓出板滑塊31，理論上對於被測試IC可發 計330 0gf的適當的推壓力。 Q

士有^此壓出板3〇的2個樣本，在進行推壓力的測定 曰守，如第1 6圖所示，在衝程〇· 2mm中，對於設計值為 330 0g—f(二（端子數132)χ(平均單位端子25gf))，被確認出 可確貫得到樣本1約為3 240gf ,樣本2也約為3240gf的荷 重’對於被測試I C可施加適當推壓力之事為明確。又，、言 些測疋值係對於設定值為6〇gf程度為低的荷重，然而換算 為平均一支端子的荷重時約為〇· 45gf，對於必要的荷重π 25gf為小的值，然而可在足夠被容許的範圍。 、又，作為第2實施例，對於端子數為5 6支、適當推壓 力為平均單位端子25gf的被測試I c，製作兩個如第1〇圖 所示的壓出板3 0的樣本。此壓出板3 〇的樣本係皆和第i實 施例相同，使用彈性係數2 5 0gf/mm、長度19_的第i彈^ 36，以及彈性係數2〇〇gf/mm、長度16· 5龍的第2彈簀38 ^ 製作’製作後的第1彈簧的基準長度係作為丨5_，第2 38的基準長度為；[4.4mm。 又’壓出板滑塊31係如第9(C)圖所示般的形狀，在測 試時彈簧36，38為收縮〇 · 2mm的狀態下，將最適當的推壓、 力施加於被測試I C的方式，將第1軸3 1 a的長度La,,製作\ 3.2mm，第2軸31b的長度Lb’’為2mm，基底部3ic的長户'

Lc’ ’為7mm。將此壓出板滑塊31安裝於壓出板3〇時，g於 第1彈簧36係更收縮1 · 2mm成為1 3· 8mm，第2軸3 1 b係由於 具有貝通承載基底32的台座部的長度’未接觸第2彈巧；

1241409 ——---- 五、發明說明（30) 38 ’第2彈簧38並未產生收縮。而且，藉由第2彈簧38的彈 性力並未產生，只藉由第1彈簧3 6的彈性力在壓出板滑塊 3 1的前端中，可得到理論上 (19mm-13.8mm)X250gf/mm=1300gf/mm 的推壓力。 ^ 而且，在測試時，收縮衝程0 · 2匪的狀態，藉由第1彈 頁3 6在壓出板滑塊3丨的前端中，可得到理論上 (19mm-13·6mm)X250gf/mm=i350gf/mm 的推壓力。 々有關此壓出板3 〇的2個樣本，進行推壓力的測定時， 士口 =17圖所不，在衝.〇2mm中，對於設計值的135〇以（=

太1 ^子&數5 4〕X〔平均單位端子2 5 g f〕），被確認可得到樣 本1約為1 3 4 0 2 f ，婵士 ο Am 可% ^ 約為1 345gf的荷重，對於被測試1C T鼽加適當的推壓力之事係明確。 的壓：板ί LI I Ϊ上述第1實施例以及第2實施例所使用 形狀之物件：藉2 =板30的各構成要素係使咖 應被測試I C的品種：二、壓出板滑塊31，&明白可容易對 〇口種父換時的壓出板30的步驟。 載，並不為了容易理解本發明而被記 施例的各要素係己載的。而且：揭露於上述實 計變更以及均等物的宗t。、發明的技術乾圍的所有的設

2030-5793-PF(Nl).ptd 第34頁 1241409 圖式簡單說明 第1圖係表示有關本發明的實施例的電子元件測試裝 置的立體圖。 第2圖係表示在第1圖的電子元件測試裝置中的被測試 I C的處理方法的盤的流程圖。 第3圖係表示第1圖的電子元件測試裝置的I C儲存部的 構造的立體圖。 第4圖係表示在第1圖的電子元件測試裝置所被使用的 客戶盤的立體圖。 第5圖係表示在第1圖的電子元件測試裝置所被使用的 測試盤的部分分解立體圖。 第6圖係表示在第2圖的測定部中的Z轴驅動裝置、模 型板、測試盤、以及插座的剖面圖。 第7圖係表示在有關本發明的實施例的電子元件測試 裝置所被使用的壓出板、模型板、嵌入物、插座導引以及 具有接觸銷的插座的構造的分解立體圖。 第8圖係第7圖的剖面圖，表示在測試頭中壓出板下降 的狀態的圖。 第9 (A)圖、第9 (B)圖、第9 (C)圖係表示有關本發明的 實施例的壓出板導引的平面圖以及側面圖的圖。 第1 0圖係將第9 (C)圖所示的壓出板滑塊安裝的壓出板 的剖面圖。 第1 1圖係表示第8圖的壓出板、插座導引以及接觸銷 的位置關係的剖面圖。 第1 2圖係在有關本發明的實施例的電子元件測試裝置

2030-5793-PF(Nl).ptd 第35頁 1241409 圖式簡單說明 37 ^ 39 環、 40 插座導引、 41 導引軸襯、 42 制動器面、 50 插座、 51 接觸銷、 60 模型板、 66 安裝插座、 70 驅動裝置、 72 驅動盤、 74 推壓部、 78 驅動軸、 80 殼體、 82 溫度感測器 90 送風裝置、 92 風扇、 94 加熱器、 96 喷嘴、 100 腔室部、 101 恆溫槽、 102 測定部、 103 除熱槽、 104 測試頭、 105 基板、 108 搬運裝置、 112 軸承、 114 接收器、 116 主驅動轴、 118 迴轉轴承、 120 迴轉轴承 122 第1滑輪 124 動力傳達帶 126 第2滑輪、 128 齒輪箱、 130 支持框、 132 支持桿、 134 步進馬達、 136 編碼器、 140 馬達控制裝置、 200 收納部、 201 、202 1C儲存部、 203 支持框、 204 升降梯、 205 臂架、 300 裝載部、 301 執道、 302 可動臂部、 303 可動頭、 ίΡ

2030-5793-PF(Nl).ptd 第37頁 1241409 圖式簡單說明 3 0 4 搬運裝置、 3 0 6 窗部、 4 0 4 搬運裝置、 4 0 6 窗部、 TST 測試盤、 D 門° 3 0 5 修正器、 4 0 0 卸載部、 4 0 5 緩衝部、 KST 客戶盤、 R 軌道、

2030-5793-PF(Nl).ptd 第38頁

Claims (1)

1. il正替換頁 升并日 1241409 --- 銮號92120620_?4年3月/6曰_修这 六、申請專利範圍 1 · 一種壓出板，在將被測試電子元件的輸出入端子壓 至測試頭的插座以進行測試之際，為了對於上述被測試電 子元件施加適當的推壓力，至少包括： 壓出板基底，對於上述插座以可接近遠離移動的方式 被設置； 引導壓出板基底，被固定於上述壓出板基底； 壓出板滑塊，對於上述壓出板基底以可移動的方式被 設置，在上述測試時自上述插座的相反面接觸於上述被測 試電子元件以推壓於上述插座；以及 兩 和上述 方向的 在 一個的2. 出板滑3. 出板係 上 壓出板 上 少接觸 上部，以 個以上的彈性裝 滑塊之間 壓出板 彈性力 上述測 彈性裝 如申請 塊係以 如申請 更具備 述承載 基底和 述壓出 於一個 述壓出 可拆裝 試時，自 置的彈性 專利範圍 可拆裝方 專利範圍 安裝上述 基底以及 上述壓出 板滑塊的 的上述彈 板滑塊係 方式被安 置，被設置在上述引導壓出板基底 ，具有上述被測試電子元件的推壓 上述兩個以上的彈性裝置中的至少 力會作用於上述壓出板滑塊。 第1項所述之壓出板，其中上述壓 式被設置於上述壓出板。 第2項所述之壓出板，其中上述遷 壓出板滑塊的承載基底； 上述彈性裝置係被包夾在上述引導 板基底之間； 一部分係將上述承載基底貫通，至 性裝置； 透過形成於上述壓出板基底的開口 裝於上述承載基底。

   141409 MM 92120R^n 曰 圍 申睛專利範 强4 ·如申請專利範圖# 掉性展置係具有直押圍弟3項所述之壓出板，其中上述各 狀的方式被配置於Iΐ此不同的彈簧，上述彈簧係以同軸 5 ·如申請專利〜义承載基底的中心。 個以上的彈性裝置=第1項所述之壓出板，&中上述兩 6·如申嗜真剎^括彈性力彼此相異的彈性裂置。 個以上的彈性J置第5項所述之壓出板，*中上述兩 7·如申靖專刺二=括彈性係數彼此相異的彈性裝置。 個以上的彈性f置:^;5項所述之壓出板，其中上述兩 :丨表1係包括基本長度彼此相異的彈性 出板滑= = 圍第1項所述之壓出板，“上述壓 兄係具有自上面以直角突出的兩個以上的軸· 上述兩個以上的軸係包括： ， 述兩i ΐ::的軸，以將上述」固的軸的中心軸覆蓋於上 被設置.以1裝置中的一個的彈性裂置的底面的方式 且，Μ及 说土 ί述另外的軸，以將上述另外的軸的中心軸覆罢於上 被設^上的彈性裝置中的另外的彈性裝置的底面的方式 9 ·如申請專利範圍第8項所述之壓出板，其中上述壓 出板滑塊係包括上述雨個以上的軸的各長度為相異的複^數 種類的壓出板滑塊。 〃 1 〇 ·如申請專利範圍第8項所述之壓出板，其中上述壓 出板滑塊係包括上述軸以外的部分的垂直方向的長度^相 異的複數種類的壓出板滑塊。 & ”

   2030-5793-PFl(Nl).ptc 第40頁 1241409 申請專利範圍 J212Q6?.n 月 曰 修正

   1 1 , --------一 •如申請專利範圍 出板滑塊的上“❹/0項所述之壓出板’其中上述壓 上述—個的轴，呈右輛係包括： 度，上述-個的彈性：ΐ與上述一個的彈性裝置接觸的長 予在上述壓Ψ 1 衣置的彈性力係透過上述一個的軸賦 <I出板滑塊；以及 上述另外的站 I 度，上述另外的與上述另外！彈性裝置接觸的長 予在上述壓出板滑塊^置的彈性力係透過上述另外的軸賦 出板滑塊的申上\專:]:圍第8項所述之壓出板’其中上述壓 上ϋ 乂上的14係包括： ^ , ν "固的軸，具有與上述一個的彈性裝置接觸的長 ί在上it ?彈性裝置的彈性力係透過上述-個的軸賦 亍在上述壓出板滑塊；以及 千、 長产上：m軸’具有未與上述另外的彈性裝置接觸的 =滑i “外的彈性裝置的彈性力係並…在上述壓 導*=請係專具利 上述壓出板滑塊係將上述承載基底貫通而藉由被 的固定裝置以可拆襞的方式被固定於上述承载基底； 透過上述引導壓出板基底的開口部，藉由固定/解除 上述固定裝置以進行上述壓出板滑塊的安裝/取下。于 1 4 ·如申請專利範圍第1 3項所述之壓出板，其中上述 固定裝置係具有螺栓。 &

   2030-5793-PFl(Nl).ptc 第41頁 1241409

   a_修正

   15’ 種模型板，以可拆裝方式被設置於框架構件， f與用j將搭載於盤之複數個被測試電子元件壓至複數插 f而使彳于上述被測電子元件和上述插座間電性接觸、並且 置在電子元件測試裝置側之Z轴驅動裝置一起動作，其 特被在於包括如申請專利範圍第1項所述之壓出板。 \ 1 6 .如申請專利範圍第1 5項所述之模型板，其中上述 壓出板滑塊係以可拆裝方式被設置於上述壓出板。 θ 1 7· /申請專利範圍第1 6項所述之模型板，其中上述 塵出板係更具備安裝上述壓出板滑塊的承載基底； θ 上述承载基底以及上述彈性裝置係被包夾在上述引導 塵出板基底和上述壓出板基底之間； 上述壓出板滑塊的一部分係將上述承載基底貫 少接觸於一個的上述彈性裝置； 、 ^上述壓出板滑塊係透過形成於上述壓出板基底的開1 W ’以可拆裝方式被安裝於上述承載基底。 π屮L8·:中請專利範圍第17項所述之模型板，其中上述 反出板的上述各彈性裝置係具有直徑彼此不同的 述彈簧係以同軸狀的方式被配置於上述承載基底的中心: ” 1 9·如申請專利範圍第1 5項所述之模型板，其中上述 壓出板的上述兩個以上的彈性裝置 的彈性裝置。 坪庄刀彼此相| 20·如申請專利範圍第19項所述之模型板，其中上述 堊出板的上述兩個以上的彈性裝置 異的彈性裝置。 坪既係數彼此才

   2030-5793-PFl(Nl).ptc 第42頁 1241409 —----—92120620 /、、申5膏專利範圍

   曰 修正 I； 21·如申請專利範圍第20項所述之模型板，其中上述 壓出板的上述兩個以上的彈性裝置係包括基本長度彼此相 異的彈性裝置。 22·如申請專利範圍第1 5項所述之模型板，其中上述 壓出板滑塊係具有自上面以直角突出的兩個以上的軸； 上述兩個以上的軸係包括： 上述一個的軸，以將上述一個的軸的中心轴覆蓋於上 述麼出板的上述兩個以上的彈性裝置中的一個的彈性裝置 的底面的方式被設置；以及 、 上述另外的軸，以將上述另外的軸的中心軸覆蓋於上 述壓出板的上述兩個以上的彈性裝置中的另外的彈性裝置 的底面的方式被設置。 、 23 壓出板 數種類24 壓出板 相異的25 壓出板 上 裝置接 述一個 上 • %如申請專利範圍第22項所述之模型板，其中上述 /月塊係包括上述兩個以上的軸的各長度為相異的福 的壓出板滑塊。 申，請專利範圍第22項所述之模型板，其中上述 二f係包括上述軸以外的部分的垂直方向的長度為 硬數種類的壓出板滑塊。 一 如申請專利範圍第22項所述之模型板，其中上述 =鬼的上述兩個以上的軸係包括： 2 〃個的軸’具有與上述壓出板的上述一個的彈性 ,,,〜又’上述一個的彈性裝置的彈性力係透過上 1車由賦予在上述壓出板滑塊； ^另外的軸，具有與上述壓出板的上述另外的彈性

   第43頁

   1241409 六、申請專利2_〜-1一-h一~§- 裝置接觸的且& Lid— 述另外的#由=^上述另外的彈性裝置的彈性力係透過上 26孕由賦予在上述壓出板滑塊。 壓出板滑專利範圍第22項所述之模型板’其中上述 上、，束的上述兩個以上的軸係包括： 裂置接軸，具有與上述慶出板的上述-個的彈性 述-個的…個的彈性裝置的彈性力係透過上 、、 賦予在上述壓出板滑塊；以及 性裝置ί’具有未與上述壓出板的上述另外的彈 巧于在上述壓出板滑塊。 木 壓出2二如上申二專:"1圍第17項所述之模型板’其中上述 y ^逑引導壓出板基底係具有開口部； 的固塊係將上述承載基底貫通而藉由被安裝 、置以可拆襞的方式被固定於上述承載基底· 上述壓出板基底的開口部’藉由固定/解除 置Λ進行上述壓出板滑塊的安裝/取下。 28·如申請專利範圍第27項所述之模型 1 固定裝置係具有螺栓。 ”中上述 、29· 一種電子元件測試裝置，其包括裝載部、腔室部 =及卸載部，上逑裝載部用以將測試前之被测試 廷入腔至部，上述腔室部用以將上述被測試電子元 出入j子壓至測試頭之插座，進行上述被测試電子元件= 之測试，上述卸载部用以將上述腔室部中完成測試之上 被測試電子元件，從上述腔室部取出，其特徵在於：上述 ·换頁

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   1241409 六、申請專利範圍 92120620 年 曰 修正— 板。貝彳4 1置包含如申請專利範圍第1項所述之壓出 置，豆中上申:專利乾圍第2 9項所述之電子元件測試裝 壓出板。板滑塊係以可拆裝的方式被設置於上逑 置，豆中申明專利範圍第3 0項所述之電子元件測試裝 基底:、述屢出板係更具備安裝上述•出板滑塊的承载 严…ΐ ΐ ΐ载基底以及上述彈性裝置係被包夾在上述引道 Μ出板基底和上述壓出板基底之間； < 弓丨導 少接ϋ壓f板滑塊的—部分係將上述承载基底貫通，$ 夕接觸於一個的上述彈性裝置； 至 上述I出板滑塊係透過形成於上述壓出板基 部’以可拆裝方式被安裝於上述承載基底。 -、崎D 32·如申請專利範圍第31項所述之電子元件測試壯 置，其中上述壓出板的上述各彈性裝置係具有彼此衣 直徑的彈簧，上述彈簧係以同軸狀的方式被安裝於:不同 載基底的中心。 述承 33·如申請專利範圍第29項所述之電子元件測試壯 置’其中上述壓出板的上述兩個以上的彈性裝置係x勺a 性力彼此相異的彈性裝置。 /、匕括彈 34·如申請專利範圍第33項所述之電子元件測試另 置，其中上述壓出板的上述兩個以上的彈性裝置係\、 性係數彼此相異的彈性裝置。 ^ t括彈 2030-5793-PFl(Nl).ptc 第45頁 1241409

   3 5 ·如申請專利範圍第3 3項所述之電子元件蜊試穿 置，其中上述壓出板的上述兩個以上的彈性裴置係包&括 本長度彼此相異的彈性裝置。 匕 基 3 6 ·如申請專利範圍第2 9項所述之電子元件剛試梦 置，其中上述壓出板滑塊係具有自上面以直角突:衣 以上的軸； 大出的兩個 上述兩個以上的轴係包括： 上述一個軸，以將上述一個軸的令心軸覆蓋於 、 出板的上述兩個以上的彈性裝置中的一個的彈性^上述壓 的方式被設置；以及 衣置底面 上述另外的軸，以將上述另外的軸的中心細承罢 述壓出板的上述兩個以上的彈性裝置中的另外二二於上 的底面的方式被設置。 卜的味性裝置 3 7·如申請專利範圍第36項所述之電子元件測試壯 $ ’其中上述壓出板滑塊係包栝上述兩個.以 衣 度為相異的複數種類的麼出板滑塊。 的軸的各長 38·如申請專利範圍第36項所述之電子元件測試裝 方向壓出板滑塊係包括上述車由以外的部分的垂直 〇 9長度為相異的複數種類的壓出板滑塊。 置，1 +如申明專利範圍第3 6項所述之電子元件測試裝 ' 上这I出板滑塊的上述雨個以上的軸係包括： 置接^ 個的軸，具有與上述壓出板的上述1個的彈性裝 、度，上述1個的彈性裝置的彈性力係透過上$1 個的轴賦予在上述壓出板滑塊；以及 这1 2030-5793-PFl(Nl). ptc 第46頁 1241409 、申請專利範圍 ^2120620 年 上述另从 一〜〜" 裝置接觸外的轴，具有與上述壓出板的上述另外的彈性 述另外的钿長度’上述另外的彈性裝置的彈性力係透過上 4〇 ^ 職予在上述壓出板滑塊。 置，其中申％專利範圍第3 6項所述之電子元件測試事 1、、上述壓出板滑塊的上述兩個以上的軸係包括夜· 裂置接的轴’具有與上述磨出板的上述—個的彈性 述-個的軸1^二上述一個的彈性裝置的彈性力係透過上 上、,J軸職予在上述壓出板滑塊；以及 性梦菩2另外的軸，具有未與上述壓出板的上述另外的 賦i在=長度，上述另外的彈性裝置的彈性力係並未 丁在上述壓出板滑塊。 禾 置 2 ·如申睛專利範圍第31項所述之電子元件測試裝 部·’其中上述壓出板的上述引導壓出板基底係具有開、口 t述壓出板滑塊係將上述承載基底貫通而藉由被安裝 的固定裝置以可拆裝的方式被固定於上述承載基底； 、透過上述引導壓出板基底的開口部，藉由固定/解除 上述固定裝置以進行上述壓出板滑塊的安裝/取下。 42·如申請專利範圍第41項所述之電子元件測試裝 置’其中上述固定裝置係具有螺栓。 4 3 ·如申請專利範圍第2 9項所述之電子元件測試裝 置’其中上述被測试電子元件係被搭载在盤的狀態而被壓 至上述插座。 44· 一種壓出板滑塊，在將被測試電子元件的輸出入

   2030-5793-PFl(Nl).ptc 第47頁

   1241409

   六、申請專利範圍 编子壓至測試頭的插座以進行測試之際，被對於上 述被測試電子元件用以施加適當的推壓力的篡^自上 述插座的相反面接觸於上述被測試電子元件以塗至上述 插座，其包括： 基底部，其具有用以安裝上述麼出板之上面以及用以推壓 上述被測試電子元件之下面； 軸’自上述基底部之上面以直角突出。 > 4 5 ·如申請專利範圍第4 4項所述之壓出板巧塊&其中 上述壓出板係至少包括··對於上述插座以矸接近遂離移動 的方式被設置的壓出板基底、被固定於上述壓出板基底的 引&壓出板基底、以及被設置在上述引導壓出板基底和上 述壓出板滑塊之間、且具有上述被測試電子元件的推壓方 向的彈性力的兩個以上的彈性裝置； 上述壓出板滑塊係具有自上面以直角突出的軸； 上述兩個以上的軸係包括： 、 上述一個的軸，以將上述一個的軸的中心軸覆蓋於上 述兩個以上的彈性裝置中的一個的彈性裝置的底面的方式 被設置；以及 上述另外的軸， 述兩個以上的彈性裝 被設置。 以將上述另外的軸的中心軸覆蓋於上 置中的另外的彈性裝置的底面的方式 專利範圍第45項所述之壓出板滑塊，其中 “ i、,、反係更具備安裝上述壓出板滑塊的承载基底； 上述承載基底以及上述彈性裝置係被包夾在上述引導

   1241409 q dm — ----------二卜 修正 日 MMl 92120R9,n 六、申請專利範® 壓出板f底和上述屢出板基底之間； 於上i二係將上述承載基底貫通’至少接觸 部，二=!塊係透過形成於上述壓出板基底的開口 47 式被安裝於上述承載基底。 上计斤·屮如4申請專利範圍第45項所述之壓出板滑塊，其中 括上述兩個以上的軸的各自的長度： ，、0複數種類的壓出板滑塊。 ρ中請專利範圍第45項所述之壓出板滑塊，並中 产c塊係包括上述轴以外的部分的垂直方向的長 為相異的硬數種類的壓出板滑塊。 49.如申請專利範圍 述之壓出板 1 上述兩=以上的軸係包括： ，、 上述一個的軸，具有接觸於上述一個的彈性裝置的長 度，以及 )。上述另外的軸，具有接觸於上述另外的彈性裝置的長 5 〇.如申请專利範園第4 5項所述之壓出板滑塊，其中 上述兩個以上的軸係包括：、 上述一個的軸，具有盥上述/個的彈性裝置接觸的長 度；以及 ^ 長度 ^述另外的車由，具有未與上述另外的彈性裝置接觸的 51·如申請專利範圍第46項所述之壓出板滑塊，其中 2030-5793-PFl(Nl).ptc 第49貢 1241409 移.. v；f 修正 A_ #1 案號 92120620 六、申請專利範圍 上述壓出板的上述引導壓出板基底係具有開口部； 上述壓出板滑塊係將上述承載基底貫通而藉由被安裝 的固定裝置以可拆裝的方式被固定於上述承載基底； 透過上述引導壓出板基底的開口部，藉由固定/解除 上述固定裝置以進行上述壓出板滑塊的安裝/取下。 5 2.如申請專利範圍第5 1項所述之壓出板滑塊，其中 上述壓出板的上述固定裝置係具有螺栓。

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